JPH05344765A - 圧電モータおよびその駆動方法 - Google Patents
圧電モータおよびその駆動方法Info
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- JPH05344765A JPH05344765A JP4177327A JP17732792A JPH05344765A JP H05344765 A JPH05344765 A JP H05344765A JP 4177327 A JP4177327 A JP 4177327A JP 17732792 A JP17732792 A JP 17732792A JP H05344765 A JPH05344765 A JP H05344765A
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- piezoelectric
- driving
- piezoelectric motor
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 非常に単純な構成の圧電モータを得る。ま
た、移相器のない駆動回路で駆動する。さらに、小型で
効率の良い圧電モータを得る。 【構成】 圧電バイモルフ１は分極処理され、かつ分極
の向きが逆になる様に接着された２つの圧電素子２，３
で構成される。圧電素子２および３には電極４が設けら
れている。圧電素子２の端部には摩擦部材５が接着され
ている。
た、移相器のない駆動回路で駆動する。さらに、小型で
効率の良い圧電モータを得る。 【構成】 圧電バイモルフ１は分極処理され、かつ分極
の向きが逆になる様に接着された２つの圧電素子２，３
で構成される。圧電素子２および３には電極４が設けら
れている。圧電素子２の端部には摩擦部材５が接着され
ている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カメラや内視鏡等のア
クチュエータに使用される電気・機械変換素子を用いた
圧電モータに関する。
クチュエータに使用される電気・機械変換素子を用いた
圧電モータに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、可逆モータとしては、例えば特公
昭５８−３２５１８号公報に内示される発明がある。上
記発明は、図１４に示す様に、ステータ８１の振動子８
２は独立した電極８３，８４を有し、二層圧電素子の形
状をしている。層８５の各面内では、電極８３，８４は
圧電素子８６の中に電気的に接続されない二つの領域８
７，８８を形成する。
昭５８−３２５１８号公報に内示される発明がある。上
記発明は、図１４に示す様に、ステータ８１の振動子８
２は独立した電極８３，８４を有し、二層圧電素子の形
状をしている。層８５の各面内では、電極８３，８４は
圧電素子８６の中に電気的に接続されない二つの領域８
７，８８を形成する。
【０００３】層８５の領域８８の中における分極は一つ
の向きに行なわれ、領域８７内における分極は逆向きに
行なわれる。層８５の向かい合う外面に設けられる金属
被膜は相互に連結されて電極８３，８４を形成する。振
動子８２はゴム等の保持部材８９で保持され、バネ９０
によりロータ９１に圧接されている。交番電圧を発生す
る電源９２と双極スイッチ９３により、振動子８２が駆
動される。
の向きに行なわれ、領域８７内における分極は逆向きに
行なわれる。層８５の向かい合う外面に設けられる金属
被膜は相互に連結されて電極８３，８４を形成する。振
動子８２はゴム等の保持部材８９で保持され、バネ９０
によりロータ９１に圧接されている。交番電圧を発生す
る電源９２と双極スイッチ９３により、振動子８２が駆
動される。
【０００４】上記構成の可逆モータは、電極８４に交番
電圧を印加し、圧電素子８６の縦方向へ縦振動の第１高
調波で動作させ、かつ電極８３に交番電圧を印加し、曲
げ振動のより高次な高調波で動作させる。以上の振動を
同一周波数で発生させ、振動子８２はロータ９１を可逆
的に回転させる。
電圧を印加し、圧電素子８６の縦方向へ縦振動の第１高
調波で動作させ、かつ電極８３に交番電圧を印加し、曲
