JPH0536469A - 赤外線ヒ−タ - Google Patents

赤外線ヒ−タ

Info

Publication number
JPH0536469A
JPH0536469A JP19146791A JP19146791A JPH0536469A JP H0536469 A JPH0536469 A JP H0536469A JP 19146791 A JP19146791 A JP 19146791A JP 19146791 A JP19146791 A JP 19146791A JP H0536469 A JPH0536469 A JP H0536469A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
outer cylinder
heating element
heat
airtight container
infrared heater
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP19146791A
Other languages
English (en)
Inventor
Atsushi Saida
淳 斉田
Toshihiko Ishigami
敏彦 石神
Masahiko Yotsuyanagi
真彦 四ツ柳
Toshio Hiruta
寿男 蛭田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Lighting and Technology Corp
Original Assignee
Toshiba Lighting and Technology Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Lighting and Technology Corp filed Critical Toshiba Lighting and Technology Corp
Priority to JP19146791A priority Critical patent/JPH0536469A/ja
Publication of JPH0536469A publication Critical patent/JPH0536469A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Resistance Heating (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】気密容器に収容された発熱体から外筒端部に向
かう熱を遮断し、外筒端部の各種部材が加熱により劣化
するのを防止して、長寿命となる赤外線ヒ−タを提供し
ようとするものである。 【構成】赤外線透過性のセラミックスからなる外筒2の
端部を閉塞体3により気密に閉塞してなる気密容器1内
に電熱発熱体10を収容した赤外線ヒ−タにおいて、上
記電熱発熱体10と閉塞体3との間に熱遮蔽体15を設
けたことを特徴とする。 【作用】熱遮蔽体が発熱体から外筒端部に向かう熱を遮
断し、外筒端部の閉塞体や給電端子および接着剤などが
熱劣化するのを防止する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電熱発熱体を耐熱性の
気密容器で覆って構成した赤外線ヒ−タに関する。
【0002】
【従来の技術】例えば、食品の乾燥や工業用各種部品の
乾燥に赤外線ヒ−タが使用されている。このような分野
で使用される赤外線ヒ−タとして、電熱発熱体を耐熱性
の気密容器で覆ったヒ−タが用いられている。
【0003】上記気密容器は、赤外線透過性アルミナセ
ラミックスなどよりなる円筒形外筒の両端開口部を、こ
の外筒と同材質または熱膨張率が近似する材料からなる
閉塞体、例えばアルミナまたはニオビウムやタンタルの
閉塞デイスクで気密に閉塞してある。これら閉塞デイス
クを上記アルミナセラミックスよりなる円筒形外筒の両
端に気密に接合する場合、例えばAl2 3 、CaO、
MgOを主成分とする接着剤、つまり半田ガラスにより
接合してある。
【0004】そして、これら閉塞体の中央部には導電性
材料、例えばニオビウムやタンタルチューブからなる排
気管兼用の給電端子が貫通され気密に接合されている。
この場合も、閉塞デイスクとニオビウムやタンタルチュ
ーブからなる給電端子とは、上記と同様の半田ガラスに
より接合してある。
【0005】このような気密容器内に収容される発熱体
は、ボロンナイトライドなどのような絶縁性セラミック
スからなる円筒形の基体表面に、例えばグラファイトな
