JPH05346355A - 光ファイバ温度分布センサ装置 - Google Patents
光ファイバ温度分布センサ装置Info
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- JPH05346355A JPH05346355A JP4156774A JP15677492A JPH05346355A JP H05346355 A JPH05346355 A JP H05346355A JP 4156774 A JP4156774 A JP 4156774A JP 15677492 A JP15677492 A JP 15677492A JP H05346355 A JPH05346355 A JP H05346355A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、被測定物の表面温度分布を計測する
際の位置の同定を容易に行なえることを最も主要な目的
としている。 【構成】被測定物上に敷設された測定用光ファイバに光
短パルスを入射し、測定用光ファイバ内のラマン効果に
より生じる後方散乱光の到達時間と散乱光強度から測定
用光ファイバ上の温度分布を計測する光ファイバ温度分
布センサにおいて、被測定物の2次元的な放射温度分布
である熱画像を測定可能な熱画像手段と、熱画像手段に
よる被測定物の温度分布データを取込み、この温度分布
データを基に、測定用光ファイバ上の温度分布データか
ら被測定物上の複数の任意の点における温度データへ変
換/近似変換するための変換係数を算出する機能、この
変換係数を用いて、測定用光ファイバ上の温度分布デー
タを被測定物上の任意の点上の温度分布に変換し出力す
る機能を有する画像処理手段を備えたことを特徴として
いる。
際の位置の同定を容易に行なえることを最も主要な目的
としている。 【構成】被測定物上に敷設された測定用光ファイバに光
短パルスを入射し、測定用光ファイバ内のラマン効果に
より生じる後方散乱光の到達時間と散乱光強度から測定
用光ファイバ上の温度分布を計測する光ファイバ温度分
布センサにおいて、被測定物の2次元的な放射温度分布
である熱画像を測定可能な熱画像手段と、熱画像手段に
よる被測定物の温度分布データを取込み、この温度分布
データを基に、測定用光ファイバ上の温度分布データか
ら被測定物上の複数の任意の点における温度データへ変
換/近似変換するための変換係数を算出する機能、この
変換係数を用いて、測定用光ファイバ上の温度分布デー
タを被測定物上の任意の点上の温度分布に変換し出力す
る機能を有する画像処理手段を備えたことを特徴として
いる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、被測定物上に敷設され
た測定用光ファイバに光短パルスを入射し、測定用光フ
ァイバ内のラマン効果によって生じる後方散乱光を利用
して、測定用光ファイバ上の温度分布を計測する光ファ
イバ温度分布センサに係り、特に被測定物の表面温度分
布を計測する際の位置の同定を容易に行ない得るように
した光ファイバ温度分布センサ装置に関するものであ
る。
た測定用光ファイバに光短パルスを入射し、測定用光フ
ァイバ内のラマン効果によって生じる後方散乱光を利用
して、測定用光ファイバ上の温度分布を計測する光ファ
イバ温度分布センサに係り、特に被測定物の表面温度分
布を計測する際の位置の同定を容易に行ない得るように
した光ファイバ温度分布センサ装置に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】一般に、光ファイバの後方散乱光を利用
した温度分布センサは、光ファイバに光短パルスを入射
し、その入射パルス光によって励起されるさまざまな散
乱光が散乱場所の物理量の情報を含んでいることを利用
したものである。
した温度分布センサは、光ファイバに光短パルスを入射
し、その入射パルス光によって励起されるさまざまな散
乱光が散乱場所の物理量の情報を含んでいることを利用
したものである。
【0003】すなわち、散乱光のうち、励起パルスの進
行方向と逆の後方に伝搬する後方散乱光を検出すると、
検出部への到達時間と散乱光信号から、光ファイバ上の
物理量分布を計測することができるものである。中で
も、ラマン散乱光を利用する温度分布センサは、散乱過
