JPH053974Y2 - - Google Patents
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- JPH053974Y2 JPH053974Y2 JP1985069021U JP6902185U JPH053974Y2 JP H053974 Y2 JPH053974 Y2 JP H053974Y2 JP 1985069021 U JP1985069021 U JP 1985069021U JP 6902185 U JP6902185 U JP 6902185U JP H053974 Y2 JPH053974 Y2 JP H053974Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- humidity
- humidity detection
- temperature
- bridge
- metal oxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本考案は、金属酸化物焼結コイルの抵抗値が、
被測定雰囲気の湿度の増加に対応して減少するよ
うに測定回路を形成して、湿度を測定する湿度検
出装置に関する。
被測定雰囲気の湿度の増加に対応して減少するよ
うに測定回路を形成して、湿度を測定する湿度検
出装置に関する。
（従来の技術）
金属酸化物焼結体を用いて湿度を検出する素子
が知られている。
が知られている。
第６図は従来の金属酸化物焼結体を用いた湿度
検出器の構成例を示す平面図、側断面図および底
面図である。
検出器の構成例を示す平面図、側断面図および底
面図である。
アルミナ等の基板１９の一面に、マグネタイト
系、ニツケルフエライト系、酸化バナジウム系、
マグネシウム・スピネル系等の金属酸化物１８が
焼結されている。
系、ニツケルフエライト系、酸化バナジウム系、
マグネシウム・スピネル系等の金属酸化物１８が
焼結されている。
この金属酸化物１８の表面に金や白金等の腐蝕
し難い金属から成る電極２０が形成されている。
し難い金属から成る電極２０が形成されている。
前記のような湿度検出器における応答速度は、
吸着（湿度が上昇）の場合は、10秒程度までで比
較的速い。
吸着（湿度が上昇）の場合は、10秒程度までで比
較的速い。
水分の離脱（湿度が下降）の場合は、１分以
上、数時間に及ぶ。そのためにヒステリシスが大
きく、湿度変化の速い環境において、正確な検出
をすることは、不可能であつた。特に金属酸化物
１８の表面に汚れが付着した場合は、水分の完全
な離脱は不可能であり、再現性に乏しい。
上、数時間に及ぶ。そのためにヒステリシスが大
きく、湿度変化の速い環境において、正確な検出
をすることは、不可能であつた。特に金属酸化物
１８の表面に汚れが付着した場合は、水分の完全
な離脱は不可能であり、再現性に乏しい。
そのため水分の離脱を促すために、第６図ｂ，
ｃで示すように基板１９の裏面にヒータ回路２１
を印刷し、必要時に通電加熱により、水分の離脱
を促進し、応答速度を短縮するという方法が行わ
れている。このようにヒータ回路２１を設けるこ
とにより、応答速度も数十秒と短縮することがで
きる。
ｃで示すように基板１９の裏面にヒータ回路２１
を印刷し、必要時に通電加熱により、水分の離脱
を促進し、応答速度を短縮するという方法が行わ
れている。このようにヒータ回路２１を設けるこ
とにより、応答速度も数十秒と短縮することがで
きる。
また、金属酸化物表面の汚れについては、湿度
検出器の周囲にカンタル・ヒータを設ける構成が
提案され、実施されている。
検出器の周囲にカンタル・ヒータを設ける構成が
提案され、実施されている。
前記カンタル・ヒータを一定時間ごとに450℃
程度に加熱することにより、金属酸化物表面の汚
れを燃焼させて除去することができる。
程度に加熱することにより、金属酸化物表面の汚
れを燃焼させて除去することができる。
（考案が解決しようとする問題点）
民生機器の分野や工業プロセスの制御の分野で
小形で取り扱いが簡単で、精度の良い湿度検出装
置を使用したいという強い要請がある。
小形で取り扱いが簡単で、精度の良い湿度検出装
置を使用したいという強い要請がある。
前記従来の金属酸化物焼結体を用いた湿度検出
器は、加熱やクリーニングの構造が複雑である。
