JPH0539557Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野 本考案は、Ｘ線光電子分光法（ESCA）やオー
ジエ電子分光法（AES）法の分析装置において
試料を所要の姿勢で支持する試料台装置に関す
る。

(ロ) 従来技術とその問題点 ESCA等の分析装置では、試料は、真空室内の
ターンテーブルの周部に試料台装置を介して所要
の傾斜姿勢に支持される。

従来のこの種の試料台装置は、第３図に示すよ
うに、ターンテーブルＴ周部のセツト孔Taに嵌
合セツトされるセツト用ベース１₀と、このベー
ス１₀上に一体に立設された支柱２₀と、この支柱
２₀上に設けられた試料固定用の台本体３₀とから
なり、台本体３₀は支柱２₀に一定の傾斜姿勢で固
定されていた。

そのため、この試料台装置４₀を用いＸ線等の
励起源に対して試料Ｓの傾斜姿勢を変えて測定を
行なう場合、その測定の度毎に、この試料台装置
４₀を真空室内から取り出して、台本体３₀の傾斜
角が異なる他の試料台装置４₀と取り替える必要
があり、面倒であつた。

これに対しては、第４図に概略的に示すような
マニユピレータ付きの試料台装置５₀がある。こ
の試料台装置５₀は、台本体６₀がほぼ半球形で、
その周部に形成したギア７₀，８₀に噛合するギア
９₀，１０₀を回転操作することにより、台本体５
_０をいずれの方向にも傾斜させることができ、真
空室の外部からの操作が可能である。

ところが、この試料台装置５₀は、台本体６₀の
部分の構造が複雑かつ大型であるので、台本体６
_０の近傍には励起源等の他の装置を配置すること
ができない。たとえば、励起源としてのコニカル
型Ｘ線銃では、第３図にも示したように、試料Ｓ
の周囲近傍に、環状のマグネシウムブロツクＢ
と、このマグネシウムブロツクＢに対して熱電子
を放出するフイラメントＦとを配置する必要があ
るが、台本体が大型であると、この台本体が邪魔
になつて、試料Ｓの周囲近傍にマグネシウムブロ
ツクＢを配置することができず、コニカル型Ｘ線
銃の使用が不可能となる。

本考案は、このような事情に鑑みてなされたの
であつて、真空室の外部からの操作で試料の傾斜
姿勢を変更することができ、しかも、試料の周囲
近傍に励起源等の他の装置を配置することができ
る試料台装置を提供することを目的とする。

(ハ) 問題点を解決するための手段 本考案は、上記の目的を達成するために、下端
にセツト用ベースを有する支柱の上端部に台本体
を設けた試料台装置において、前記支柱に台本体
を傾斜自在に枢着し、支柱の内部に回転体を縦軸
周り回転自在に設け、この回転体の下部には、ベ
ースの下面側に露出する回転受動部を設けるとと
もに、この回転体の上部にはねじ部を形成し、こ
のねじ部に昇降部材を上下動自在に螺合し、この
昇降部材を台本体の傾斜遊端部に連結した。

(ニ) 作用 上記構成において、従来から真空室内に設けら
れている試料台回転棒と同種の回転操作具で回転
体を回転させると、これに螺合する昇降部材が支
柱内で上下し、この昇降部材の上下動に伴ない、
台本体の傾斜遊端部が引き下げ、もしくは押し上
げられて、台本体とその上の試料の傾斜姿勢が変
化する。

(ホ) 実施例 以下、本考案を図面に示す実施例に基づいて詳
細に説明する。

第１図は、本考案の実施例に係る試料台装置の
縦断側面図、第２図はその正面図である。

この実施例の試料台装置は、ターンテーブルＴ
周部のセツト孔Taに嵌合セツトされるセツト用
のベース１と、このベース１上に一体に立設され
た支柱２と、この支柱２の上端部に設けられた台
本体３とを備える。

セツト用のベース１は逆円錐台形で、その下面
部はセツト孔Taを通じてターンテーブルＴの下
面側に露出するようになつている。このベース１
の逆円錐周面には、ターンテーブルＴ側からベー
ス１固定用のピンＰが挿し込まれる孔１ａが形成
されている。

支柱２は筒体からなり、その中空部が上下に貫
通し、ベース１の下面側で大径に拡開している。
この支柱２の上部には、左右一対の側壁２ａ，２
ａが一体に連成され、左右の側壁２ａ，２ａの間
に前記台本体３が横方向の支軸４により傾斜自在
に枢着されている。

