JPH0536376A - Quadrupole mass spectrometer - Google Patents
Quadrupole mass spectrometerInfo
- Publication number
- JPH0536376A JPH0536376A JP3035951A JP3595191A JPH0536376A JP H0536376 A JPH0536376 A JP H0536376A JP 3035951 A JP3035951 A JP 3035951A JP 3595191 A JP3595191 A JP 3595191A JP H0536376 A JPH0536376 A JP H0536376A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- quadrupole mass
- ion
- filter
- ions
- mass filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
- H01J49/34—Dynamic spectrometers
- H01J49/42—Stability-of-path spectrometers, e.g. monopole, quadrupole, multipole, farvitrons
- H01J49/4205—Device types
- H01J49/421—Mass filters, i.e. deviating unwanted ions without trapping
- H01J49/4215—Quadrupole mass filters
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】試料中に共存する高質量数のイオンによる妨害
を受けることなく低質量数のイオンを正確に測定できる
ようにした四重極質量分析計を提供する。
【構成】四重極質量分析計において、イオン源と、該イ
オン源から導かれたイオンを収束する第１のイオンレン
ズと、第１の四重極マスフィルタと、該第１四重極マス
フィルタを通過したイオンを収束する第２のイオンレン
ズと、第２四重極マスフィルタとを設け、第１イオンレ
ンズで収束されたイオンが第１四重極マスフィルタを通
過し、その後、第２イオンレンズで収束されてのち第２
四重極マスフィルタを通過するようにしたもの。
(57) [Summary] [Objective] To provide a quadrupole mass spectrometer capable of accurately measuring low mass number ions without being interfered by high mass number ions coexisting in a sample. In a quadrupole mass spectrometer, an ion source, a first ion lens for converging ions introduced from the ion source, a first quadrupole mass filter, and a first quadrupole mass. A second ion lens that converges the ions that have passed through the filter and a second quadrupole mass filter are provided, and the ions that have been converged by the first ion lens pass through the first quadrupole mass filter, and then the After being converged by a 2-ion lens, the second
The one that passes through a quadrupole mass filter.
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、高周波誘導結合プラズ
マ分析装置などに使用され四重極マスフィルタを構成す
る四重極ロッドを有する四重極質量分析計に関し、特
に、低質量側の干渉を無くすることにより低質量領域で
高い分解能が得られるようにした四重極質量分析計に関
する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a quadrupole mass spectrometer having a quadrupole rod which is used in a high frequency inductively coupled plasma analyzer and constitutes a quadrupole mass filter. The present invention relates to a quadrupole mass spectrometer capable of obtaining high resolution in a low mass region by eliminating.
【０００２】[0002]
【従来の技術】四重極質量分析計を用いた高周波誘導結
合プラズマ分析装置は、一般に、プラズマト―チの外室
と最外室にガス調節器を介してアルゴンガス供給源から
アルゴンガスが供給され、内室には試料導入装置から試
料（分析対象）が搬入されるようになっている。また、
プラズマト―チに巻回された高周波誘導コイルには高周
波電源によって高周波電流が流され、該コイルの周囲に
高周波磁界が形成される。この状態で、上記高周波磁界
の近傍でアルゴンガス中に電子かイオンが植え付けられ
ると、該高周波磁界の作用によって瞬時に高周波誘導結
合プラズマが生ずる。2. Description of the Related Art A high-frequency inductively coupled plasma analyzer using a quadrupole mass spectrometer generally supplies argon gas from an argon gas supply source to the outer chamber and outermost chamber of a plasma torch via a gas regulator. The sample (analysis target) is supplied to the inner chamber from the sample introduction device. Also,
A high-frequency current is applied to the high-frequency induction coil wound around the plasma torch by a high-frequency power source, and a high-frequency magnetic field is formed around the coil. In this state, when electrons or ions are implanted in the argon gas in the vicinity of the high frequency magnetic field, high frequency inductively coupled plasma is instantaneously generated by the action of the high frequency magnetic field.
