JPH0538932U - Laser oscillator cooling device - Google Patents

Laser oscillator cooling device

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JPH0538932U
JPH0538932U JP8552191U JP8552191U JPH0538932U JP H0538932 U JPH0538932 U JP H0538932U JP 8552191 U JP8552191 U JP 8552191U JP 8552191 U JP8552191 U JP 8552191U JP H0538932 U JPH0538932 U JP H0538932U
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JP
Japan
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cooling
cavity
cooling water
cooling liquid
tank
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JP8552191U
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Japanese (ja)
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辰弘 細江
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 冷却系内気泡残留によるレーザ出力の低下を
防止する目的から冷却系内に空気層を持たせないレーザ
発振器の冷却装置を得る。 【構成】 冷却水タンク8の上部の上面カバー13にベ
ローズ22と冷却液注入口12を配し、冷却液注入口1
2が最も高くなる姿勢のもとで冷却水20を充填する構
成とした。 【効果】 上記姿勢のもとで冷却液注入口付近に気泡を
集めると共にベローズの伸縮性を利用して空気層を冷却
系内部から除去することができる。
(57) [Summary] [Object] To obtain a cooling device for a laser oscillator in which an air layer is not provided in the cooling system for the purpose of preventing a decrease in laser output due to residual bubbles in the cooling system. [Structure] A bellows 22 and a cooling liquid injection port 12 are arranged on an upper surface cover 13 at an upper portion of the cooling water tank 8, and the cooling liquid injection port 1
The cooling water 20 is filled in the position where 2 is the highest. [Effects] Under the above posture, air bubbles can be removed from the inside of the cooling system by collecting bubbles in the vicinity of the cooling liquid inlet and utilizing the elasticity of the bellows.

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】[Industrial applications]

この考案は、レーザ発振器における液体を用いた冷却装置の構造に関するもの である。 The present invention relates to the structure of a cooling device using a liquid in a laser oscillator.

【0002】[0002]

【従来の技術】[Prior Art]

図3、図4は従来装置の構造を示す図であり、図3は従来装置の全体構成図、 図4(a)は従来装置の姿勢90゜変化時の冷却水タンク内の冷却水状態を示す 図、図4(b)は従来装置の姿勢45゜変化時の冷却水タンク内の冷却水状態を 示す図であり、図において1は高電圧回路に電極2を介して接続されたフラッシ ュランプ、3は上記フラッシュランプ1に近接して平行に配されたYAGロッド 、4は上記フラッシュランプ1とYAGロッド3の周囲を包むように配された反 射筒、5は上記フラッシュランプ1、YAGロッド3、反射筒4をその内部にア センブリすると共にキャビティ冷却液入口6とキャビティ冷却液出口7を有する キャビティ、8は上記キャビティ冷却液出口7側の第1の配管9に接続され、そ の下部にタンク冷却液入口10、その上部にタンク冷却液出口11を有する円筒 状の冷却水タンク、12は上記冷却水タンク8の上面カバー13に配された冷却 液注入口、14は上記冷却水タンク8の円筒面周囲に配された板状放熱フィン、 15は上記冷却水タンク8の側方に配された冷却ファン、16は上記冷却ファン 15と板状放熱フィン14を包むエアダクト、17は上記キャビティ液入口6と タンク冷却液出口11の間に配されたポンプ、18は上記冷却水タンク8と上記 ポンプ17を接続する第2の配管、19は上記キャビティ5と上記ポンプ17を 接続する第3の配管、20は冷却系全体に充填され上記タンク冷却液出口11と 上記上面カバー13の中ほどに水位を持つ冷却水、21は上記冷却水タンマ8内 の空気層である。 3 and 4 are views showing the structure of the conventional device, FIG. 3 is an overall configuration diagram of the conventional device, and FIG. 4 (a) shows the state of the cooling water in the cooling water tank when the posture of the conventional device changes by 90 °. Fig. 4 (b) is a diagram showing the state of the cooling water in the cooling water tank when the posture of the conventional device is changed by 45 °. In the figure, 1 is a flash lamp connected to the high voltage circuit via electrodes 2. Reference numeral 3 is a YAG rod arranged in parallel with the flash lamp 1 in parallel. 4 is a reflection tube arranged so as to wrap around the flash lamp 1 and the YAG rod 3. Reference numeral 5 is the flash lamp 1, YAG rod. 3, the reflecting cylinder 4 is assembled therein, and the cavity has a cavity cooling liquid inlet 6 and a cavity cooling liquid outlet 7. The cavity 8 is connected to the first pipe 9 on the side of the cavity cooling liquid outlet 7 and its lower part. In tank A liquid cooling liquid inlet 10, a cylindrical cooling water tank having a tank cooling liquid outlet 11 on the upper portion thereof, 12 is a cooling liquid injection port arranged in a top cover 13 of the cooling water tank 8, and 14 is a cooling water tank 8 of the cooling water tank 8. Plate-shaped heat radiation fins arranged around the cylindrical surface, 15 is a cooling fan arranged laterally of the cooling water tank 8, 16 is an air duct that encloses the cooling fan 15 and the plate-shaped heat radiation fins, and 17 is the cavity liquid. A pump arranged between the inlet 6 and the tank cooling liquid outlet 11, 18 is a second pipe connecting the cooling water tank 8 and the pump 17, and 19 is a third pipe connecting the cavity 5 and the pump 17. A pipe, 20 is cooling water which fills the entire cooling system and has a water level in the middle of the tank cooling liquid outlet 11 and the upper cover 13, and 21 is an air layer in the cooling water tanker 8.

