JPH0534502A

JPH0534502A - 反射防止膜を有する光学部材

Info

Publication number: JPH0534502A
Application number: JP3214467A
Authority: JP
Inventors: Takashi Mitsuishi; 剛史三石
Original assignee: Hoya Corp
Current assignee: Hoya Corp
Priority date: 1991-07-31
Filing date: 1991-07-31
Publication date: 1993-02-12
Anticipated expiration: 2015-02-28
Also published as: JP3012712B2

Abstract

(57)【要約】【目的】耐熱性が良好で且つ経時的な耐熱温度の低下
する程度の小さい反射防止膜を有する光学部材を提供す
る。【構成】合成樹脂基板上に反射防止膜を有する光学部
材であって、前記合成樹脂基板と前記反射防止膜との間
に、下記に示すＡ層、Ｂ層およびＣ層の順で前記合成樹
脂基板側から積層されてなる下地層を介在していること
を特徴とする反射防止膜を有する光学部材。Ａ層；ＳｉＯ₂からなる層で、その層の屈折率（ｎｄ）
の範囲が１．４５〜１．４７で、且つ膜厚の範囲が０．
０５〜０．１５λである。Ｂ層；Ｔａ₂Ｏ₅からなる層で、その層の屈折率（ｎ
ｄ）の範囲が２．００〜２．１０で、且つ膜厚の範囲が
０．０１〜０．１０λである。Ｃ層；ＳｉＯ₂とＡｌ₂Ｏ₃からなる層で、その層の屈
折率（ｎｄ）の範囲が１．４８〜１．５２で、且つ膜厚
の範囲が０．７５〜１．５０λである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は反射防止膜を有する光学
部材に関する。

【０００２】

【従来の技術】合成樹脂からなる光学部材の表面反射特
性を改善するために合成樹脂の表面上に反射防止膜を施
すこと、またその反射防止膜と合成樹脂の密着性を向上
させるために合成樹脂と反射防止膜との間に下地層を介
在させることがよく知られている。この下地層を介在さ
せている例として、例えば特開昭５６−１１６００３号
公報（以下単に、「公報１」という。）、特開平２−２
９１５０２号公報（以下単に、「公報２」という。）に
はＳｉＯ₂のみからなる下地層が、また特開昭５６−６
６８０２号公報（以下単に、「公報３」という。）には
屈折率が１．５４でＳｉＯ₂とＡｌ₂Ｏ₃を混合してな
る下地層を施した合成樹脂製光学部材が開示されてい
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】公報１、２に開示され
ているＳｉＯ₂のみからなる下地層を施した合成樹脂製
光学部材、公報３に開示されている屈折率が１．５４で
ＳｉＯ₂とＡｌ₂Ｏ₃を混合してなる下地層を施した合
成樹脂製光学部材はガラス製基板のように蒸着時の基板
温度を高くして成膜することができないため、下地層の
耐熱性が不十分で、また経時的に耐熱温度の低下する程
度が大きいという特性を有する。その影響で下地層の上
に施される反射防止膜も耐熱性が不十分となりやすく、
また経時的に耐熱温度の低下する程度が大きくなるとい
う問題を有する。この問題は例えば、以下に記す不具合
が生じる。眼鏡装用者はサウナの中で眼鏡を装用した
り、また自動車の中に眼鏡を置いたまま自動車の外に出
ることがよくある。このような高温の条件下で公報１〜
３に開示されている下地層を施した光学部材を眼鏡用レ
ンズとして使用する場合において、耐熱性が良好でない
反射防止膜を施した場合にはひび割れ（クラック）が生
じやすい。また耐熱性が良好な反射防止膜を施した場合
でも施して４ケ月ぐらいで反射防止膜にひび割れが生じ
やすくなる。本発明は上述した不具合を解決するために
なされ、その目的は基板が合成樹脂のように、蒸着時の
基板温度を低くしなければならない場合でも、耐熱性が
良好で、且つ経時的に耐熱温度の低下する程度が小さく
なる反射防止膜を有する光学部材を提供することにあ
る。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上述した目的は以下に記
す発明によって達成された。その発明は合成樹脂基板上
に反射防止膜を有する光学部材であって、前記合成樹脂
基板と前記反射防止膜との間に、下記に示すＡ層、Ｂ層
およびＣ層の順で前記合成樹脂基板側から積層されてな
る下地層を介在していることを特徴とする反射防止膜を
有する光学部材である。Ａ層；ＳｉＯ₂からなる層で、その層の屈折率（ｎｄ）
の範囲が１．４５〜１．４７で、且つλ＝４５０〜５５
０ｎｍを設計波長とした場合の膜厚の範囲が０．０５〜
０．１５λである。Ｂ層；Ｔａ₂Ｏ₅からなる層で、その層の屈折率（ｎ
ｄ）の範囲が２．００〜２．１０で、且つλ＝４５０〜
５５０ｎｍを設計波長とした場合の膜厚の範囲が０．０
１〜０．１０λである。Ｃ層；ＳｉＯ₂とＡｌ₂Ｏ₃との混合層で、その層の屈
折率（ｎｄ）の範囲が１．４８〜１．５２で、且つλ＝
４５０〜５５０ｎｍを設計波長とした場合の膜厚の範囲
が０．７５〜１．５０λである。