【０００３】更に、ノズルとスキマ―に挟まれたフォア
チャンバ―本体内は、真空ポンプによって吸引されてい
る。また、センタ―チャンバ―内には、引出し電極，ア
パ―チャ―レンズ，四重極レンズ，アパ―チャ―，及び
エントランスレンズが設けられると共に、該センタ―チ
ャンバ―の内部は第１油拡散ポンプによってに吸引さ
れ、四重極マスフィルタを収容しているリアチャンバ―
内は第２油拡散ポンプによってに吸引されている。Further, the inside of the fore chamber main body sandwiched between the nozzle and the skimmer is sucked by a vacuum pump. Further, the center chamber is provided with an extraction electrode, an aperture lens, a quadrupole lens, an aperture, and an entrance lens, and the inside of the center chamber is a first oil diffusion pump. Rear chamber, which is aspirated by and contains a quadrupole mass filter
The inside is sucked by the second oil diffusion pump.
【０００４】この状態で、高周波誘導結合プラズマ中に
上述のようにして気化された試料が導入され、イオン化
や発光が行われる。該プラズマ内のイオンは、ノズルや
スキマ―を経由してのち引出し電極の間とイオンレンズ
系の間を通って収束され、四重極マスフィルタに導入さ
れる。In this state, the sample vaporized as described above is introduced into the high frequency inductively coupled plasma, and ionization and light emission are performed. Ions in the plasma are converged through the extraction electrode and the ion lens system after passing through a nozzle and a skimmer, and are introduced into the quadrupole mass filter.
【０００５】このようにして四重極マスフィルタに入っ
たイオンのうち目的の質量電荷比のイオンだけが、四重
極マスフィルタを通過し二次電子増倍管に導かれて検出
される。この検出信号が信号処理部に送出されて演算・
処理されることによって、前記試料中の被測定元素分析
値が求められるようになっている。また、上記四重極マ
スフィルタを構成する四重極ロッドにおいてはファ―ス
トリ―ジョンと呼ばれる安定領域を利用してマススペク
トルが得られるようになっている。Of the ions thus entered into the quadrupole mass filter, only the ions having the desired mass-to-charge ratio pass through the quadrupole mass filter and are guided to the secondary electron multiplier to be detected. This detection signal is sent to the signal processing unit for calculation /
By processing, the elemental analysis value of the measured element in the sample can be obtained. Further, in the quadrupole rod which constitutes the above quadrupole mass filter, a mass spectrum is obtained by utilizing a stable region called fast fusion.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする問題点】然しながら、上記従
来例においては、分解能がＭ／（ΔＭ）＝２Ｍ即ち０．
５程度しか得られず、それ以上の分解能を上げることが
困難となっていた。また、四重極の別の安定領域でセカ
ンドリ―ジョンと呼ばれる領域を利用してマススペクト
ルを得れば分解能が大巾に改善されることが知られてい
るものの、質量数２３８のウランイオン（即ち、
238 Ｕ）が多く含まれていると質量数２８．７以下のイ
オン（例えば、ヘリウム，リチウム，ベリリウム，ホウ
素，炭素，窒素，酸素，弗素，ニオブ，マグネシウム，
アルミニウム，シリコンの各イオン）が測定できないと
いう欠点があった。However, in the above-mentioned conventional example, the resolution is M / (ΔM) = 2M, that is, 0.
Only about 5 was obtained, and it was difficult to increase the resolution beyond that. It is known that the resolution can be greatly improved by obtaining a mass spectrum using another stable region of the quadrupole called a second region, but the uranium ion with a mass number of 238 ( That is,
If it contains a large amount of 238 U, ions having a mass number of 28.7 or less (eg, helium, lithium, beryllium, boron, carbon, nitrogen, oxygen, fluorine, niobium, magnesium,
It has the drawback that it cannot measure aluminum and silicon ions.