【0003】 従来のレーザ発振器の冷却装置は上記のように構成されており、まず高電圧回 路に接続された上記フラッシュランプ1が発光し上記反射筒4を介して上記YA Gロッド3に集光される。上記YAGロッド3においては集光されたエネルギー がある一定状態に達するとYAGロッドの端面からパルス状にレーザ光が発振さ れる。以上がレーザ発振の基本動作であり、レーザ発振が繰り返されると、上記 キャビティ5の内部では集中的に大量の熱が発生しその発熱密度から直接液冷に て放熱システムを形成する必要が生じる。 本構造において、上記フラッシュランプ1、YAGロッド3、反射筒からの熱 は上記ポンプ17によって循環されている冷却水20により、上記キャビティ冷 却液入口6を通って運び出され、上記第3の配管19、ポンプ17、第2の配管 18、タンク冷却液出口11を通って上記冷却水タンク8内に達する。図中の矢 印は冷却水の流れ方向を示す。 上記冷却水タンク8の円筒面周囲には多くの放熱表面積を有する板状放熱フィ ン14が配されており、上記冷却水20からの熱は上記冷却水タンク8の壁面を 通って上記板状放熱フィン14に伝導され、上記冷却ファン15により吸入され た冷却風により外部へ放熱される。ここで上記エアーダクト16は冷却ファン1 5により押し込まれた冷却風を効率よく上記板状放熱フィン14に当てる働きを している。図中矢印は冷却風の方向を示す。 熱放散されて温度が低くなった上記冷却水20は上記タンク冷却液入口10よ り上記第1の配管9を通って上記キャビティ冷却液出口7より再び上記キャビテ ィ5内に送り込まれる事で冷却システムを形成している。 また、上記冷却水20の液体膨張を本装置内で吸収する必要があり、この為上 記冷却水タンク8の内部には一定量の空気層21を確保する構造となっている。 ところで、レーザ発振器のレーザ出力効率低下の一因として上記キャビティ5 内に気泡が残留することが挙げられる。これは、特に上記フラッシュランプ1、 YAGロッド3、反射筒4の周囲に気泡が付着した場合、レーザ光の透過率が低 下し、YAGロッド3に集められる光エネルギーが少なくなる事、及び気泡付着 が原因となってYAGロッド3自身の冷却効率が低下して温度上昇を起こす事、 以上の2点よりレーザ出力の低下をきたすことになる。 この為、レーザ発振器の冷却システムはキャビティへの気泡混入を防ぐ構造と なっている事が重要であり、本装置においても上記冷却水20の水位は上記タン ク冷却液出口11の先端部分より上方に位置するようになっており、例えば図4 (a)(b)に示すようにレーザ測距装置全体姿勢が変化し冷却水タンクの角度 が変化した際も上記空気層21は上記タンク冷却液出口11の先端部分より上方 に位置するようになっており、姿勢変化があっても気泡が上記キャビティ5内に 戻って巾がない構造となっている。 尚、上記冷却水タンク8の上方には上面カバー13があり、ここに備えられた 冷却液注入口により冷却水20を注入する構造となっている。The conventional cooling device for the laser oscillator is configured as described above, and first, the flash lamp 1 connected to the high voltage circuit emits light and collects on the YAG rod 3 via the reflecting cylinder 4. Be illuminated. In the YAG rod 3, when the condensed energy reaches a certain state, laser light is oscillated in a pulse form from the end surface of the YAG rod. The above is the basic operation of laser oscillation, and when laser oscillation is repeated, a large amount of heat is intensively generated inside the cavity 5, and it is necessary to form a heat dissipation system by liquid cooling directly from the heat generation density. In this structure, the heat from the flash lamp 1, the YAG rod 3, and the reflecting tube is carried out through the cavity cooling liquid inlet 6 by the cooling water 20 circulated by the pump 17, and the third pipe It reaches the inside of the cooling water tank 8 through 19, the pump 17, the second pipe 18, and the tank cooling liquid outlet 11. The arrow in the figure indicates the flow direction of the cooling water. A plate-shaped heat radiation fin 14 having a large heat radiation surface area is arranged around the cylindrical surface of the cooling water tank 8, and the heat from the cooling water 20 passes through the wall surface of the cooling water tank 8 to form the plate shape. The heat is conducted to the heat radiation fins 14 and is radiated to the outside by the cooling air sucked by the cooling fan 15. Here, the air duct 16 functions to efficiently apply the cooling air pushed by the cooling fan 15 to the plate-shaped heat radiation fins 14. The arrow in the figure indicates the direction of the cooling air. The cooling water 20 whose temperature has been lowered due to heat dissipation is cooled by being sent again from the tank cooling liquid inlet 10 through the first pipe 9 to the cavity cooling liquid outlet 7 into the cavity 5 again. Form a system. In addition, it is necessary to absorb the liquid expansion of the cooling water 20 in the present apparatus. Therefore, the cooling water tank 8 has a structure in which a certain amount of air layer 21 is secured. By the way, one of the causes of the decrease in the laser output efficiency of the laser oscillator is that the bubbles remain in the cavity 5. This is because when the bubbles are attached around the flash lamp 1, the YAG rod 3 and the reflecting tube 4, the transmittance of the laser light is lowered, and the light energy collected in the YAG rod 3 is reduced. Due to the adhesion, the cooling efficiency of the YAG rod 3 itself lowers and the temperature rises, and the laser output lowers from the above two points. For this reason, it is important that the cooling system of the laser oscillator has a structure that prevents bubbles from entering the cavity. Also in this device, the water level of the cooling water 20 is higher than the tip of the tank cooling liquid outlet 11. 4A and 4B. For example, as shown in FIGS. 4 (a) and 4 (b), the air layer 21 keeps the tank cooling liquid even when the entire posture of the laser distance measuring device changes and the angle of the cooling water tank changes. It is located above the tip of the outlet 11, and has a structure in which bubbles return to the inside of the cavity 5 even if the posture changes, and there is no width. An upper cover 13 is provided above the cooling water tank 8 and has a structure for injecting the cooling water 20 through a cooling liquid injection port provided therein.