【０００５】下地層を上述したＡ〜Ｃ層の構成にした理
由を説明する。下地層をＡ〜Ｃ層の多層下地層の構成に
すれば、ＳｉＯ₂からなる単層下地層、ＳｉＯ₂とＡｌ
₂Ｏ₃からなる単層下地層、Ｔａ₂Ｏ₅からなる単層下
地層などの従来の下地層の特性を損なわず、さらに前述
した従来の単層下地層と比べ耐熱温度が著しく向上し、
さらに経時的な耐熱温度の低下の程度が小さくなるとい
う予想しえない効果を本発明者は見い出した。これに伴
いさらに本発明者は、基板が合成樹脂のように蒸着時の
基板温度を低くしなければならない場合において、本発
明の下地層を施すことによって下地層の表面上に施され
た反射防止膜全体の耐熱温度が著しく向上し、さらに経
時的な耐熱温度の低下の程度が小さくなることを見い出
し本発明に至った。

【０００６】本発明の下地層におけるＡ〜Ｃ層は前述し
た素材、屈折率、膜厚に特定される。この範囲外では反
射防止膜全体の耐熱温度が向上せず、また経時的な耐熱
温度の低下の程度が大きくなり前述した効果が得られな
いので好ましくない。

【０００７】本発明における下地層のＡ〜Ｃ層には、上
述した効果を損なわない程度でＴａ₂Ｏ₅、Ｙ₂Ｏ₃、
ＴｉＯ₂、ＺｒＯ₂、ＭｇＦ₂、ＳｉＯ₂等の金属を混
合することが可能である。

【０００８】本発明における反射防止膜の膜構成は特に
限定されず、λ／４−λ／４の２層膜、λ／４−λ／４
−λ／４あるいはλ／４−λ／２−λ／４の３層膜、さ
らに４層以上の多層膜などを用いることができる。特に
好ましい膜構成は以下に記述する二つの反射防止膜が挙
げられる。その第１の反射防止膜（特許請求の範囲の欄
の請求項２に該当する。）は、下地層の表面から順にＴ
ａ₂Ｏ₅層と、Ｔａ₂Ｏ₅、Ｙ₂Ｏ₃およびＳｉＯ₂を
含む混合層からなる第１の低屈折率層と；Ｔａ₂Ｏ₅層
と、Ｔａ₂Ｏ₅、Ｙ₂Ｏ₃およびＳｉＯ₂を含む混合層
と、Ｔａ₂Ｏ₅層からなる高屈折率層と；ＳｉＯ₂層か
らなる第２の低屈折率層とを積層して構成されるもので
ある。また第２の反射防止膜（特許請求の範囲の欄の請
求項３に該当する。）は、下地層の表面から順にＴａ₂
Ｏ₅、Ｙ₂Ｏ₃及びＳｉＯ₂とを含む混合層と、Ｔａ₂
Ｏ₅層からなる第１の低屈折率層と；Ｔａ₂Ｏ₅、Ｙ₂
Ｏ₃およびＳｉＯ₂とを含む混合層と、Ｔａ₂Ｏ₅層
と、Ｔａ₂Ｏ₅、Ｙ₂Ｏ₃、およびＳｉＯ₂を含む混合
層からなる高屈折率層；ＳｉＯ₂層からなる第２の低屈
折率層を積層して構成されるものである。

