JPH0541379Y2 - - Google Patents
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- JPH0541379Y2 JPH0541379Y2 JP5559187U JP5559187U JPH0541379Y2 JP H0541379 Y2 JPH0541379 Y2 JP H0541379Y2 JP 5559187 U JP5559187 U JP 5559187U JP 5559187 U JP5559187 U JP 5559187U JP H0541379 Y2 JPH0541379 Y2 JP H0541379Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- output
- frequency
- low
- pass filtering
- amplification
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本考案は、磁場を被測定流体に印加しその流量
を測定する電磁流量計に係り、特にその励磁方式
とこれに伴なう信号処理方式を改良した電磁流量
計に関する。
を測定する電磁流量計に係り、特にその励磁方式
とこれに伴なう信号処理方式を改良した電磁流量
計に関する。
〈従来の技術〉
工業用の電磁流量計は従来から商用電源を用い
て励磁する商用周波の励磁方式が採用されてき
た。商用周波の励磁方式は、(イ)応答速度が早く低
コストに出来る。(ロ)スラリ性の流体や低導電率の
流体で発生する流速と共に増加する低周波のラン
ダムノイズ(以下、フローノイズという)の影響
を受けがたい、という利点があるが、稼動状態で
比較的に長期、例えば1日程度の間、放置してお
くとゼロ点が変動するという欠点がある。
て励磁する商用周波の励磁方式が採用されてき
た。商用周波の励磁方式は、(イ)応答速度が早く低
コストに出来る。(ロ)スラリ性の流体や低導電率の
流体で発生する流速と共に増加する低周波のラン
ダムノイズ(以下、フローノイズという)の影響
を受けがたい、という利点があるが、稼動状態で
比較的に長期、例えば1日程度の間、放置してお
くとゼロ点が変動するという欠点がある。
このため、商用周波の1/2、あるいはこれ以下
の低周波で励磁する低周波励磁方式が採用される
ようになつた。低周波励磁方式にすると周知のよ
うにゼロ点の安定な電磁流量計が得られる利点が
ある。しかし、励磁周波数が低いのでフローノイ
ズの周波数と近接し、このためフローノイズの影
響を受け易く、特に流速が大になるとこの影響が
顕著になる。また、フローノイズの影響を軽減す
るためにダンピングをかけると応答が遅くなる欠
点を有している。
の低周波で励磁する低周波励磁方式が採用される
ようになつた。低周波励磁方式にすると周知のよ
うにゼロ点の安定な電磁流量計が得られる利点が
ある。しかし、励磁周波数が低いのでフローノイ
ズの周波数と近接し、このためフローノイズの影
響を受け易く、特に流速が大になるとこの影響が
顕著になる。また、フローノイズの影響を軽減す
るためにダンピングをかけると応答が遅くなる欠
点を有している。
そこで、特願昭60−197168号(発明の名称:電
磁流量計)で提案されているように、商用周波数
或いはこれよりも高い周波数を持つ高周波励磁電
流成分と、これより低い周波数の低周波数励磁電
流成分とを励磁コイルに同時に流して2周波の磁
場を形成する2周波励磁方式が提案されている。
磁流量計)で提案されているように、商用周波数
或いはこれよりも高い周波数を持つ高周波励磁電
流成分と、これより低い周波数の低周波数励磁電
流成分とを励磁コイルに同時に流して2周波の磁
場を形成する2周波励磁方式が提案されている。
また、この様な電磁流量計では従来の商用周波
形の電磁流量計に比べて省エネルギーの観点から
発生起電力を小さくしている。このため検出器か
らの信号を処理する変換器の増幅度を従来に比べ
て大きくしている。
形の電磁流量計に比べて省エネルギーの観点から
発生起電力を小さくしている。このため検出器か
らの信号を処理する変換器の増幅度を従来に比べ
て大きくしている。
〈考案が解決しようとする問題点〉
しかしながら、この提案においてはゼロ点も安
