JPH0534925A - プリント配線板の製造方法 - Google Patents
プリント配線板の製造方法Info
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- JPH0534925A JPH0534925A JP3194021A JP19402191A JPH0534925A JP H0534925 A JPH0534925 A JP H0534925A JP 3194021 A JP3194021 A JP 3194021A JP 19402191 A JP19402191 A JP 19402191A JP H0534925 A JPH0534925 A JP H0534925A
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Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 15
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims abstract description 26
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 22
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 abstract description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 10
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- UHYPYGJEEGLRJD-UHFFFAOYSA-N cadmium(2+);selenium(2-) Chemical compound [Se-2].[Cd+2] UHYPYGJEEGLRJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 101100446830 Caenorhabditis elegans flr-4 gene Proteins 0.000 description 1
- 241000511976 Hoya Species 0.000 description 1
- 241001085205 Prenanthella exigua Species 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000005562 fading Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 明るい雰囲気下で作業環境良くプリント配線
板の製造をおこなうことができるようにする。 【構成】 配線基板の表面に被覆した感光性材料に紫外
線を照射することによって露光をおこなう工程を経てプ
リント配線板を製造する。410nm以下の波長領域の
光の透過率が5%以下で且つ430nm以上の波長領域
の光の透過率が80%以上で、しかも410nm〜43
0nmの波長領域の範囲内で透過率が変化する特性を有
するフィルターを通して照明をおこない、この照明下に
おいてプリント配線板の製造の作業をおこなう。黄色に
着色されない白色光の明るい雰囲気下でプリント配線板
の製造作業ができる。
板の製造をおこなうことができるようにする。 【構成】 配線基板の表面に被覆した感光性材料に紫外
線を照射することによって露光をおこなう工程を経てプ
リント配線板を製造する。410nm以下の波長領域の
光の透過率が5%以下で且つ430nm以上の波長領域
の光の透過率が80%以上で、しかも410nm〜43
0nmの波長領域の範囲内で透過率が変化する特性を有
するフィルターを通して照明をおこない、この照明下に
おいてプリント配線板の製造の作業をおこなう。黄色に
着色されない白色光の明るい雰囲気下でプリント配線板
の製造作業ができる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、感光性材料に露光をお
こなう工程を含むプリント配線板の製造方法に関するも
のである。
こなう工程を含むプリント配線板の製造方法に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】プリント配線板の製造は、一般的に次の
ようにしておこなわれる。すなわち、銅張り積層板など
絶縁性板の表面に銅箔等の金属層を積層した配線基板を
用い、この配線基板の金属層の表面にエッチングフォト
レジストやドライフィルムなど感光性材料を積層して被
覆する。この感光性材料は紫外線の照射によって、現像
液に溶解する状態から溶解しない状態になるか、あるは
