JPH0541141U - ウエハチヤツキング機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 単一の駆動源によりウエハの支持とチャッキ
ングとを行うことができ、簡単な構成で誤動作によるウ
エハの損傷を防止できるウエハチャッキング機構を実現
する。 【構成】 駆動源１５を動作させ、移動ブロック１１を
図中右側に移動させると、コイルバネ１４を介して移動
棒５が図中右側に移動し、移動棒５に固定された移動ピ
ン４は右側まで移動させられる。移動ブロックをさらに
移動させると、第２のシャフト１６はさらに右側に移動
し、てこ体１７を押し、てこ体１７を回転させる。ウエ
ハ支持体７は上方向に移動し、ウエハ１０を搬送用アー
ムから離し、ウエハ支持体７上に完全に載せる。次に、
移動ブロック１１を逆に左側に移動させると、ウエハ１
０はウエハホルダ１上に載せられ、さらに、第１のシャ
フト１２による移動棒５の押圧は解除され、移動ピンは
バネ６によって固定ピン２の方向に引っ張られ、ウエハ
１０のチャッキングが行われる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、走査電子顕微鏡などの試料ホルダへウエハを載せ、ウエハをホルダ にチャッキングするようにしたウエハチャッキング機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】

図３は、従来の走査電子顕微鏡などの試料ホルダにウエハを載せチャッキング するウエハチャッキング機構を示している。１はウエハホルダ（ベース）であり 、その上部の一端には、固定ピン２が取り付けられている。固定ピン２に対して ウエハホルダ２の開口３には、移動ピン４が設けられている。移動ピン４は、移 動棒５に取り付けられているが、移動ピン４はホルダ１と移動棒５との間に設け られたバネ６によって常に固定ピン方向に引き寄せられる力を受けている。移動 棒５は、チャッキング駆動棒２１によって図中右方向に付勢される。７はウエハ 支持体、８はウエハ支持体７を上下方向に駆動するための駆動棒である。９はウ エハ搬送用アームであり、このアーム９の上にはウエハ１０が載せられている。 なお、搬送用アーム９，ウエハ１０，固定ピン２，移動ピン４およびウエハ支持 体７の関係を図２に示す。このような構成でウエハ１０をウエハホルダ１上に載 せ、チャッキングする動作を次に説明する。

【０００３】 まずウエハ１０が搬送用アーム９によってウエハホルダ１の上にまで搬送され る。次に駆動棒８を適宜な駆動源によって上方向に駆動し、ウエハ支持体７を上 方向に移動させ、ウエハ１０を支持体７上に載せる。ウエハ１０がウエハ支持体 ７によって完全に支持されたら、搬送用アーム９を引っ込める。その後、チャッ キング駆動棒２１を適宜な駆動源によって押し、移動棒５を図中右方向に移動さ せ、移動ピン４を動かして固定ピン２と移動ピン４との間隔を広げる。次に駆動 棒８を駆動してウエハ支持体７を下方に移動させ、ウエハ１０をウエハホルダ１ 上に載せる。ウエハ１０がホルダ１上に載せられた後、チャッキング駆動棒６を 左側に引き寄せ、駆動棒５および移動ピン４をバネ６の力によって左側に移動さ せてウエハ１０を固定ピン２と移動ピン４との間にチャッキングする。なお、ウ エハ１０をホルダ１から搬出する場合には、上記手順と逆の手順で排出動作が行 われる。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

上記した構成では、ウエハ１０を支持するための上下動用駆動源と、ウエハチ ャッキング用の駆動源の２つの駆動源が必要であると共に、２つの駆動源の駆動 タイミングを電気的に正確に制御しなければならないなど、構成が複雑となる。 また、２つの駆動源のいずれかが誤動作した場合、正確にウエハをチャッキング することができなくなったり、ウエハを傷付けたりしてしまう。

【０００５】 本考案は、このような点に鑑みてなされたもので、その目的は、単一の駆動源 によりウエハの支持とチャッキングとを行うことができ、簡単な構成で誤動作に よるウエハの損傷を防止できるウエハチャッキング機構を実現するにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

