JPH0535559Y2 - - Google Patents
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- JPH0535559Y2 JPH0535559Y2 JP6044589U JP6044589U JPH0535559Y2 JP H0535559 Y2 JPH0535559 Y2 JP H0535559Y2 JP 6044589 U JP6044589 U JP 6044589U JP 6044589 U JP6044589 U JP 6044589U JP H0535559 Y2 JPH0535559 Y2 JP H0535559Y2
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- Japan
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- concave mirror
- discharge lamp
- metal vapor
- exhaust
- arc
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Landscapes
- Light Sources And Details Of Projection-Printing Devices (AREA)
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔考案の属する分野〕
本考案は、シヨートアーク型の金属蒸気放電灯
を内蔵した光学装置に関する。
を内蔵した光学装置に関する。
プロヂエクターや産業用の露光装置には、シヨ
ートアーク型の金属蒸気放電灯が利用される。例
えば、演色性が良好な混合金属蒸気放電灯は、プ
ロヂエクターに組み込まれたり、バツクライトと
して使われたりする。また水銀放電灯は、半導体
ウエハの露光にも使用される。
ートアーク型の金属蒸気放電灯が利用される。例
えば、演色性が良好な混合金属蒸気放電灯は、プ
ロヂエクターに組み込まれたり、バツクライトと
して使われたりする。また水銀放電灯は、半導体
ウエハの露光にも使用される。
これら金属蒸気放電灯は既によく知られている
ように、消灯状態や、或は点灯状態でも、放電灯
の低温部に放電用の金属または金属化合物が凝縮
しており、放電灯として或は光学装置として良好
な性能を発揮せしむるには、一般にそれら凝縮物
を早くもしくは十分に気化せしめる必要がある。
そのため、過去の特許文献を見ても、早くもしく
は十分に気化させるための発明考案が多数なされ
ている。
ように、消灯状態や、或は点灯状態でも、放電灯
の低温部に放電用の金属または金属化合物が凝縮
しており、放電灯として或は光学装置として良好
な性能を発揮せしむるには、一般にそれら凝縮物
を早くもしくは十分に気化せしめる必要がある。
そのため、過去の特許文献を見ても、早くもしく
は十分に気化させるための発明考案が多数なされ
ている。
本考案においては、それら金属もしくは金属化
合物の凝縮位置として良く知られている排気チツ
プ（放電灯製造過程で使用する排気管を除去した
時に残る排気管残部）に着目し、光学装置に組み
込まれて使用される場合、光学装置から取り出す
光束には悪影響を与えずに、排気チツプにおける
凝縮物を早く、十分に気化せしめるようにした光
学装置を提供することを目的とする。
合物の凝縮位置として良く知られている排気チツ
プ（放電灯製造過程で使用する排気管を除去した
時に残る排気管残部）に着目し、光学装置に組み
込まれて使用される場合、光学装置から取り出す
光束には悪影響を与えずに、排気チツプにおける
凝縮物を早く、十分に気化せしめるようにした光
学装置を提供することを目的とする。
本考案においては、上記目的を達成するため、
光学装置を次の如く構成する。
光学装置を次の如く構成する。
すなわち、
シヨートアーク型の金属蒸気放電灯と、その光
軸がこの放電灯のアーク方向と一致するように配
置された凹面鏡と、この凹面鏡から来る光を取り
込むレンズ系とを含み、 該金属蒸気放電灯のバブルに設けられた排気チ
ツプが、アークの輝度の一番高い位置から該凹面
鏡を臨む角度θの外側の範囲のバルブ区域に設け
られ、かつ、その排気チツプの外表面からすその
にまたがる全域に保温膜を設けるようにする。
軸がこの放電灯のアーク方向と一致するように配
置された凹面鏡と、この凹面鏡から来る光を取り
込むレンズ系とを含み、 該金属蒸気放電灯のバブルに設けられた排気チ
ツプが、アークの輝度の一番高い位置から該凹面
鏡を臨む角度θの外側の範囲のバルブ区域に設け
られ、かつ、その排気チツプの外表面からすその
にまたがる全域に保温膜を設けるようにする。
〔作用〕
レンズ系に入る光束を乱さないようにするため
に、アークの輝度の一番高い位置から凹面鏡を臨
む角度の外側の範囲のバルブ区域に排気チツプを
設けると、排気チツプ内壁は昇温しにくくなるの
で、排気チツプの外表面からすそのにまたがる全
域に保温膜を設けることによつて、排気チツプが
昇温しやすいようになる。
に、アークの輝度の一番高い位置から凹面鏡を臨
む角度の外側の範囲のバルブ区域に排気チツプを
設けると、排気チツプ内壁は昇温しにくくなるの
で、排気チツプの外表面からすそのにまたがる全
域に保温膜を設けることによつて、排気チツプが
昇温しやすいようになる。
第１図は本考案光学装置の要部の説明図であ
る。図において、１は、シヨートアーク型の水銀
キセノン放電灯であつて、水銀とキセノンの圧力
の合計が点灯中約２気圧になるように夫々所定量
封入する。２は陽極、３は陰極であつて、アーク
の方向と光軸が一致するように凹面鏡４を配置す
る。この場合、一般的には、陰極３が凹面鏡４の
奥の方に位置する。
る。図において、１は、シヨートアーク型の水銀
キセノン放電灯であつて、水銀とキセノンの圧力
の合計が点灯中約２気圧になるように夫々所定量