定でフローノイズにも強くかつ応答も良いという
利点があるが、従来の商用周波形の電磁流量計に
比べて発生起電力が小さくなつているにも拘らず
スラリーノイズのレベルは変わらないので変換器
が飽和しやすい状況になつている。変換器が飽和
すると、出力が振れ切れ実際の流量とは大幅に異
なつた出力になるという問題がある。
定でフローノイズにも強くかつ応答も良いという
利点があるが、従来の商用周波形の電磁流量計に
比べて発生起電力が小さくなつているにも拘らず
スラリーノイズのレベルは変わらないので変換器
が飽和しやすい状況になつている。変換器が飽和
すると、出力が振れ切れ実際の流量とは大幅に異
なつた出力になるという問題がある。
〈問題点を解決するための手段〉
この考案は、以上の問題点を解決するため、第
1周波数とこれより低い第2周波数の2つの異な
つた周波数を有する磁場を供給する励磁手段と、
この励磁手段により励磁され流量に対応して発生
する信号電圧を前記第1周波数に基づいて弁別し
て出力する第1復調手段と、この第1復調手段の
出力を高域濾波する高域濾波手段と、信号電圧を
第2周波数に基づいて弁別して復調する第2復調
手段と、この第2復調手段の出力を低域濾波する
低域濾波手段と、高域濾波手段と低域濾波手段の
各出力を用いて代数的に合成する合成手段とを有
する電磁流量計において、信号電圧を可変増幅し
て第1及び第2復調手段に出力する可変増幅手段
と、合成手段の後段に設けられこの可変増幅手段
の増幅度の変更による増幅度の変化を補償する補
償増幅手段と、信号電圧に含まれるノイズの変化
を検出するノイズ検出手段とを具備し、ノイズの
検出手段の出力により可変増幅手段と補償手段の
増幅度を制御するようにしたものである。
1周波数とこれより低い第2周波数の2つの異な
つた周波数を有する磁場を供給する励磁手段と、
この励磁手段により励磁され流量に対応して発生
する信号電圧を前記第1周波数に基づいて弁別し
て出力する第1復調手段と、この第1復調手段の
出力を高域濾波する高域濾波手段と、信号電圧を
第2周波数に基づいて弁別して復調する第2復調
手段と、この第2復調手段の出力を低域濾波する
低域濾波手段と、高域濾波手段と低域濾波手段の
各出力を用いて代数的に合成する合成手段とを有
する電磁流量計において、信号電圧を可変増幅し
て第1及び第2復調手段に出力する可変増幅手段
と、合成手段の後段に設けられこの可変増幅手段
の増幅度の変更による増幅度の変化を補償する補
償増幅手段と、信号電圧に含まれるノイズの変化
を検出するノイズ検出手段とを具備し、ノイズの
検出手段の出力により可変増幅手段と補償手段の
増幅度を制御するようにしたものである。
〈実施例〉
以下、本考案の実施例について図面に基づいて
説明する。第1図は本考案の1実施例を示すブロ
ツク図である。
説明する。第1図は本考案の1実施例を示すブロ
ツク図である。
10は電磁流量計の検出器の導管であり、絶縁
性のライニングがその内面に施されている。11
a,11bは信号電圧を検出するための電極であ
る。12は励磁コイルであり、これによつて発生
した磁場が被測定流体に印加される。励磁コイル
12には、励磁回路13から励磁電流Ifが供給さ
れている。
性のライニングがその内面に施されている。11
a,11bは信号電圧を検出するための電極であ
る。12は励磁コイルであり、これによつて発生
した磁場が被測定流体に印加される。励磁コイル
12には、励磁回路13から励磁電流Ifが供給さ
れている。
励磁回路13は次のように構成されている。基
準電圧E1はスイツチSW1を介して増幅器Q1の非
反転入力端(+)に印加され、その出力端はトラ
ンジスタQ2のベースに接続されている。トラン
ジスタQ2のエミツタは抵抗Rfを介してコモン
COMに接続されると共に増幅器Q1の反転入力端
(−)に接続されている。コモンCOMとトランジ
スタQ2のコレクタとの間には励磁電圧Esがスイ
ツチSW2とSW3の直列回路とこれに並列に接続さ
れたスイツチSW4とSW5の直列回路を介して印加
される。励磁コイル12はスイツチSW2,SW3の
接続点とスイツチSW4,SW5の接続点にそれぞれ
接続される。タイミング信号S1,S2,S3はそれぞ
れスイツチSW1,SW2とSW5,SW3とSW4の開閉