【０００７】本発明は、かかる状況に鑑みてなされもの
であり、その課題は、試料中に共存する高質量数のイオ
ンによる妨害を受けることなく低質量数のイオンを正確
に測定できるようにした四重極質量分析計を提供するこ
とにある。The present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to make it possible to accurately measure a low mass number ion without being disturbed by a high mass number ion coexisting in a sample. It is to provide a quadrupole mass spectrometer.
【０００８】[0008]
【問題点を解決するための手段】本発明は、四重極質量
分析計において、イオン源と、該イオン源から導かれた
イオンを収束する第１のイオンレンズと、第１の四重極
マスフィルタと、該第１四重極マスフィルタを通過した
イオンを収束する第２のイオンレンズと、第２四重極マ
スフィルタとを設け、第１イオンレンズで収束されたイ
オンが第１四重極マスフィルタを通過し、その後、第２
イオンレンズで収束されてのち第２四重極マスフィルタ
を通過することによって前記課題を解決したものであ
る。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a quadrupole mass spectrometer, an ion source, a first ion lens for converging ions guided from the ion source, and a first quadrupole. A mass filter, a second ion lens that converges the ions that have passed through the first quadrupole mass filter, and a second quadrupole mass filter are provided, and the ions that are converged by the first ion lens are the first fourth Pass through the quadrupole mass filter and then the second
The above problem is solved by passing through the second quadrupole mass filter after being converged by the ion lens.
【０００９】[0009]
【作用】本発明は次のように作用する。即ち、イオン源
１から導かれたイオンを、第１イオンレンズ２で収束さ
せてのち第１四重極マスフィルタ３を通過させ、その
後、第２イオンレンズ４で収束させてのち第２四重極マ
スフィルタ５を通過させる。第１四重極マスフィルタ３
を通過することによって質量数２３８のＵがスペクトル
から除去されるため、かかるウランイオンの妨害を受け
ることなく質量数２３のナトリウムイオンが正確に測定
できるようになる。The present invention operates as follows. That is, the ions guided from the ion source 1 are converged by the first ion lens 2 and then passed through the first quadrupole mass filter 3, and then are converged by the second ion lens 4 and then the second quadrupole. Pass through the polar mass filter 5. First quadrupole mass filter 3
Since the U of mass number 238 is removed from the spectrum by passing through, the sodium ion of mass number 23 can be accurately measured without being interfered with by the uranium ion.
【００１０】[0010]
【実施例】以下、本発明について図を用いて詳細に説明
する。図１は本発明実施例の要部構成説明図であり、図
中、１は高周波誘導結合プラズマあるいは電子型イオン
源でなるイオン源、２は第１のイオンレンズ、３は第１
の四重極マスフィルタ、４は第２のイオンレンズ、５は
第２四重極マスフィルタ、６ａはファ―ストリ―ジョン
用四重極マスフィルタ電源、６ｂはセカンドリ―ジョン
用四重極マスフィルタ電源、７は二次電子増倍管でなる
検出器である。The present invention will be described in detail below with reference to the drawings. FIG. 1 is an explanatory view of the main configuration of an embodiment of the present invention, in which 1 is an ion source composed of a high frequency inductively coupled plasma or an electronic ion source, 2 is a first ion lens, and 3 is a first ion lens.
Quadrupole mass filter, 4 is a second ion lens, 5 is a second quadrupole mass filter, 6a is a power quadrupole mass filter power supply, and 6b is a second quadrupole mass filter. The filter power source, 7 is a detector composed of a secondary electron multiplier.
【００１１】また、図２は四重極マスフィルタのイオン
通過領域を示す図であり、図中、（１）は第１四重極マ
スフィルタのイオン通過領域を示し、（２）は第２四重
極マスフィルタのイオン通過領域を示している。また、
図２において、横軸は質量数（ａｍｕ）を示すと共に、
Ａは低質量領域に表われたバンドパスフィルタの部分、
Ｂは質量数２３８の箇所、Ｃは質量数２３付近の狭いバ
ンドパス領域、Ｄは高質量領域に表われたハイパスフィ
タの部分をそれぞれ示している。FIG. 2 is a diagram showing the ion passage region of the quadrupole mass filter. In the figure, (1) shows the ion passage region of the first quadrupole mass filter, and (2) shows the second region. The ion passage region of the quadrupole mass filter is shown. Also,
In FIG. 2, the horizontal axis indicates the mass number (amu), and
A is the part of the bandpass filter expressed in the low mass region,
B is the mass number 238, C is the narrow bandpass region near the mass number 23, and D is the high-pass filter portion shown in the high mass region.