逆に現像液に溶解しない状態から溶解する状態になるよ
うに反応する材料で形成されている。そして、感光性材
料に回路パターンに対応するパターンで紫外線を照射し
て露光をおこない、このように露光をおこなった後に現
像液で処理して感光性材料のうち形成すべき回路パター
ンとなるべき部分を残して他の部分を溶解除去し、金属
層を部分的に露出させる。この後に、配線基板にエッチ
ング液を作用させて感光性材料で覆われていない部分の
金属層を溶解除去して、金属層の一部を回路パターンと
して残して回路形成をすることによって、プリント配線
板を製造するものである。
ようにしておこなわれる。すなわち、銅張り積層板など
絶縁性板の表面に銅箔等の金属層を積層した配線基板を
用い、この配線基板の金属層の表面にエッチングフォト
レジストやドライフィルムなど感光性材料を積層して被
覆する。この感光性材料は紫外線の照射によって、現像
液に溶解する状態から溶解しない状態になるか、あるは
逆に現像液に溶解しない状態から溶解する状態になるよ
うに反応する材料で形成されている。そして、感光性材
料に回路パターンに対応するパターンで紫外線を照射し
て露光をおこない、このように露光をおこなった後に現
像液で処理して感光性材料のうち形成すべき回路パター
ンとなるべき部分を残して他の部分を溶解除去し、金属
層を部分的に露出させる。この後に、配線基板にエッチ
ング液を作用させて感光性材料で覆われていない部分の
金属層を溶解除去して、金属層の一部を回路パターンと
して残して回路形成をすることによって、プリント配線
板を製造するものである。
【0003】このようにプリント配線板を製造するにあ
たって、感光性材料を用いて紫外線を照射する工程を含
む場合には、紫外線を照射して露光するとき以外に感光
性材料に紫外線が作用することを極力避ける必要があ
る。このために従来からこのようなプリント配線板の製
造は、紫外線をカットした蛍光ランプを具備する照明器
具で照明した室内でおこなわれている。そしてこのよう
な蛍光ランプとして、ランプのバルブの外面に黄色熱収
縮チューブを被覆して紫外線領域を含む500nm以下
の波長の光をカットしたクリーンルーム用蛍光ランプ
(例えば東芝製クリーンルーム用蛍光ランプ「FLR4
0S・Y・NU/M・P」)が従来から提供されてい
る。
たって、感光性材料を用いて紫外線を照射する工程を含
む場合には、紫外線を照射して露光するとき以外に感光
性材料に紫外線が作用することを極力避ける必要があ
る。このために従来からこのようなプリント配線板の製
造は、紫外線をカットした蛍光ランプを具備する照明器
具で照明した室内でおこなわれている。そしてこのよう
な蛍光ランプとして、ランプのバルブの外面に黄色熱収
縮チューブを被覆して紫外線領域を含む500nm以下
の波長の光をカットしたクリーンルーム用蛍光ランプ
(例えば東芝製クリーンルーム用蛍光ランプ「FLR4
0S・Y・NU/M・P」)が従来から提供されてい
る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のような
黄色熱収縮チューブを被覆したクリーンルーム用蛍光ラ
ンプは黄色の光を照射するものであり、しかも黄色熱収
縮チューブで吸収されて可視光の光量が減衰されるため
に明るさも低く(前出の東芝製クリーンルーム用蛍光ラ
ンプの全光束は1720ルーメン)、従ってこの黄色熱
収縮チューブを被覆したクリーンルーム用蛍光ランプを
具備する照明器具で照明をおこなった室内は黄色雰囲気
になると共に薄暗くなり、プリント配線板を製造する作
業環境として劣悪なものになる。このために作業者の疲
労が大きくなって作業ミスも多くなり、しかもチリやホ
コリ等が発見されにくくなって生産歩留りにも問題を生
じるものであった。
黄色熱収縮チューブを被覆したクリーンルーム用蛍光ラ
ンプは黄色の光を照射するものであり、しかも黄色熱収
縮チューブで吸収されて可視光の光量が減衰されるため
に明るさも低く(前出の東芝製クリーンルーム用蛍光ラ
ンプの全光束は1720ルーメン)、従ってこの黄色熱
収縮チューブを被覆したクリーンルーム用蛍光ランプを
具備する照明器具で照明をおこなった室内は黄色雰囲気
になると共に薄暗くなり、プリント配線板を製造する作
業環境として劣悪なものになる。このために作業者の疲
労が大きくなって作業ミスも多くなり、しかもチリやホ
コリ等が発見されにくくなって生産歩留りにも問題を生
じるものであった。
【0005】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、明るい雰囲気下で作業環境良く製造をおこなうこ
とができるプリント配線板の製造方法を提供することを
目的とするものである。
あり、明るい雰囲気下で作業環境良く製造をおこなうこ
とができるプリント配線板の製造方法を提供することを
