JPH0541395B2 - - Google Patents
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- JPH0541395B2 JPH0541395B2 JP62026443A JP2644387A JPH0541395B2 JP H0541395 B2 JPH0541395 B2 JP H0541395B2 JP 62026443 A JP62026443 A JP 62026443A JP 2644387 A JP2644387 A JP 2644387A JP H0541395 B2 JPH0541395 B2 JP H0541395B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- abrasive grains
- polished
- float
- magnetic fluid
- polishing
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/10—Energy storage using batteries
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
イ 発明の目的
産業上の利用分野
この発明は、砥粒を含有する磁性流体を磁場の
作用下で使用して非球体状の被研磨物の表面を研
磨する方法、特に砥粒の運動を磁性流体と浮子と
磁場との組合せにより制御して、高い効率で研磨
する方法に関するものである。 従来の技術 磁性流体に砥粒を含有させた研磨用液を磁場の
作用下で使用して物体の表面を研磨する方法とし
ては、特開昭54−10499号、特開昭57−163057号、
特開昭57−158280号、特開昭58−77447号、特開
昭59−102569号、特開昭60−67057号、特開昭60
−118466号、特開昭０−167761号、特開昭60−
186368号、特開昭60−191759号、特開昭60−
242963号等の明細書に各種の提案がなされてい
る。 これらの、磁性流体に砥粒を含有させた研磨用
液を磁場の作用下で使用して物体の表面を研磨す
る方法の基本的原理を第８図により説明すると、
容器１に満たされた砥粒を含有する磁性流体２中
に被研磨物３の被研磨面が浸漬するように設置
し、容器１の下に磁石４を配置して磁性流体の下
方より外部磁場を作用させる。このようにすると
砥粒は上部に浮上して被研磨物に接触する高密度
の砥粒層を形成する。そこで被研磨物と砥粒を含
有する磁性流体との間に相対運動、図示の場合は
被研磨物を垂直軸を中心として回転させることに
よる相対運動を与えると、砥粒層と接触している
被研磨面は研磨される。 別法として、外部磁場を回転させて砥粒を含有
する磁性流体を回転させることにより被研磨物と
砥粒を含有する磁性流体との間に相対運動を与え
る方法もある。 しかしこれら従来法は、研磨の目的は達成し得
るものの、いずれも研磨率（単位時間当りの研磨
量）が非常に小さく効率が悪いために、原理的に
は可能であつても実用化された例はない。 発明が解決しようとする問題点 本発明は砥粒を含有する磁性流体を用いる研磨
方法において、被研磨物の表面を効率よく研磨す
る方法を提供することを目的とする。 ロ 発明の構成 問題点を解決するための手段 本発明の研磨方法は、砥粒を含有する磁性流体
中に非球体状の被研磨物及びその下方に浮子を浸
漬し、磁性流体に外部磁場を作用させることによ
り浮子に浮力を与え、その浮力によつて浮子の作
用面と非球体状の被研磨物との間の砥粒を被研磨
物に押しつけると共に、被研磨物と砥粒を含有す
る磁性流体との間に相対運動を与えることよりな
る。 本発明方法を、典型的な適用例の一つについて
具体的に説明する。 第１Ａ図及び第１Ｂ図は複数個の非球体状の被