程自体が温度に依存した現象であり、本発明ではこの温
度分布センサを対象として説明する。
行方向と逆の後方に伝搬する後方散乱光を検出すると、
検出部への到達時間と散乱光信号から、光ファイバ上の
物理量分布を計測することができるものである。中で
も、ラマン散乱光を利用する温度分布センサは、散乱過
程自体が温度に依存した現象であり、本発明ではこの温
度分布センサを対象として説明する。
【0004】この種の温度分布センサでは、位置の検出
と物理量の計測の2種類の処理を必要とするが、従来の
光ファイバ温度分布センサでは、位置の検出のために
は、散乱光の到達時間から距離として計測するのみであ
る。この場合、到達時間は、いわゆる光路長に相当する
わけで、実際の距離とは光ファイバの屈折率による補正
が必要となる。現在の光ファイバの製造技術では、十分
な一様性が確保されており、正確に屈折率さえ計測すれ
ば、十分な精度で光ファイバ長を算出することはでき
る。ところで、現実の光ファイバ温度分布センサを考え
た場合、測定に重要な量は距離ではなく位置であること
は明らかである。
と物理量の計測の2種類の処理を必要とするが、従来の
光ファイバ温度分布センサでは、位置の検出のために
は、散乱光の到達時間から距離として計測するのみであ
る。この場合、到達時間は、いわゆる光路長に相当する
わけで、実際の距離とは光ファイバの屈折率による補正
が必要となる。現在の光ファイバの製造技術では、十分
な一様性が確保されており、正確に屈折率さえ計測すれ
ば、十分な精度で光ファイバ長を算出することはでき
る。ところで、現実の光ファイバ温度分布センサを考え
た場合、測定に重要な量は距離ではなく位置であること
は明らかである。
【0005】しかしながら、位置の検出のためには、単
に光ファイバの距離を知るだけでは不足であり、仮に光
ファイバの敷設位置を正確に決めて行なったとしても、
現実のケーブル化された光ファイバでは、余長の問題や
熱膨張の問題によって、位置を正確に決めることは非常
な作業となり、実際のフィールドでは実現性が薄い方法
と言わざるを得ない。
に光ファイバの距離を知るだけでは不足であり、仮に光
ファイバの敷設位置を正確に決めて行なったとしても、
現実のケーブル化された光ファイバでは、余長の問題や
熱膨張の問題によって、位置を正確に決めることは非常
な作業となり、実際のフィールドでは実現性が薄い方法
と言わざるを得ない。
【0006】また、実際に温度が必要とする場所が、光
ファイバの敷設位置と多少ずれている可能性があり、そ
のような場合への解決策は何等提案されていないのが現
状である。
ファイバの敷設位置と多少ずれている可能性があり、そ
のような場合への解決策は何等提案されていないのが現
状である。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
光ファイバ温度分布センサにおいては、被測定物の表面
温度分布を計測する際の位置の同定を行なうことが困難
であるという問題があった。
光ファイバ温度分布センサにおいては、被測定物の表面
温度分布を計測する際の位置の同定を行なうことが困難
であるという問題があった。
【0008】本発明の目的は、被測定物の表面温度分布
を計測する際の位置の同定を容易に行なうことが可能な
極めて信頼性の高い光ファイバ温度分布センサ装置を提
供することにある。
を計測する際の位置の同定を容易に行なうことが可能な
極めて信頼性の高い光ファイバ温度分布センサ装置を提
供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明では、温度分布センサ処理装置により、被測
定物上に敷設された測定用光ファイバに光短パルスを入
射し、測定用光ファイバ内のラマン効果によって生じる
後方散乱光の到達時間と散乱光強度から、測定用光ファ
イバ上の温度分布を計測するようにした光ファイバ温度
分布センサにおいて、被測定物の2次元的な放射温度分
布である熱画像を測定可能な熱画像手段と、熱画像手段
が接続可能に設けられ、当該熱画像手段による被測定物
の温度分布データを取り込み、当該温度分布データを基
に、測定用光ファイバ上の温度分布データから被測定物
上の複数の任意の点における温度データへ変換するまた
は近似変換するための変換係数を算出する機能、および
算出された変換係数を用いて、温度分布センサ処理装置
による測定用光ファイバ上の温度分布データを被測定物