【００１２】このような要部構成からなる本発明の実施
例において、第１四重極マスフィルタ３にはファ―スト
リ―ジョン用四重極マスフィルタ電源６ａから駆動電圧
が印加され、第２四重極マスフィルタ５にはファ―スト
リ―ジョン用四重極マスフィルタ電源６ｂから駆動電圧
が印加される。この状態で、イオン源１から導かれたイ
オンは、第１イオンレンズ２で収束されてのち第１四重
極マスフィルタ３を通過し、図２（１）に示すような質
量範囲のスペクトルを与える。即ち、低質量領域に表わ
れたバンドパスフィルタの部分Ａが表われるようなスペ
クトルを与える。In the embodiment of the present invention having the above-mentioned main structure, a driving voltage is applied to the first quadrupole mass filter 3 from the power quadrupole mass filter power supply 6a, A driving voltage is applied to the quadrupole mass filter 5 from a power quadrupole mass filter power supply 6b. In this state, the ions guided from the ion source 1 are converged by the first ion lens 2 and then pass through the first quadrupole mass filter 3 to obtain a spectrum in the mass range as shown in FIG. 2 (1). give. That is, it gives a spectrum in which the part A of the bandpass filter appearing in the low mass region appears.
【００１３】一方、第１四重極マスフィルタ３を除去し
た場合、イオン源１から導かれたイオンは、第１及び第
２イオンレンズ２，４で収束されてのち第２四重極マス
フィルタ５を通過し、図２（ロ）に示すようなスペクト
ルを与える。即ち、ハイパスフィルタとして働く高質量
側のファ―ストリ―ジョンのスペクトルとバンドパスフ
ィルタとして働くセカンドリ―ジョンの低質量側スペク
トルが重なって表われてくる。このため、質量数２３８
のウランイオンと質量数２３のナトリウムイオンが含ま
れている試料を分析対象として質量数２３のナトリウム
イオンを測定する場合には、前述のように質量数２３８
のウランイオンが測定妨害成分となる。On the other hand, when the first quadrupole mass filter 3 is removed, the ions introduced from the ion source 1 are converged by the first and second ion lenses 2 and 4 and then the second quadrupole mass filter. 5 to give a spectrum as shown in FIG. That is, the spectrum of the first mass acting as a high-pass filter and the spectrum of the second mass acting as a band-pass filter overlap each other. Therefore, the mass number 238
When the sample containing the uranium ion and the sodium ion having the mass number of 23 is analyzed and the sodium ion having the mass number of 23 is measured, the mass number of 238 is determined as described above.
The uranium ion of is a measurement interference component.
【００１４】しかし、第１イオンレンズ２で収束させて
のち第１四重極マスフィルタ３を通過させ、その後、第
２イオンレンズ４で収束させてのち第２四重極マスフィ
ルタ５を通過させると、第１四重極マスフィルタ３を通
過することによって質量数２３８のウランイオンが除去
されるため、かかるウランイオンの妨害を受けることな
く質量数２３のナトリウムイオンが正確に測定できるよ
うになる。尚、本発明は上述の実施例に限定されること
なく種々の変形が可能であり、例えば、第１四重極マス
フィルタ３として磁場型フィルタやウィ―ンフィルタ等
を用いても良い。However, after being converged by the first ion lens 2, it is passed through the first quadrupole mass filter 3, and after being converged by the second ion lens 4, it is passed through the second quadrupole mass filter 5. Then, since the uranium ion having the mass number of 238 is removed by passing through the first quadrupole mass filter 3, the sodium ion having the mass number of 23 can be accurately measured without being interfered with by the uranium ion. . The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made. For example, a magnetic field type filter or a Wien filter may be used as the first quadrupole mass filter 3.