本考案に基づくウエハチャッキング機構は、ウエハホルダのベースと、ベース の中心部分でウエハを上下動させるための支持部材と、支持部材を上方に押し上 げるてこ体と、ベースに設けられウエハの一端を規制するための固定ピンと、固 定ピンに対向した位置でウエハの他端を規制するための移動ピンと、移動ピンを 固定ピンの方向に引き寄せる力を与えるための弾性体と、移動ピンを一定距離固 定ピンから離れる方向に移動させるための移動手段と、該移動ブロックと、移動 ブロックの移動により弾性体を介して移動ピンの移動手段を押すための第１の押 圧手段と、移動ブロックの移動により前記てこ体を押圧し、ウエハ支持部材を上 方に押し上げるための第２の押圧手段とを備え、移動ブロックの初期の移動によ り第１の押圧手段により移動ピンを所定距離移動させ、移動ブロックの初期移動 に続く移動により、第２の押圧手段によりてこ体を押圧してウエハ支持部材を上 方に押し上げ、移動ブロックの逆の移動により、固定ピンと移動ピンの間にウエ ハを配置し、移動ピンの移動手段の押圧を解除してウエハをチャッキングするよ うに構成したことを特徴としている。

【０００７】

【作用】

本考案に基づくウエハチャッキング機構は、移動ブロックの初期の移動により 第１の押圧手段により移動ピンを所定距離移動させ、移動ブロックの初期移動に 続く移動により、第２の押圧手段によりてこ体を押圧してウエハ支持部材を上方 に押し上げ、移動ブロックの逆の移動により、固定ピンと移動ピンの間にウエハ を配置し、移動ピンの移動手段の押圧を解除してウエハをチャッキングする。

【０００８】

【実施例】

以下、図面を参照して本考案の実施例を詳細に説明する。図１は、本考案に基 づくウエハチャッキング機構の一実施例を示しており、図４〜図６は、図１の機 構の動作を説明するための図である。図１の実施例と図３の従来機構との同一部 分あるいは類似部分は同一番号を付してその詳細な説明は省略する。この実施例 において、移動棒５は移動ブロック１１の移動によって移動させられるが、移動 ブロック１１の移動は、第１のシャフト１２によって移動棒５に伝えられる。こ の第１のシャフト１２は、移動ブロック１１に対して自由に移動できるが、第１ のシャフト１２のストッパーピン１３と移動ブロック１１の間にはコイルバネ１ ４が設けられ、移動ブロック１１の移動はこのコイルバネ１４を介して第１のシ ャフト１２に伝えられる。移動ブロック１１は、駆動源１５によって図中左右方 向に移動させられる。移動ブロック１１には第２のシャフト１６が取り付けられ ており、この第２のシャフト１６はてこ体１７を押圧する。てこ体１７は軸１８ を支点として回転し、このてこ体１７の右回転により、ウエハ支持体７は上方向 に移動させられ、逆に、てこ体１７の左回転によりウエハ支持体７は下方向に移 動させられる。

【０００９】 このような構成の動作を図４〜図６を参照して説明する。まず、駆動源１５を 動作させ、移動ブロック１１を図中右側にストロークＡだけ移動させる。図４は この状態を示しており、移動ブロック１１のストロークＡの移動により、コイル バネ１４を介して移動棒５が図中右側に移動し、移動棒５はウエハホルダ１に設 けられたストッパーピン１９に当接してその移動は停止する。この時、移動棒５ に固定された移動ピン４は右側まで移動させられ、固定ピン２と移動ピン４との 間隔は最大の間隔となる。なお、この時、第２のシャフト１６は、初期状態では その先端とてこ体１７との間隔がおおよそストロークＡだけ離されており、移動 ブロック１１のストロークＡの移動によってもてこ体１７への作用は何等行われ ない。次に、移動ブロックをさらにストロークＢだけ移動させる。図５はこの状 態を示しており、移動棒５は、移動ブロック１１の移動によってもストッパーピ ン１９によって移動は阻止され、移動ブロック１１の移動はコイルバネ１４に吸 収される。一方、第２のシャフト１６はさらに右側に移動し、てこ体１７を押し 、てこ体１７を右回転させる。このてこ体１７の回転によってウエハ支持体７は 上方向に移動し、ウエハ１０を搬送用アームから離し、ウエハ支持体７上に完全 に載せる。この段階で搬送用アーム９はホルダ１上部から引っ込められる。

