JPH0540914Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、チヨコラルスキー法等で引上げられ
た単結晶を円筒研削する際に、該単結晶の中心線
を迅速かつ正確に求める固定治具を提供するもの
である。

従来の技術 従来、単結晶を保持する方法として、３爪法や
４爪法などが知られている。しかしながら、単結
晶自体の長さが短いため、芯出し時に単結晶を直
接保持する事は困難であつた。

特に、チヨコラルスキー法等により引上げられ
た結晶は、直胴部の直径にバラツキがあるため、
通常の治具や装置を用いて芯出しを行なうことが
困難である為、完全な手作業により芯出しを行な
つている。

考案が解決しようとする問題点 従来方法における手作業では、単結晶の中心線
が円筒研削盤の中心線に対し許容偏心量にセツト
されるまで多くの時間を要するばかりか、個人差
により中心精度にバラツキを発生すると言う欠点
がある。本考案の目的は上記のような欠点を除
き、未熟練者であつても、簡単な操作で、中心精
度が高く、再現性が良く、しかも作業時間が大変
短い円筒状結晶の芯出し用固定装置を提供するこ
とにある。

問題点を解決するための手段 本考案は上記問題点を解決するものであり、円
筒状結晶を円筒研削盤のクランプ軸で固定するに
際して、該円筒状結晶を円筒研削のための定位置
に芯出しして供給するための装置であつて、以下
のような構成を有している。

(イ) 円筒状結晶を水平に保持する保持部を有する
爪部７，１２，６，１３を、左右の縦プレート
２，３上に設けた縦移動用直線運動レール１
４，１５上に、ハンドル８，９を有するネジ切
りシヤフト１０，１１により、上下移動可能に
接続した。

(ロ) 該縦プレート２，３に横移動枠４，４′を設
け、移動プレート２０に設けた横移動用直線運
動レール５，５′を介し、縦プレート２，３を、
保持部に水平に設置される円筒状結晶の軸方向
と同一方向に移動可能に該移動プレート２０に
接続した。

(ハ) 円筒状結晶をクランプ軸で固定する位置に対
して爪部７，１２，６，１３が進退可能である
ように、該移動プレート２０に移動枠１７，１
７′を設け、固定台２７に設けたプレート１６
上の移動用直線運動レール１８，１８′を介し、
移動プレート２０を円筒状結晶の軸方向と直角
な方向で水平方向に移動可能に該プレート１６
に接続した。

(ニ) 該プレート１６上に該移動プレート２０の位
置決め用のストツパー１９を設けた。

作 用 以上の手段によつて、爪部を介して単結晶の芯
出保持を確実に行なう。

実施例 第１図は、本考案装置の正面図を示し、第２図
は側面図を示す。第３図は本考案による単結晶把
持状態を示す。

単結晶１は、断面がＶ字状又はＵ字状等の凹部
を有している保持部を備えたクランプ爪６，７，
１２，１３にて保持される構造となつている。実
操業に於て、研削される単結晶の両端をあらかじ
め切断する。該切断された単結晶の長さに合せて
左右の縦プレート２，３を、上下の横移動用直線
運動レール５，５′上を移動させ幅を調整する。
次に両端をあらかじめ切断してある単結晶１（第
２，３図参照）をクランプ爪６，７上に横手方向
に載せ、縦プレート２，３に設けたネジ切りシヤ
フト１０，１１のハンドル８，９を右手方向に少
しずつ回転させる。該ハンドルに連動するネジ切
りシヤフトには、上下に二等分して左ネジ及び右
ネジを切つており、ハンドルの回転に従い単結晶
１を載せたクランプ爪６，７は上方に、クランプ
爪１２，１３は下方に向つて、同ピツチで左右の
縦移動用直線運動レール１４，１５をガイドに
夫々上下方向に移動する。このため該クランプ爪
６，７，１２，１３は必ず円筒研削盤のクランプ
軸２４，２４′の中心に向うよう調整される。こ
の単結晶の固定把持作業は第２図に示すようにし
てなされる。その後移動プレート２０に接続され
た単結晶は、プレート１６上に設けられた移動用
直線運動レール１８，１８′により、左手方向の
ストツパー１９にあたる位置まで移動させる。該
プレート１６上に設けられたストツパー１９は移
動プレート２０の移動を止めると共にこの位置で
クランプ爪に保持された単結晶の中心と、円筒研
削盤（図示せず）に設けられた円筒研削盤クラン
プ軸２４，２４′の中心とが一致する様設計され
ている。