げ振動のより高次な高調波で動作させる。以上の振動を
同一周波数で発生させ、振動子８２はロータ９１を可逆
的に回転させる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、前記従来技
術では圧電素子の縦振動を発生する領域と屈曲振動を発
生させる領域とを分けたことで、内部電極９４を二つの
領域で別々に分ける必要が生じ、外部電極８３，８４も
二つの領域で別々に分ける必要が生じる。従って、圧電
振動子８２が非常に複雑な構造となってしまう欠点があ
った。
術では圧電素子の縦振動を発生する領域と屈曲振動を発
生させる領域とを分けたことで、内部電極９４を二つの
領域で別々に分ける必要が生じ、外部電極８３，８４も
二つの領域で別々に分ける必要が生じる。従って、圧電
振動子８２が非常に複雑な構造となってしまう欠点があ
った。
【０００６】因って、本発明は前記従来技術における欠
点に鑑み開発されたもので、非常に単純な構造とするこ
とができるとともに、駆動回路も非常にコンパクト化す
ることができる電圧モータおよびその駆動方法の提供を
目的とする。
点に鑑み開発されたもので、非常に単純な構造とするこ
とができるとともに、駆動回路も非常にコンパクト化す
ることができる電圧モータおよびその駆動方法の提供を
目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、両面に形成さ
れた電極面に対して垂直な方向へ全面に渡り一様な分極
処理を施した板状の圧電素子を少なくとも２枚接合した
圧電積層体および該圧電積層体の一端に設けた摩擦部材
から成る圧電振動子と、該圧電振動子の摩擦部材に対し
て一定の力で押圧された被駆動体とを具備したものであ
る。
れた電極面に対して垂直な方向へ全面に渡り一様な分極
処理を施した板状の圧電素子を少なくとも２枚接合した
圧電積層体および該圧電積層体の一端に設けた摩擦部材
から成る圧電振動子と、該圧電振動子の摩擦部材に対し
て一定の力で押圧された被駆動体とを具備したものであ
る。
【０００８】
【作用】本発明では、板状をした圧電素子の圧電横効果
を利用し、圧電振動子の片方の圧電素子と他方の圧電素
子とに印加する電圧へ位相差または電圧差をもたせて駆
動することにより、その先端に圧電楕円振動を発生させ
る。被駆動体は圧電素子の先端にある摩擦部材へ圧接さ
れているので、被駆動体は右方または左方へと駆動され
る。
を利用し、圧電振動子の片方の圧電素子と他方の圧電素
子とに印加する電圧へ位相差または電圧差をもたせて駆
動することにより、その先端に圧電楕円振動を発生させ
る。被駆動体は圧電素子の先端にある摩擦部材へ圧接さ
れているので、被駆動体は右方または左方へと駆動され
る。
【０００９】
【実施例１】図１〜図４は本実施例を示し、図１は斜視
図、図２および図３は動作を示す側面図、図４はグラフ
である。ＰＺＴ等の電圧材料を０．５ｍｍ厚の板状に成
形し、両面に焼き付け銀等の電極４を設けた後、図１の
矢印Ｐで示す様な向きに、分極を生ずる様に分極処理を
行なう。この様にして形成した電圧素子２，３をエポキ
シ系の接着剤を用いて分極の向きが逆になる様に接着す
る。これを電圧バイモルフ１と呼ぶ。
図、図２および図３は動作を示す側面図、図４はグラフ
である。ＰＺＴ等の電圧材料を０．５ｍｍ厚の板状に成
形し、両面に焼き付け銀等の電極４を設けた後、図１の
矢印Ｐで示す様な向きに、分極を生ずる様に分極処理を
行なう。この様にして形成した電圧素子２，３をエポキ
シ系の接着剤を用いて分極の向きが逆になる様に接着す
る。これを電圧バイモルフ１と呼ぶ。
【００１０】電圧バイモルフ１の片端には電極４が設け
られていない圧電的不活性部８があり、その部分は金属
材料等から成る固定台６に接着固定されている。圧電バ
イモルフ１の他端には耐磨耗性のある焼き入れステンレ
ス材等の摩擦部材５が接着されている。圧電素子２の電
極４からは電気端子Ａが引き出され、圧電素子３の電極
（図示省略）からは電気端子Ｂが引き出され、共通電極
として電気端子Ｇが引き出されている。電気端子Ｇはグ
ランド端子である。
られていない圧電的不活性部８があり、その部分は金属