【０００９】これらの反射防止膜が特に好ましい理由
は、これらの反射防止膜自体が良好な耐熱性を有し、さ
らに経時的な耐熱温度の低下の程度が小さいという特性
を有しているためである。本発明における下地層の上に
これらの反射防止膜を施すことによってさらに耐熱性に
優れ、経時的な耐熱温度の低下が極めて小さい反射防止
膜を有する光学部材を得ることができる。本発明の光学
部材に用いる合成樹脂としては、メチルメタクリレート
単独重合体、メチルメタクリレートと１種以上の他のモ
ノマーとをモノマー成分とする共重合体、ジエチレング
リコールビスアリルカーボネート単独重合体、ジエチレ
ングリコールビスアリルカーボネートと１種以上の他の
モノマーとをモノマー成分とする共重合体、イオウ含有
共重合体、ハロゲン含有共重合体、ポリカーボネート、
ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、不飽和ポリエステル、
ポリエチレンテレフタレート、ポリウレタンなどの重合
体が挙げられる。

【００１０】合成樹脂の上に下地層、反射防止膜を設け
る場合には、合成樹脂表面に有機ケイ素重合体を含むハ
ードコート層をディッピング法、スピンコート法等の塗
布法により成膜し、このハードコート層上に下地層およ
び反射防止膜を設けることが好ましい。なお、本発明の
反射防止膜を成膜するにあたっては、真空蒸着法の他、
焼結体をターゲット材料とするスパッタリング法や、イ
オンプレーティング法等の方法を用いることもできる。

【００１１】本発明の反射防止膜を有する光学部材は、
眼鏡レンズのほか、カメラ用レンズ、自動車の窓ガラ
ス、ワードプロセッサーのディスプレイに付設する光学
フィルターなどに使用することが可能である。

【００１２】

【実施例】以下、実施例により本発明を詳細に説明する
が、本発明はこれらの実施例に限定されるものではな
い。なお、実施例及び比較例で得られた反射防止膜を有
する光学部材は、以下に示す試験方法により、諸物性を
測定した。

【００１３】（ａ）耐擦傷性試験＃００００のスチールウールにより表面を往復回数で１
０回こすって耐擦傷性を次のように判定した。Ａ：わずかに傷がつくＢ：多く傷がつくＣ：膜のはがれが生じる

【００１４】（ｂ）密着性試験ＪＩＳ−Ｚ−１５２２に従いゴバン目を１０×１０個作
りセロファン粘着テープにより剥離試験を３回行い、残
ったゴバン目の数を数えた。

【００１５】（ｃ）視感反射率（片面）日立製作所製Ｕ３４１０型自記分光光度計を用い、視感
反射率を求めた。（ｄ）耐熱性試験蒸着膜形成直後の反射防止膜を有する光学部材をオーブ
ンに１時間入れて加熱し、クラックの発生の有無を調べ
た。加熱温度は５０℃より始め、５℃ずつ上げてクラッ
クが発生する温度を調べた。