目的とするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、配線基板の表
面に被覆した感光性材料に紫外線を照射することによっ
て露光をおこなう工程を有するプリント配線板の製造方
法において、410nm以下の波長領域の光の透過率が
5%以下で且つ430nm以上の波長領域の光の透過率
が80%以上で、しかも410nm〜430nmの波長
領域の範囲内で透過率が変化する特性を有するフィルタ
ーを通して照明をおこない、この照明下においてプリン
ト配線板の製造の作業をおこなうことを特徴とするもの
である。
面に被覆した感光性材料に紫外線を照射することによっ
て露光をおこなう工程を有するプリント配線板の製造方
法において、410nm以下の波長領域の光の透過率が
5%以下で且つ430nm以上の波長領域の光の透過率
が80%以上で、しかも410nm〜430nmの波長
領域の範囲内で透過率が変化する特性を有するフィルタ
ーを通して照明をおこない、この照明下においてプリン
ト配線板の製造の作業をおこなうことを特徴とするもの
である。
【0007】
【作用】410nm以下の波長領域の光の透過率が5%
以下で且つ430nm以上の波長領域の光の透過率が8
0%以上で、しかも410nm〜430nmの波長領域
の範囲内で透過率が変化する特性を有するフィルターを
通して照明をおこなうことによって、波長が400nm
以下の紫外線を殆どをカットし、且つ430nm以上の
波長の可視光で照明した雰囲気で作業をおこなうことが
でき、黄色に着色されない明るい雰囲気下でプリント配
線板の製造の作業をおこなうことができる。
以下で且つ430nm以上の波長領域の光の透過率が8
0%以上で、しかも410nm〜430nmの波長領域
の範囲内で透過率が変化する特性を有するフィルターを
通して照明をおこなうことによって、波長が400nm
以下の紫外線を殆どをカットし、且つ430nm以上の
波長の可視光で照明した雰囲気で作業をおこなうことが
でき、黄色に着色されない明るい雰囲気下でプリント配
線板の製造の作業をおこなうことができる。
【0008】
【実施例】以下本発明を実施例によって詳述する。紫外
線は波長が400nm程度以下であり、また可視光の波
長は400nm程度以上である。従って、紫外線をカッ
トするフィルターとしては400nm以下の波長の光を
透過しないものを用いればよいが、感光性材料は400
nmよりも若干大きい波長の光にも影響を受けるおそれ
がある。このために安全を見越して、図1に鎖線で示す
ような、420nm以下の波長領域の光を透過させず、
且つ420nm以上の波長領域の光は遮断しない透過性
能を有するフィルターを用いることが好ましいと考えら
れる。しかし、図1に鎖線で示す透過性能は理想的なも
のであってこのようなフィルターは現実的には存在しな
い。そこで本発明では図1に実線で示すように、410
nm以下の波長領域の光の透過率が5%以下であり、4
30nm以上の波長領域の光の透過率が80%以上であ
り、しかも410nm〜430nmの波長領域の範囲内
で透過率が急激に変化する特性を有するフィルターを用
いるようにしたものである。410nm以下の波長領域
の光の透過率が5%を超えると紫外線のカットが不十分
になり、感光性材料が紫外線によって影響を受けるおそ
れが出てくる。また430nm以上の波長領域の光の透
過率が80%未満であると、可視光の光量が減衰されて
照明が暗くなるおそれがある。そして感光性材料に影響
する光をできるだけカットするためには410nm〜4
30nmの20nm程度の狭い波長の領域で透過率が急
激に変化する分光波形特性を有することが必要である。
線は波長が400nm程度以下であり、また可視光の波
長は400nm程度以上である。従って、紫外線をカッ
トするフィルターとしては400nm以下の波長の光を
透過しないものを用いればよいが、感光性材料は400
nmよりも若干大きい波長の光にも影響を受けるおそれ
がある。このために安全を見越して、図1に鎖線で示す
ような、420nm以下の波長領域の光を透過させず、
且つ420nm以上の波長領域の光は遮断しない透過性
能を有するフィルターを用いることが好ましいと考えら
れる。しかし、図1に鎖線で示す透過性能は理想的なも
のであってこのようなフィルターは現実的には存在しな
い。そこで本発明では図1に実線で示すように、410
nm以下の波長領域の光の透過率が5%以下であり、4
30nm以上の波長領域の光の透過率が80%以上であ
り、しかも410nm〜430nmの波長領域の範囲内
で透過率が急激に変化する特性を有するフィルターを用
いるようにしたものである。410nm以下の波長領域
の光の透過率が5%を超えると紫外線のカットが不十分
になり、感光性材料が紫外線によって影響を受けるおそ