を制御する。
準電圧E1はスイツチSW1を介して増幅器Q1の非
反転入力端(+)に印加され、その出力端はトラ
ンジスタQ2のベースに接続されている。トラン
ジスタQ2のエミツタは抵抗Rfを介してコモン
COMに接続されると共に増幅器Q1の反転入力端
(−)に接続されている。コモンCOMとトランジ
スタQ2のコレクタとの間には励磁電圧Esがスイ
ツチSW2とSW3の直列回路とこれに並列に接続さ
れたスイツチSW4とSW5の直列回路を介して印加
される。励磁コイル12はスイツチSW2,SW3の
接続点とスイツチSW4,SW5の接続点にそれぞれ
接続される。タイミング信号S1,S2,S3はそれぞ
れスイツチSW1,SW2とSW5,SW3とSW4の開閉
を制御する。
一方、信号電圧は電極11a,11bで検出さ
れ、前置増幅器14に出力される。前置増幅器1
4でコモンモード電圧の除去とインピーダンス変
換がなされ可変増幅器15を介して結合点16に
出力される。
れ、前置増幅器14に出力される。前置増幅器1
4でコモンモード電圧の除去とインピーダンス変
換がなされ可変増幅器15を介して結合点16に
出力される。
結合点16における信号電圧はスイツチSW7を
介して、或いは反転増幅器Q3とスイツチSW8の
直列回路を介してそれぞれ小さな時定数をもつ低
域濾波器17に印加されている。
介して、或いは反転増幅器Q3とスイツチSW8の
直列回路を介してそれぞれ小さな時定数をもつ低
域濾波器17に印加されている。
また、結合点16における信号電圧はスイツチ
SW9を介して、或いは反転増幅器Q4とスイツチ
SW10の直列回路を介してそれぞれ小さな時定数
をもつ低域濾波器18に印加されている。スイツ
チSW7,SW8,SW9,SW10はそれぞれタイミン
グ回路19からのタイミング信号S7,S8,S9,
S10で開閉される。低域濾波器17は大きな時定
数をもつローパスフイルタ20を介して、低域濾
波器18の出力は可変利得増幅器Q5と大きな時
定数を持つハイパスフイルタ21の直列回路を介
してそれぞれ加算器22で加算される。加算器2
2の出力は補償増幅器23とローパスフイルタ2
4を介して出力端25に信号電圧V0として出力
される。
SW9を介して、或いは反転増幅器Q4とスイツチ
SW10の直列回路を介してそれぞれ小さな時定数
をもつ低域濾波器18に印加されている。スイツ
チSW7,SW8,SW9,SW10はそれぞれタイミン
グ回路19からのタイミング信号S7,S8,S9,
S10で開閉される。低域濾波器17は大きな時定
数をもつローパスフイルタ20を介して、低域濾
波器18の出力は可変利得増幅器Q5と大きな時
定数を持つハイパスフイルタ21の直列回路を介
してそれぞれ加算器22で加算される。加算器2
2の出力は補償増幅器23とローパスフイルタ2
4を介して出力端25に信号電圧V0として出力
される。
なお、可変増幅器Q5はローパスフイルタ20
の出力電圧VLとハイパスフイルタ21の出力電
圧VHの大きさが等しくなるように調節するため
のものである。
の出力電圧VLとハイパスフイルタ21の出力電
圧VHの大きさが等しくなるように調節するため
のものである。
一方、前置増幅器14の出力はノイズ検出回路
26で検出され、その出力により可変増幅器15
と補償増幅器23の対応する増幅度の積が一定に
なるように制御される。
26で検出され、その出力により可変増幅器15
と補償増幅器23の対応する増幅度の積が一定に
なるように制御される。
可変増幅器15は次のように構成される。非反
転入力端(+)が共通電位点COMに接続された
増幅器Q6の反転入力端(−)には前置増幅器1
4の出力端が抵抗Riを介して接続されると共にそ
の出力端との間には抵抗R1とスイツチSW12の直
列回路、抵抗R2とスイツチSW13の直列回路、及
び抵抗R3とスイツチSW14の直列回路がそれぞれ
並列に接続されている。これ等のスイツチSW12,
SW13,SW14はそれぞれノイズ検出回路26から
の制御信号S12,S13,S14で切換えられる。
転入力端(+)が共通電位点COMに接続された
増幅器Q6の反転入力端(−)には前置増幅器1
4の出力端が抵抗Riを介して接続されると共にそ
の出力端との間には抵抗R1とスイツチSW12の直