【００１６】（ｅ）経時的な耐熱性試験蒸着形成直後の反射防止膜を有する光学部材を４ヶ月間
屋外暴露を行い、その後前記した耐熱性試験と同じ方法
により評価を行った。

【００１７】（ｆ）耐酸性試験２０℃、１０％塩酸水溶液に１時間浸漬した後、耐酸性
を次のように判定した。 ○：浸漬前と変化せず ×：反射防止膜にはがれが生じる

【００１８】（ｇ）耐アルカリ性試験２０℃、１０％水酸化ナトリウム水溶液に１時間浸漬し
た後、耐アルカリ性を次のように判定した。 ○：浸漬前と変化せず ×：反射防止膜にはがれが生じる

【００１９】実施例１−１まず反射防止膜を設ける合成樹脂として、ジエチレング
リコールビスアリルカーボネートを主成分とし、紫外線
吸収剤として２−ヒドロキシ−４−ｎ−オプトキシベン
ゾフェノンを、前者／後者の重量比が９９．９７／０．
０３となるように含有する、屈折率が１．４９９のプラ
スチックレンズを用意した。

【００２０】（ｉ）ハードコート層（ｎｄ１．５０）の
形成前記プラスチックレンズを、８０モル％のコロイダルシ
リカと２０モル％のγ−グリシドキシプロピルトリメト
キシシランを含有するコーティング液に浸漬し、その後
硬化してハードコート層を設けた。

【００２１】（ｉｉ）下地層および反射防止膜の形成前記ハードコート層を有するプラスチックレンズを８０
℃に加熱し、前記ハードコート層の上に真空蒸着法（真
空度２×１０^-5Ｔｏｒｒ）によりＳｉＯ₂層（屈折率
１．４６、膜厚０．０７λ（λ＝５００ｎｍ））と、Ｔ
ａ₂Ｏ₅層（屈折率２．０５、膜厚０．０３λ）と、Ｓ
ｉＯ₂とＡｌ₂Ｏ₃との混合層（屈折率１．５２、膜厚
１．２５λ）からなる下地層を形成した。次に、前記下
地層の上にＴａ₂Ｏ₅層（屈折率２．０５、膜厚０．０
６λ）と、Ｔａ₂Ｏ₅、Ｙ₂Ｏ₃およびＳｉＯ₂を混合
した混合層（屈折率１．６１、膜厚０．１１λ）からな
る第１の低屈折率層を形成した。この第１の低屈折率層
の上にＴａ₂Ｏ₅層（屈折率２．０５、膜厚０．０５
λ）と、Ｔａ₂Ｏ₅、Ｙ₂Ｏ ₃およびＳｉＯ₂からなる
混合層（屈折率１．６１、膜厚０．０５λ）と、Ｔａ₂
Ｏ₅層（屈折率２．０５、膜厚０．１５λ）よりなる高
屈折率層を形成し、さらに高屈折率層の上にＳｉＯ₂か
らなる第２の低屈折率層（屈折率１．４６、膜厚０．２
５λ）を形成して、反射防止膜付きプラスチックレンズ
を得た。尚、前記第１の低屈折率層から第２の低屈折率
層は前記下地層を形成した同様の真空蒸着法により形成
した。得られた反射防止膜付きプラスチックレンズの評
価結果を表２に示す。表２に示されるように実施例１の
反射防止膜付きプラスチックレンズは耐擦傷性、密着
性、耐酸性、耐アルカリ性に優れ、さらにクラック発生
温度が１２０℃と高く、また４ヶ月間屋外暴露を行った
後のクラック発生温度が１１０℃と経時的な耐熱温度の
低下の程度が小さいものであった。尚、実施例１は特許
請求の範囲の欄の請求項２に該当するものである。

【００２２】実施例１−２、実施例１−３下地層におけるＳｉＯ₂とＡｌ₂Ｏ₃との混合層の屈折
率を１．５１（実施例１−２）、１．４８（実施例１−
３）に代えた以外は実施例１−１と同様にして反射防止
膜付きプラスチックレンズを得た。評価結果は表２に示
すようにクラック発生温度が１２０℃と優れ、さらに４
ヶ月間屋外暴露を行った後のクラック発生温度が１１０
℃と経時的なクラック発生温度の低下の程度が小さいも
のであった。尚、実施例１−１〜実施例１−３の下地層
および反射防止膜の膜構成を表１に示す。

