JPH05346346A - 焦電型赤外線センサ - Google Patents
焦電型赤外線センサInfo
- Publication number
- JPH05346346A JPH05346346A JP15965491A JP15965491A JPH05346346A JP H05346346 A JPH05346346 A JP H05346346A JP 15965491 A JP15965491 A JP 15965491A JP 15965491 A JP15965491 A JP 15965491A JP H05346346 A JPH05346346 A JP H05346346A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- infrared sensor
- pyroelectric infrared
- pyroelectric
- light receiving
- present
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 レンズ等の補助的なものを使用したり、複数
の焦電型赤外線センサユニットを使用したりすることな
しに、広範囲な検知エリアを持つ焦電型赤外線センサを
提供する。 【構成】 複数の赤外線検知部を有する焦電型赤外線セ
ンサにおいて、各赤外線検知部の受光面を同一平面上に
設けず、任意の方向を向けた構造にすることである。 【効果】 レンズ等の補助的なものを使用したり、複数
の焦電型赤外線センサユニットを使用したりすることな
しに、焦電型赤外線センサの感度指向特性の広範囲化を
可能とする。
の焦電型赤外線センサユニットを使用したりすることな
しに、広範囲な検知エリアを持つ焦電型赤外線センサを
提供する。 【構成】 複数の赤外線検知部を有する焦電型赤外線セ
ンサにおいて、各赤外線検知部の受光面を同一平面上に
設けず、任意の方向を向けた構造にすることである。 【効果】 レンズ等の補助的なものを使用したり、複数
の焦電型赤外線センサユニットを使用したりすることな
しに、焦電型赤外線センサの感度指向特性の広範囲化を
可能とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、焦電型赤外線センサに
関するものである。
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の方法による焦電型赤外線センサの
構造の一例を図３−ａ）に示す。薄板状に形成した焦電
体基板（２）およびその表裏に設けた対向する電極
（１）から構成される。ここで近年、一つの赤外線セン
サで広範囲な検知エリアを持つものが要求されている。
しかし従来の構造では赤外線検知部（以下、素子と呼ぶ
ことにする）の受光面（３）は単一の平面であるため、
センサの感度指向特性は図３−ｂ）に示すようなもので
あり、その指向特性を広範囲化することは困難であっ
た。このため、レンズ、ミラー等の光学系を用いたり、
複数の赤外線センサユニットを用いる必要があるという
問題点があった。
構造の一例を図３−ａ）に示す。薄板状に形成した焦電
体基板（２）およびその表裏に設けた対向する電極
（１）から構成される。ここで近年、一つの赤外線セン
サで広範囲な検知エリアを持つものが要求されている。
しかし従来の構造では赤外線検知部（以下、素子と呼ぶ
ことにする）の受光面（３）は単一の平面であるため、
センサの感度指向特性は図３−ｂ）に示すようなもので
あり、その指向特性を広範囲化することは困難であっ
た。このため、レンズ、ミラー等の光学系を用いたり、
複数の赤外線センサユニットを用いる必要があるという
問題点があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、レン
ズ、ミラー等の光学系を用いたり、複数の赤外線センサ
ユニットを使用したりすることなしに広範囲な検知エリ
アを持つ焦電型赤外線センサを提供することが、本発明
の解決しようとする課題である。
ズ、ミラー等の光学系を用いたり、複数の赤外線センサ
ユニットを使用したりすることなしに広範囲な検知エリ
アを持つ焦電型赤外線センサを提供することが、本発明
の解決しようとする課題である。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の課題を解
決するためになされたものである。その手段とするとこ
ろは、受光面を曲面により構成するか又は複数の方向を
向いた複数の面で構成する素子を同一基板上に構成する
ことである。
決するためになされたものである。その手段とするとこ
ろは、受光面を曲面により構成するか又は複数の方向を
向いた複数の面で構成する素子を同一基板上に構成する
ことである。
【０００５】
【作用】上記のように構成されている本発明において、
その検知エリアは曲面の法線方向又は複数の面の法線方
向に従来の方法による検知エリアを重ね合わせたような