材料等から成る固定台６に接着固定されている。圧電バ
イモルフ１の他端には耐磨耗性のある焼き入れステンレ
ス材等の摩擦部材５が接着されている。圧電素子２の電
極４からは電気端子Ａが引き出され、圧電素子３の電極
（図示省略）からは電気端子Ｂが引き出され、共通電極
として電気端子Ｇが引き出されている。電気端子Ｇはグ
ランド端子である。
【００１１】一方、ハードアルマイト処理されたアルミ
ニウム材から成る移動体７は押圧機構（図示省略）によ
り摩擦部材５に対して移動可能な様にベアリング等（図
示省略）を介して圧接保持されている。
ニウム材から成る移動体７は押圧機構（図示省略）によ
り摩擦部材５に対して移動可能な様にベアリング等（図
示省略）を介して圧接保持されている。
【００１２】以上の構成から成る圧電バイモルフ１の作
用を説明する。電気端子Ａと電気端子Ｂとに同じ大きさ
でかつ同位相の交番電圧を印加すると、圧電バイモルフ
１は図２に示す様な縦振動を行なう（図２中の破線がそ
の変形を示す）。また、電気端子Ａと電気端子Ｂとに同
じ大きさでかつ１８０°位相のずれた交番電圧を印加す
ると圧電バイモルフ１は図３に示す様な屈曲振動を行な
う。
用を説明する。電気端子Ａと電気端子Ｂとに同じ大きさ
でかつ同位相の交番電圧を印加すると、圧電バイモルフ
１は図２に示す様な縦振動を行なう（図２中の破線がそ
の変形を示す）。また、電気端子Ａと電気端子Ｂとに同
じ大きさでかつ１８０°位相のずれた交番電圧を印加す
ると圧電バイモルフ１は図３に示す様な屈曲振動を行な
う。
【００１３】さらに、図４に示す様な交番電圧を印加し
た場合について説明する。Ａなる交番電圧波形をＡ端子
に、Ｂなる交番電圧波形をＢ端子に印加する。ここで、
Ｂに対するＡの電圧波形の位相差θ（＝２／Ｔ×３６０
°）は９０°とする。 この時、圧電バイモルフ１の固
定端とは反対側の摩擦部材５がある端部においては、そ
の質点は左回り（ＣＣＷ）の楕円振動が発生する。そし
て、摩擦部材５に押圧接触された移動体７は図１の左方
へと駆動される。
た場合について説明する。Ａなる交番電圧波形をＡ端子
に、Ｂなる交番電圧波形をＢ端子に印加する。ここで、
Ｂに対するＡの電圧波形の位相差θ（＝２／Ｔ×３６０
°）は９０°とする。 この時、圧電バイモルフ１の固
定端とは反対側の摩擦部材５がある端部においては、そ
の質点は左回り（ＣＣＷ）の楕円振動が発生する。そし
て、摩擦部材５に押圧接触された移動体７は図１の左方
へと駆動される。
【００１４】また、Ｂに対するＡの電圧波形の位相差θ
を−９０°とする。この時、圧電バイモルフ１の固定端
とは反対側の摩擦部材５がある端部においては、その質
点は右回り（ＣＷ）の楕円振動が発生する。そして、摩
擦部材５に押圧接触された移動体７は図１の右方へと駆
動される。以上の駆動方法に関しては、圧電バイモルフ
１の縦振動および屈曲振動は非共振（周波数）で駆動さ
れる。
を−９０°とする。この時、圧電バイモルフ１の固定端
とは反対側の摩擦部材５がある端部においては、その質
点は右回り（ＣＷ）の楕円振動が発生する。そして、摩
擦部材５に押圧接触された移動体７は図１の右方へと駆
動される。以上の駆動方法に関しては、圧電バイモルフ
１の縦振動および屈曲振動は非共振（周波数）で駆動さ
れる。
【００１５】本実施例によれば、移動体の移動方向に対
して直角方向の厚みの小さい圧電モータが得られる。
して直角方向の厚みの小さい圧電モータが得られる。
【００１６】
【実施例２】図５〜図７は本実施例を示すグラフであ
る。本実施例は前記実施例１と同様な構成であり、構成
の説明を省略するとともに図１を用いて作用の説明を行
なう。本実施例の前記実施例１と異なる点は、圧電バイ
モルフ１の屈曲振動を共振状態（共振周波数ｆo ）で用
い、圧電バイモルフ１の縦振動を非共振で用いる点にあ
る。
る。本実施例は前記実施例１と同様な構成であり、構成
の説明を省略するとともに図１を用いて作用の説明を行
なう。本実施例の前記実施例１と異なる点は、圧電バイ
モルフ１の屈曲振動を共振状態（共振周波数ｆo ）で用
い、圧電バイモルフ１の縦振動を非共振で用いる点にあ
る。
【００１７】圧電バイモルフ１における屈曲振動の１次