【００２３】比較例１−１〜比較例１−３実施例１−１〜実施例１−３の比較例として比較例１−
１〜比較例１−３を挙げる。下地層におけるＳｉＯ₂か
らなる層の膜厚を本発明の範囲外である０．２０λに
し、さらに下地層におけるＳｉＯ₂とＡｌ₂Ｏ₃との混
合層の屈折率を１．５２（比較例１−１）、１．５１
（比較例１−２）、１．４８（比較例１−３）にした以
外はすべて実施例１−１と同様にして反射防止膜付きプ
ラスチックレンズを得た。評価結果は表２に示されるよ
うに実施例１−１〜実施例１−３の反射防止膜付きプラ
スチックレンズと比べクラック発生温度が低く、また経
時的なクラック発生温度の低下の程度が大きいものであ
った。

【００２４】実施例２−１〜実施例２−３特許請求の範囲の欄の請求項２に該当する実施例として
実施例２−１〜実施例２−３を挙げる。表３に示すよう
に下地層におけるＴａ₂Ｏ₅層の膜厚を上限の０．１０
λに、ＳｉＯ₂層の膜厚を下限の０．０５λに、ＳｉＯ
₂とＡｌ₂Ｏ₃との混合層の屈折率を１．５２（実施例
２−１）、１．５１（実施例２−２）、１．４８（実施
例２−３）に、反射防止膜の膜構成を表３に示したよう
にした以外はすべて実施例１−１と同様にして反射防止
膜付きプラスチックレンズを得た。評価結果は表４に示
すように実施例１−１の反射防止膜付きプラスチックレ
ンズ同様、クラック発生温度が高く、経時的なクラック
発生温度の低下の程度が小さいものであった。

【００２５】比較例２−１〜比較例２−３実施例２−１〜実施例２−３の比較例として比較例２−
１〜比較例２−３を挙げる。表３に示すように下地層に
おけるＳｉＯ₂からなる層の膜厚を本発明の範囲外であ
る０．０３λにし、さらに下地層におけるＳｉＯ₂とＡ
ｌ₂Ｏ₃との混合層の屈折率を１．５２（比較例２−
１）、１．５１（比較例２−２）、１．４８（比較例２
−３）にした以外はすべて実施例２−１と同様にして反
射防止膜付きプラスチックレンズを得た。評価結果は表
４に示されるように実施例２−１〜実施例２−３の反射
防止膜付きプラスチックレンズと比べクラック発生温度
が低く、また経時的なクラック発生温度の低下の程度が
大きいものであった。

【００２６】実施例３−１〜実施例３−３特許請求の範囲の欄の請求項２に該当する他の実施例と
して実施例３−１〜実施例３−３を挙げる。表５に示す
ように下地層におけるＳｉＯ₂層の膜厚を０．０５λ
（実施例３−１）、０．１０λ（実施例３−２）、０．
１５λ（実施例３−３）に、またＴａ₂Ｏ₅層の膜厚を
０．１０λ（実施例３−１）、０．０１λ（実施例３−
２）、０．０２λ（実施例３−３）に、反射防止膜の膜
構成を表５に示したようにした以外はすべて実施例３−
１と同様にして反射防止膜付きプラスチックレンズを得
た。評価結果は表６に示すように実施例１−１同様、ク
ラック発生温度が高く、経時的なクラック発生温度の低
下の程度が小さいものであった。

