JPH0534818B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は、受け渡し技術、特に、板形状物を受
け渡す技術に関し、例えば、ホトマスク製造装置
内の受け渡しおよび半導体製造装置において、ホ
トマスクの描画装置や露光装置に受け渡すのに使
用して有効な技術に関する。

〔背景技術〕

ホトマスク製造装置における受け渡しおよび半
導体製造装置においてホトマスクを描画装置や露
光装置における描画または露光ステージ等に搬送
し受け渡す装置として、ベルトまたはエアコンベ
アからなるものが、考えられる。

しかし、ベルトコンベアからなる装置において
は、マスク裏面中央部にベルトが直接接触するた
め、異物付着の原因となる。また、エアコンベア
からなる装置においては、マスクと停止機構とが
衝突するため、損傷の原因となるという問題点が
あることが、本発明者によつて明らかにされた。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、異物の付着や損傷の発生を防
止することができる受け渡し技術を提供すること
にある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特
徴は、本明細書の記述および添付図面から明らか
になるであろう。

〔発明の概要〕

本願において開示される発明のうち代表的なも
のの概要を簡単に説明すれば、次の通りである。

すなわち、略環状に配されて互いに開閉する一
対のハンドに少なくとも１個を回動自在にして複
数の保持部材を設けることにより、板形状物の周
辺部を各保時部材によつて下から支持して保持す
るようになし、中央部裏面への接触や位置決め時
を衝突等を回避するようにしたものである。

実施例 １ 第１図は本発明の一実施例であるマスクの受け
渡し装置を示す斜視図、第２図〜第６図は作用を
説明するための各説明図である。

本実施例において、この受け渡し装置は上下一
対のガイドレール１を備えており、このガイドレ
ール１は描画装置や露光装置等における所定ステ
ージと前処理工程またはマスク格納場所との間の
ような所望のステーシヨン（図示せず）間に敷設
されている。ガイドレール１には移動体２が摺動
自在に支持されており、移動体２はガイドレール
１に沿つて張設されモータ４に走行される巻き掛
け装置３により往復移動されるようになつてい
る。移動体２には上下動用エアシリンダ装置５が
搭載されており、このシリンダ装置５は移動体２
の上方において一対のガイドレール６を上下動さ
せるようになつている。この第２ガイドレール６
は第１ガイドレール１に対して略45度傾斜するよ
うに敷設されており、第２ガイドレール６には前
後一対の移動体７ａ，７ｂが摺動自在に支持され
ている。両移動体７ａ，７ｂとの間には開閉用エ
アシリンダ装置８と位置決め用エアシリンダ装置
９とが介設されており、開閉用シリンダ装置８は
両移動体７ａと７ｂとを接離移動させるように、
また位置決め用エアシリンダ装置９は両移動体７
ａと７ｂとの間隔を規制するようになつている。

両移動体７ａ，７ｂには一対のアーム１０ａ，
１０ｂが第１ガイドレール１と略直角方向に配さ
れてそれぞれ固着されており、両アーム１０ａ，
１０ｂの先端には一対のハンド１１ａ，１１ｂが
固着されている。両ハンド１１ａ，１１ｂは開閉
用移動体７ａ，７ｂが閉じた状態において略円環
形状を構成するように略半円弧形状にそれぞれ形
成されている。両ハンド１１ａ，１１ｂには４個
の保持部材１２ａ〜１２ｄが開閉移動体７ａ，７
ｂが閉じた状態において互いに略90度の位相差を
もつて位置するように配設されており、１個の保
持部材１２ｄはハンド１１ｂの上面において回動
するように軸支されている。各保持部材１２ａ〜
１２ｄの互いに向き合う保持面１３ａ〜１３ｂは
３段の階段形状をなすよう形成されている。

次に作用を説明する。

マスク１４を受け取る際、第２図に示されてい
るように、両ハンド１１ａ，１１ｂを開かれた状
態において、各保持部材１２ａ〜１２ｄはマスク
１４の四方から各辺に近づいて行く。このとき、
開閉用シリンダ装置８の短縮作動により、両移動
体７ａと７ｂが互いに接近するように閉じられて
行くが、ガイドレール６とアーム１０ａ，１０ｂ
とは略45度の開き角をもつているため、ハンド１
１ａ，１１ｂの閉じ移動は、第２図に矢印で示さ
れているように、各保持部材１２ａ〜１２ｄがマ
スク１４の各辺に略45度の傾斜角を持つて接近さ
せて行くようになる。

位置決めシリンダ装置９により規制される位置
まで閉じた時、第３図に示されているように、各
保持部材１２ａ〜１２ｄはマスク１４の四辺に当
接してその階段形状の保持部１３ａ〜１３ｄによ
りマスク１４を支持した状態になる。このとき、
第４図に示されているように、マスク１４の中心
線が各保持部１２ａ〜１２ｄの中心線に対して傾
斜していた場合、マスク１４の外縁が各保持部材
１２ａ〜１２ｄの側壁面に点接触し、その接触点
がセンタからずれることによりずれに応じたモー
メントが生じてマスク１４を回転させることにな
るため、最終的に、マスク１４の中心線は第３図
に示されているように各保持部材１２ａ〜１２ｄ
の中心線に一致される状態になる。したがつて、
マスク１４はそのXY方向の位置とθ方向の姿勢
とを適圧に調整されることになる。