上の任意の点上の温度分布に変換し出力する機能を有す
る画像処理手段とを備えて構成している。
めに本発明では、温度分布センサ処理装置により、被測
定物上に敷設された測定用光ファイバに光短パルスを入
射し、測定用光ファイバ内のラマン効果によって生じる
後方散乱光の到達時間と散乱光強度から、測定用光ファ
イバ上の温度分布を計測するようにした光ファイバ温度
分布センサにおいて、被測定物の2次元的な放射温度分
布である熱画像を測定可能な熱画像手段と、熱画像手段
が接続可能に設けられ、当該熱画像手段による被測定物
の温度分布データを取り込み、当該温度分布データを基
に、測定用光ファイバ上の温度分布データから被測定物
上の複数の任意の点における温度データへ変換するまた
は近似変換するための変換係数を算出する機能、および
算出された変換係数を用いて、温度分布センサ処理装置
による測定用光ファイバ上の温度分布データを被測定物
上の任意の点上の温度分布に変換し出力する機能を有す
る画像処理手段とを備えて構成している。
【0010】
【作用】従って、本発明の光ファイバ温度分布センサ装
置においては、光ファイバ温度分布センサの敷設時や定
期的な検査時には、熱画像手段で測定された被測定物の
温度分布データが画像処理手段に取り込まれ、この温度
分布データに基づいて、測定用光ファイバ上の温度分布
データから被測定物上の複数の任意の点における温度デ
ータへ変換または近似変換するための変換係数が算出さ
れ、その変換係数が画像処理手段内に記憶される(校正
作業)。
置においては、光ファイバ温度分布センサの敷設時や定
期的な検査時には、熱画像手段で測定された被測定物の
温度分布データが画像処理手段に取り込まれ、この温度
分布データに基づいて、測定用光ファイバ上の温度分布
データから被測定物上の複数の任意の点における温度デ
ータへ変換または近似変換するための変換係数が算出さ
れ、その変換係数が画像処理手段内に記憶される(校正
作業)。
【0011】一方、被測定物の表面温度分布の計測時に
は、画像処理手段により、上記校正時に算出された変換
係数を用いて、温度分布センサ処理装置で測定された測
定用光ファイバ上の温度分布データが、被測定物上の任
意の点上の温度分布に変換して出力される。
は、画像処理手段により、上記校正時に算出された変換
係数を用いて、温度分布センサ処理装置で測定された測
定用光ファイバ上の温度分布データが、被測定物上の任
意の点上の温度分布に変換して出力される。
【0012】これにより、実際に光ファイバ温度分布セ
ンサが被測定物に敷設された状態で温度と位置の情報が
取り込まれるため、従来の光ファイバ温度分布センサで
は困難だった位置の同定を容易に行なうことができる。
ンサが被測定物に敷設された状態で温度と位置の情報が
取り込まれるため、従来の光ファイバ温度分布センサで
は困難だった位置の同定を容易に行なうことができる。
【0013】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
して詳細に説明する。
して詳細に説明する。
【0014】図1は、本発明による光ファイバ温度分布
センサ装置の全体構成例を示すブロック図である。図1
において、被測定物1には、測定用光ファイバ2を敷設
しており、OTDR法によるラマン散乱温度分布センサ
処理装置3により、測定用光ファイバ2上の温度分布デ
ータ(T1〜Tn)を測定する。すなわち、このラマン
散乱温度分布センサ処理装置3は、測定用光ファイバ2
に光短パルスを入射し、測定用光ファイバ2内のラマン
効果によって生じる後方散乱光の到達時間と散乱光強度
から、測定用光ファイバ2上の温度分布を計測するもの
である。
センサ装置の全体構成例を示すブロック図である。図1
において、被測定物1には、測定用光ファイバ2を敷設
しており、OTDR法によるラマン散乱温度分布センサ
処理装置3により、測定用光ファイバ2上の温度分布デ
ータ(T1〜Tn)を測定する。すなわち、このラマン
散乱温度分布センサ処理装置3は、測定用光ファイバ2
に光短パルスを入射し、測定用光ファイバ2内のラマン
効果によって生じる後方散乱光の到達時間と散乱光強度
から、測定用光ファイバ2上の温度分布を計測するもの
である。
【0015】また、画像処理部4は、ラマン散乱温度分
布センサ処理装置3からの温度分布データを基に線形演