ものとなる。従って、全体としてみた場合の検知エリア
は従来の方法によるものに比べ、明らかに広範囲なもの
となる。
その検知エリアは曲面の法線方向又は複数の面の法線方
向に従来の方法による検知エリアを重ね合わせたような
ものとなる。従って、全体としてみた場合の検知エリア
は従来の方法によるものに比べ、明らかに広範囲なもの
となる。
【０００６】
【実施例】以下、本発明による焦電型赤外線センサの実
施例を図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明の一
実施例を示す焦電型赤外線センサの断面図、図２は図１
−ａ）の製造方法を示す図である。まず機械的切削例え
ばダイシング法によって図２−ａ）のように（ＰｂＴｉ
Ｏ3−ＰｂＺｒＯ3）系の焦電材料からなる焦電体基板
（２）を加工する。次に表面に電極材料をメッキにより
形成し、さらに受光面（３）の電極材料を機械的研磨す
ることにより図２−ｂ）のように電極（１）を形成す
る。そして再び機械的切削により図２−ｃ）のように形
成する。以上により本発明による焦電型赤外線センサを
形成する。ここでは焦電体基板（２）の材料としては
（ＰｂＴｉＯ3−ＰｂＺｒＯ3）系のものを用いている
が、他の材料例えばＰｂＴｉＯ3系、ＮｂＴａＯ3系、Ｌ
ｉＴａＯ3系、ＴＧＳ系等の焦電材料であればよく、ま
た結晶状態は、単結晶体、多結晶体のどちらでもよく、
さらにポリマとの複合体でもよい。ここでは各加工にダ
イシング法を用いているが、この他にエッチング、レー
ザ加工、イオンミリング等の方法によるものでもよく、
同等の効果が得られる。ここでは電極（１）の形成はメ
ッキを用いているが、蒸着等の気相薄膜形成方法による
ものでもよい。ここでは受光面（３）部分の電極材料の
除去には機械的研磨を用いているが、他の方法例えばエ
ッチング等によるものでもよく、またリフトオフ法、マ
スクを用いた気相薄膜形成方法等により最初から形成し
ない場合でもよい。この場合は素子の基本となる構造と
して特願平３−１０３１３５号として本出願人が出願し
たものに記載されている構造を用いているが、図１−
ｂ）に示すように焦電体基板（２）の裏面に凹部を設
け、その内面と受光面とにそれぞれ電極（１）を設けて
従来の方法のような構造としてもよい。ここでは各受光
面（３）は平面であるが曲面でもよい。また図１−ｂ）
に示すように受光面が１つの曲面となっていてもよい。
各素子の配線方法は、ここでは直列接続としたが、並列
接続等にしたものでもよく、また基板上で配線しても、
外部で配線してもよく、素子の配線方法によって、さま
ざまな応用に対処することができる。
施例を図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明の一
実施例を示す焦電型赤外線センサの断面図、図２は図１
−ａ）の製造方法を示す図である。まず機械的切削例え
ばダイシング法によって図２−ａ）のように（ＰｂＴｉ
Ｏ3−ＰｂＺｒＯ3）系の焦電材料からなる焦電体基板
（２）を加工する。次に表面に電極材料をメッキにより
形成し、さらに受光面（３）の電極材料を機械的研磨す
ることにより図２−ｂ）のように電極（１）を形成す
る。そして再び機械的切削により図２−ｃ）のように形
成する。以上により本発明による焦電型赤外線センサを
形成する。ここでは焦電体基板（２）の材料としては
（ＰｂＴｉＯ3−ＰｂＺｒＯ3）系のものを用いている
が、他の材料例えばＰｂＴｉＯ3系、ＮｂＴａＯ3系、Ｌ
ｉＴａＯ3系、ＴＧＳ系等の焦電材料であればよく、ま
た結晶状態は、単結晶体、多結晶体のどちらでもよく、
さらにポリマとの複合体でもよい。ここでは各加工にダ
イシング法を用いているが、この他にエッチング、レー
ザ加工、イオンミリング等の方法によるものでもよく、
同等の効果が得られる。ここでは電極（１）の形成はメ
ッキを用いているが、蒸着等の気相薄膜形成方法による
ものでもよい。ここでは受光面（３）部分の電極材料の
除去には機械的研磨を用いているが、他の方法例えばエ
ッチング等によるものでもよく、またリフトオフ法、マ
スクを用いた気相薄膜形成方法等により最初から形成し
ない場合でもよい。この場合は素子の基本となる構造と
して特願平３−１０３１３５号として本出願人が出願し
たものに記載されている構造を用いているが、図１−
ｂ）に示すように焦電体基板（２）の裏面に凹部を設
け、その内面と受光面とにそれぞれ電極（１）を設けて
従来の方法のような構造としてもよい。ここでは各受光
面（３）は平面であるが曲面でもよい。また図１−ｂ）
に示すように受光面が１つの曲面となっていてもよい。
各素子の配線方法は、ここでは直列接続としたが、並列
接続等にしたものでもよく、また基板上で配線しても、
外部で配線してもよく、素子の配線方法によって、さま
ざまな応用に対処することができる。
【０００７】図４に本発明による焦電型赤外線センサの
感度指向特性を示す。点線で示すような従来の方法によ