どのようなカ−ボン系の導電性被膜を帯形にして所定パ
ターンで形成して構成されており、この導電発熱膜の端
部はリード線を通じて上記給電端子に電気的に接続され
ている。なお、気密容器内は、真空または不活性ガス雰
囲気とされている。
【0006】このような構成の赤外線ヒ−タは、気密容
器の両端から突出している給電端子に通電すると、リー
ド線を介して内部の発熱体、すなわち絶縁性円筒基体の
表面に形成された導電発熱膜に電流が流れ、この導電発
熱膜が発熱する。この導電発熱膜から放射された赤外線
は気密容器を透過して外部に放出される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
構造の場合、円筒形外筒の両端部は、内部に収容した発
熱体から多量の熱が到達する領域となっており、高温に
晒される場所となっている。このため、上記閉塞デイス
クがアルミナなどのセラミックスにより形成されたディ
スクの場合は熱歪を生じて破損する場合があり、ニオビ
ウムやタンタルなどの金属で形成されている場合は外気
の酸素と反応して腐蝕を生じる場合がある。また、同様
にニオビウムやタンタルのチューブからなる給電端子も
加熱されて、外気の酸素と反応して腐蝕を生じる場合が
ある。
【0008】さらには、この給電端子と、導電発熱膜に
接続されたリード線との接合部も高温に加熱され、かし
め接合されている場合はかしめが緩んで通電不良を招く
ことがある。さらには、閉塞デイスクや給電端子を気密
に接合するための半田ガラスが熱劣化し、接合部の気密
性が損なわれ場合もある。このような破損や腐蝕または
気密漏れは、早期に寿命を喪失する不具合がある。
【0009】本発明はこのような事情にもとづきなされ
たもので、その目的とするところは、気密容器に収容さ
れた発熱体から外筒端部に向かう熱を遮断し、外筒端部
の各種部材が加熱により劣化するのを防止して、長寿命
となる赤外線ヒ−タを提供しようとするものである。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、赤外線透過性のセラミックスからなる外筒の
端部を接着剤を介して閉塞体により気密に閉塞してなる
気密容器内に電熱発熱体を収容した赤外線ヒ−タにおい
て、上記電熱発熱体と閉塞体との間に熱遮蔽体を設けた
ことを特徴とする。
【0011】
【作用】本発明によれば、熱遮蔽体が発熱体から外筒端
部に向かう熱を遮断し、外筒端部の閉塞体や給電端子お
よび接着剤などが加熱により劣化するのを防止する。
【0012】
【実施例】以下本発明について、図面に示す一実施例に
もとづき説明する。図において1は気密容器、10はこ
れに収容された電熱発熱体である。
【0013】密封容器1は、円筒形外筒2と、この外筒
2の両端を閉塞する閉塞体3、3とで気密空間をつくる
ように構成されており、円筒形外筒2は、例えば外径2
8mm、内径26mm、管長300mmの赤外線透過性アルミ
ナセラミックスチュ−ブで形成されており、上記発熱体
10から放射された赤外線を透過する。
【0014】閉塞体3は、上記外筒2と同材質のアルミ
ナセラミックス、または外筒2と熱膨張率が近似する材
料、例えばニオビウムやタンタルなどの金属からなるデ
ィスクにより形成されており、本実施例ではアルミナ製
の閉塞ディスクが用いられている。これら閉塞ディスク
3、3は外筒2の両端開口部に対して、例えばAl2
3 、CaO、MgOを主成分とする接着剤、つまり半田
ガラス4により気密に接合されている。なお、半田ガラ
ス4は、予めリング形に形成され、外筒2の両端開口部
と閉塞ディスク3、3との間で挟んでおいて、真空中1
530℃で約10分間加熱して溶融させ、これにより外
筒2の両端開口部に閉塞ディスク3、3を接合する。
【0015】上記閉塞ディスク3、3の中央部には貫通
孔が形成されており、これら貫通孔には排気管兼用の給
電端子5、5が挿通されている。この給電端子5は耐熱
性導電金属、例えばニオビウムやタンタルのチューブか
らなり、閉塞ディスク3に対して上記と同様の半田ガラ
ス6により気密に接合されている。
【0016】なお、上記排気管兼用の給電端子5、5は
気密容器1内を排気し、所定の真空度または不活性ガス
雰囲気にした後、油圧式カッターにより切断され、封止
されている。本実施例では、密封容器14内部が、例え
ば10-5Torr程度の高真空に保たれている。このような
気密容器1に収容された電熱発熱体10は以下のように
構成されている。
【0017】11は円筒形に形成された絶縁性の基体で
あり、たとえばボロンナイトライドなどのような絶縁性
セラミックスにより形成されており、この円筒形基体1