算を施し、本装置で欲する測定点の温度分布データに変
換して、グラフィック出力等のマンマシンインタフェー
ス5に結果を出力するものである。
布センサ処理装置3からの温度分布データを基に線形演
算を施し、本装置で欲する測定点の温度分布データに変
換して、グラフィック出力等のマンマシンインタフェー
ス5に結果を出力するものである。
【0016】さらに、画像処理部4には、熱画像装置6
を接続可能として熱画像を取り込み、ラマン散乱温度分
布センサ処理装置3の温度分布データからの測定を希望
する点の温度分布データへの変換を行なう線形演算の変
換係数を算出するようになっている。
を接続可能として熱画像を取り込み、ラマン散乱温度分
布センサ処理装置3の温度分布データからの測定を希望
する点の温度分布データへの変換を行なう線形演算の変
換係数を算出するようになっている。
【0017】ここでいう熱画像とは、被測定物の2次元
的な温度分布t(x,y)であり、また熱画像装置6
は、例えばサーモグラフィ等の2次元的な放射温度分布
が測定可能なものであり、熱画像撮影装置61と熱画像
信号処理部52とから構成されている。なお、7は画像
処理部4で算出された変換係数を記憶するためのメモリ
である。次に、以上のように構成した本実施例の光ファ
イバ温度分布センサ装置の作用について、図2を用いて
説明する。
的な温度分布t(x,y)であり、また熱画像装置6
は、例えばサーモグラフィ等の2次元的な放射温度分布
が測定可能なものであり、熱画像撮影装置61と熱画像
信号処理部52とから構成されている。なお、7は画像
処理部4で算出された変換係数を記憶するためのメモリ
である。次に、以上のように構成した本実施例の光ファ
イバ温度分布センサ装置の作用について、図2を用いて
説明する。
【0018】図2は、本発明に係るデータ変換の原理を
示す概要図である。なお、ここでは、温度分布センサの
データからの被測定部表面の温度分布センサへの変換の
メカニズムを示している。図1において、ラマン散乱温
度分布センサ処理装置3からは、測定用光ファイバ上の
n個の温度データ
示す概要図である。なお、ここでは、温度分布センサの
データからの被測定部表面の温度分布センサへの変換の
メカニズムを示している。図1において、ラマン散乱温
度分布センサ処理装置3からは、測定用光ファイバ上の
n個の温度データ
【0019】
【数1】 が出力される。また、熱画像装置6により、被測定物1
表面上の温度データが、図2に示すような分布データと
して与えられる。これにより、画像処理部4では、熱画
像装置6の出力から、測定を欲する位置におけるn個の
温度データを選択し、
表面上の温度データが、図2に示すような分布データと
して与えられる。これにより、画像処理部4では、熱画
像装置6の出力から、測定を欲する位置におけるn個の
温度データを選択し、
【0020】
【数2】 が作成される。この温度分布
【0021】
【数3】 は、実際の光ファイバ温度分布センサの温度データ列に
なるべく沿った順番で作成するのが望ましい。
なるべく沿った順番で作成するのが望ましい。
【0022】このようして作成された2つの温度データ
列は、n次元のベクトル変換が可能であると考えられ
る。この場合、変換行列[W]はn×nの要素がある
が、上述のように
列は、n次元のベクトル変換が可能であると考えられ
る。この場合、変換行列[W]はn×nの要素がある
が、上述のように
【0023】
【数4】 の温度データ列をなるべく光ファイバに沿って決めれ
ば、[W]は対角近傍のみの成分となり、演算等が軽減
される。この[W]の要素を決めるためには、異なった
n回の温度分布データ列が必要になる。
ば、[W]は対角近傍のみの成分となり、演算等が軽減
される。この[W]の要素を決めるためには、異なった
n回の温度分布データ列が必要になる。
【0024】このようにして求められた変換行列
[W* ]はメモリ7に保存され、計測時にこの変換行列
[W* ]を用いることにより、画像処理部4では、それ
以後のラマン散乱温度分布センサ処理装置3からの測定
データ列より、測定を欲する点における温度(t1 * 〜
tn * )が求められる。なお、このデータから補間法等
により、温度分布データとして2次元の表示を得ること
もできる。
[W* ]はメモリ7に保存され、計測時にこの変換行列
[W* ]を用いることにより、画像処理部4では、それ