の共振周波数をｆo とする。図５にその振動振巾の周波
数特性を示し、図６に振動の入力電圧に対する位相差の
周波数特性を示す。図５に示す様に、その振動の振巾は
ｆ＝ｆo で極大値をとる。また、位相は図６に示す様に
遅れてほぼθ＝９０°の値をとった。
の共振周波数をｆo とする。図５にその振動振巾の周波
数特性を示し、図６に振動の入力電圧に対する位相差の
周波数特性を示す。図５に示す様に、その振動の振巾は
ｆ＝ｆo で極大値をとる。また、位相は図６に示す様に
遅れてほぼθ＝９０°の値をとった。
【００１８】よって、図７に示す様にＡ端子にＡなる交
番電圧波形を、Ｂ端子にＢなる交番電圧波形を印加す
る。この時、両電圧の位相は等しいが、Ｂに対してＡの
電圧の大きさをΔＶだけ大きくする。すると、図１の右
端部における質点は右回り（ＣＷ）の楕円振動を行な
う。そして、摩擦部材５に押圧された移動体７は右方向
へと駆動される。
番電圧波形を、Ｂ端子にＢなる交番電圧波形を印加す
る。この時、両電圧の位相は等しいが、Ｂに対してＡの
電圧の大きさをΔＶだけ大きくする。すると、図１の右
端部における質点は右回り（ＣＷ）の楕円振動を行な
う。そして、摩擦部材５に押圧された移動体７は右方向
へと駆動される。
【００１９】一方、逆に同位相でＡに対してＢの電圧の
大きさをΔＶだけ大きくする。この時、図１の右端部に
おける質点は左回り（ＣＣＷ）の楕円振動を行なう。そ
して、摩擦部材５に押圧された移動体７は左方向へと駆
動される。
大きさをΔＶだけ大きくする。この時、図１の右端部に
おける質点は左回り（ＣＣＷ）の楕円振動を行なう。そ
して、摩擦部材５に押圧された移動体７は左方向へと駆
動される。
【００２０】本実施例によれば、移相器を必要としなく
なり、駆動回路が非常にコンパクトに出来る。また、屈
曲振動はより高次（２次以上）のモードを利用してもよ
い。
なり、駆動回路が非常にコンパクトに出来る。また、屈
曲振動はより高次（２次以上）のモードを利用してもよ
い。
【００２１】
【実施例３】図８は本実施例を示す側面図である。本実
施例は、圧電バイモルフ１１を低電圧で駆動するため
に、一枚の圧電素子の厚みを１／２の０．２５ｍｍとし
て積層化した点が前記実施例１と異なり、他の構成は同
一構成部分から成るもので、同一な構成部分には同一番
号を付してその説明を省略する。圧電素子１２，１３は
電気端子Ａにより駆動され、圧電素子１４，１５は電気
端子Ｂにより駆動される。
施例は、圧電バイモルフ１１を低電圧で駆動するため
に、一枚の圧電素子の厚みを１／２の０．２５ｍｍとし
て積層化した点が前記実施例１と異なり、他の構成は同
一構成部分から成るもので、同一な構成部分には同一番
号を付してその説明を省略する。圧電素子１２，１３は
電気端子Ａにより駆動され、圧電素子１４，１５は電気
端子Ｂにより駆動される。
【００２２】本実施例の作用は、前記各実施例と同様な
作用であり、作用の説明を省略する。
作用であり、作用の説明を省略する。
【００２３】本実施例によれば、駆動電圧を下げること
が出来る。
が出来る。
【００２４】
【実施例４】図９は本実施例を示す側面図である。本実
施例の圧電バイモルフ２１は、摩擦部材２２がその片端
全体を覆う様に設けられている点、圧電バイモルフ２１
の長手方向に対して移動体７が直交して配置されている
点および固定台６が片端をつつむ様に保持している点が
前記実施例１と異なり、他の構成は同一な構成部分から
成るもので、同一構成部分には同一番号を付し、構成の
説明を省略する。
施例の圧電バイモルフ２１は、摩擦部材２２がその片端
全体を覆う様に設けられている点、圧電バイモルフ２１
の長手方向に対して移動体７が直交して配置されている
点および固定台６が片端をつつむ様に保持している点が
前記実施例１と異なり、他の構成は同一な構成部分から
成るもので、同一構成部分には同一番号を付し、構成の
説明を省略する。
【００２５】本実施例の作用は、前記実施例１および実
施例２と同様な作用であり、作用の説明を省略する。
施例２と同様な作用であり、作用の説明を省略する。
【００２６】本実施例によれば、前記実施例１に比べて
圧電振動子（ステータ）と移動子（スライダー）との配