【００１０】 次に、移動ブロック１１をストロークＢだけ前記したとは逆に左側に移動させ る。この状態が図６に示されており、移動ブロック１１の移動により第２のシャ フト１６も左側に移動し、てこ体１７は左回転してウエハ支持体７を下方向に移 動させる。その結果、ウエハ１０はウエハホルダ１上に載せられる。その後、移 動ブロック１１をストロークＡだけ左側に移動させれば、第１のシャフト１２に よる移動棒５の押圧は解除され、移動ピンはバネ６によって固定ピン２の方向に 引っ張られ、固定ピン２と移動ピンとの間でウエハ１０のチャッキングが行われ る。なお、チャッキングされたウエハをウエハホルダ１から排出する場合には、 上記したと同様のステップで、移動ブロック１１の一方向の移動により排出を行 うことができる。以上のように、この実施例では、移動ブロック１１の一方向の 移動により、連続してチャッキング用の移動ピン４の移動とウエハの搬送用アー ム９からの持ち上げを行うことができるため、駆動源を単一とすることができ、 また、従来のように、移動ピンの移動とウエハの持ち上げとのタイミングを電気 的に制御する必要もない。

【００１１】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案に基づくウエハチャッキング機構は、移動ブロッ クの初期の移動により第１の押圧手段により移動ピンを所定距離移動させ、移動 ブロックの初期移動に続く移動により、第２の押圧手段によりてこ体を押圧して ウエハ支持部材を上方に押し上げ、移動ブロックの逆の移動により、固定ピンと 移動ピンの間にウエハを配置し、移動ピンの移動手段の押圧を解除してウエハを チャッキングするようにしたので、単一の駆動源によりウエハの支持とチャッキ ングとを行うことができ、簡単な構成で誤動作によるウエハの損傷を防止できる 。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に基づくウエハチャッキング機構の一実
施例を示す図であり、初期状態の図である。

【図２】ウエハ，搬送用アームおよびウエハ支持体との
関係を示す図である。

【図３】従来のウエハチャッキング機構を示す図であ
る。

【図４】本考案に基づくウエハチャッキング機構の一実
施例を示す図であり、移動ピンを移動させた状態の図で
ある。

【図５】本考案に基づくウエハチャッキング機構の一実
施例を示す図であり、ウエハ支持体によりウエハを支持
した状態の図である。

【図６】本考案に基づくウエハチャッキング機構の一実
施例を示す図であり、ウエハをウエハホルダ上に載せた
状態の図である。

【符号の説明】

１…ウエハホルダ ２…固定ピン ４…移動ピン ５…移動棒 ７…ウエハ支持体 ９…搬送用アーム １０…ウエハ １１…移動ブロック １２，１６…シャフト １４…コイルバネ １５…駆動源 １７…てこ体

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウエハホルダのベースと、ベースの中心
   部分でウエハを上下動させるための支持部材と、支持部
   材を上方に押し上げるてこ体と、ベースに設けられウエ
   ハの一端を規制するための固定ピンと、固定ピンに対向
   した位置でウエハの他端を規制するための移動ピンと、
   移動ピンを固定ピンの方向に引き寄せる力を与えるため
   の弾性体と、移動ピンを一定距離固定ピンから離れる方
   向に移動させるための移動手段と、移動ブロックと、該
   移動ブロックの移動により弾性体を介して移動ピンの移
   動手段を押すための第１の押圧手段と、移動ブロックの
   移動により前記てこ体を押圧し、ウエハ支持部材を上方
   に押し上げるための第２の押圧手段とを備え、移動ブロ
   ックの初期の移動により第１の押圧手段により移動ピン
   を所定距離移動させ、移動ブロックの初期移動に続く移
   動により、第２の押圧手段によりてこ体を押圧してウエ
   ハ支持部材を上方に押し上げ、移動ブロックの逆の移動
   により、固定ピンと移動ピンの間にウエハを配置し、移
   動ピンの移動手段の押圧を解除してウエハをチャッキン
   グするように構成したウエハチャッキング機構。