れが出てくる。また430nm以上の波長領域の光の透
過率が80%未満であると、可視光の光量が減衰されて
照明が暗くなるおそれがある。そして感光性材料に影響
する光をできるだけカットするためには410nm〜4
30nmの20nm程度の狭い波長の領域で透過率が急
激に変化する分光波形特性を有することが必要である。
【0009】このようなフィルターとしては各種のもの
が入手可能である。例えば、紫外線吸収材料を分散させ
たガラスフィルターが、HOYA株式会社から「シャー
プカットフィルターY44」として提供されている。こ
のものはCdSとCdSeを溶かし込んだガラスを熱処
理して析出する結晶の粒径と結晶中のCdS/CdSe
比を制御することによって作成されるものであり、図2
に示すような透過率曲線を示す特性を有するものであ
る。また、紫外線吸収材料を分散させたアクリル樹脂等
の透明樹脂フィルターが、誠工特殊硝子株式会社から
「プラスチックシャープカットフィルター」として提供
されている。このものは図3に示すような透過率曲線を
示す特性を有するものである。さらにガラス板等の表面
に真空蒸着で紫外線反射膜および紫外線吸収膜を形成し
たフィルターが、日本真空光学株式会社から「UVカッ
トフィルター」として提供されている。
が入手可能である。例えば、紫外線吸収材料を分散させ
たガラスフィルターが、HOYA株式会社から「シャー
プカットフィルターY44」として提供されている。こ
のものはCdSとCdSeを溶かし込んだガラスを熱処
理して析出する結晶の粒径と結晶中のCdS/CdSe
比を制御することによって作成されるものであり、図2
に示すような透過率曲線を示す特性を有するものであ
る。また、紫外線吸収材料を分散させたアクリル樹脂等
の透明樹脂フィルターが、誠工特殊硝子株式会社から
「プラスチックシャープカットフィルター」として提供
されている。このものは図3に示すような透過率曲線を
示す特性を有するものである。さらにガラス板等の表面
に真空蒸着で紫外線反射膜および紫外線吸収膜を形成し
たフィルターが、日本真空光学株式会社から「UVカッ
トフィルター」として提供されている。
【0010】これらのフィルターはいずれも光源のラン
プから照射される光を通過させるものとして形成される
ものであるが、蛍光ランプにフィルターを膜として直接
設けたものを用いることもできる。図4はその一例の断
面図を示すものであり、蛍光ランプ1のバルブを構成す
るガラス管3の内面に全面に亘って紫外線吸収膜で形成
されるフィルター2を設けると共にさらにその内周に全
面に亘って蛍光物質4を設けることによって形成してあ
る。フィルター2を構成するこの紫外線吸収膜はTiO
2 などで形成されるものであり、蛍光ランプ1から照射
される光のうち410nm以下の紫外線領域の波長は吸
収されてカットされ、430nm以上の可視光領域の波
長は透過されて照明がおこなわれる。このような蛍光ラ
ンプとして、例えば東芝製の紫外線防止用の退色防止用
蛍光ランプ「FLR40S・W・NU/M」などを用い
ることができるものであり、このものは一般の蛍光ラン
プに比較して紫外線出力が1%以下になっており、また
全光束は2800ルーメンと高い。
プから照射される光を通過させるものとして形成される
ものであるが、蛍光ランプにフィルターを膜として直接
設けたものを用いることもできる。図4はその一例の断
面図を示すものであり、蛍光ランプ1のバルブを構成す
るガラス管3の内面に全面に亘って紫外線吸収膜で形成
されるフィルター2を設けると共にさらにその内周に全
面に亘って蛍光物質4を設けることによって形成してあ
る。フィルター2を構成するこの紫外線吸収膜はTiO
2 などで形成されるものであり、蛍光ランプ1から照射
される光のうち410nm以下の紫外線領域の波長は吸
収されてカットされ、430nm以上の可視光領域の波
長は透過されて照明がおこなわれる。このような蛍光ラ
ンプとして、例えば東芝製の紫外線防止用の退色防止用
蛍光ランプ「FLR40S・W・NU/M」などを用い
ることができるものであり、このものは一般の蛍光ラン
プに比較して紫外線出力が1%以下になっており、また
全光束は2800ルーメンと高い。
【0011】本発明では上記のものを単独であるいは組
み合わせて用いて照明装置に組み込んで使用することが
でき、例えば白色(昼白色でもよい)の蛍光ランプを光
源として用いると共にこの蛍光ランプから照射される光
の通路に上記のような各種のフィルターを配置して照明
装置を形成したり、また蛍光ランプとして上記のフィル
ター付きのものを用いると共にさらに上記の各種のフィ
ルターを光の通路に配置して照明装置を形成したりする
こともできるものであり、この照明装置では410nm
以下の波長領域の紫外線をカットした430nm以上の
波長領域の可視光で照明をおこなうことができ、光量が