置関係が、圧電モータを組み込む機器によっては好都合
である。
圧電振動子（ステータ）と移動子（スライダー）との配
置関係が、圧電モータを組み込む機器によっては好都合
である。
【００２７】
【実施例５】図１０および図１１は本実施例を示し、図
１は斜視図、図２は回路図である。本実施例は、圧電バ
イモルフ３１の圧電素子２に振動の検出をするためのフ
ィードバック電極３２を設けた点が前記実施例１と異な
り、他の構成は同一な構成部分から成るもので、同一構
成部分には同一番号を付し、構成の説明を省略する。
１は斜視図、図２は回路図である。本実施例は、圧電バ
イモルフ３１の圧電素子２に振動の検出をするためのフ
ィードバック電極３２を設けた点が前記実施例１と異な
り、他の構成は同一な構成部分から成るもので、同一構
成部分には同一番号を付し、構成の説明を省略する。
【００２８】上記構成の圧電バイモルフ３１は、フィー
ドバック電極３２から屈曲振動（共振振動）に比例した
電圧が出力される。従って、これを振動検出信号として
用い、図１１に示す様な振動制御回路を用いて圧電バイ
モルフ３１を駆動することが出来る。
ドバック電極３２から屈曲振動（共振振動）に比例した
電圧が出力される。従って、これを振動検出信号として
用い、図１１に示す様な振動制御回路を用いて圧電バイ
モルフ３１を駆動することが出来る。
【００２９】すなわち、フィードバック電極３２に取り
付けられたＦ端子からの出力は、増幅器３３を介して位
相比較器３４に入力され、発振器３５の信号と位相比較
され、その位相差が常に９０°または−９０°となる様
に周波数がコントロールされる。この時、圧電バイモル
フ３１の右端の質点はＣＷまたはＣＣＷの楕円振動を行
い、移動子（図示省略）は右方向または左方向へと駆動
される。
付けられたＦ端子からの出力は、増幅器３３を介して位
相比較器３４に入力され、発振器３５の信号と位相比較
され、その位相差が常に９０°または−９０°となる様
に周波数がコントロールされる。この時、圧電バイモル
フ３１の右端の質点はＣＷまたはＣＣＷの楕円振動を行
い、移動子（図示省略）は右方向または左方向へと駆動
される。
【００３０】本実施例によれば、圧電振動子の温度等の
影響による共振周波数の変動または位相の変動により、
楕円振動の形成が出来なくなることを、フィードバック
制御することで押さえることが出来る。
影響による共振周波数の変動または位相の変動により、
楕円振動の形成が出来なくなることを、フィードバック
制御することで押さえることが出来る。
【００３１】
【実施例６】図１２は本実施例を示す斜視図である。本
実施例の圧電バイモルフ４１は、圧電素子４２，４３を
円環形状に形成した点と、移動子４４を回転子（ロー
タ）とした点が前記実施例１と異なり、他の構成は同一
な構成部分から成るもので、同一構成部分には同一番号
を付し、構成の説明を省略する。
実施例の圧電バイモルフ４１は、圧電素子４２，４３を
円環形状に形成した点と、移動子４４を回転子（ロー
タ）とした点が前記実施例１と異なり、他の構成は同一
な構成部分から成るもので、同一構成部分には同一番号
を付し、構成の説明を省略する。
【００３２】本実施例の作用は、前記実施例１および実
施例２と同様な作用であり、作用の説明を省略する。
施例２と同様な作用であり、作用の説明を省略する。
【００３３】本実施例によれば、圧電モータの形状を円
環形状としたことにより、回転型のモータとするのに好
適である。
環形状としたことにより、回転型のモータとするのに好
適である。
【００３４】
【実施例７】図１３は本実施例を示す斜視図である。本
実施例の圧電バイモルフ５１は、圧電素子２の両端に移
動体７へ対しての摩擦係数が異なる摩擦部材５２，５３
を設けた点が前記実施例１と異なり、他の構成は同一な
構成部分から成るもので、同一構成部分には同一番号を
付してその説明を省略する。摩擦部材５２は焼き入れを
したステンレス材で、摩擦部材５３は焼き入れをしたス
テンレス材の表面にＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチ
レン）処理を施したものである。圧電バイモルフ５１は