研磨物（以下単に被研磨物という）を同時研磨す
る場合の具体例の一つであり、第１Ａ図は上方か
ら見た図、第１Ｂ図は側断面図である。 第１Ａ図及び第１Ｂ図に示すように、被研磨物
３は駆動治具としての円板６の下面に回転自在に
取付けられ、容器１中の砥粒を含有する磁性流体
２の液面近傍に浸漬される。ここで砥粒を含有す
る磁性流体２中に浮子５を浸漬し、磁性流体の下
方より磁石４により外部磁場を作用させると、砥
粒には浮力が作用して上方に浮上し磁性流体の上
部に高密度の砥粒層を形成するが、それとともに
浮子５にも浮力が与えられ、浮子５は浮上してそ
の上方に存在する砥粒を被研磨物面に強く押しつ
ける。この状態で駆動円板６を垂直軸６１を中心
として回転させると、砥粒に接触している下面が
研磨される。この場合、浮子５の作用によつて、
浮子を使用しない場合に比べて研磨率は著しく向
上する。 発生する研磨力は、浮子に働く浮力と、浮子の
研磨方向への抵抗力としての剛性により決定され
る。研磨方向への剛性は、浮子の材質、質量、形
状及びそれによる流体抵抗等の要素により決定さ
れる。 浮子の材質としては、金属、プラスチツク、セ
ラミツクス、ゴム等、種々の材料を目的に応じて
選択使用できる。 浮子に働く浮力は、下方より働く外部磁場の強
さ、浮子の大きさ、浮子までの距離等により決定
され、これらを変化させることによつて所要の加
工圧を任意に制御することができる。 浮子の比重は砥粒を含有する磁性流体の比重よ
りも軽いことは絶対必要な条件ではなく、下方よ
り働く外部磁場の作用により浮力を生じるもので
あればよい。 浮子の形状は、被研磨物の被研磨面の形状、例
えば平面、曲面、凹凸面などの表面形状に応じ
て、被研磨物の被研磨面との間隔がどの部分でも
一定になるような形状にするのが好ましい。 浮子の表面は平滑でもよいが、第６Ａ図又は第
６Ｂ図に部分拡大断面図として示すように、その
上部表面に多数の溝又は凹部を設けて砥粒の保持
を容易にしたものを使用することが好ましい。あ
るいは第６Ｃ図に部分拡大断面図として示すよう
に、多数の連通孔を有するものを使用して砥粒の
補給を容易にしたものを使用してもよい。 被研磨物と磁性流体に混合された砥粒との相対
運動は、被研磨物の回転、往復、振動その他の運
動、砥粒を含有する磁性流体の運動、磁場の変動
のほか、浮子の運動及びこれらを組合せた運動に
よつて行われる。 磁性流体中に含有される砥粒は、公知の研磨用
砥粒を適宜選択して使用することができる。例え
ばAl2O3（コランダム）、SiC（炭化ケイ素：オーボ
ランダム）、ダイヤモンド等であり、あるいは磁
性を付加した砥粒でもよい。 外部磁場として使用する磁石４は、単一磁石ま
たは極性を揃えて配置した磁石群であつてもよい
が、むしろ隣り合う磁石の極が互いに異なるよう
に（図で矢印で示す）組合せた磁石群であること
が好ましい。磁石群を隣り合う磁石の極が互いに
異なるように組合せるのは、砥粒と浮子の浮力を
増し、また水平方向にも磁気排出力を作用させ、
被研磨物の運動方向に抗するように砥粒を保持す
るためである。 この磁石または磁石群は永久磁石でも電磁石で
もよい。 また磁石は容器１の下部のほか、一方の側部に
配置して水平あるいは傾斜方向などの適宜方向の
磁場勾配を発生させてもよく、いずれの場合も磁
性流体の一方の側から外部磁場を作用させ、対向
側に浮力を発生させればよい。 第２Ａ図及び第２Ｂ図は、第１Ａ図及び第１Ｂ
図と同様の複数個の被研磨物を同時研磨する場合
の他の具体例を説明するための図で、第２Ａ図は
上方から見た図、第２Ｂ図は側断面図である。こ
の場合には、複数個の被研磨物３を駆動円板６と
浮子５との間に、砥粒を含有するる磁性流体２中
に浮遊する状態に配置される。これに下方から外
部磁場を作用させると、砥粒を含有する磁性流体
２中に浸漬した浮子５が浮上してその上方に存在
する砥粒が被研磨物３の下面に押しつけられる。