列回路、抵抗R2とスイツチSW13の直列回路、及
び抵抗R3とスイツチSW14の直列回路がそれぞれ
並列に接続されている。これ等のスイツチSW12,
SW13,SW14はそれぞれノイズ検出回路26から
の制御信号S12,S13,S14で切換えられる。
ノイズ検出回路26は次のように構成される。
前置増幅器14の出力は絶対値回路27でその絶
対値が演算され、低域濾波器28に出力される。
低域濾波器28の出力は入力の一端に基準電圧
E5が印加された比較器Q7の他端と入力の一端に
基準電圧E6が印加された比較器Q8の他端にそれ
ぞれ印加され、その大きさが判断される。ノアゲ
ートQ9の各入力端には比較器Q7とQ8の各出力が
印加され、これ等のNORが演算されてその出力
端に制御信号S14を出力する。また、ノアゲート
Q10の各入力端には比較器Q7の出力と比較器Q8の
出力をインバータQ11で反転した出力の各出力が
印加され、これ等のNORがノアゲートQ10で演算
されてその出力端に制御信号S13を出力する。さ
らに、制御信号S12は比較器Q7の出力として得ら
れる。これ等の制御信号は、前置増幅器14の出
力端に生ずるノイズの大きさを検出して、その大
きさに応じて各スイツチを切り換えて可変増幅器
15の増幅度を変える。
前置増幅器14の出力は絶対値回路27でその絶
対値が演算され、低域濾波器28に出力される。
低域濾波器28の出力は入力の一端に基準電圧
E5が印加された比較器Q7の他端と入力の一端に
基準電圧E6が印加された比較器Q8の他端にそれ
ぞれ印加され、その大きさが判断される。ノアゲ
ートQ9の各入力端には比較器Q7とQ8の各出力が
印加され、これ等のNORが演算されてその出力
端に制御信号S14を出力する。また、ノアゲート
Q10の各入力端には比較器Q7の出力と比較器Q8の
出力をインバータQ11で反転した出力の各出力が
印加され、これ等のNORがノアゲートQ10で演算
されてその出力端に制御信号S13を出力する。さ
らに、制御信号S12は比較器Q7の出力として得ら
れる。これ等の制御信号は、前置増幅器14の出
力端に生ずるノイズの大きさを検出して、その大
きさに応じて各スイツチを切り換えて可変増幅器
15の増幅度を変える。
また、補償増幅器23は可変増幅器15と同じ
ように次のように構成される。非反転入力端
(+)が共通電位点COMに接続された増幅器
Q6′の反転入力端(−)には前置増幅器14の出
力端が抵抗Ri′を介して接続されると共にその出
力端との間には抵抗R1′とスイツチSW12′の直列
回路、抵抗R2′とスイツチSW13′の直列回路、及
び抵抗R3′とスイツチSW14′の直列回路がそれぞ
れ並列に接続されている。、これ等のスイツチ
SW12′,SW13′,SW14′はそれぞれノイズ検出回
路からの制御信号S12,S13,S14で切換えられる。
これ等の切り換えにより、補償増幅器23は可変
増幅器15の増幅度を補償するように可変され、
全体の増幅度は一定に保持されるように素子の各
定数が選定されている。このようにしてノイズの
大きさに対応して増幅度を変えノイズによる回路
の飽和を防ぐ。
ように次のように構成される。非反転入力端
(+)が共通電位点COMに接続された増幅器
Q6′の反転入力端(−)には前置増幅器14の出
力端が抵抗Ri′を介して接続されると共にその出
力端との間には抵抗R1′とスイツチSW12′の直列
回路、抵抗R2′とスイツチSW13′の直列回路、及
び抵抗R3′とスイツチSW14′の直列回路がそれぞ
れ並列に接続されている。、これ等のスイツチ
SW12′,SW13′,SW14′はそれぞれノイズ検出回
路からの制御信号S12,S13,S14で切換えられる。
これ等の切り換えにより、補償増幅器23は可変
増幅器15の増幅度を補償するように可変され、
全体の増幅度は一定に保持されるように素子の各
定数が選定されている。このようにしてノイズの
大きさに対応して増幅度を変えノイズによる回路
の飽和を防ぐ。
次に、第1図に示す電磁流量計の動作につき第
2図に示す波形図を参照して説明する。
2図に示す波形図を参照して説明する。
タイミング信号S1は第2図イで示すようにオ
ン/オフを繰返し、これにより基準電圧E1の増
幅器Q1の非反転入力端(+)への印加が制御さ