フェルト材またはゴム材（図示省略）で保持されてい
る。
実施例の圧電バイモルフ５１は、圧電素子２の両端に移
動体７へ対しての摩擦係数が異なる摩擦部材５２，５３
を設けた点が前記実施例１と異なり、他の構成は同一な
構成部分から成るもので、同一構成部分には同一番号を
付してその説明を省略する。摩擦部材５２は焼き入れを
したステンレス材で、摩擦部材５３は焼き入れをしたス
テンレス材の表面にＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチ
レン）処理を施したものである。圧電バイモルフ５１は
フェルト材またはゴム材（図示省略）で保持されてい
る。
【００３５】上記構成の圧電バイモルフ５１は、摩擦部
材５３のすべりが大きくて駆動にほとんど寄与せず、摩
擦部材５２が駆動に寄与することになる。以下、前記実
施例１と同様な作用であり、作用の説明を省略する。
材５３のすべりが大きくて駆動にほとんど寄与せず、摩
擦部材５２が駆動に寄与することになる。以下、前記実
施例１と同様な作用であり、作用の説明を省略する。
【００３６】本実施例によれば、圧電バイモルフがフェ
ルト材等で容易に保持出来る。
ルト材等で容易に保持出来る。
【００３７】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明に係る圧電モ
ータおよびその駆動方法によれば、非常に単純な構成の
圧電モータが得られる。また、移相器のない駆動回路で
駆動出来る。さらに、小型で効率の良い圧電モータが得
られる。
ータおよびその駆動方法によれば、非常に単純な構成の
圧電モータが得られる。また、移相器のない駆動回路で
駆動出来る。さらに、小型で効率の良い圧電モータが得
られる。
【図１】実施例１を示す斜視図である。
【図２】実施例１の動作を示す側面図である。
【図３】実施例１の動作を示す側面図である。
【図４】実施例１のグラフである。
【図５】実施例２のグラフである。
【図６】実施例２のグラフである。
【図７】実施例２のグラフである。
【図８】実施例３を示す側面図である。
【図９】実施例４を示す側面図である。
【図１０】実施例５を示す斜視図である。
【図１１】実施例５の回路図である。
【図１２】実施例６を示す斜視図である。
【図１３】実施例７を示す斜視図である。
【図１４】従来例を示す概略構成図である。
１ 圧電バイモルフ ２，３ 圧電素子 ４ 電極 ５ 摩擦部材 ６ 固定台 ７ 移動体 ８ 圧電的不活性部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 谷口 芳久 東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号 オリ ンパス光学工業株式会社内 (72)発明者 小林 浩之 東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号 オリ ンパス光学工業株式会社内
Claims (7)
- 【請求項１】 両面に形成された電極面に対して垂直な
方向へ全面に渡り一様な分極処理を施した板状の圧電素
子を少なくとも２枚接合した圧電積層体および該圧電積
層体の一端に設けた摩擦部材から成る圧電振動子と、該
圧電振動子の摩擦部材に対して一定の力で押圧された被
駆動体とを具備したことを特徴とする圧電モータ。 - 【請求項２】 少なくとも１枚の圧電素子に印加する交
番電圧の位相と、他の少なくとも１枚の圧電素子に印加
する交番電圧の位相との間に一定の差をもたせて駆動す
ることを特徴とする請求項１記載の圧電モータの駆動方
法。 - 【請求項３】 少なくとも１枚の圧電素子に印加する交
番電圧の大きさと、他の少なくとも１枚の圧電素子に印
加する交番電圧の大きさとの間に一定の差をもたせて駆
動することを特徴とする請求項１記載の圧電モータの駆
動方法。 - 【請求項４】 請求項１に記載した圧電素子の一部へ独
立した電極を設けるとともに、該電極から発生する振動
検出信号と圧電モータを駆動する駆動信号との位相差が
常に９０°あるいは−９０°となる様に制御する制御回
路を具備したことを特徴とする圧電モータ。 - 【請求項５】 請求項１に記載した圧電振動子の縦振動