また応答速度にも問題がありヒステリシスも十分
に小さいとは言い難い。
器は、加熱やクリーニングの構造が複雑である。
また応答速度にも問題がありヒステリシスも十分
に小さいとは言い難い。
本考案の目的は、金属酸化物焼結体を用いた湿
度検出素子を用い、構造が簡単でクリーニングが
不要であり、応答速度が速く、ヒステリシスの小
さい湿度検出装置を提供することにある。
度検出素子を用い、構造が簡単でクリーニングが
不要であり、応答速度が速く、ヒステリシスの小
さい湿度検出装置を提供することにある。
（問題点を解決するための手段）
前記目的を達成するために、本考案による湿度
検出装置は、 Cr2O3にZnO，SnO2，In2O3より成る群の中か
ら、少なくとも一種の金属酸化物を45重量％以上
混合し、高温で酸化し難い金属線コイル表面に焼
結した金属酸化物焼結コイルを感湿部とする湿度
検出素子と、 前記湿度検出素子と温度係数の絶対値や熱放散
定数が一致または近似する抵抗素子である温度補
償素子と、 前記湿度検出素子と温度補償素子をそれぞれブ
リツジ辺とするブリツジ回路とからなり、 前記湿度検出素子と温度補償素子とがブリツジ
の電源により加熱されているときに被測定雰囲気
の湿度により前記湿度検出素子の抵抗値が降下さ
せられることによる前記ブリツジ出力の変化を検
出することにより湿度を検出するように構成され
ている。
検出装置は、 Cr2O3にZnO，SnO2，In2O3より成る群の中か
ら、少なくとも一種の金属酸化物を45重量％以上
混合し、高温で酸化し難い金属線コイル表面に焼
結した金属酸化物焼結コイルを感湿部とする湿度
検出素子と、 前記湿度検出素子と温度係数の絶対値や熱放散
定数が一致または近似する抵抗素子である温度補
償素子と、 前記湿度検出素子と温度補償素子をそれぞれブ
リツジ辺とするブリツジ回路とからなり、 前記湿度検出素子と温度補償素子とがブリツジ
の電源により加熱されているときに被測定雰囲気
の湿度により前記湿度検出素子の抵抗値が降下さ
せられることによる前記ブリツジ出力の変化を検
出することにより湿度を検出するように構成され
ている。
なお、特開昭54−39197号ガス検知器の製造方
法の発明には、本考案に係る湿度検出素子と共通
する構造のガス検出器が示されている。
法の発明には、本考案に係る湿度検出素子と共通
する構造のガス検出器が示されている。
この発明に係るガス検出器は、検出素子に可燃
性ガスが接触すると、その触媒作用によりガスの
燃焼が促進され、前記素子の抵抗値が増大するこ
とを利用してガスを検出するものである。
性ガスが接触すると、その触媒作用によりガスの
燃焼が促進され、前記素子の抵抗値が増大するこ
とを利用してガスを検出するものである。
しかしながら、本考案による湿度検出装置は、
前述するようにコイルのブリツジの電源により加
熱される湿度検出素子の抵抗値が被測定雰囲気の
湿度により降下させられることを検出するもので
あるから、動作機構を全く異にするものである。
前述するようにコイルのブリツジの電源により加
熱される湿度検出素子の抵抗値が被測定雰囲気の
湿度により降下させられることを検出するもので
あるから、動作機構を全く異にするものである。
したがつて同様にブリツジを構成すると出力は
逆方向に現れるはずである。
逆方向に現れるはずである。
これに対して本考案では、Cr2O3にZnO，
SnO2，In2O3より成る群の中から、少なくとも一
種の金属酸化物を30重量％以上混合することによ
り可燃性ガスの存在下でも前記とは全く逆の抵抗
特性を示すようにして可燃性ガスの存在が湿度に
よる前記抵抗の変化を打ち消さないようにしてあ
る。
SnO2，In2O3より成る群の中から、少なくとも一
種の金属酸化物を30重量％以上混合することによ
り可燃性ガスの存在下でも前記とは全く逆の抵抗
特性を示すようにして可燃性ガスの存在が湿度に
よる前記抵抗の変化を打ち消さないようにしてあ
る。
（実施例）
以下、図面等を参照して本考案をさらに詳しく
説明する。
説明する。
第１図は、本考案による湿度検出装置を用いる
湿度検出素子の実施例を示す図である。
湿度検出素子の実施例を示す図である。
湿度検出素子７は絶縁物のステム３に植立され
た端子ピン４および５に両端が接続された金属線
コイル１に金属酸化物焼結体２を設けて構成され
ている。
た端子ピン４および５に両端が接続された金属線