各保持部材１２ａ〜１２ｄは、第３図および第
５図に示されているように、マスク１４の外径寸
法に応じた内径寸法を形成する段部においてマス
ク１４の側縁部を支持する状態になる。このた
め、位置決めシリンダ装置９は開閉用シリンダ装
置８のストロークをこの内径寸法に合うように調
整する。また、内径寸法の合う段部がマスク１４
の高さに一致するように、上下動用シリンダ装置
５はガイドレール６の高さを調整する。これらの
調整や作動は位置センサ等を介してマイクロコン
ピユーを用いて自動的に行わせることが望まし
い。

なお、外径寸法の異なる規格のマスクは、第５
図に想像線で示されているように、小径の場合に
は下段に、大径の場合には上段に保持されること
になる。

また、第６図に示されているように、オリエン
トフラツトを有する円形のマスク１４Ａまたは１
４Ｂを保持する場合、可動保持部材１２ｄが回動
してオリエントフラツトに押接するため、XY方
向の位置およびθ方向の姿勢が修正されることに
なる。

マスク１４を保持した状態において、移動体２
は巻き掛け装置３によりガイドレール１に沿つて
移動され、保持したマスク１４を所定位置まで正
確に搬送する。所定位置に停止すると、開閉用シ
リンダ装置８が伸長作動して両ハンド１１ａ，１
１ｂは開かれるため、各保持部材１２ａ〜１２ｄ
はマスク１４の保持を解除することになる。これ
により、マスク１４は所定のステージに適正な位
置および姿勢に移載される。

実施例 ２ 第７図は本発明の他の実施例を示す部分斜視図
である。

本実施例が前記実施例と異なる点は、両アーム
１０ａ，１０ｂが両移動体７ａ，７ｂに垂直面内
において回動自在に支持されるとともに、両アー
ム１０ａ，１０ｂはエアモータ等の回動駆動装置
（図示せず）により略90度往復回動するように構
成されている点にある。

本実施例において、マスク１４の保持解除は両
アーム１０ａ，１０ｂを下向きに90度以上回動さ
せて両ハンド１１ａ，１１ｂを開くことにより行
われる。すなわち、両ハンド１１ａ，１１ｂが下
向きに開くと、マスク１４を下から支持している
各保持部材１２ａ〜１２ｄの断面が90度回動して
マスク１４の外縁下面から下向きに外方に後退す
るため、マスク１４は各保持部材１２ａ〜１２ｄ
の保持から解放されることになる。

本実施例によれば、各保持部材１２ａ〜１２ｄ
の支持面が下向きに外方向に回動することによ
り、マスク１４ほ保持解除が行なわれるため、解
除時における支持面とマスク１４下面とのこすり
合がなくなり、こすれ合による塵の発生や位置お
よび姿勢のずれが防止される。

〔効果〕

(1) 互いに開閉する一対のハンドに複数の保持部
材を設けることにより、板形状物の周辺部を各
保持部材によつて下から支えて保持することが
できるため、板形状物裏面への接触へ位置決め
時の衝突等を回避することができ、それらに伴
う異物の付着や損傷の発生を防止することがで
きる。

(2) ハンドに設けられる保持部材の少なくとも１
個を回動自在に取り付けることにより、保持部
材に自由度を持たせることができるため、角形
の板状物に限らず、オリエントフラツトを有す
る円形の板形状物をも取り扱うことができる。

(3) 保持部材の保持部を階段形状に形成すること
により、外径の異なる板形状物を取り扱うこと
ができる。

(4) ハンドルを直角に回動させ得るように構成す
ることにより、保持部材の支持面を下向き外方
に回動させることができるため、保持解除時に
おける板形状物と保持部材とのこすり合いを防
止することができる。

以上本発明者によつてなされた発明を実施例に
もとづき具体的に説明したが、本発明は前期実施
例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱し
ない範囲で種々変更可能であることはいうまでも
ない。

例えは、一対のハンドの開閉機構は、アーム、
移動体、シリンダ装置等により構成するに限らな
い。

〔利用分野〕

以上の説明では主として本発明者によつてなさ
れた発明をその背景となつた利用分野であるホト
マスクの受け渡し装置に適用した場合について説
明したが、それに限定されるものではなく、例え
ば、ウエハやその他の受け渡し装置等に適用でき
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実実施励を示す斜視図、第
２図、第３図、第４図、第５図および第６図はそ
の作用を説明するための各説明図、第７図は本発
明の他の実施例を示す斜視図である。 １，６……ガイドレール、２……移動体、３…
巻き掛け装置、４……モータ、５，８，９……シ
リンダ装置、７ａ，７ｂ……移動体、１０ａ，１
０ｂ……アーム、１１ａ，１１ｂ……ハンド、１
２ａ〜１２ｄ……保持部材、１３ａ〜１３ｄ……
保持部、１４……マスク。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 略環状に配された一対のハンドが径方向に開
   閉自在に設けられ、両ハンドに少なくとも２個の
   保持部材がそれぞれ配されるとともに、少なくと
   も１個の保持部材がハンドと平行面で回動自在に
   取り付けられている受け渡し装置。 ２ 保持部材の保持面が、階段形状に形成されて
   いることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
   の受け渡し装置。 ３ ハンドが直角に回動することを特徴とする特
   許請求の範囲第１項記載の受け渡し装置。