る指向特性を重ね合わせた実線のような指向特性となっ
ており、従来のものに比べ明らかに指向特性が広範囲な
ものになっていることが確認できる。
感度指向特性を示す。点線で示すような従来の方法によ
る指向特性を重ね合わせた実線のような指向特性となっ
ており、従来のものに比べ明らかに指向特性が広範囲な
ものになっていることが確認できる。
【０００８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明はレンズ等
の補助的なものを使用したり、複数の赤外線センサを使
用したりすることなしに焦電型赤外線センサの感度指向
特性の広範囲化を可能とする点で工業的価値がある。ま
た、多様化する熱型赤外線センサの応用に対応でき、工
業的価値は大きい。
の補助的なものを使用したり、複数の赤外線センサを使
用したりすることなしに焦電型赤外線センサの感度指向
特性の広範囲化を可能とする点で工業的価値がある。ま
た、多様化する熱型赤外線センサの応用に対応でき、工
業的価値は大きい。
【０００９】
【図１】本発明による焦電型赤外線センサの一実施例の
構造を示す断面図である。
構造を示す断面図である。
【図２】本発明による焦電型赤外線センサの一実施例の
製造方法を示す図である。
製造方法を示す図である。
【図３】従来の方法による焦電型赤外線センサの構造を
示す断面図と感度指向特性を示す図である。
示す断面図と感度指向特性を示す図である。
【図４】本発明による焦電型赤外線センサの一実施例の
感度指向特性を示す図である。
感度指向特性を示す図である。
【符合の説明】 １ 電極 ２ 焦電体基板 ３ 受光面
Claims (2)
- 【請求項１】 焦電型赤外線センサにおいて、その赤外
線検知部の受光面が複数の方向を向いた複数の面で構成
されることを特徴とする焦電型赤外線センサ。 - 【請求項２】 焦電型赤外線センサにおいて、その赤外
線検知部の受光面が曲面であることを特徴とする焦電型
赤外線センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15965491A JPH05346346A (ja) | 1991-06-03 | 1991-06-03 | 焦電型赤外線センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15965491A JPH05346346A (ja) | 1991-06-03 | 1991-06-03 | 焦電型赤外線センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05346346A true JPH05346346A (ja) | 1993-12-27 |
Family
ID=15698434
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15965491A Pending JPH05346346A (ja) | 1991-06-03 | 1991-06-03 | 焦電型赤外線センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05346346A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8530841B2 (en) | 2009-05-18 | 2013-09-10 | Nec Corporation | Infrared sensor, electronic device, and manufacturing method of infrared sensor |
| US8921791B2 (en) | 2010-02-16 | 2014-12-30 | Nec Corporation | Infrared ray sensor, infrared ray detection device, and electronic apparatus |
-
1991
- 1991-06-03 JP JP15965491A patent/JPH05346346A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8530841B2 (en) | 2009-05-18 | 2013-09-10 | Nec Corporation | Infrared sensor, electronic device, and manufacturing method of infrared sensor |
| US8921791B2 (en) | 2010-02-16 | 2014-12-30 | Nec Corporation | Infrared ray sensor, infrared ray detection device, and electronic apparatus |
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