駆動円板６を垂直軸６１を中心として回転する
と、被研磨物３は円板６、その外周壁６２、浮子
５の制約下に砥粒を含有する磁性流体中で遊動
し、被研磨物３の下面あるいは上下面が研磨され
る。 第３Ａ図及び第３Ｂ図はリング又は円板の側面
を研磨する場合を説明するための図で、第３Ａ図
は上方から見た図、第３Ｂ図は側断面図である。
リング又は円板状の被研磨物３を水平回転軸６１
に取り付けて回転させ、砥粒を含有する磁性流体
中２に浸漬した浮子５を浮上させてその上方に存
在する砥粒を回転するリング又は円板状の被研磨
物３の側面に押しつければ、その側面が効率的に
研磨される。この場合浮子５の中心に回転軸７を
設けることが望ましい。 第４図は深溝を有する円柱を研磨する場合を説
明するための図である。深溝を有する円柱状の被
研磨物３を治具６３で水平に支持し回転させると
共に、深溝に対応する凹凸形状を有する浮子５１
を使用してその上方に存在する砥粒を回転する被
研磨物３の下面に押しつければ、その側面が深溝
部分まで効率的に研磨される。この場合浮子５１
が不規則な横揺れをしないようにガイドピン７１
で横方向の運動を規制している。 第５図は細孔を有する被研磨物３の細孔内を研
磨する場合を説明するための図で、ホルダー６４
に固定した被研磨物の細孔３５が水平方向になる
ように設置し、細孔３５の内部に針状の浮子５２
を挿入する。被研磨物３を水平往復運動させると
細孔３５内部が効率的に研磨される。 細孔３５の断面が円形であり、外形も円柱ある
いは正多角柱である場合には、被研磨物３を回転
運動させてもよい。リング内面あるいはパイプ内
面を研磨する場合も被研磨面形状に合わせた浮子
を磁場による浮力によつて内面方向に作用させる
ことにより、同様な方法で行うことができる。 本発明による浮子を用いる研磨方法は、以上の
具体例に限定されるものではなく、砥粒を含有す
る磁性流体を用いる各種の研磨方法に応用可能で
ある。 実施例 １ 第７図に示した装置を使用し、第１表に示す条
件で研磨した。試験結果を第２表に示す。
作用下で使用して非球体状の被研磨物の表面を研
磨する方法、特に砥粒の運動を磁性流体と浮子と
磁場との組合せにより制御して、高い効率で研磨
する方法に関するものである。 従来の技術 磁性流体に砥粒を含有させた研磨用液を磁場の
作用下で使用して物体の表面を研磨する方法とし
ては、特開昭54−10499号、特開昭57−163057号、
特開昭57−158280号、特開昭58−77447号、特開
昭59−102569号、特開昭60−67057号、特開昭60
−118466号、特開昭０−167761号、特開昭60−
186368号、特開昭60−191759号、特開昭60−
242963号等の明細書に各種の提案がなされてい
る。 これらの、磁性流体に砥粒を含有させた研磨用
液を磁場の作用下で使用して物体の表面を研磨す
る方法の基本的原理を第８図により説明すると、
容器１に満たされた砥粒を含有する磁性流体２中
に被研磨物３の被研磨面が浸漬するように設置
し、容器１の下に磁石４を配置して磁性流体の下
方より外部磁場を作用させる。このようにすると
砥粒は上部に浮上して被研磨物に接触する高密度
の砥粒層を形成する。そこで被研磨物と砥粒を含
有する磁性流体との間に相対運動、図示の場合は
被研磨物を垂直軸を中心として回転させることに
よる相対運動を与えると、砥粒層と接触している
被研磨面は研磨される。 別法として、外部磁場を回転させて砥粒を含有
する磁性流体を回転させることにより被研磨物と
砥粒を含有する磁性流体との間に相対運動を与え
る方法もある。 しかしこれら従来法は、研磨の目的は達成し得
るものの、いずれも研磨率（単位時間当りの研磨
量）が非常に小さく効率が悪いために、原理的に
は可能であつても実用化された例はない。 発明が解決しようとする問題点 本発明は砥粒を含有する磁性流体を用いる研磨