1は気相成長法により製造されている。この基体11
は、例えば内径11mm、外径12mm、長さ200mmの円
筒形になっている。
【0018】この円筒形基体11の表面には、グラファ
イトなどのようなカ−ボン系材料からなる帯形の導電発
熱膜12が設けられている。本実施例の場合、円筒形基
体11の表面に所定のピッチで導電発熱膜12を螺旋形
に巻装してあり、この導電発熱膜12は気相成長法によ
り、幅6mm、ピッチ1mm、厚さ80ミクロン、常温での
抵抗値が約10オームの導電発熱膜12とされている。
【0019】上記円筒形基体11の両端には、幅7mm、
厚さ0、3mm程度のタンタルからなる接続バンド13、
13がビス止めにより固定されており、これら接続バン
ド13、13は上記導電発熱膜12の両端に電気的に接
続されている。
【0020】そして、円筒形基体11の両端には、この
円筒形基体11の外径よりも大きな外径を有し、しかし
前記気密容器1の外筒2の内径よりも若干小さな径を有
する円板形の熱遮蔽体14、14が取着されており、こ
れら熱遮蔽体14、14により気密容器1を軸方向に区
画している。これら熱遮蔽円板14、14は、耐熱性金
属、例えばタンタルからなり、上記接続バンド13、1
3にスポット溶接されており、円筒形基体11の開口端
に当接されてこの開口部を閉塞している。
【0021】なお、熱遮蔽円板14の径dは、気密容器
1の外筒2の断面の50%以上を遮蔽する径を有してお
り、本実施例では、外径22mmのタンタル板を取着して
ある。
【0022】上記接続バンド13、13にはそれぞれタ
ンタルからなるリード線15、15が接続されており、
これらリード線15、15は前記給電端子5、5の内端
部に挿入され、この給電端子5、5の内端部をかしめる
ことにより給電端子5、5に接合されている。
【0023】本実施例の場合、少なくとも一方のリード
線15は分断されており、これら分断したリード線間
に、スプリング16を掛け渡してある。このスプリング
16は、気密容器1と通電発熱体10との間に発生する
熱膨張差を吸収するものである。
【0024】このような構成の赤外線ヒ−タにおいて
は、給電端子5、5を電源に接続すると、リード線1
5、15および接続バンド13、13を介して発熱体1
0の導電発熱膜12に電流が流れ、この導電発熱膜12
が発熱する。この場合、導電発熱膜12は円筒形基体1
1の外表面に螺旋状をなした帯状に形成され、軸方向に
所定ピッチを有して配置されているので、円筒形基体1
1の軸方向および周方向に均等に赤外線を放出すること
ができる。このようにした発熱体10から放射された赤
外線は密封容器1を透過して外部に放出される。
【0025】このような実施例においては、発熱体10
の端部、つまり円筒形基体11の端部に熱遮蔽円板1
4、14を取着したので、円筒形基体11の表面に形成
された導電発熱膜12から放射される熱がこれら熱遮蔽
円板14、14により遮断される。すなわち、発熱体1
0から放出される輻射熱が熱遮蔽円板14、14により
遮られて気密容器1の端部に達するのが大幅に低減され
る。
【0026】このため、閉塞デイスク3がアルミナセラ
ミックスにより形成されたディスクの場合は熱歪を生じ
なくなり破損が防止される。また、閉塞デイスク3がニ
オビウムやタンタルなどの金属で形成されている場合は
外気の酸素と反応して腐蝕を生じることがなくなる。ま
た、同様にニオビウムやタンタルのチューブからなる給
電端子5、5も加熱されなるなり、外気の酸素と反応し
て腐蝕を生じるのが防止される。
【0027】さらには、この給電端子5、5と、リード
線15、15との接合部も高温に加熱されなくなるの
で、かしめ接合されている場合でかしめが緩むことがな
くなり、通電不良を招くことが防止される。さらには、
閉塞デイスク3や給電端子5を気密に接合するための半
田ガラス4、6が熱劣化するのも防止され、これら接着
部の気密性が保たれる。このようなことから、ヒータの
寿命が長くなる。
【0028】なお、本実施例では、少なくとも一方のリ
ード線15を分断してここにスプリング16を掛け渡し
てあるから、このスプリング16が、気密容器1と通電
発熱体10との間に発生する熱膨張差を吸収し、よって
熱膨脹差による破損を防止することができる。
【0029】なお、熱遮蔽円板14は外径dが気密容器
1の外筒2の内面に密着していると、気密容器1を軸方
向に区画して熱遮断効果は大きいが、密着していると熱
膨脹差により外筒2を破損するので、若干の隙間を設け
ておく必要がある。しかしこの場合は熱遮蔽円板14の
外径dを気密容器1の内径Dに対し、気密容器1の閉塞