【００２７】比較例３−１〜比較例３−３実施例３−１〜実施例３−３の比較例として比較例３−
１〜比較例３−３を挙げる。表５に示すように下地層に
おけるＳｉＯ₂層の膜厚を本発明の範囲外である０．２
０λ（比較例３−１）、０．０３λ（比較例３−２）、
０．０１λ（比較例３−３）に、またＴａ₂Ｏ₅層の膜
厚を本発明の範囲外である０．１５λ（比較例３−
１）、０．００５λ（比較例３−２）、０．２０λ（比
較例３−３）にした以外はすべて実施例３−１と同様に
して反射防止膜付きプラスチックレンズを得た。評価結
果は表６に示されるように実施例３−１〜実施例３−３
の反射防止膜付きプラスチックレンズと比べクラック発
生温度が低く、また経時的なクラック発生温度の低下の
程度が大きいものであった。

【００２８】実施例４−１〜実施例４−３特許請求の範囲の欄の請求項３に該当する実施例として
実施例４−１〜実施例４−３を挙げる。下地層および反
射防止膜の膜構成を表７に示すようにした以外は実施例
１−１〜実施例１−３に準じて反射防止膜付きプラスチ
ックレンズを得た。評価結果は表８に示すように実施例
１−１同様クラック発生温度が高く、経時的なクラック
発生温度の低下の程度が小さいものであった。

【００２９】比較例４−１〜比較例４−３実施例４−１〜実施例４−３の比較例として比較例４−
１〜比較例４−３を挙げる。下地層におけるＳｉＯ₂と
Ａｌ₂Ｏ₃との混合層の膜厚を本発明の範囲外である
０．７０λ（比較例４−１）、１．５５λ（比較例４−
２）、１．６０λ（比較例４−３）にした以外はすべて
実施例４−１と同様にして反射防止膜付きプラスチック
レンズを得た。評価結果は表８に示されるように実施例
４−１〜実施例４−３の反射防止膜付きプラスチックレ
ンズと比べクラック発生温度が低く、また経時的なクラ
ック発生温度の低下の程度が大きいものであった。

【００３０】実施例５−１〜実施例６−３特許請求の範囲の欄の請求項１に該当する実施例として
実施例５−１〜実施例６−３を挙げる。実施例５−１〜
実施例５−３では表９に示すように下地層におけるＴａ
₂Ｏ₅層にＹ₂Ｏ₃とＺｒＯ₂とを混合し、またＳｉＯ
₂とＡｌ₂Ｏ₃との混合層の屈折率を１．５２（実施例
５−１）、１．５１（実施例５−２）、１．４８（実施
例５−３）にし、反射防止膜を表９に示す膜構成にして
反射防止膜付きプラスチックレンズを得た。実施例６−
１〜実施例６−３では下地層におけるＳｉＯ₂とＡｌ₂
Ｏ₃との混合層の膜厚を０．７５λ（実施例６−１）、
１．０λ（実施例６−２）、１．５０λ（実施例６−
３）に、反射防止膜の膜構成を表１１に示したようにし
た以外はすべて実施例１−１と同様にして反射防止膜付
きプラスチックレンズを得た。評価結果は表１０、表１
２に示すようにクラック発生温度が高く、さらに経時的
なクラック発生温度の低下の程度が小さいものであっ
た。

【００３１】比較例５−１〜比較例６−２実施例５−１〜実施例５−３の比較例として比較例５−
１〜比較例５−３を、実施例６−１〜実施例６−３の比
較例として比較例６−１、比較例６−２を挙げる。下地
層におけるＳｉＯ₂をＡｌ₂Ｏ₃との混合層の屈折率を
本発明の範囲外である１．４７（比較例５−１）、１．
５８（比較例５−２）、１．５３（比較例５−３）にし
た以外は実施例５−１と同様にして反射防止膜付きプラ
スチックレンズを得た。評価結果は表１０に示すように
実施例５−１〜実施例５−３で得られた反射防止膜付き
プラスチックレンズと比べ、クラック発生温度が低く、
経時的なクラック発生温度の低下の程度が大きいもので
あった。また比較例６−１、比較例６−２では、下地層
をＳｉＯ₂からなる単層（比較例６−１）、Ａｌ₂Ｏ₃
からなる単層（比較例６−２）にした以外は実施例６−
１と同様にして反射防止膜付きプラスチックレンズを得
た。評価結果は表１２に示すように実施例６−１〜実施
例６−３で得られた反射防止膜付きプラスチックレンズ
と比べクラック発生温度が低く、また経時的なクラック
発生温度の低下の程度が大きいものであった。