上記円筒研削盤クランプ軸２４，２４′により、
単結晶１は、円筒研削盤に固定される。その後、
ハンドル８，９を左手方向にまわし、クランプ爪
６，７，１２，１３を上下に開き芯出し装置本体
を移動プレート２０と共に移動レール１８，１
８′上を右手方向に移す。

上記方法をダミー（直円柱）により中心精度を
チエツクした結果、精度は±0.1mm以内であつた。
又作業時間も３分以内であつた。

比較例 従来例として、第４図に示す方法にて単結晶の
芯出しを行なつていた。

すなわち、従来は両端を切断した単結晶１ａを
人手により保持し、単結晶１ａのシード側にダミ
ーとなるカーボンキヤツプ２３ａを貼り付け、単
結晶１ａのおおよその中心部に油圧シリンダーに
よるクランプ２４ａ，２４a′で単結晶１ａを、は
さみ込むように保持する。次いで、結晶を回転さ
せながら外周に円筒研削盤基準面からマグネツト
ベースで固定されたダイヤルゲージ２５を当て、
偏心量を測定する。

この場合、偏心量が許容値内に入つていなけれ
ば、再度単結晶１ａを手で保持し、油圧シリンダ
ーによるクランプ２４ａ，２４a′をゆるめ、偏心
相当量を調整し、再度クランプする。この操作を
偏心量が許容値に入る迄繰り返す。この為、従来
の方法により、単結晶を円筒研削盤に中心精度よ
く保持しようとすると、熟練者で約10分、未熟練
者では30分以上も作業時間が必要である。さらに
中心精度も個人により大きな差を生じている。

考案の効果 本考案は単結晶を爪に載せ、ハンドルをまわ
し、上下の爪で保持するだけで単結晶の中心位置
が決定され、その状態でテーブル上を研削位置ま
で移動させ、円筒研削盤にクランプすればセツテ
イングは完了する為一度の固定操作でよく、作業
時間が大幅に短縮出来るばかりか、中心精度が向
上し、個人差も無くなり、再現性良く、単結晶を
円筒研削盤に保持出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案装置の正面図、第２図は同じく
側面図、第３図は本考案の実施例を示す概略図、
第４図は従来例を示す正面図である。 １……単結晶、２，３……縦プレート、４，
４′……横移動枠、５，５′……横移動用直線運動
レール、６，７，１２，１３……クランプ爪、
８，９……ハンドル、１０，１１……ネジ切りシ
ヤフト、１４，１５……縦移動用直線運動レー
ル、１６…プレート、１７，１７′……移動枠、
１８，１８′……移動用直線運動レール、１９…
…ストツパー、２０……移動プレート、２１……
円筒研削盤ベツド、２３……カーボンキヤツプ、
２４，２４′……クランプ軸、２５……ダイヤル
ゲージ、２７……固定台。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 円筒状結晶を円筒研削盤のクランプ軸で固定す
   るに際して、該円筒状結晶を円筒研削のための定
   位置に芯出しして供給するための装置であつて、 (イ) 円筒状結晶を水平に保持する保持部を有する
   爪部７，１２，６，１３を、左右の縦プレート
   ２，３上に設けた縦移動用直線運動レール１
   ４，１５上に、ハンドル８，９を有するネジ切
   りシヤフト１０，１１により、上下移動可能に
   接続し、 (ロ) 該縦プレート２，３に横移動枠４，４′を設
   け、移動プレート２０に設けた横移動用直線運
   動レール５，５′を介し、縦プレート２，３を、
   保持部に水平に設置される円筒状結晶の軸方向
   と同一方向に移動可能に該移動プレート２０に
   接続し、 (ハ) 円筒状結晶をクランプ軸で固定する位置に対
   して爪部７，１２，６，１３が進退可能である
   ように、該移動プレート２０に移動枠１７，１
   ７′を設け、固定台２７に設けたプレート１６
   上の移動用直線運動レール１８，１８′を介し、
   移動プレート２０を円筒状結晶の軸方向と直角
   な方向で水平方向に移動可能に該プレート１６
   に接続し、 (ニ) 該プレート１６上に該移動プレート２０の位
   置決め用のストツパー１９を設けてなる、 円筒状結晶の芯出し用固定装置。