以後のラマン散乱温度分布センサ処理装置3からの測定
データ列より、測定を欲する点における温度(t1 * 〜
tn * )が求められる。なお、このデータから補間法等
により、温度分布データとして2次元の表示を得ること
もできる。
【0025】次に、具体的な実施例として、2点の温度
分布を求める場合を例として以下に説明する。なお、実
際の測定では、測定点はもっと多いものであるが、2点
にしたからといって本発明の本質を何等損なうものでは
ない。図3は、2点の測定モデルの一例を示す概要図で
ある。
分布を求める場合を例として以下に説明する。なお、実
際の測定では、測定点はもっと多いものであるが、2点
にしたからといって本発明の本質を何等損なうものでは
ない。図3は、2点の測定モデルの一例を示す概要図で
ある。
【0026】測定用光ファイバ2上のラマン散乱温度分
布センサ処理装置3による測定データをT1 ,T2 、ま
た熱画像装置6からの測定希望点における温度をt1 ,
t2とし、それぞれ図3上で×と●で示している。両者
のデータ変換は、2×2の行列で次のように書ける。
布センサ処理装置3による測定データをT1 ,T2 、ま
た熱画像装置6からの測定希望点における温度をt1 ,
t2とし、それぞれ図3上で×と●で示している。両者
のデータ変換は、2×2の行列で次のように書ける。
【0027】
【数5】 次に、この変換行列の要素を解く方法の一例として、逆
行列による方法と、最小2乗法による方法を述べる。 (a)逆行列による方法
行列による方法と、最小2乗法による方法を述べる。 (a)逆行列による方法
【0028】行列を完全に解くためには、要素数と等し
い数の方程式が必要となるため、温度分布の状態を変化
させて、ここでは2回データを計測する必要がある。こ
のようにして得られた結果を示すと次のようになる。
い数の方程式が必要となるため、温度分布の状態を変化
させて、ここでは2回データを計測する必要がある。こ
のようにして得られた結果を示すと次のようになる。
【0029】
【数6】 なお、温度の一の位の添字は、測定の回数を示すもので
ある。上記2回の測定結果が示す式を一つに表現する
と、
ある。上記2回の測定結果が示す式を一つに表現する
と、
【0030】
【数7】 となる。変換行列の各要素は、上記式の右辺のラマン散
乱温度分布センサ処理装置3のデータからなる逆行列を
両辺に掛け合わせることによって、
乱温度分布センサ処理装置3のデータからなる逆行列を
両辺に掛け合わせることによって、
【0031】
【数8】 と求められる。
【0032】こうして求められた変換行列を用いること
により、ラマン散乱温度分布センサ処理装置3のデータ
から、下記のように希望する点における温度に変換する
ことができる。
により、ラマン散乱温度分布センサ処理装置3のデータ
から、下記のように希望する点における温度に変換する
ことができる。
【0033】
【数9】 (b)最小2乗法による方法 いま、ラマン散乱温度分布センサ処理装置3のデータか
ら変換された近似温度t1 を
ら変換された近似温度t1 を
【0034】
【数10】 とすると、熱画像装置6からのデータとの残差2乗和S
は、t1 ,t2 についてそれぞれ
は、t1 ,t2 についてそれぞれ
【0035】
【数11】 と表わされる。このSを最小にする値として、各変換行
列の要素毎に偏微分して、
列の要素毎に偏微分して、
【0036】
【数12】 これらから、各要素に対して、正規方程式が導入され
る。そして、この方程式より、各変換行列の要素を解く
ことができる。この方法では、複数のデータの結果から
最もそれらしい値を求め、安定した結果が得られる可能
性が高い。以上の方法で得られた変換行列は、画像処理
部4のメモリ7に記憶され、それ以後の測定で使用され
る。
る。そして、この方程式より、各変換行列の要素を解く
ことができる。この方法では、複数のデータの結果から
最もそれらしい値を求め、安定した結果が得られる可能
性が高い。以上の方法で得られた変換行列は、画像処理
部4のメモリ7に記憶され、それ以後の測定で使用され
る。
【0037】このように、熱画像装置6からのデータを
用いて温度分布センサの1次元的なデータ列の位置ぎめ
を行ない、被測定物2表面の温度分布に変換して表示す
ることができる。なお、この校正作業は、温度分布セン
サの敷設時や定期的な検査時に行なえばよいものであ