率が断面積比で50%以上となるように設定しないと、
熱遮蔽円板14を設ける効果がないことを確認してい
る。つまり、熱遮蔽円板14は気密容器1の内部空間の
50%以上の断面積を遮断する必要がある。図2は、熱
遮蔽円板14により遮断される気密容器1の内部空間の
閉塞率と、遮蔽デイスク3および給電端子5の温度との
関係を測定した特性図である。
【0030】すなわち、熱遮蔽円板14による気密容器
1の閉塞率が50%未満の場合は、遮蔽デイスク3およ
び給電端子5ともに温度が200℃以上に達し、連続使
用時間が長くなるに応じてこれらの温度が次第に上昇す
る。このため、連続使用時間100時間で10%のヒー
タに異常が発生した。
【0031】これに対し、閉塞率が50%以上の場合
は、遮蔽デイスク3および給電端子5の温度がともに2
00℃以下に押さえられ、連続使用時間が1000時間
経過しても不具合の発生が認められないことを確認して
いる。なお、本発明は上記実施例に制約されない。すな
わち、既に述べたが、閉塞デイスク3はアルミナセラミ
ックスにより形成されることに限らず、ニオビウムやタ
ンタルなどの金属で形成してもよい。また、給電端子5
は排気管を兼ねることには限らず、リード線15を直接
外部に導出してもよい。
【0032】そしてまた、通電発熱体10は、円筒形基
体11の表面に帯形の導電発熱膜12を螺旋形に形成し
たものに限らず、例えば導電発熱膜12を蛇行形に配線
してもよい。
【0033】そして、密封容器1の内部は真空雰囲気に
保つようにしたが、これに代わって、密封容器1の内部
をアルゴン、キセノン、クリプトン、ネオンおよび窒素
などの不活性ガスの雰囲気に保ってもよい。
【0034】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、電
熱発熱体と閉塞体との間に熱遮蔽体を設けたので、発熱
体から外筒端部に向かう熱が遮断され、外筒端部の閉塞
体や給電端子および接着剤などの加熱による劣化が防止
される。このためヒータの寿命が長くなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示し、(A)図はヒ−タの
側面図、(B)は(A)図中b−b線の断面図。
【図2】熱遮蔽円板により遮断される気密容器の閉塞率
と、遮蔽デイスクおよび給電端子の温度との関係を示す
特性図。
【符号の説明】
1…気密容器、2…円筒形外筒、3…閉塞ディスク、
4、6…半田ガラス、5…給電端子、10…通電発熱
体、11…円筒形基体、12…導電発熱膜、14…熱遮
蔽円板、16…スプリング。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 蛭田 寿男 東京都港区三田一丁目4番28号 東芝ライ テツク株式会社内

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 赤外線透過性のセラミックスからなる外
    筒の端部を接着剤を介して閉塞体により気密に閉塞して
    なる気密容器内に、電熱発熱体を収容した赤外線ヒ−タ
    において、 上記電熱発熱体と閉塞体との間に熱遮蔽体を設けたこと
    を特徴とする赤外線ヒ−タ。
  2. 【請求項2】 上記電熱発熱体は、絶縁性基体の表面に
    帯形の導電発熱膜を所定のパタ−ンをなして形成したこ
    とを特徴とする請求項1に記載の赤外線ヒ−タ。
  3. 【請求項3】 上記閉塞体は、上記外筒の断面積の50
    %以上を遮蔽することを特徴とする請求項1または2に
    記載の赤外線ヒ−タ。
JP19146791A 1991-07-31 1991-07-31 赤外線ヒ−タ Pending JPH0536469A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19146791A JPH0536469A (ja) 1991-07-31 1991-07-31 赤外線ヒ−タ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19146791A JPH0536469A (ja) 1991-07-31 1991-07-31 赤外線ヒ−タ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0536469A true JPH0536469A (ja) 1993-02-12

Family

ID=16275142