コイル１に金属酸化物焼結体２を設けて構成され
ている。
前記金属酸化物焼結体２の表面が測定対象雰囲
気に触れるように孔のあいたキヤツプ６を被せて
ある。
気に触れるように孔のあいたキヤツプ６を被せて
ある。
金属線コイル１として、白金線を用いて線径
0.05mm、コイル径0.5mm、巻数10回のものを使用
した。
0.05mm、コイル径0.5mm、巻数10回のものを使用
した。
なおこの金属線として、白金同様に白金イリジ
ユーム等の高温で酸化し難い金属線を使用するこ
とができる。
ユーム等の高温で酸化し難い金属線を使用するこ
とができる。
金属酸化物焼結体２の素材として、可燃性ガス
の吸着により、Ｎ形半導体特性を示すZnO，
SnO2，In2O3の中から少なくとも１種類以上を選
んでCr2O3と混合して、次の〜の各種配合を
用意する。
の吸着により、Ｎ形半導体特性を示すZnO，
SnO2，In2O3の中から少なくとも１種類以上を選
んでCr2O3と混合して、次の〜の各種配合を
用意する。
これらを純水で溶き、直接前記白金コイル１に
塗布し、自然乾燥の後、約900℃で仮焼して、４
種類の感湿部を形成する。
塗布し、自然乾燥の後、約900℃で仮焼して、４
種類の感湿部を形成する。
Cr2O3：ZnO＝１：１（重量比）
Cr2O3：SnO2＝１：１
Cr2O3：In2O3＝１：１
Cr2O3：ZnO：SnO2＝１：１：１
この感湿部をステム３の取り付け端子４，５の
上端に電気熔接等で取り付けた後、白金コイル１
に通電して白金コイル１の平均温度を1000℃に保
ち、金属酸化物２を強固に焼結させる。
上端に電気熔接等で取り付けた後、白金コイル１
に通電して白金コイル１の平均温度を1000℃に保
ち、金属酸化物２を強固に焼結させる。
ついで前記ステム３に孔のあいたキヤツプ６を
封着し、湿度検出素子７を形成する。
封着し、湿度検出素子７を形成する。
このようにして形成された湿度検出素子７を第
２図のブリツジ回路に組み込む湿度検出装置を形
成する。
２図のブリツジ回路に組み込む湿度検出装置を形
成する。
温度補償素子８は、湿度検出素子７と、温度係
数や熱放散定数が一致していることが好ましい。
数や熱放散定数が一致していることが好ましい。
このため、この実施例では、前記湿度検出素子
７の金属酸化物２を強固に焼結させるまで同様の
工程で素子を構成し、露点約−70℃の乾燥空気中
で素子を密封キヤツプで封着する。
７の金属酸化物２を強固に焼結させるまで同様の
工程で素子を構成し、露点約−70℃の乾燥空気中
で素子を密封キヤツプで封着する。
前記素子は湿度検出素子７と同様に４種類用意
し、それぞれ対応する温度補償素子８と湿度検出
素子７をブリツジの要素としてブリツジ回路を形
成する。
し、それぞれ対応する温度補償素子８と湿度検出
素子７をブリツジの要素としてブリツジ回路を形
成する。
抵抗９，１０はブリツジ回路の辺を構成する抵
抗、１１は電源、１２，１３はブリツジの出力端
子である。
抗、１１は電源、１２，１３はブリツジの出力端
子である。
この実施例において電源１１は4.7Vであり、
ブリツジ回路には約240mAの電流が供給され、
湿度検出素子７および温度補償素子８の白金コイ
ル１は約400℃に加熱されている。
ブリツジ回路には約240mAの電流が供給され、
湿度検出素子７および温度補償素子８の白金コイ
ル１は約400℃に加熱されている。
このとき湿度検出素子７と温度補償素子８は均
熱板等により熱的にリンクされるよう配置されて
いる。抵抗９，１０は各々1kΩである。
熱板等により熱的にリンクされるよう配置されて
いる。抵抗９，１０は各々1kΩである。
このような湿度検出装置において、前記の材
料を用いた湿度検出素子７と温度補償素子８を用
いた、ブリツジ回路の出力を第３図に示す。
料を用いた湿度検出素子７と温度補償素子８を用
いた、ブリツジ回路の出力を第３図に示す。
第３図中、曲線Ａ，Ｂ，Ｃは温度が各々20℃、
80℃、100℃のときの特性である。第３図から、
湿度検出素子７の抵抗値は湿度の増加に対してが
減少していることがわかる。
80℃、100℃のときの特性である。第３図から、
湿度検出素子７の抵抗値は湿度の増加に対してが
減少していることがわかる。
そして動作温度が約400℃という高温において
も金属酸化物焼結体の水蒸気吸着による電気伝導
度の増大が顕著である。