り、変換係数の測定後、通常は熱画像装置6は必要がな
い。
用いて温度分布センサの1次元的なデータ列の位置ぎめ
を行ない、被測定物2表面の温度分布に変換して表示す
ることができる。なお、この校正作業は、温度分布セン
サの敷設時や定期的な検査時に行なえばよいものであ
り、変換係数の測定後、通常は熱画像装置6は必要がな
い。
【0038】上述したように、本実施例では、ラマン散
乱温度分布センサ処理装置3により、被測定物1上に敷
設された測定用光ファイバ2に光短パルスを入射し、測
定用光ファイバ2内のラマン効果によって生じる後方散
乱光の到達時間と散乱光強度から、測定用光ファイバ2
上の温度分布を計測するようにした光ファイバ温度分布
センサにおいて、被測定物1の2次元的な放射温度分布
である熱画像を測定可能な熱画像装置6と、熱画像装置
6が接続可能に設けられ、この熱画像装置6による被測
定物1の温度分布データを取り込み、この温度分布デー
タを基に、測定用光ファイバ2上の温度分布データから
被測定物1上の複数の任意の点における温度データへ変
換するまたは近似変換するための変換係数(行列)[W
* ]を算出してメモリ7に保存する機能、およびこの保
存された変換係数を用いて、ラマン散乱温度分布センサ
処理装置3による測定用光ファイバ2上の温度分布デー
タを被測定物1上の任意の点上の温度分布に変換し、マ
ンマシンインタフェース5に結果を出力する機能を有す
る画像処理部4とを備えて構成したものである。
乱温度分布センサ処理装置3により、被測定物1上に敷
設された測定用光ファイバ2に光短パルスを入射し、測
定用光ファイバ2内のラマン効果によって生じる後方散
乱光の到達時間と散乱光強度から、測定用光ファイバ2
上の温度分布を計測するようにした光ファイバ温度分布
センサにおいて、被測定物1の2次元的な放射温度分布
である熱画像を測定可能な熱画像装置6と、熱画像装置
6が接続可能に設けられ、この熱画像装置6による被測
定物1の温度分布データを取り込み、この温度分布デー
タを基に、測定用光ファイバ2上の温度分布データから
被測定物1上の複数の任意の点における温度データへ変
換するまたは近似変換するための変換係数(行列)[W
* ]を算出してメモリ7に保存する機能、およびこの保
存された変換係数を用いて、ラマン散乱温度分布センサ
処理装置3による測定用光ファイバ2上の温度分布デー
タを被測定物1上の任意の点上の温度分布に変換し、マ
ンマシンインタフェース5に結果を出力する機能を有す
る画像処理部4とを備えて構成したものである。
【0039】従って、熱画像装置6は、光ファイバ温度
分布センサが実際に被測定物1に敷設された状態で温度
と位置の情報を取り込むため、従来の光ファイバ温度分
布センサでは困難であった位置の同定を極めて容易に行
なうことが可能となる。また、1次元分布でしかない光
ファイバ温度分布センサのデータを、多次元分布情報に
変換することが可能となる。さらに、この際、測定用光
ファイバ2の曲がり、たわみ等があっても、温度分布変
換にはそれらの効果も補正されて自動的に組み込むこと
が可能となる。さらにまた、測定用光ファイバ2の位置
と測定を希望する位置とが多少異なっていても、本実施
例ではそれも補間する形で修正することが可能となる。
尚、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、次
のようにしても実施できるものである。 (a)最小2乗法等の近似法を使用する場合、ラマン散
乱温度分布センサ処理装置3のデータ数と熱画像装置6
のデータ数は等しい必要がない。
分布センサが実際に被測定物1に敷設された状態で温度
と位置の情報を取り込むため、従来の光ファイバ温度分
布センサでは困難であった位置の同定を極めて容易に行
なうことが可能となる。また、1次元分布でしかない光
ファイバ温度分布センサのデータを、多次元分布情報に
変換することが可能となる。さらに、この際、測定用光
ファイバ2の曲がり、たわみ等があっても、温度分布変
換にはそれらの効果も補正されて自動的に組み込むこと
が可能となる。さらにまた、測定用光ファイバ2の位置
と測定を希望する位置とが多少異なっていても、本実施
例ではそれも補間する形で修正することが可能となる。
尚、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、次