大きく減衰されるようなことなく、しかも黄色チューブ
を用いる場合のように光源色が黄色になったりすること
なく、明るい白色光で照明をおこなうことができるもの
である。
み合わせて用いて照明装置に組み込んで使用することが
でき、例えば白色(昼白色でもよい)の蛍光ランプを光
源として用いると共にこの蛍光ランプから照射される光
の通路に上記のような各種のフィルターを配置して照明
装置を形成したり、また蛍光ランプとして上記のフィル
ター付きのものを用いると共にさらに上記の各種のフィ
ルターを光の通路に配置して照明装置を形成したりする
こともできるものであり、この照明装置では410nm
以下の波長領域の紫外線をカットした430nm以上の
波長領域の可視光で照明をおこなうことができ、光量が
大きく減衰されるようなことなく、しかも黄色チューブ
を用いる場合のように光源色が黄色になったりすること
なく、明るい白色光で照明をおこなうことができるもの
である。
【0012】そして、この照明装置で照明をおこなうよ
うにした室内(クリーンルーム)で、プリント配線板の
製造をおこなうものである。すなわち、銅張り積層板な
ど絶縁性板の表面に銅箔等の金属層を積層した配線基板
を用い、この配線基板の金属層の表面にエッチングフォ
トレジストやドライフィルムなど感光性材料を積層して
被覆する。そして、感光性材料に回路パターンに対応す
るパターンで紫外線を照射して露光をおこない、このよ
うに露光をおこなった後に現像液で処理して感光性材料
のうち形成すべき回路パターンとなるべき部分を残して
他の部分を溶解除去し、金属層を部分的に露出させる。
この後に、配線基板にエッチング液を作用させて感光性
材料で覆われていない部分の金属層を溶解除去して、金
属層の一部を回路パターンとして残して回路形成をする
ことによって、プリント配線板を製造することができ
る。このプリント配線板の製造の工程を全て上記照明装
置で照明する室内でおこなうようにしてもよいが、感光
性材料を取り扱う工程、少なくとも感光性材料に紫外線
を露光する工程は、紫外線をカットした上記照明装置で
照明する室内でおこなわれる。ここで、室内の照明は上
記のように410nm以下の波長領域の紫外線をカット
した430nm以上の波長領域の可視光でおこなわれる
ために、光源色は白色(昼白色)であって光量が減衰さ
れることもなく、黄色に着色されない白色光の明るい雰
囲気の室内でプリント配線板の製造の作業をおこなうこ
とができるものである。従ってプリント配線板を製造す
る作業環境が通常のオフィース程度の快適なものとなっ
て、作業者の疲労を軽減して作業ミスの発生を少なくす
ることができると共に、しかもチリやホコリ等の発見率
も向上して不良率を低減することができるものである。
うにした室内(クリーンルーム)で、プリント配線板の
製造をおこなうものである。すなわち、銅張り積層板な
ど絶縁性板の表面に銅箔等の金属層を積層した配線基板
を用い、この配線基板の金属層の表面にエッチングフォ
トレジストやドライフィルムなど感光性材料を積層して
被覆する。そして、感光性材料に回路パターンに対応す
るパターンで紫外線を照射して露光をおこない、このよ
うに露光をおこなった後に現像液で処理して感光性材料
のうち形成すべき回路パターンとなるべき部分を残して
他の部分を溶解除去し、金属層を部分的に露出させる。
この後に、配線基板にエッチング液を作用させて感光性
材料で覆われていない部分の金属層を溶解除去して、金
属層の一部を回路パターンとして残して回路形成をする
ことによって、プリント配線板を製造することができ
る。このプリント配線板の製造の工程を全て上記照明装
置で照明する室内でおこなうようにしてもよいが、感光
性材料を取り扱う工程、少なくとも感光性材料に紫外線
を露光する工程は、紫外線をカットした上記照明装置で
照明する室内でおこなわれる。ここで、室内の照明は上
記のように410nm以下の波長領域の紫外線をカット
した430nm以上の波長領域の可視光でおこなわれる
ために、光源色は白色(昼白色)であって光量が減衰さ
れることもなく、黄色に着色されない白色光の明るい雰
囲気の室内でプリント配線板の製造の作業をおこなうこ
とができるものである。従ってプリント配線板を製造す
る作業環境が通常のオフィース程度の快適なものとなっ
て、作業者の疲労を軽減して作業ミスの発生を少なくす
ることができると共に、しかもチリやホコリ等の発見率
も向上して不良率を低減することができるものである。
【0013】
【発明の効果】上記のように本発明は、410nm以下
の波長領域の光の透過率が5%以下で且つ430nm以
上の波長領域の光の透過率が80%以上で、しかも41
0nm〜430nmの波長領域の範囲内で透過率が変化
する特性を有するフィルターを通して照明をおこなうよ
うにしたので、照明は410nm以下の波長領域の紫外