方法において、被研磨物の表面を効率よく研磨す
る方法を提供することを目的とする。 ロ 発明の構成 問題点を解決するための手段 本発明の研磨方法は、砥粒を含有する磁性流体
中に非球体状の被研磨物及びその下方に浮子を浸
漬し、磁性流体に外部磁場を作用させることによ
り浮子に浮力を与え、その浮力によつて浮子の作
用面と非球体状の被研磨物との間の砥粒を被研磨
物に押しつけると共に、被研磨物と砥粒を含有す
る磁性流体との間に相対運動を与えることよりな
る。 本発明方法を、典型的な適用例の一つについて
具体的に説明する。 第１Ａ図及び第１Ｂ図は複数個の非球体状の被
研磨物（以下単に被研磨物という）を同時研磨す
る場合の具体例の一つであり、第１Ａ図は上方か
ら見た図、第１Ｂ図は側断面図である。 第１Ａ図及び第１Ｂ図に示すように、被研磨物
３は駆動治具としての円板６の下面に回転自在に
取付けられ、容器１中の砥粒を含有する磁性流体
２の液面近傍に浸漬される。ここで砥粒を含有す
る磁性流体２中に浮子５を浸漬し、磁性流体の下
方より磁石４により外部磁場を作用させると、砥
粒には浮力が作用して上方に浮上し磁性流体の上
部に高密度の砥粒層を形成するが、それとともに
浮子５にも浮力が与えられ、浮子５は浮上してそ
の上方に存在する砥粒を被研磨物面に強く押しつ
ける。この状態で駆動円板６を垂直軸６１を中心
として回転させると、砥粒に接触している下面が
研磨される。この場合、浮子５の作用によつて、
浮子を使用しない場合に比べて研磨率は著しく向
上する。 発生する研磨力は、浮子に働く浮力と、浮子の
研磨方向への抵抗力としての剛性により決定され
る。研磨方向への剛性は、浮子の材質、質量、形
状及びそれによる流体抵抗等の要素により決定さ
れる。 浮子の材質としては、金属、プラスチツク、セ
ラミツクス、ゴム等、種々の材料を目的に応じて
選択使用できる。 浮子に働く浮力は、下方より働く外部磁場の強
さ、浮子の大きさ、浮子までの距離等により決定
され、これらを変化させることによつて所要の加
工圧を任意に制御することができる。 浮子の比重は砥粒を含有する磁性流体の比重よ
りも軽いことは絶対必要な条件ではなく、下方よ
り働く外部磁場の作用により浮力を生じるもので
あればよい。 浮子の形状は、被研磨物の被研磨面の形状、例
えば平面、曲面、凹凸面などの表面形状に応じ
て、被研磨物の被研磨面との間隔がどの部分でも
一定になるような形状にするのが好ましい。 浮子の表面は平滑でもよいが、第６Ａ図又は第
６Ｂ図に部分拡大断面図として示すように、その
上部表面に多数の溝又は凹部を設けて砥粒の保持
を容易にしたものを使用することが好ましい。あ
るいは第６Ｃ図に部分拡大断面図として示すよう
に、多数の連通孔を有するものを使用して砥粒の
補給を容易にしたものを使用してもよい。 被研磨物と磁性流体に混合された砥粒との相対
運動は、被研磨物の回転、往復、振動その他の運
動、砥粒を含有する磁性流体の運動、磁場の変動
のほか、浮子の運動及びこれらを組合せた運動に
よつて行われる。 磁性流体中に含有される砥粒は、公知の研磨用
砥粒を適宜選択して使用することができる。例え
ばAl2O3（コランダム）、SiC（炭化ケイ素：オーボ
ランダム）、ダイヤモンド等であり、あるいは磁
性を付加した砥粒でもよい。 外部磁場として使用する磁石４は、単一磁石ま
たは極性を揃えて配置した磁石群であつてもよい
が、むしろ隣り合う磁石の極が互いに異なるよう
に（図で矢印で示す）組合せた磁石群であること
が好ましい。磁石群を隣り合う磁石の極が互いに
異なるように組合せるのは、砥粒と浮子の浮力を
増し、また水平方向にも磁気排出力を作用させ、
被研磨物の運動方向に抗するように砥粒を保持す
るためである。 この磁石または磁石群は永久磁石でも電磁石で
もよい。 また磁石は容器１の下部のほか、一方の側部に
配置して水平あるいは傾斜方向などの適宜方向の