も金属酸化物焼結体の水蒸気吸着による電気伝導
度の増大が顕著である。
空気より熱伝導率の悪い水蒸気が、湿度検出素
子７を保温し抵抗値を増大させようとする作用よ
り勝つている。
子７を保温し抵抗値を増大させようとする作用よ
り勝つている。
前記各試料により構成したブリツジの温度80
℃、絶対湿度240g／m3一定としたときのブリツ
ジ出力は次のとおりである。
℃、絶対湿度240g／m3一定としたときのブリツ
ジ出力は次のとおりである。
35.0mV（第３図の曲線Ｂの一点に対応）
32.5mV、 29.5mV、 37.0mV
第２図において最初に抵抗９，１０を各々1kΩ
にしてゼロ・バランスをとつた後、温度変化によ
るゼロ・バランスのドリフトは±1mV程度であ
り、温度補償の効果は顕著であるとともに、ブリ
ツジ出力の温度依存性も極めて少ないことがわか
る。
にしてゼロ・バランスをとつた後、温度変化によ
るゼロ・バランスのドリフトは±1mV程度であ
り、温度補償の効果は顕著であるとともに、ブリ
ツジ出力の温度依存性も極めて少ないことがわか
る。
応答速度は各試料について測定した結果水蒸気
の吸着時は７〜11秒、離脱時は９〜15秒と速く、
吸脱着の時間差も少ない。
の吸着時は７〜11秒、離脱時は９〜15秒と速く、
吸脱着の時間差も少ない。
前記温度補償素子８は金属酸化物を焼結してい
ない白金線やニツケル線から成る単なる抵抗測温
体でも実現可能である。このとき、湿度検出素子
７と、温度係数や熱放散定数を一致させる必要が
ある。
ない白金線やニツケル線から成る単なる抵抗測温
体でも実現可能である。このとき、湿度検出素子
７と、温度係数や熱放散定数を一致させる必要が
ある。
さらに、前記温度補償素子８はサーミスタのよ
うな負の温度係数をもつた抵抗測温体でも実現可
能である。第４図に、JIS−Ｃ−1611に示される
合成抵抗式サーミスタ測温体の一例を示す。図に
おいて、１４はサーミスタ、１５，１６，１７は
抵抗である。
うな負の温度係数をもつた抵抗測温体でも実現可
能である。第４図に、JIS−Ｃ−1611に示される
合成抵抗式サーミスタ測温体の一例を示す。図に
おいて、１４はサーミスタ、１５，１６，１７は
抵抗である。
第４図に示す回路で任意のサーミスタは所定の
温度範囲で白金測温体と温度係数の絶対値が等し
い測温体を得ることができる。
温度範囲で白金測温体と温度係数の絶対値が等し
い測温体を得ることができる。
但し符号は負であるから前記合成抵抗式サーミ
スタ測温体を第２図のブリツジ回路の抵抗１０の
位置に接触し、温度補償素子８の位置には抵抗を
接続すればその作用は全く同じである。
スタ測温体を第２図のブリツジ回路の抵抗１０の
位置に接触し、温度補償素子８の位置には抵抗を
接続すればその作用は全く同じである。
前述したように従来のガス検出素子では本考案
による装置で使用する湿度検出素子とは逆に、可
燃性ガスが検出素子の抵抗を増加させるように作
用している。
による装置で使用する湿度検出素子とは逆に、可
燃性ガスが検出素子の抵抗を増加させるように作
用している。
本考案では、Cr2O3にZnO，SnO2，In2O3より
成る群の中から、少なくとも一種の金属酸化物を
30重量％以上混合することにより可燃性ガスが抵
抗値を増加させないように作用するようにしてあ
る。
成る群の中から、少なくとも一種の金属酸化物を
30重量％以上混合することにより可燃性ガスが抵
抗値を増加させないように作用するようにしてあ
る。
第５図はCr2O3に混合されるZnO，SnO2，In2
O3の単独の混合比率を横軸にして、それらの素
子と対応する温度補償素子を用いて第２に示した
ブリツジと同一のブリツジを構成したときのブリ
ツジの出力を縦軸にして示したものである。
O3の単独の混合比率を横軸にして、それらの素
子と対応する温度補償素子を用いて第２に示した
ブリツジと同一のブリツジを構成したときのブリ
ツジの出力を縦軸にして示したものである。
図中Ｅは、Cr2O3とZnO、Ｆは、Cr2O3と
SnO2、Ｇは、Cr2O3とIn2O3の、可燃性ガスであ
るイソブタン（ｉ−C4H10）2000ppmの雰囲気中
で測定したときのブリツジ出力を示す。
SnO2、Ｇは、Cr2O3とIn2O3の、可燃性ガスであ
るイソブタン（ｉ−C4H10）2000ppmの雰囲気中
で測定したときのブリツジ出力を示す。