線をカットした430nm以上の波長領域の可視光でお
こなうことができ、黄色に着色されない白色光の明るい
雰囲気の室内でプリント配線板の製造の作業をおこなう
ことができるものである。
の波長領域の光の透過率が5%以下で且つ430nm以
上の波長領域の光の透過率が80%以上で、しかも41
0nm〜430nmの波長領域の範囲内で透過率が変化
する特性を有するフィルターを通して照明をおこなうよ
うにしたので、照明は410nm以下の波長領域の紫外
線をカットした430nm以上の波長領域の可視光でお
こなうことができ、黄色に着色されない白色光の明るい
雰囲気の室内でプリント配線板の製造の作業をおこなう
ことができるものである。
【図1】本発明において用いるフィルターの透過率と光
の波長との関係を示すグラフである。
の波長との関係を示すグラフである。
【図2】本発明において用いるフィルターの一例の透過
率と光の波長との関係を示すグラフである。
率と光の波長との関係を示すグラフである。
【図3】本発明において用いるフィルターの他の一例の
透過率と光の波長との関係を示すグラフである。
透過率と光の波長との関係を示すグラフである。
【図4】本発明において用いるフィルター付きの蛍光ラ
ンプの一例を示す断面図である。
ンプの一例を示す断面図である。
1 蛍光ランプ 2 フィルター
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項1】 配線基板の表面に被覆した感光性材料に
紫外線を照射することによって露光をおこなう工程を有
するプリント配線板の製造方法において、410nm以
下の波長領域の光の透過率が5%以下で且つ430nm
以上の波長領域の光の透過率が80%以上で、しかも4
10nm〜430nmの波長領域の範囲内で透過率が変
化する特性を有するフィルターを通して照明をおこな
い、この照明下においてプリント配線板の製造の作業を
おこなうことを特徴とするプリント配線板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3194021A JPH0534925A (ja) | 1991-08-02 | 1991-08-02 | プリント配線板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3194021A JPH0534925A (ja) | 1991-08-02 | 1991-08-02 | プリント配線板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0534925A true JPH0534925A (ja) | 1993-02-12 |
Family
ID=16317626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3194021A Pending JPH0534925A (ja) | 1991-08-02 | 1991-08-02 | プリント配線板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0534925A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010049987A (ja) * | 2008-08-22 | 2010-03-04 | Rohm Co Ltd | フォトレジストを使用する製造システムおよびその照明光源 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57132665A (en) * | 1981-02-06 | 1982-08-17 | Toshiba Corp | Fluorescent lamp |
| JPS61250959A (ja) * | 1985-04-30 | 1986-11-08 | Mitsubishi Electric Corp | 螢光ランプ |
| JPS61250958A (ja) * | 1985-04-30 | 1986-11-08 | Iwasaki Electric Co Ltd | メタルハライドランプ |
| JPS63213253A (ja) * | 1987-02-27 | 1988-09-06 | Ushio Inc | 発光管用石英 |
| JPH02172154A (ja) * | 1988-12-26 | 1990-07-03 | Hitachi Ltd | 紫外線防止形蛍光ランプ |
-
1991
- 1991-08-02 JP JP3194021A patent/JPH0534925A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19960326 |