れる。一方、タイミング信号S2(第2図ロ)とS3
(第2図ハ)により低周波でスイツチSW2とSW5、
およびスイツチSW3とSW4が交互にオンとされる
ので、第2図ニに示すような低周波(周期:2t)
と高周波(周期:2T)とが複合された励磁電流If
が流れる。
ン/オフを繰返し、これにより基準電圧E1の増
幅器Q1の非反転入力端(+)への印加が制御さ
れる。一方、タイミング信号S2(第2図ロ)とS3
(第2図ハ)により低周波でスイツチSW2とSW5、
およびスイツチSW3とSW4が交互にオンとされる
ので、第2図ニに示すような低周波(周期:2t)
と高周波(周期:2T)とが複合された励磁電流If
が流れる。
可変増幅器15を介して得た結合点16におけ
る信号電圧は、第2図ホ,ヘに示すタイミング信
号S7とS8でサンプリングされるので、第2図トに
示す電圧がスイツチSW7の出力側に得られる。こ
れを低域濾波器17で平滑した電圧が、ローパス
フイルタ20の出力側に得られる。
る信号電圧は、第2図ホ,ヘに示すタイミング信
号S7とS8でサンプリングされるので、第2図トに
示す電圧がスイツチSW7の出力側に得られる。こ
れを低域濾波器17で平滑した電圧が、ローパス
フイルタ20の出力側に得られる。
更に、結合点16における信号電圧は第2図
チ,リで示すタイミングでタイミング信号S9,
S10によりサンプリングされるので、スイツチ
SW9の出力側には第2図ヌで示す信号電圧が出力
され、この信号電圧は可変利得増幅器Q5でその
大きさが調節されてハイパスフイルタ21を介し
て加算点22に出力される。
チ,リで示すタイミングでタイミング信号S9,
S10によりサンプリングされるので、スイツチ
SW9の出力側には第2図ヌで示す信号電圧が出力
され、この信号電圧は可変利得増幅器Q5でその
大きさが調節されてハイパスフイルタ21を介し
て加算点22に出力される。
加算点22で加算された各信号電圧は補償増幅
器23を介してローパスフイルタ20で平滑され
加算点22に出力される。
器23を介してローパスフイルタ20で平滑され
加算点22に出力される。
一方、前置増幅器14の出力に例えばスラリー
ノイズなどが含まれ、このスラリーノイズNの大
きさが基準電圧E5とE6(E5≠E6)の大きさとの関
係で決まるロジツクにしたがいスイツチSW12,
SW13,SW14を切り替えて可変増幅器15の増幅
度を変更する。同時に補償増幅器23の増幅度も
これとは逆数関係になるようにして変更し全体と
して同一の増幅度を確保する。
ノイズなどが含まれ、このスラリーノイズNの大
きさが基準電圧E5とE6(E5≠E6)の大きさとの関
係で決まるロジツクにしたがいスイツチSW12,
SW13,SW14を切り替えて可変増幅器15の増幅
度を変更する。同時に補償増幅器23の増幅度も
これとは逆数関係になるようにして変更し全体と
して同一の増幅度を確保する。
このようにしてノイズの大きいときには多少の
精度は犠牲にしてもノイズの大きさに対応して増
幅度を変えノイズによる回路の飽和を防ぎ、ノイ
ズの少ないときは正常な増幅度を確保し全体とし
て安定な出力を確保する。
精度は犠牲にしてもノイズの大きさに対応して増
幅度を変えノイズによる回路の飽和を防ぎ、ノイ
ズの少ないときは正常な増幅度を確保し全体とし
て安定な出力を確保する。
以上は、デイスクリートな回路をベースとして
構成したが、これに限る必要はなく例えばマイク
ロコンピユータを用いて構成するようにしても良
い。
構成したが、これに限る必要はなく例えばマイク
ロコンピユータを用いて構成するようにしても良
い。
〈考案の効果〉
以上、実施例と共に具体的に説明したように本
考案によれば、信号電圧に含まれるノイズの大き
さを検出してこの大きさに応じて全体の増幅度の
配分を変更し、これにより回路の飽和を防ぐこと
ができるので、ノイズに対して安定な出力を確保
することができる。特に、2周波励磁方式では大
きな時定数を持つ回路が挿入されているので、回
路が飽和するとその正常復帰にかなりの時間を要
するので本考案を採用する効果が大きい。
考案によれば、信号電圧に含まれるノイズの大き
さを検出してこの大きさに応じて全体の増幅度の
配分を変更し、これにより回路の飽和を防ぐこと