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP19146791A Pending JPH0536469A (ja) 1991-07-31 1991-07-31 赤外線ヒ−タ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0536469A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002110326A (ja) * 2000-05-22 2002-04-12 Heraeus Noblelight Gmbh 放射装置および該装置の使用法および表面を処理するための方法
JP2011253691A (ja) * 2010-06-02 2011-12-15 Sukegawa Electric Co Ltd シースヒータのリード線接続端子
CN102592834A (zh) * 2011-01-13 2012-07-18 东京毅力科创株式会社 电极制造装置、电极制造方法和计算机存储介质
CN102593421A (zh) * 2011-01-13 2012-07-18 东京毅力科创株式会社 电极制造装置和电极制造方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002110326A (ja) * 2000-05-22 2002-04-12 Heraeus Noblelight Gmbh 放射装置および該装置の使用法および表面を処理するための方法
JP2011253691A (ja) * 2010-06-02 2011-12-15 Sukegawa Electric Co Ltd シースヒータのリード線接続端子
CN102592834A (zh) * 2011-01-13 2012-07-18 东京毅力科创株式会社 电极制造装置、电极制造方法和计算机存储介质
CN102593421A (zh) * 2011-01-13 2012-07-18 东京毅力科创株式会社 电极制造装置和电极制造方法
JP2012146848A (ja) * 2011-01-13 2012-08-02 Tokyo Electron Ltd 電極製造装置、電極製造方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6868230B2 (en) Vacuum insulated quartz tube heater assembly
CA1225115A (en) Quartz infra-red lamps
US6845217B2 (en) Infrared ray lamp, heating apparatus and method of producing the infrared ray lamp
US9536728B2 (en) Lamp for rapid thermal processing chamber
JP3526115B2 (ja) 電極構造および通電発熱式ヒーター
US20250275577A1 (en) Aerosol generating device and heating assembly
JPH0536469A (ja) 赤外線ヒ−タ
CA1135780A (en) Short-arc discharge lamp
US4758759A (en) Lamp with light-source capsule support members having equal thermal conductivity
JP2604944B2 (ja) 半導体ウエハー加熱装置
CN220192199U (zh) 气溶胶产生装置及发热组件
EP0042151B1 (en) High-pressure sodium lamp
JPH088246B2 (ja) 加熱装置
JP2002184844A (ja) サセプターのチャンバーへの取付構造およびサセプターのチャンバーへの支持部材
JPH03280382A (ja) 赤外線ヒータ
CN119136763A (zh) 用于烧制或烧结工件的熔炉的加热元件和至少有一个此类加热元件的熔炉
JPH0684586A (ja) 赤外線ヒ−タ
JP2005069570A (ja) クリーンヒータ
EP0041408B1 (en) A discharge lamp
JP2698537B2 (ja) 加熱装置
JP3366542B2 (ja) ゲートバルブ
JP3075651B2 (ja) セラミック製グロープラグ
JP2871499B2 (ja) 冷陰極蛍光ランプの製造方法
JP2004342368A (ja) 加熱装置
JPH04104494A (ja) セラミックスヒータおよびその製造方法