【００３２】

【表１】

【００３３】

【表２】

【００３４】

【表３】

【００３５】

【表４】

【００３６】

【表５】

【００３７】

【表６】

【００３８】

【表７】

【００３９】

【表８】

【００４０】

【表９】

【００４１】

【表１０】

【００４２】

【表１１】

【００４３】

【表１２】

【００４４】

【発明の効果】本発明によって耐熱性が良好で、且つ経
時的な耐熱温度の低下の程度が小さい反射防止膜を有す
る光学部材を提供することができた。また、本発明にお
ける下地層を用いることによって反射防止膜の耐熱温度
を向上させ、経時的な耐熱温度の低下の程度を小さくす
ることができる。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】合成樹脂基板上に反射防止膜を有する光
学部材であって、前記合成樹脂基板と前記反射防止膜と
の間に、下記に示すＡ層、Ｂ層およびＣ層の順で前記合
成樹脂基板側から積層されてなる下地層を介在している
ことを特徴とする反射防止膜を有する光学部材。Ａ層；ＳｉＯ₂からなる層で、その層の屈折率（ｎｄ）
の範囲が１．４５〜１．４７で、且つλ＝４５０〜５５
０ｎｍを設計波長とした場合の膜厚の範囲が０．０５〜
０．１５λである。Ｂ層；Ｔａ₂Ｏ₅からなる層で、その層の屈折率（ｎ
ｄ）の範囲が２．００〜２．１０で、且つλ＝４５０〜
５５０ｎｍを設計波長とした場合の膜厚の範囲が０．０
１〜０．１０λである。Ｃ層；ＳｉＯ₂とＡｌ₂Ｏ₃との混合層で、その層の屈
折率（ｎｄ）の範囲が１．４８〜１．５２で、且つλ＝
４５０〜５５０ｎｍを設計波長とした場合の膜厚の範囲
が０．７５〜１．５０λである。
【請求項２】前記反射防止膜は前記下地層の表面から
順に、Ｔａ₂Ｏ₅層と、Ｔａ₂Ｏ₅、Ｙ₂Ｏ₃およびＳ
ｉＯ₂を含む混合層からなる第１の低屈折率層と；Ｔａ
₂Ｏ₅層と、Ｔａ₂Ｏ₅、Ｙ₂Ｏ₃およびＳｉＯ₂を含
む混合層と、Ｔａ₂Ｏ₅層からなる高屈折率層と；Ｓｉ
Ｏ₂層からなる第２の低屈折率層とを積層してなること
を特徴とする請求項１記載の反射防止膜を有する光学部
材。
【請求項３】前記反射防止膜は前記下地層の表面から
順に、Ｔａ₂Ｏ₅、Ｙ₂Ｏ₃およびＳｉＯ₂とを含む混
合層と、Ｔａ₂Ｏ₅層からなる第１の低屈折率層と；Ｔ
ａ₂Ｏ₅、Ｙ₂Ｏ₃およびＳｉＯ₂を含む混合層と、Ｔ
ａ₂Ｏ₅層と、Ｔａ₂Ｏ₅、Ｙ₂Ｏ₃およびＳｉＯ₂を
含む混合層からなる高屈折率層と；ＳｉＯ₂層からなる
第２の低屈折率層とを積層してなることを特徴とする請
求項１記載の反射防止膜を有する光学部材。
【請求項４】前記下地層と前記合成樹脂基板の間に有
機ケイ素重合体を含むハードコート層を介在させたこと
を特徴とする請求項１〜３いずれか１項記載の反射防止
膜を有する光学部材。
【請求項５】前記光学部材は眼鏡用レンズであること
を特徴とする請求項１〜４いずれか１項記載の反射防止
膜を有する光学部材。