のようにしても実施できるものである。 (a)最小2乗法等の近似法を使用する場合、ラマン散
乱温度分布センサ処理装置3のデータ数と熱画像装置6
のデータ数は等しい必要がない。
【0040】(b)最小2乗法は近似法の一例であり、
他の近似法、例えばミニマックス法を使用したり、ある
いは高次項を導入して近似の程度を上げるようにするこ
とも可能である。 (c)全体のデータに対して行なわなくても、影響を及
ぼしていると思われる近傍のデータだけを使用して、区
分的に近似するようにすることも可能である。
他の近似法、例えばミニマックス法を使用したり、ある
いは高次項を導入して近似の程度を上げるようにするこ
とも可能である。 (c)全体のデータに対して行なわなくても、影響を及
ぼしていると思われる近傍のデータだけを使用して、区
分的に近似するようにすることも可能である。
【0041】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、被
測定物の2次元的な放射温度分布である熱画像を測定可
能な熱画像手段による被測定物の温度分布データを取り
込み、当該温度分布データを基に、測定用光ファイバ上
の温度分布データから被測定物上の複数の任意の点にお
ける温度データへ変換するまたは近似変換するための変
換係数を算出し、この算出された変換係数を用いて、温
度分布センサ処理装置による測定用光ファイバ上の温度
分布データを被測定物上の任意の点上の温度分布に変換
し出力するようにしたので、被測定物の表面温度分布を
計測する際の位置の同定を容易に行なうことが可能な極
めて信頼性の高い光ファイバ温度分布センサ装置が提供
できる。
測定物の2次元的な放射温度分布である熱画像を測定可
能な熱画像手段による被測定物の温度分布データを取り
込み、当該温度分布データを基に、測定用光ファイバ上
の温度分布データから被測定物上の複数の任意の点にお
ける温度データへ変換するまたは近似変換するための変
換係数を算出し、この算出された変換係数を用いて、温
度分布センサ処理装置による測定用光ファイバ上の温度
分布データを被測定物上の任意の点上の温度分布に変換
し出力するようにしたので、被測定物の表面温度分布を
計測する際の位置の同定を容易に行なうことが可能な極
めて信頼性の高い光ファイバ温度分布センサ装置が提供
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による光ファイバ温度分布センサ装置の
一実施例を示すブロック図。
一実施例を示すブロック図。
【図2】同実施例におけるデータ変換の原理を示す概要
図。
図。
【図3】同実施例における2点の測定モデルの一例を示
す概要図。
す概要図。
1…被測定物、2…測定用光ファイバ、3…ラマン散乱
温度分布センサ処理装置、4…画像処理部、5…マンマ
シンインタフェース、6…熱画像装置、7…メモリ。
温度分布センサ処理装置、4…画像処理部、5…マンマ
シンインタフェース、6…熱画像装置、7…メモリ。
Claims (1)
- 【請求項1】 温度分布センサ処理装置により、被測定
物上に敷設された測定用光ファイバに光短パルスを入射
し、前記測定用光ファイバ内のラマン効果によって生じ
る後方散乱光の到達時間と散乱光強度から、前記測定用
光ファイバ上の温度分布を計測するようにした光ファイ
バ温度分布センサにおいて、 前記被測定物の2次元的な放射温度分布である熱画像を
測定可能な熱画像手段と、 前記熱画像手段が接続可能に設けられ、当該熱画像手段
による被測定物の温度分布データを取り込み、当該温度
分布データを基に、前記測定用光ファイバ上の温度分布
データから前記被測定物上の複数の任意の点における温
度データへ変換するまたは近似変換するための変換係数
を算出する機能、および前記算出された変換係数を用い
て、前記温度分布センサ処理装置による測定用光ファイ
バ上の温度分布データを前記被測定物上の任意の点上の
温度分布に変換し出力する機能を有する画像処理手段
と、 を備えて成ることを特徴とする光ファイバ温度分布セン