【００１５】[0015]
【発明の効果】以上詳しく説明したような本発明によれ
ば、四重極質量分析計において、イオン源と、該イオン
源から導かれたイオンを収束する第１のイオンレンズ
と、第１の四重極マスフィルタと、該第１四重極マスフ
ィルタを通過したイオンを収束する第２のイオンレンズ
と、第２四重極マスフィルタとを設け、第１イオンレン
ズで収束されたイオンが第１四重極マスフィルタを通過
し、その後、第２イオンレンズで収束されてのち第２四
重極マスフィルタを通過するように構成した。このた
め、試料中に共存する高質量数のイオンによる妨害を受
けることなく低質量数のイオンを正確に測定できるよう
にした四重極質量分析計が実現する。According to the present invention described in detail above, in a quadrupole mass spectrometer, an ion source, a first ion lens for converging ions guided from the ion source, and a first ion lens A quadrupole mass filter, a second ion lens that converges the ions that have passed through the first quadrupole mass filter, and a second quadrupole mass filter are provided, and the ions that are converged by the first ion lens are It is configured such that it passes through the first quadrupole mass filter, then is converged by the second ion lens, and then passes through the second quadrupole mass filter. Therefore, it is possible to realize a quadrupole mass spectrometer capable of accurately measuring low mass number ions without being disturbed by high mass number ions coexisting in the sample.
【図１】本発明実施例の要部ブロック回路図である。FIG. 1 is a block circuit diagram of an essential part of an embodiment of the present invention.
【図２】本発明実施例の動作を説明するための特性曲線
図である。FIG. 2 is a characteristic curve diagram for explaining the operation of the embodiment of the present invention.
１ イオン源 ２，４ イオンレンズ ３，５ 四重極マスフィルタ ６ａ，６ｂ 四重極マスフィルタ電源 ７ 検出器コンピュ―タ ２ Ｄ／Ａコンバ―タ ３ 切換回路 ４ 発信器 ５ 交流電圧増幅回路 ６ 直流電圧増幅回路 ７ 四重極ロッド 1 Ion source 2,4 Ion lens 3,5 Quadrupole mass filter 6a, 6b Quadrupole mass filter power supply 7 Detector computer 2 D / A converter 3 Switching circuit 4 Oscillator 5 AC voltage amplification circuit 6 DC voltage amplifier circuit 7 Quadrupole rod
─────────────────────────────────────────────────────
─────────────────────────────────────────────────── ───
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成４年８月２７日[Submission date] August 27, 1992
【手続補正２】[Procedure Amendment 2]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００１５[Correction target item name] 0015
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００１５】[0015]
【発明の効果】以上詳しく説明したような本発明によれ
ば、四重極質量分析計において、イオン源と、該イオン
源から導かれたイオンを収束する第１のイオンレンズ
と、第１の四重極マスフィルタと、該第１四重極マスフ
ィルタを通過したイオンを収束する第２のイオンレンズ
と、第２四重極マスフィルタとを設け、第１イオンレン
ズで収束されたイオンが第１四重極マスフィルタを通過
し、その後、第２イオンレンズで収束されてのち第２四
重極マスフィルタを通過するように構成した。このた
め、試料中にに共存する高質量数のイオンによる妨害を
受けることなく低質量数のイオンを正確に測定できるよ
うにした四重極質量分析計が実現する。According to the present invention described in detail above, in a quadrupole mass spectrometer, an ion source, a first ion lens for converging ions guided from the ion source, and a first ion lens A quadrupole mass filter, a second ion lens that converges the ions that have passed through the first quadrupole mass filter, and a second quadrupole mass filter are provided, and the ions that are converged by the first ion lens are It is configured such that it passes through the first quadrupole mass filter, then is converged by the second ion lens, and then passes through the second quadrupole mass filter. Therefore, it is possible to realize a quadrupole mass spectrometer capable of accurately measuring low mass number ions without being disturbed by high mass number ions coexisting in the sample.