【0004】[0004]

【考案が解決しようとする課題】[Problems to be solved by the device]

従来のレーザ発振器の冷却装置は以上のように構成されているので、レーザ測 距装置全体の姿勢が急激に変化した場合や、車両に搭載し振動外力が加わった場 合に冷却タンク内の空気層が一瞬冷却水内に混入する状態が起きる。その為ポン プにより循環されている気泡が混入したままキャビティ内に冷却水が送り込まれ YAGロッド等に気泡が付着することとなり、結果的にレーザ出力の低下を引き 起こすという課題があった。 Since the conventional cooling device for the laser oscillator is configured as described above, the air inside the cooling tank can be changed when the posture of the entire laser distance measuring device changes suddenly or when it is mounted on the vehicle and vibration external force is applied. A state occurs in which the layer mixes in the cooling water for a moment. Therefore, cooling water is sent into the cavity while the air bubbles circulated by the pump are mixed, and the air bubbles adhere to the YAG rod or the like, resulting in a problem that the laser output is reduced.

【0005】 この考案はかかる課題を解決する為になされたもので、レーザ出力の低下を招 くことのないレーザ発振器の冷却装置を提案するものである。The present invention has been made in order to solve such a problem, and proposes a cooling device for a laser oscillator that does not reduce the laser output.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

この考案に係わるレーザ発振器の冷却装置は、冷却水タンクの上部にベローズ を付加するとともに、ポンプを駆動させながらベローズと冷却液注入口を用いて 気泡を除去する構造としたものである。 The cooling device for a laser oscillator according to the present invention has a structure in which a bellows is added to the upper part of a cooling water tank, and bubbles are removed using a bellows and a cooling liquid injection port while driving a pump.