同時の各曲線は、ZnO，SnO2，In2O3の混合比
率が増大すると、可燃性ガスの吸着によりＮ形半
導体の特徴が顕著になり、ZnO，SnO2，In2O3自
身の電気伝導が増加し、白金コイルを含む検出素
子全体の電気抵抗が減少する（ブリツジの出力は
正となる）ことを示している。前記ブリツジの出
力が正となる領域（略36wt％以上）では前記Ｎ
形化による抵抗値の減少が、可燃ガスがCr2O3に
接触して燃焼することによる抵抗増加に打ち勝つ
ていることを示している。つまりこの領域では、
前記可燃ガスは検出素子の抵抗を減少させ、水分
の吸着による素子の抵抗減少を妨げないことを示
している。
率が増大すると、可燃性ガスの吸着によりＮ形半
導体の特徴が顕著になり、ZnO，SnO2，In2O3自
身の電気伝導が増加し、白金コイルを含む検出素
子全体の電気抵抗が減少する（ブリツジの出力は
正となる）ことを示している。前記ブリツジの出
力が正となる領域（略36wt％以上）では前記Ｎ
形化による抵抗値の減少が、可燃ガスがCr2O3に
接触して燃焼することによる抵抗増加に打ち勝つ
ていることを示している。つまりこの領域では、
前記可燃ガスは検出素子の抵抗を減少させ、水分
の吸着による素子の抵抗減少を妨げないことを示
している。
第５図はZnO，SnO2，In2O3の混合比率が30〜
40wt％では可燃ガスに対する感度を著しく減少
させることができることを示している。
40wt％では可燃ガスに対する感度を著しく減少
させることができることを示している。
したがつて、この領域の混合比率を選定する
と、前記可燃性ガスの存在する雰囲気中でも湿度
のみを測定することができる。
と、前記可燃性ガスの存在する雰囲気中でも湿度
のみを測定することができる。
（考案の効果）
以上説明したように本考案によれば、Cr2O3に
可燃性ガスの吸着によりＮ形半導体特性を示す
ZnO，SnO2，In2O3よりなる群の中から少なくと
も一種の金属酸化物を30重量％以上混合し、高温
で酸化し難い金属線コイルに焼結し、孔のあいた
ケースに封入し湿度検出素子とし、温度補償素子
とともにブリツジに組み込み、通電により例え
ば、約400℃で動作させるので以下の効果が得ら
れる。
可燃性ガスの吸着によりＮ形半導体特性を示す
ZnO，SnO2，In2O3よりなる群の中から少なくと
も一種の金属酸化物を30重量％以上混合し、高温
で酸化し難い金属線コイルに焼結し、孔のあいた
ケースに封入し湿度検出素子とし、温度補償素子
とともにブリツジに組み込み、通電により例え
ば、約400℃で動作させるので以下の効果が得ら
れる。
(1) 水分の吸脱着が容易で応答速度が速い。
(2) 動作温度が高く汚れは常に燃焼してしまうの
で、特別なクリーニングの必要はなく、再現性
のよい検出を行うことができる。
で、特別なクリーニングの必要はなく、再現性
のよい検出を行うことができる。
(3) 可燃性ガスに対する感度を減少させているか
ら、可燃性ガスが存在する雰囲気の湿度を可燃
性ガスの影響を受けにくい状態で検出すること
ができる。
ら、可燃性ガスが存在する雰囲気の湿度を可燃
性ガスの影響を受けにくい状態で検出すること
ができる。
(4) 絶対湿度に対するブリツジ出力の温度依存性
が極めて少ない。
が極めて少ない。
(5) 構造が簡単であり小形化、低廉化が可能であ
る。
る。
第１図は、本考案による湿度検出装置で使用す
る湿度検出素子の実施例を示す断面図である。第
２図は、本考案による湿度検出装置の実施例を示
す回路図である。第３図は、本考案による装置の
ブリツジの出力特性を示すグラフである。第４図
は、温度補償素子として使用される合成抵抗式サ
ーミスタ測温体の構成を示す図である。第５図
は、本考案による装置が可燃性ガスから受ける影
響を説明するためのグラフである。第６図は、従
来の湿度検出素子の構成例を示す平面図、断面図
および底面図である。 １……金属線コイル、２……金属酸化物焼結
体、３……ステム、４，５……端子、６……孔の
あいたキヤツプ、７……湿度検出素子、８……温
度補償素子、９，１０……抵抗、１１……電源、
１２，１３……出力端子、１４……サーミスタ、
１５，１６，１７……抵抗。
る湿度検出素子の実施例を示す断面図である。第
２図は、本考案による湿度検出装置の実施例を示
す回路図である。第３図は、本考案による装置の
ブリツジの出力特性を示すグラフである。第４図