【手続補正３】[Procedure 3]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】図面の簡単な説明[Name of item to be corrected] Brief explanation of the drawing
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図１】本発明実施例の要部ブロック回路図である。FIG. 1 is a block circuit diagram of an essential part of an embodiment of the present invention.
【図２】本発明実施例の動作を説明するための特性曲線
図である。FIG. 2 is a characteristic curve diagram for explaining the operation of the embodiment of the present invention.
【符号の説明】 １ イオン源 ２，４ イオンレンズ ３，５ 四重極マスフィルタ ６ａ，６ｂ 四重極マスフィルタ電源 ７ 検出器コンピュータ ２ Ｄ／Ａコンバータ ３ 切換回路 ４ 発信器 ５ 交流電圧増幅回路 ６ 直流電圧増幅回路 ７ 四重極ロッド[Explanation of symbols] 1 ion source 2,4 ion lens 3,5 quadrupole mass filter 6a, 6b quadrupole mass filter power supply 7 detector computer 2 D / A converter 3 switching circuit 4 oscillator 5 AC voltage amplification circuit 6 DC voltage amplification circuit 7 Quadrupole rod
Claims (1)
ンを収束する第１のイオンレンズと、第１の四重極マス
フィルタと、該第１四重極マスフィルタを通過したイオ
ンを収束する第２のイオンレンズと、第２四重極マスフ
ィルタとを具備し、前記第１イオンレンズで収束された
イオンが第１四重極マスフィルタを通過し、その後、前
記第２イオンレンズで収束されてのち第２四重極マスフ
ィルタを通過することを特徴とする四重極質量分析計。Claim: What is claimed is: 1. An ion source, a first ion lens for converging ions introduced from the ion source, a first quadrupole mass filter, and a first quadrupole mass. A second ion lens that converges the ions that have passed through the filter and a second quadrupole mass filter are provided, and the ions that have been converged by the first ion lens pass through the first quadrupole mass filter, and then A quadrupole mass spectrometer, which is converged by the second ion lens and then passes through a second quadrupole mass filter.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03595191A JP3148264B2 (en) | 1991-03-01 | 1991-03-01 | Quadrupole mass spectrometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03595191A JP3148264B2 (en) | 1991-03-01 | 1991-03-01 | Quadrupole mass spectrometer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0536376A true JPH0536376A (en) | 1993-02-12 |
| JP3148264B2 JP3148264B2 (en) | 2001-03-19 |
Family
ID=12456288
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03595191A Expired - Fee Related JP3148264B2 (en) | 1991-03-01 | 1991-03-01 | Quadrupole mass spectrometer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3148264B2 (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997002591A1 (en) * | 1995-07-03 | 1997-01-23 | Hitachi, Ltd. | Mass spectrometer |
| GB2388705A (en) * | 2002-05-13 | 2003-11-19 | Thermo Electron Corp | Multiple quadrupole mass filters |
| JP2009516900A (en) * | 2005-11-23 | 2009-04-23 | エムディーエス アナリティカル テクノロジーズ， ア ビジネス ユニット オブ エムディーエス インコーポレイテッド， ドゥーイング ビジネス スルー イッツ サイエックス ディビジョン | Method and apparatus for scanning an ion trap mass spectrometer |
| USRE45386E1 (en) | 1998-09-16 | 2015-02-24 | Thermo Fisher Scientific (Bremen) Gmbh | Means for removing unwanted ions from an ion transport system and mass spectrometer |
| CN111834194A (en) * | 2019-04-15 | 2020-10-27 | 塞莫费雪科学（不来梅）有限公司 | Mass spectrometer with improved quadrupole robustness |
-
1991
- 1991-03-01 JP JP03595191A patent/JP3148264B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997002591A1 (en) * | 1995-07-03 | 1997-01-23 | Hitachi, Ltd. | Mass spectrometer |
| USRE45386E1 (en) | 1998-09-16 | 2015-02-24 | Thermo Fisher Scientific (Bremen) Gmbh | Means for removing unwanted ions from an ion transport system and mass spectrometer |