また、支柱２の中空内部には、回転体５が縦軸
方向に不動状で縦軸周りに回転のみ可能な状態で
嵌入されている。この回転体５には下方に開いた
凹部５ａが形成され、この凹部５ａの開口縁は、
ベース１の下面側に露出している。そして、回転
体の露出下面部に、回転受動部として、回転操作
具ＤのピンDaが係合する係合凹部５ｂが形成さ
れている。

一方、回転体５の上部には雌ねじ部５ｃが形成
されている。そして、この雌ねじ部５ｃには上下
に螺進しうる状態で、ねじ棒状の昇降部材６が螺
合されている。６ａは昇降部材６の雄ねじ部であ
る。昇降部材６の上端部と、台本体３の傾斜遊端
部とは、リンク７で連結されており、このリンク
７により昇降部材６の回転が阻止されている。８
はリンク７の昇降部材６側の枢着ピン、９はリン
ク７の台本体３側の枢着ピンである。台本体３の
傾斜遊端部と支柱２内面との間には、線ばね１０
が介装され、この線ばね１０により台本体３の傾
斜遊端部に上向きの弾力が付勢されている。

次に、この実施例の作用について説明する。

まず、ベース１をターンテーブルＴのセツト孔
Taに嵌入させることによつて、試料台装置の全
体をターンテーブルＴの所定箇所にセツトする。
また、台本体３の上面には試料を貼着しておく。
試料台装置の全体をセツトした状態では、回転体
５の下面部がターンテーブルＴの下面側に露出し
ている。

ここで、台本体３および試料の傾斜姿勢を変更
する場合は、回転操作具ＤをターンテーブルＴの
下面側から回転体５の下面に当てがう。この回転
操作具Ｄは、従来からこの種試料台装置の回転用
として真空室内に用意されているものと同種のも
ので、先端に回転体５の凹部５ａに嵌入しうる中
心突部Dbと、回転体５の係合凹部５ｂに係合す
るピンDaとが設けられている。

回転操作具Ｄの中心突部Dbを回転体５の凹部
５ａに、また回転操作具ＤのピンDaを回転体５
の係合凹部５ｂに嵌入させた状態で、回転操作具
Ｄを回転させると、回転体５が同方向に一体に回
転する。この回転体５の上端部には昇降部材６が
螺合しており、この昇降部材６は、リンク７によ
りその回転が阻止されているから、回転体５の回
転に伴ない、ねじの作用で上方、もしくは下方に
移動する。昇降部材６が上方に移動した場合は、
リンク７を介して台本体３の一端部が突き上げら
れることになつて、台本体３は第１図において右
下がりの傾斜姿勢になる。昇降部材６が下方に移
動した場合は、リンク７を介して台本体３の一端
部が引き下げられ、台本体３は、第１図において
左下がりの傾斜姿勢となる。

このように、回転操作具Ｄにより回転体５を回
転させることによつて、台本体３および試料の傾
斜姿勢が変化する。

なお、図示の実施例では、回転体５に雌ねじ部
５ｃを形成し、昇降部材６に雄ねじ部６ａを形成
したが、これとは逆に、回転体５に雄ねじ部を形
成し、昇降部材６に雌ねじ部を形成してもよく、
回転体５の回転に伴ない昇降部材６が上下動する
よう両者が互いに螺合していればよい。

(ヘ) 効果 以上のように、本考案によれば、従来から真空
室内にある回転操作具と同種のものによる操作で
台本体の傾斜姿勢を変更することができ、真空室
の外部からの操作で試料の傾斜角度を調整するこ
とができる。

しかも、台本体を傾斜させる機構が支柱やセツ
ト用ベースの内部に収められ、全体が従来の固定
型の試料台装置と同程度の大きさにまとまるの
で、スペース的に余裕のない箇所でも使用可能
で、試料の周囲近傍にコニカル型Ｘ線銃のような
他の装置を配置することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本考案の一実施例に係
り、第１図はその縦断側面図、第２図は正面図で
ある。第３図および第４図は従来例の側面図であ
る。 １……セツト用ベース、２……支柱、３……台
本体、５……回転体、５ｂ……係合凹部（回転受
動部）、５ｃ……雌ねじ部、６……昇降部材、６
ａ……雄ねじ部、７……リンク。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 下端にセツト用ベースを有する支柱の上端部に
   台本体を設けた試料台装置において、 前記支柱に台本体を傾斜自在に枢着し、支柱の
   内部に回転体を縦軸周り回転自在に設け、この回
   転体の下部には、ベースの下面側に露出する回転
   受動部を設けるとともに、回転体の上部にはねじ
   部を形成し、このねじ部に昇降部材を上下動自在
   に螺合し、この昇降部材を台本体の傾斜遊端部に
   連結したことを特徴とする試料台装置。