封入する。２は陽極、３は陰極であつて、アーク
の方向と光軸が一致するように凹面鏡４を配置す
る。この場合、一般的には、陰極３が凹面鏡４の
奥の方に位置する。
アークの輝度の一番高い位置は、陰極先端近傍
であつて、通称「陰極輝点Ｐ」と呼ばれ、その輝
点から臨む範囲の位置に凹面鏡を配置し、凹面鏡
４で集めた光をレンズ系５に送り込む。この臨む
範囲の角θの範囲内のバルブ位置に排気チツプ６
が存在すると、レンズ系５に入射する光束が乱
れ、光学装置としての性能を悪くするので、排気
チツプ６は、図示の如く、角θの範囲の外側のバ
ルブ区域に位置せしめる。その代り、輝度の一番
高い位置からの強い光が排気チツプの内部を直射
しないので、排気チツプ内壁が昇温しにくいの
で、排気チツプの外表面の保温膜の設ける区域を
広げる。この様子を第２図に示す。
であつて、通称「陰極輝点Ｐ」と呼ばれ、その輝
点から臨む範囲の位置に凹面鏡を配置し、凹面鏡
４で集めた光をレンズ系５に送り込む。この臨む
範囲の角θの範囲内のバルブ位置に排気チツプ６
が存在すると、レンズ系５に入射する光束が乱
れ、光学装置としての性能を悪くするので、排気
チツプ６は、図示の如く、角θの範囲の外側のバ
ルブ区域に位置せしめる。その代り、輝度の一番
高い位置からの強い光が排気チツプの内部を直射
しないので、排気チツプ内壁が昇温しにくいの
で、排気チツプの外表面の保温膜の設ける区域を
広げる。この様子を第２図に示す。
第２図は排気チツプの拡大図であつて、７は保
温膜である。この保温膜７は、排気チツプの立ち
上る曲面部分Ｒ（以下すそのという。）を含めて排
気チツプの外表面全部に設ける。これによつて、
排気チツプ及び内部が昇温しやすいようになる。
温膜である。この保温膜７は、排気チツプの立ち
上る曲面部分Ｒ（以下すそのという。）を含めて排
気チツプの外表面全部に設ける。これによつて、
排気チツプ及び内部が昇温しやすいようになる。
上記放電灯は、直流電源29Vで、電流38Aを流
し、大体消費電力1100Wで点灯して、半導体露光
用光源装置として利用すると好適である。なぜな
れば、排気チツプ内の凝縮物が早くもしくは十分
に蒸発するが、装置から取り出される光束には乱
れがない。
し、大体消費電力1100Wで点灯して、半導体露光
用光源装置として利用すると好適である。なぜな
れば、排気チツプ内の凝縮物が早くもしくは十分
に蒸発するが、装置から取り出される光束には乱
れがない。
本考案は、上記実施例の説明からも理解できる
ように、光学装置から取り出す光束を乱すことな
く、排気チツプに凝縮している凝縮物を早くもし
くは十分に気化できるので、シヨートアーク型の
金属蒸気放電灯を内臓した光学装置として良好な
ものが提供できる。そしてここに開示した技術は
混合金属蒸気放電灯を内臓したプロヂエクターや
バツクライト光源にも利用できる。
ように、光学装置から取り出す光束を乱すことな
く、排気チツプに凝縮している凝縮物を早くもし
くは十分に気化できるので、シヨートアーク型の
金属蒸気放電灯を内臓した光学装置として良好な
ものが提供できる。そしてここに開示した技術は
混合金属蒸気放電灯を内臓したプロヂエクターや
バツクライト光源にも利用できる。
第１図は、本考案光学装置の要部の説明図、第
２図は保温膜の説明図である。 図において、１は水銀キセノン放電灯、２は陽
極、３は陰極、４は凹面鏡、５はレンズ系、６は
排気チツプ、７は保温膜、Ｐは陰極輝点、Ｘは光
軸、Ｒはすそのを示す。
２図は保温膜の説明図である。 図において、１は水銀キセノン放電灯、２は陽
極、３は陰極、４は凹面鏡、５はレンズ系、６は
排気チツプ、７は保温膜、Ｐは陰極輝点、Ｘは光
軸、Ｒはすそのを示す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 シヨートアーク型の金属蒸気放電灯と、その光
軸がこの放電灯のアーク方向と一致するように配
置された凹面鏡と、この凹面鏡から来る光を取り
込むレンズ系とを含み、 該金属蒸気放電灯のバルブに設けられた排気チ
ツプが、アークの輝度の一番高い位置から該凹面
鏡を臨む角度θの外側の範囲のバルブ区域に設け
られ、かつ、その排気チツプの外表面からすその
にまたがる全域に保温膜が設けられてなる光学装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6044589U JPH0535559Y2 (ja) | 1989-05-26 | 1989-05-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6044589U JPH0535559Y2 (ja) | 1989-05-26 | 1989-05-26 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02150754U JPH02150754U (ja) | 1990-12-27 |
| JPH0535559Y2 true JPH0535559Y2 (ja) | 1993-09-09 |
Family
ID=31587815
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6044589U Expired - Lifetime JPH0535559Y2 (ja) | 1989-05-26 | 1989-05-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0535559Y2 (ja) |
-
1989
- 1989-05-26 JP JP6044589U patent/JPH0535559Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02150754U (ja) | 1990-12-27 |
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