サ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4156774A JPH05346355A (ja) | 1992-06-16 | 1992-06-16 | 光ファイバ温度分布センサ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4156774A JPH05346355A (ja) | 1992-06-16 | 1992-06-16 | 光ファイバ温度分布センサ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05346355A true JPH05346355A (ja) | 1993-12-27 |
Family
ID=15635026
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4156774A Pending JPH05346355A (ja) | 1992-06-16 | 1992-06-16 | 光ファイバ温度分布センサ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05346355A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4849145A (en) * | 1985-04-15 | 1989-07-18 | Hermann Hirsch | Process for the production of material having at least two layers |
| CN107850495A (zh) * | 2016-04-19 | 2018-03-27 | 东京毅力科创株式会社 | 温度测量用基板以及温度测量系统 |
| KR20210029136A (ko) * | 2018-07-12 | 2021-03-15 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 온도 측정 센서, 온도 측정 시스템, 및 온도 측정 방법 |
| CN119374756A (zh) * | 2024-10-25 | 2025-01-28 | 广东汇通信息科技股份有限公司 | 一种基于光纤传感器的电力传输设备故障监测系统 |
-
1992
- 1992-06-16 JP JP4156774A patent/JPH05346355A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4849145A (en) * | 1985-04-15 | 1989-07-18 | Hermann Hirsch | Process for the production of material having at least two layers |
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| KR20180133422A (ko) | 2016-04-19 | 2018-12-14 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 온도 측정용 기판 및 온도 측정 시스템 |
| CN107850495B (zh) * | 2016-04-19 | 2020-06-30 | 东京毅力科创株式会社 | 温度测量用基板以及温度测量系统 |
| US11035741B2 (en) | 2016-04-19 | 2021-06-15 | Tokyo Electron Limited | Temperature measurement substrate and temperature measurement system |
| KR20210029136A (ko) * | 2018-07-12 | 2021-03-15 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 온도 측정 센서, 온도 측정 시스템, 및 온도 측정 방법 |
| CN119374756A (zh) * | 2024-10-25 | 2025-01-28 | 广东汇通信息科技股份有限公司 | 一种基于光纤传感器的电力传输设备故障监测系统 |
| CN119374756B (zh) * | 2024-10-25 | 2025-07-18 | 广东汇通信息科技股份有限公司 | 一种基于光纤传感器的电力传输设备故障监测系统 |
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