【0007】[0007]

【作用】[Action]

この考案においては、ベローズが冷却装置内の冷却水の液体膨張を吸収する働 きをすると共に、冷却装置に冷却水を注入し冷却系内部に残留している気泡を順 次冷却タンク内に集めた後、圧力差とベローズの伸縮を利用して冷却液注入口か ら除去する。 In this invention, the bellows act to absorb the liquid expansion of the cooling water in the cooling device, and the cooling water is injected into the cooling device to collect the bubbles remaining in the cooling system in the progressive cooling tank. After that, the pressure difference and expansion and contraction of the bellows are used to remove from the coolant inlet.

【0008】[0008]

【実施例】【Example】

実施例1. 図1、図2はこの考案の一実施例を示すものであり、図1は装置の全体構成図 、図2は空気層除去時を示す図であり1〜21は上記従来装置と全く同一のもの である。22は上記上面カバー13に配されたベローズ。 Example 1. 1 and 2 show an embodiment of the present invention, FIG. 1 is an overall configuration diagram of the device, FIG. 2 is a diagram showing the time when an air layer is removed, and 1 to 21 are exactly the same as the above conventional device. It is a thing. 22 is a bellows arranged on the top cover 13.

【0009】 上記のように構成されたレーザ発振器の冷却装置においては、まず図2に示す ように装置全体を傾斜させた姿勢とする。 そして、上記冷却液注入口12から冷却水20を装置内に注入した後、上記冷 却液注入口12のキャップを閉じた状態で上記ポンプ17を作動させる。すると 本装置内の上記キャビティ5の内部や上記ポンプ17や上記第3の配管19等装 置の各部に残留していた気泡は、上記タンク冷却液出口11から冷却水タンク8 内に入り、図2に示すように上記冷却液注入口12付近に空気層となって集めら れる。 この時、上記ポンプ17の吐出側となっている上記第2の配管18、及び上記 冷却水タンク8の内部は圧力が高い状態となっており、その為に上記ベローズ2 2も自由高さ状態より内部圧力が高い分だけ伸張した状態となっている。 この状態で上記冷却液注入口12のキャップを緩めると瞬時に内圧が解放され 、上記ベローズ22が自由高さに復帰すると同時に上記冷却液注入口12のキャ ップ部分から瞬間的に上記冷却液注入口12付近に集まっていた空気が排出され る。この後必要な冷却水20を冷却液注入口12から補充し、この動作を2〜3 回くり返す。これにより本装置内の空気層は完全に除去されることになる。 また、冷却系内が完全に冷却水だけとなった後、冷却水の液体膨張分は上記ベ ローズ22が伸張することにより吸収する。In the cooling device of the laser oscillator configured as described above, first, the entire device is tilted as shown in FIG. Then, after the cooling water 20 is injected into the apparatus from the cooling liquid injection port 12, the pump 17 is operated with the cap of the cooling liquid injection port 12 closed. Then, the bubbles remaining inside the cavity 5 in the device, the pump 17, the third pipe 19 and other parts of the device enter the cooling water tank 8 from the tank cooling liquid outlet 11 and As shown in FIG. 2, an air layer is collected near the cooling liquid inlet 12. At this time, the pressure inside the second pipe 18 on the discharge side of the pump 17 and the inside of the cooling water tank 8 is high, so that the bellows 22 is also in a free height state. It is in a stretched state due to the higher internal pressure. When the cap of the cooling liquid inlet 12 is loosened in this state, the internal pressure is instantly released, the bellows 22 returns to the free height, and at the same time, the cooling liquid is instantaneously released from the cap portion of the cooling liquid inlet 12. The air collected near the inlet 12 is discharged. After this, the required cooling water 20 is replenished from the cooling liquid inlet 12, and this operation is repeated 2-3 times. As a result, the air layer in the device is completely removed. Also, after the inside of the cooling system is completely filled with the cooling water, the expanded portion of the cooling water is absorbed by the expansion of the bellows 22.