は、温度補償素子として使用される合成抵抗式サ
ーミスタ測温体の構成を示す図である。第５図
は、本考案による装置が可燃性ガスから受ける影
響を説明するためのグラフである。第６図は、従
来の湿度検出素子の構成例を示す平面図、断面図
および底面図である。 １……金属線コイル、２……金属酸化物焼結
体、３……ステム、４，５……端子、６……孔の
あいたキヤツプ、７……湿度検出素子、８……温
度補償素子、９，１０……抵抗、１１……電源、
１２，１３……出力端子、１４……サーミスタ、
１５，１６，１７……抵抗。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) Cr2O3にZnO，SnO2，In2O3より成る群の中
から、少なくとも一種の金属酸化物を45重量％
以上混合し、高温で酸化し難い金属線コイル表
面に焼結した金属酸化物焼結コイルを感湿部と
する湿度検出素子と、 前記湿度検出素子と温度係数の絶対値や熱放
散定数が一致または近似する抵抗素子である温
度補償素子と、 前記湿度検出素子と温度補償素子をそれぞれ
ブリツジ辺とするブリツジ回路とからなり、 前記湿度検出素子と温度補償素子とがブリツ
ジの電源により加熱されているときに被測定雰
囲気の湿度により前記湿度検出素子の抵抗値が
降下させられることによる前記ブリツジ出力の
変化を検出することにより湿度を検出するよう
に構成した湿度検出装置。 (2) 前記温度補償素子は、湿度検出素子と同一の
金属酸化物焼結コイルを乾燥空気を入れて密封
し、被測定雰囲気の温度から前記湿度検出素子
と同じ影響を受けるようにした実用新案登録請
求の範囲第１項記載の湿度検出装置。 (3) 前記温度補償素子は、湿度検出素子と絶対値
が同一の温度係数である抵抗測温体である実用
新案登録請求の範囲第１項記載の湿度検出装
置。 (4) 前記高温で酸化し難い金属線コイルは、白金
または白金イリジユームである実用新案登録請
求の範囲第１項記載の湿度検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985069021U JPH053974Y2 (ja) | 1985-05-10 | 1985-05-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985069021U JPH053974Y2 (ja) | 1985-05-10 | 1985-05-10 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61184958U JPS61184958U (ja) | 1986-11-18 |
| JPH053974Y2 true JPH053974Y2 (ja) | 1993-01-29 |
Family
ID=30604305
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985069021U Expired - Lifetime JPH053974Y2 (ja) | 1985-05-10 | 1985-05-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH053974Y2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5178393A (ja) * | 1974-12-28 | 1976-07-07 | New Cosmos Electric Co | Netsusengatagasukenshutsuhohooyobisonosochi |
| JPS5439197A (en) * | 1977-09-02 | 1979-03-26 | Shibaura Denshi Seisakushiyo K | Method of making gas detector |
-
1985
- 1985-05-10 JP JP1985069021U patent/JPH053974Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61184958U (ja) | 1986-11-18 |
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