ができるので、ノイズに対して安定な出力を確保
することができる。特に、2周波励磁方式では大
きな時定数を持つ回路が挿入されているので、回
路が飽和するとその正常復帰にかなりの時間を要
するので本考案を採用する効果が大きい。
第1図は本考案の1実施例を示すブロツク図、
第2図は第1図に示す実施例の動作を説明する波
形図である。 10……導管、12……励磁コイル、13……
励磁回路、14……前置増幅器、15……可変増
幅器、19……タイミング回路、20……ローパ
スフイルタ、21……ハイパスフイルタ、23…
…補償増幅器、26……ノイズ検出回路、27…
…絶対値回路。
第2図は第1図に示す実施例の動作を説明する波
形図である。 10……導管、12……励磁コイル、13……
励磁回路、14……前置増幅器、15……可変増
幅器、19……タイミング回路、20……ローパ
スフイルタ、21……ハイパスフイルタ、23…
…補償増幅器、26……ノイズ検出回路、27…
…絶対値回路。
Claims (1)
- 第1周波数とこれより低い第2周波数の2つの
異なつた周波数を有する磁場を供給する励磁手段
と、この励磁手段により励磁され流量に対応して
発生する信号電圧を前記第1周波数に基づいて弁
別して出力する第1復調手段と、この第1復調手
段の出力を高域濾波する高域濾波手段と、前記信
号電圧を前記第2周波数に基づいて弁別して復調
する第2復調手段と、この第2復調手段の出力を
低域濾波する低域濾波手段と、前記高域濾波手段
と前記低域濾波手段の各出力を用いて代数的に合
成する合成手段とを有する電磁流量計において、
前記信号電圧を可変増幅して前記第1及び第2復
調手段に出力する可変増幅手段と、前記合成手段
の後段に設けられこの可変増幅手段の増幅度の変
更による増幅度の変化を補償する補償増幅手段
と、前記信号電圧に含まれるノイズの変化を検出
するノイズ検出手段とを具備し、前記ノイズ検出
手段の出力により前記可変増幅手段と前記補償手
段の増幅度を制御することを特徴とする電磁流量
計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5559187U JPH0541379Y2 (ja) | 1987-04-13 | 1987-04-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5559187U JPH0541379Y2 (ja) | 1987-04-13 | 1987-04-13 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63161328U JPS63161328U (ja) | 1988-10-21 |
| JPH0541379Y2 true JPH0541379Y2 (ja) | 1993-10-20 |
Family
ID=30883625
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5559187U Expired - Lifetime JPH0541379Y2 (ja) | 1987-04-13 | 1987-04-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0541379Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011226974A (ja) * | 2010-04-22 | 2011-11-10 | Yamatake Corp | 電磁流量計 |
-
1987
- 1987-04-13 JP JP5559187U patent/JPH0541379Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011226974A (ja) * | 2010-04-22 | 2011-11-10 | Yamatake Corp | 電磁流量計 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63161328U (ja) | 1988-10-21 |
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