【0010】[0010]

【考案の効果】[Effect of the device]

この考案は以上説明したとおり、ベローズを用い圧力差を利用して装置内に空 気層を持たない冷却システムとしたので、レーザ出力の低下を防止でき高出力の 安定したレーザ測距装置が得られるという効果がある。 As described above, this invention uses a bellows to create a cooling system that does not have an air layer inside the device by utilizing the pressure difference, so a reduction in laser output can be prevented and a stable laser ranging device with high output can be obtained. There is an effect that is.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この考案の一実施例を示す装置の全体構成図で
ある。
FIG. 1 is an overall configuration diagram of an apparatus showing an embodiment of the present invention.

【図2】この考案の一実施例を示す空気層除去時を示す
図である。
FIG. 2 is a diagram showing an embodiment of the present invention when an air layer is removed.

【図3】従来装置の全体構成図である。FIG. 3 is an overall configuration diagram of a conventional device.

【図4】従来装置の姿勢変化時の冷却水状態を示す図で
ある。
FIG. 4 is a diagram showing a state of cooling water when the posture of the conventional device is changed.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 フラッシュランプ 2 電極 3 YAGロッド 4 反射筒 5 キャビティ 6 キャビティ液入口 7 キャビティ液出口 8 冷却水タンク 9 第1の配管 10 タンク液入口 11 タンク液出口 12 冷却液注入口 13 上面カバー 14 板状放熱フィン 15 冷却ファン 16 エアーダクト 17 ポンプ 18 第2の配管 19 第3の配管 20 冷却水 21 空気層 22 ベローズ 1 Flash Lamp 2 Electrode 3 YAG Rod 4 Reflecting Tube 5 Cavity 6 Cavity Liquid Inlet 7 Cavity Liquid Outlet 8 Cooling Water Tank 9 First Piping 10 Tank Liquid Inlet 11 Tank Liquid Outlet 12 Cooling Liquid Inlet 13 Top Cover 14 Plate-like Heat Dissipation Fins 15 Cooling fan 16 Air duct 17 Pump 18 Second pipe 19 Third pipe 20 Cooling water 21 Air layer 22 Bellows

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】 高電圧回路に電極を介して接続されたフ
ラッシュランプ、上記フラッシュランプに近接して並行
に配されたYAGロッド、上記フラッシュランプとYA
Gロッドの周囲を包むように配された反射筒、上記フラ
ッシュランプ、YAGロッド、反射筒をその内部にアセ
ンブリすると共にキャビティ冷却液出口とキャビティ冷
却液入口を有するキャビティ、上記キャビティ冷却液出
口側の第1の配管に接続され、その下部にタンク冷却液
入口、その上部にタンク冷却液出口、その円筒面周囲に
板状放熱フィンを有する円筒状の冷却水タンク、上記冷
却水タンクの上面カバーに配された冷却液注入口、同様
に上記上面カバーに配されたベローズ、上記冷却水タン
クの側方に配された冷却ファン、上記冷却ファンと板状
放熱フィン部分を包むエアーダクト、上記キャビティ冷
却液入口とタンク冷却液出口の間に配されたポンプ、上
記冷却水タンクと上記ポンプを接続する第2の配管、上
記キャビティと上記ポンプを接続する第3の配管、冷却
系全体に充填された冷却水により構成されたことを特徴
とするレーザ発振器の冷却装置。
1. A flash lamp connected to a high-voltage circuit through an electrode, a YAG rod arranged in parallel near the flash lamp, the flash lamp and YA.
A reflector cylinder arranged so as to wrap around the G rod, the flash lamp, the YAG rod, a cavity in which the reflector cylinder is assembled and a cavity cooling liquid outlet and a cavity cooling liquid inlet, and a cavity cooling liquid outlet side first cavity 1 is connected to the pipe, the tank cooling liquid inlet is at the lower part thereof, the tank cooling liquid outlet is at the upper part thereof, a cylindrical cooling water tank having a plate-shaped radiating fin around the cylindrical surface thereof, and an upper cover of the cooling water tank. A cooling liquid inlet, a bellows similarly arranged on the upper cover, a cooling fan arranged on the side of the cooling water tank, an air duct enclosing the cooling fan and the plate-shaped heat radiation fin portion, the cavity cooling liquid A pump arranged between the inlet and the tank coolant outlet, a second pipe connecting the cooling water tank and the pump, the cavity and the upper part. Third pipe connecting the pump, the cooling device of the laser oscillator, characterized in that it is constituted by the cooling water filled in the entire cooling system.
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