JPH0536799U - 空気イオン発生装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 電極保持部の開口縁に微細塵が吸着しないよ
うにする。 【構成】 放電電極１０の基端部１１を挿脱可能に保持
する穴状の電極保持部２０を備え、放電電極１０の基端
部１１を円柱棒状に形成し、この基端部１１に該基端部
１１より大きい外径の底面を有する先尖り円錐状の先端
部１２を連設し、この先端部１２の底面を電極保持部２
０の開口縁２１を覆う覆部１３として構成した。 【効果】 電極保持部の開口縁を放電電極の覆部によっ
て覆い露出させないので、開口縁と放電電極の基端部と
の隙間に微細塵が入り込んで吸着してしまう事態を防止
でき、吸着された微細塵が連鎖的に成長しかたまりにな
ってクリーンルームに落下してしまうことがなくなる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、半導体製造工場のクリーンルーム等において用いられる静電気除去 用の空気イオン発生装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

この種の装置は、空気中を浮遊する微小なダストが静電気の帯電している物に 付着しやすいという点に着目し、室内空気をイオン化して帯電物の静電気を除去 することにより当該ダストの付着率を低下させるものである。

【０００３】 従来、この種の空気イオン発生装置は、例えば、図６に示すように、円柱棒を 先尖りに形成した一対の放電電極１を備え、この放電電極１を部屋の天井等に取 り付けられるプラスチック製の保持体２に設けた穴状の電極保持部３に挿脱可能 に保持している。

【０００４】 そして、この一対の放電電極１に正負の電圧をそれぞれ印加し、正負イオンを 連続的に発生させるようにしている。あるいはまた、印加する電圧をパルス状に して正負のイオン群を交互に発生させるようにしている。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

ところで、この従来の空気イオン発生装置にあっては、放電電極１とこれが挿 入された電極保持部３の開口縁４との間に僅かな隙間があることから、空気中の 微細な浮遊塵や放電電極の放電による微細な分解塵等が帯電等により放電電極に 引き寄せられると、この開口縁４のところに吸着され易く、一度吸着が始まると これが連鎖的に成長してかたまりになってしまい、ついには落下してしまうこと があり、この落下塵が悪影響を及ぼすことがあるという問題があった。

【０００６】 そこで、本考案は、電極保持部の開口縁に微細塵が吸着しないようにした空気 イオン発生装置の提供を目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

このような課題を解決するため本考案は、棒状の基端部および該基端部に連続 する先尖りの先端部からなる放電電極と、該放電電極の基端部を挿脱可能に保持 する穴状の電極保持部とを備えた空気イオン発生装置において、上記放電電極の 基端部と先端部との間に電極保持部の開口縁を覆う覆部を形成したものである。

【０００８】

【作用】

この空気イオン発生装置によれば、放電電極をその基端部を電極保持部に挿入 して保持させる。この状態では電極保持部の開口縁が覆部によって覆われ露出す ることがない。そのため、開口縁と基端部の隙間に微細塵が入り込んで吸着して しまう事態が防止される。

【０００９】

【実施例】

以下、本考案の実施例に係る空気イオン発生装置を図面を参照して説明する。

【００１０】 図１および図２に示す実施例において、１０は放電電極であり、例えば、タン グステン合金のものが好ましく、一対設けられている。この放電電極１０は、図 ３に示すように、円柱棒状の基端部１１と該基端部１１に連続する先尖りの先端 部１２とからなる。この先端部１２は円錐形状に形成され、底面１２ａの直径は 基端部１１の直径よりも大きく形成されている。

【００１１】 当該放電電極１０について更に詳しく説明すれば、これは，全長約１３ｍｍで 、そのうち、先端部１２が約５ｍｍになっている。また、基端部１１の直径は、 約１．５ｍｍである。先端部１２は、その底面１２ａの直径が約４ｍｍであり、 均一なコロナ放電が得られるように最先端の直径が約５０μｍとなるよう、なだ らかなテーパが施されている。そして、この底面１２ａが基端部１１と先端部１ ２との間に形成された後述の電極保持部の開口縁を覆う覆部１３として構成され ている。

【００１２】 ２０は上記放電電極１０の基端部１１を挿脱可能に保持する穴状の電極保持部 である。この電極保持部２０は、導電性の筒状ソケットで形成され、プラスチッ ク製の保持体２２に一対設けられている。この電極保持部２０の直径は、放電電 極１０の基端部１１が該放電電極１０の交換、清掃のため容易に取り外しできる よう嵌入される大きさに形成されており、該電極保持部２０の開口縁２１は、上 記放電電極１０の覆部１３によって覆われる。

【００１３】 上記保持体２２はクリーンルームの天井等にねじ止め等任意の手段で固着され る。２３は電極保持部２０を介して放電電極１０へ高電圧を印加するための配線 である。印加する高電圧は、交流を用いても直流を用いてもどちらでもよい。

【００１４】 従って、この実施例に係る空気イオン発生装置によれば、放電電極１０をその 基端部１１を電極保持部２０に挿入して取り付ける。そして、この電極保持部２ ０に電圧を印加すれば、電極保持部２０の先端部１２でコロナ放電が行なわれ、 この先端部１２に付近の空気がイオン化されていく。

【００１５】 この状態において、空気中の微細な浮遊塵や放電電極１０の放電による微細な 分解塵等が塵自身の帯電等により放電電極１０に引き寄せられても、電極保持部 ２０の開口縁２１が先端部１２の覆部１３によって覆われ露出することがないの で、この開口縁２１と基端部１１との隙間に微細塵が入り込んで吸着してしまう 事態が防止される。

【００１６】 このように、微細塵の吸着がないことから、該部に塵がかたまりとなって成長 して付着することがなく、そのため、付着した塵のかたまりがクリーンルーム内 に落下してしまうこともなくなる。

【００１７】 図４は、他の例に係る放電電極３０を示す斜視図である。これは、先端部３２ を四角錐状に形成し、その底面を覆部３３としてある。また、図５は別の例に係 る放電電極４０を示す斜視図である。これは棒状の基端部４１とこれより細い先 端部４２とを備え、この基端部４１と先端部４２との間に鍔状の覆部４３を一体 に形成したものである。

【００１８】 なお、覆部の形状は上述したものに限られるものではなく、どのような形状に 形成しても良い。また、上記実施例においては、放電電極を一対設けているが、 必ずしもこれに限定されるものではなく、３以上設けたものでも良い。また、本 放電電極は、放電電極に正負の電圧をそれぞれ印加して正負イオンを連続的に発 生させる方法、印加する電圧をパルス状にして正負のイオン群を交互に発生させ る方法等各種の方法に適用できることは勿論である。

【００１９】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案の空気イオン発生装置によれば、電極保持部の開 口縁を放電電極の覆部によって覆い露出させないので、開口縁と放電電極の基端 部との隙間に微細塵が入り込んで吸着してしまう事態を防止できる。そのため、 吸着された微細塵が連鎖的に成長しかたまりになって落下してしまうことがなく なり、それだけ、クリーンルーム等の防塵を確実にすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例に係る空気イオン発生装置を示
す断面図である。

【図２】本考案の実施例に係る空気イオン発生装置を示
す斜視図である。

【図３】本考案の実施例に係る放電電極を示す斜視図で
ある。

【図４】放電電極の他の例を示す斜視図である。

【図５】放電電極の別の例を示す斜視図である。

【図６】従来の空気イオン発生装置の一例を示す断面図
である。

【符号の説明】

１ 放電電極 ３ 電極保持部 ４ 開口縁 １０ 放電電極 １１ 基端部 １２ 先端部 １３ 覆部 ２０ 電極保持部 ２１ 開口縁 ２２ 保持体

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 棒状の基端部および該基端部に連続する
   先尖りの先端部からなる放電電極と、該放電電極の基端
   部を挿脱可能に保持する穴状の電極保持部とを備えた空
   気イオン発生装置において、上記放電電極の基端部と先
   端部との間に電極保持部の開口縁を覆う覆部を形成した
   ことを特徴とする空気イオン発生装置。