および屈曲振動のうちの少なくとも１つの振動を非共振
状態で駆動することを特徴とする請求項１記載の圧電モ
ータの駆動方法。 - 【請求項６】 請求項１に記載した圧電積層体の一部分
に電極の無い領域あるいは非圧電性を示す領域を設け、
該領域を固定保持することを特徴とする請求項１記載の
圧電モータ。 - 【請求項７】 請求項１記載の圧電積層体の両端に摩擦
部材を設け、それら摩擦部材の被駆動体へ対する摩擦係
数に差をもたせたことを特徴とする請求項１記載の圧電
モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4177327A JPH05344765A (ja) | 1992-06-11 | 1992-06-11 | 圧電モータおよびその駆動方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4177327A JPH05344765A (ja) | 1992-06-11 | 1992-06-11 | 圧電モータおよびその駆動方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05344765A true JPH05344765A (ja) | 1993-12-24 |
Family
ID=16029040
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4177327A Withdrawn JPH05344765A (ja) | 1992-06-11 | 1992-06-11 | 圧電モータおよびその駆動方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05344765A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000513919A (ja) * | 1996-10-21 | 2000-10-17 | ダイムラークライスラー・アクチエンゲゼルシヤフト | 集電装置と架線の間の接触力の変動を低減する装置 |
| JP2005168281A (ja) * | 2003-11-13 | 2005-06-23 | Canon Inc | 積層圧電素子及び振動波駆動装置 |
| JP2006141091A (ja) * | 2004-11-10 | 2006-06-01 | Shimizu Corp | 超音波モータおよび可変剛性バネ |
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| CN107124120A (zh) * | 2017-06-16 | 2017-09-01 | 吉林大学 | 一种单蝶形定子压电直线驱动器 |
| CN114244181A (zh) * | 2021-11-18 | 2022-03-25 | 北京大学 | 一种高功率密度压电驱动器及压电马达 |
-
1992
- 1992-06-11 JP JP4177327A patent/JPH05344765A/ja not_active Withdrawn
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| US7772744B2 (en) | 2006-03-13 | 2010-08-10 | Fujinon Corporation | Ultrasonic actuator which acts on a rotor to rotate the rotor |
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| CN114244181A (zh) * | 2021-11-18 | 2022-03-25 | 北京大学 | 一种高功率密度压电驱动器及压电马达 |
| CN114244181B (zh) * | 2021-11-18 | 2024-05-17 | 北京大学 | 一种高功率密度压电驱动器及压电马达 |
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