| GB2388705A (en) * | 2002-05-13 | 2003-11-19 | Thermo Electron Corp | Multiple quadrupole mass filters |
| GB2388705B (en) * | 2002-05-13 | 2004-07-07 | Thermo Electron Corp | Improved mass spectrometer and mass filters therefor |
| JP2005534140A (en) * | 2002-05-13 | 2005-11-10 | サーモ・エレクトロン・コーポレーション | Improved mass spectrometer and its mass filter |
| US7211788B2 (en) | 2002-05-13 | 2007-05-01 | Thermo Fisher Scientific Inc. | Mass spectrometer and mass filters therefor |
| DE10392635B4 (en) * | 2002-05-13 | 2013-04-11 | Thermo Fisher Scientific Inc. | Improved mass spectrometer and mass filter for the mass spectrometer |
| USRE45553E1 (en) | 2002-05-13 | 2015-06-09 | Thermo Fisher Scientific Inc. | Mass spectrometer and mass filters therefor |
| JP2009516900A (en) * | 2005-11-23 | 2009-04-23 | エムディーエス アナリティカル テクノロジーズ， ア ビジネス ユニット オブ エムディーエス インコーポレイテッド， ドゥーイング ビジネス スルー イッツ サイエックス ディビジョン | Method and apparatus for scanning an ion trap mass spectrometer |
| CN111834194A (en) * | 2019-04-15 | 2020-10-27 | 塞莫费雪科学（不来梅）有限公司 | Mass spectrometer with improved quadrupole robustness |
| CN111834194B (en) * | 2019-04-15 | 2023-08-04 | 塞莫费雪科学（不来梅）有限公司 | Mass spectrometer with improved quadrupole robustness |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3148264B2 (en) | 2001-03-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7291845B2 (en) | Method for controlling space charge-driven ion instabilities in electron impact ion sources | |
| US6403955B1 (en) | Linear quadrupole mass spectrometer | |
| JP2922647B2 (en) | Interference reduction in plasma source mass spectrometers | |
| JPH0536376A (en) | Quadrupole mass spectrometer | |
| JP4585069B2 (en) | Inductively coupled plasma mass spectrometry apparatus and method | |
| JP7671544B2 (en) | Impedance matching circuit using insulating air-core transformer and mass spectrometer including same | |
| KR20240158148A (en) | Impedance matching circuit using insulated air core transformer and mass spectrometer including the same | |
| US5426299A (en) | Inductive plasma mass spectrometer | |
| JP2956139B2 (en) | Quadrupole mass filter | |
| JP3153337B2 (en) | Inductively coupled plasma mass spectrometer | |
| JPH05151931A (en) | High frequency induction coupling type plasma mass-spectrometer | |
| JPH06109702A (en) | Inductively coupled plasma mass spectrometer | |
| JPH056799A (en) | Rf power supply device for icp | |
| JP3175837B2 (en) | Quadrupole mass spectrometer | |
| JP2000173532A (en) | Inductively coupled plasma three-dimensional quadrupole mass spectrometer | |
| JPH0620642A (en) | Inductively coupled plasma mass spectrometer | |
| JP2926782B2 (en) | High frequency inductively coupled plasma mass spectrometer | |
| JPH0638372Y2 (en) | High frequency inductively coupled plasma mass spectrometer | |
| JPH06102248A (en) | Inductively coupled plasma mass spectrometer | |
| JP3118004B2 (en) | High frequency inductively coupled plasma mass spectrometer | |
| JPH0589825A (en) | High frequency induction coupling plasma mass-spectrometer | |
| JPS5836818B2 (en) | Sputter neutral particle mass spectrometer | |
| JPH06109701A (en) | Inductively coupled plasma mass spectrometer | |
| JPH01117262A (en) | Analyzer of high frequency induction coupled plasma | |
| JPS6052389B2 (en) | Atomic beam detector |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |