JPH0537290A - インターデジタルトランスジユーサーおよび弾性表面波フイルタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 圧力基板表面にアポタイズ形電極群を並設し
てなるインターデジタルトランスジューサーにおいて、
内部反射の発生を防止する。 【構成】 アポタイズ形電極群１０の内部反射を生じる
部位、例えば、図１（ａ），（ｂ），（ｃ）の斜線を付
した範囲の電極部位に吸音剤１を塗布し、反射波による
電極振動をこの吸音剤１で抑制するようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は弾性表面波フィルタに係
り、特に、アポタイズ法により重み付けがなされた弾性
表面波用すだれ状電極（ＩＤＴ：インターデジタルトラ
ンスジューサー）に関する。

【０００２】

【従来の技術】弾性表面波フィルタは、圧電体基板上
に、表面波の励振および受信用のＩＤＴが設けられた四
端子構造からなる。ＩＤＴは各々対向交叉する複数の電
極の交叉幅が等しい正規形のままでも一定の帯域フィル
タ特性をもつが、与えられた仕様に合わせるにはＩＤＴ
自体に周波数特性を付与するいわゆる重み付けが一般に
行われる。

【０００３】ＩＤＴの重み付けについては種々の方法が
提案されているが、とりわけ図２に示すように、各電極
の交叉幅を変えていわゆるアポタイズ形の電極群２０を
形成する方法（アポタイズ法）は、手軽に且つ精度良く
重み付けができるので最も多く用いられている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、ＩＤＴで励
振された弾性表面波は、図２に矢示した受信用ＩＤＴに
向かう方向およびその反対方向の二方向に伝搬する。反
対方向に伝搬した弾性表面波は、他の一部の電極の特定
部位、例えば図２のＡ点付近の部位で内部反射される。
この内部反射波が受信用ＩＤＴで受信されると通過帯域
のリップルや群遅延歪となって表れ、フィルタ特性に悪
影響を及ぼしていた。

【０００５】そのため、高精度の特性が要求されるフィ
ルタを設計する場合は、図３に示すように、二枚毎に電
極を交叉させることで弾性表面波の反射を打ち消すいわ
ゆるダブル電極形のＩＤＴが用いられていた。

【０００６】しかしながら、ダブル電極形ＩＤＴはアポ
タイズ形のようなシングル電極形ＩＤＴに比べて電極幅
が小となり、その加工が困難なうえに、各電極の間隔が
λ／８（λは印加電圧の波長）であるため、周波数が数
百［ＭＨ_Z］程度になると，電極の加工が更に困難にな
る問題があった。

【０００７】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、ダブル電極形ＩＤＴと同様の反射波打消効果が得
られるシングル電極形のＩＤＴを提供することにある。

【０００８】本考案の他の目的は、通過帯域でのリップ
ルが少なく、且つ、群遅延特性が平坦な弾性表面波フィ
ルタを提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明のＩＤＴは、各々
交叉対向する複数の電極を圧電基板の表面に並設すると
ともに、各電極の交叉幅を不均等に配してなり、各電極
に電圧が印加されると互いに隣接する電極方向に弾性表
面波を伝搬させ、一部電極の特定部位で内部反射を生じ
るものにおいて、前記一部電極の内部反射を生じる部位
に吸音剤を塗布し、他の電極から伝搬してくる前記弾性
表面波をこの吸音剤で吸収することにより前記内部反射
波の発生を著しく低減せしめたものである。

【００１０】また、本発明の弾性表面波フィルタは、圧
電基板上に弾性表面波の励振用および受信用の二つのＩ
ＤＴを設け、これらＩＤＴの少なくとも励振用のもの
は、各々交叉対向する複数の電極を備えるとともに、各
電極の交叉幅を不均等に配してなるものであって、各電
極に電圧が印加されると互いに隣接する電極方向に弾性
表面波を伝搬させ、一部電極の特定部位で内部反射を生
じるものにおいて、前記ＩＤＴの一部電極の内部反射を
生じる部位に吸音剤を塗布し、他の電極から伝搬してく
る前記弾性表面波をこの吸音剤で吸収するようにしたも
のである。

【００１１】

【作用】ＩＤＴに電圧を印加すると、互いに隣接する電
極方向、即ち双方向に弾性表面波が伝搬するが、いわゆ
るアポタイズ形の電極群からなるＩＤＴの場合は電極の
一部の特定部位で内部反射が生じる。しかも内部反射を
生じる電極およびその部位は、所望の周波数特性、即ち
重み付けの程度に応じて異なる。本発明のＩＤＴでは、
この内部反射が生じる部位の電極に吸音剤を塗布したも
ので、これにより他の電極から伝搬してくる弾性表面波
による電極振動が大幅に抑制され、内部反射が緩和され
る。

【００１２】また、このようなＩＤＴを励振用に用いる
ことで、内部反射による弾性表面波が受信用ＩＤＴに到
達しなくなり、リップルや群遅延歪の発生が抑制され
る。

【００１３】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。

【００１４】図１は本発明のＩＤＴの電極構造図であ
り、従来のものと同様、いわゆるアポタイズ形の電極群
１０からなる。

【００１５】本実施例では、この電極群１０のうち、一
部の電極の内部反射を生じる部位に吸音剤１を塗布した
ものである。吸音剤１には、例えばシリコンゴムのよう
な高分子材料、あるいは不揮発性接着剤を用い、その塗
布量は電極振動を抑制するための必要最小限の量とす
る。また塗布する部位は、例えば図１（ａ），（ｂ），
（ｃ）の斜線で示した範囲の電極部位、好ましくは、図
１（ｂ）の斜線範囲の電極部位とする。

【００１６】このようにすれば、電極群１０に電圧を印
加したときに矢示の方向と反対方向に伝搬する弾性表面
波による電極振動が吸音剤１により大幅に抑制される。
したがって、内部反射が従来のものに比べて著しく緩和
され、ダブル電極形のＩＤＴを用いた場合と同様の反射
波打消効果をシングル形の電極群（アポタイズ形電極
群）にて実現することができる。

【００１７】次に、上記ＩＤＴを用いて弾性表面波フィ
ルタを構成した場合について説明する。この場合、上記
ＩＤＴは弾性表面波フィルタの励振用ＩＤＴとして用い
る。このようにすると、内部反射が抑制された弾性表面
波を受信用ＩＤＴで受信することになり、通過帯域での
リップルが少なく、且つ、群遅延特性が平坦な弾性表面
波フィルタを実現することができる。受信用ＩＤＴにも
上記ＩＤＴを用いれば上記効果は更に顕著になる。

【００１８】なお、図１（ａ），（ｂ），（ｃ）で斜線
で示した部位は、図２のＡ点に対応したものであるが、
この内部反射を生じる部位は、所望の周波数特性、即ち
アポタイズ法による重み付けの程度により変化する。し
たがって、アポタイズ形電極群１０の電極パターンを変
えた場合は、吸音剤１を塗布すべき電極部位も変わるの
であって、必ずしも図１各図の塗布範囲に限定されるも
のではない。

【００１９】

【発明の効果】以上、説明したように、本発明のＩＤＴ
では、複数電極のうち内部反射を生じる一部電極の特定
部位に吸音剤を塗布し、他の電極から伝搬してくる弾性
表面波をこの吸音剤で吸収するようにしたので、ダブル
電極形のＩＤＴと同様の反射波打消効果を奏することが
できる。したがって、使用周波数が高い場合であっても
電極加工が容易となり、製造コストを著しく低下させる
ことができる。

【００２０】また、本発明の弾性表面波フィルタでは、
少なくとも励振用ＩＤＴを上記ＩＤＴで構成したので、
通過帯域でのリップルが少なく、且つ、群遅延特性が平
坦になる効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係るＩＤＴの電極構造図で
あり、（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の斜線範囲は、各々電極
の吸音剤を塗布する部位を示した図である。

【図２】従来のこの種ＩＤＴの電極構造と内部反射の発
生部位を示した図である。

【図３】ダブル電極形ＩＤＴの電極構造図である。

【符号の説明】

１…吸音剤、１０，２０…アポタイズ形ＩＤＴの電極。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 各々交叉対向する複数の電極を圧電基板
   の表面に並設するとともに、各電極の交叉幅を不均等に
   配してなるインターデジタルトランスジューサーであっ
   て、各電極に電圧が印加されると互いに隣接する電極方
   向に弾性表面波を伝搬させ、一部電極の特定部位で内部
   反射を生じるものにおいて、 前記一部電極の内部反射を生じる部位に吸音剤を塗布
   し、他の電極から伝搬してくる前記弾性表面波をこの吸
   音剤で吸収するようにしたことを特徴とするインターデ
   ジタルトランスジューサー。
2. 【請求項２】 圧電基板上に弾性表面波の励振用および
   受信用の二つのインターデジタルトランスジューサーを
   設け、これらインターデジタルトランスジューサーの少
   なくとも励振用のものは、各々交叉対向する複数の電極
   を備えるとともに、各電極の交叉幅を不均等に配してな
   るものであって、各電極に電圧が印加されると互いに隣
   接する電極方向に弾性表面波を伝搬させ、一部電極の特
   定部位で内部反射を生じるものにおいて、 前記インターデジタルトランスジューサーの一部電極の
   内部反射を生じる部位に吸音剤を塗布し、他の電極から
   伝搬してくる前記弾性表面波をこの吸音剤で吸収するよ
   うにしたことを特徴とする弾性表面波フィルタ。