磁場勾配を発生させてもよく、いずれの場合も磁
性流体の一方の側から外部磁場を作用させ、対向
側に浮力を発生させればよい。 第２Ａ図及び第２Ｂ図は、第１Ａ図及び第１Ｂ
図と同様の複数個の被研磨物を同時研磨する場合
の他の具体例を説明するための図で、第２Ａ図は
上方から見た図、第２Ｂ図は側断面図である。こ
の場合には、複数個の被研磨物３を駆動円板６と
浮子５との間に、砥粒を含有するる磁性流体２中
に浮遊する状態に配置される。これに下方から外
部磁場を作用させると、砥粒を含有する磁性流体
２中に浸漬した浮子５が浮上してその上方に存在
する砥粒が被研磨物３の下面に押しつけられる。
駆動円板６を垂直軸６１を中心として回転する
と、被研磨物３は円板６、その外周壁６２、浮子
５の制約下に砥粒を含有する磁性流体中で遊動
し、被研磨物３の下面あるいは上下面が研磨され
る。 第３Ａ図及び第３Ｂ図はリング又は円板の側面
を研磨する場合を説明するための図で、第３Ａ図
は上方から見た図、第３Ｂ図は側断面図である。
リング又は円板状の被研磨物３を水平回転軸６１
に取り付けて回転させ、砥粒を含有する磁性流体
中２に浸漬した浮子５を浮上させてその上方に存
在する砥粒を回転するリング又は円板状の被研磨
物３の側面に押しつければ、その側面が効率的に
研磨される。この場合浮子５の中心に回転軸７を
設けることが望ましい。 第４図は深溝を有する円柱を研磨する場合を説
明するための図である。深溝を有する円柱状の被
研磨物３を治具６３で水平に支持し回転させると
共に、深溝に対応する凹凸形状を有する浮子５１
を使用してその上方に存在する砥粒を回転する被
研磨物３の下面に押しつければ、その側面が深溝
部分まで効率的に研磨される。この場合浮子５１
が不規則な横揺れをしないようにガイドピン７１
で横方向の運動を規制している。 第５図は細孔を有する被研磨物３の細孔内を研
磨する場合を説明するための図で、ホルダー６４
に固定した被研磨物の細孔３５が水平方向になる
ように設置し、細孔３５の内部に針状の浮子５２
を挿入する。被研磨物３を水平往復運動させると
細孔３５内部が効率的に研磨される。 細孔３５の断面が円形であり、外形も円柱ある
いは正多角柱である場合には、被研磨物３を回転
運動させてもよい。リング内面あるいはパイプ内
面を研磨する場合も被研磨面形状に合わせた浮子
を磁場による浮力によつて内面方向に作用させる
ことにより、同様な方法で行うことができる。 本発明による浮子を用いる研磨方法は、以上の
具体例に限定されるものではなく、砥粒を含有す
る磁性流体を用いる各種の研磨方法に応用可能で
ある。 実施例 １ 第７図に示した装置を使用し、第１表に示す条
件で研磨した。試験結果を第２表に示す。
【表】
なお研磨率は、試験片下面の端部の断面曲線よ
り求めた。 比較例 １ 浮子を使用しなかつた以外は、実施例１と同じ
装置を用い、同様な条件で研磨試験を行つた。結
果を第２表に示す。この場合の研磨率も、実施例
１と同様に試験片下面の端部の断面曲線より求め
た。
り求めた。 比較例 １ 浮子を使用しなかつた以外は、実施例１と同じ
装置を用い、同様な条件で研磨試験を行つた。結
果を第２表に示す。この場合の研磨率も、実施例
１と同様に試験片下面の端部の断面曲線より求め
た。
【表】
浮子を使用した場合（実施例１）、浮子を使用
しない場合（比較例１）の60倍の研磨率が得られ
る。 ハ 発明の効果 本発明の研磨方法は、砥粒を含有する磁性流体
中で行われるので、被研磨物への加工力の負荷系
が柔構造であり、従つて過負荷や衝撃力が発生し
にくく、セラミツクなどの脆性材料やアルミニウ
ムなどの延性材料など難加工性材料の研磨を損傷
あるいは加工変質などの発生を最小に抑制しつつ
行うことができる。 また研磨による発熱を効率よく除去できるの
で、上記柔構造負荷の効果と相俟つて高速研磨が
可能となり、研磨効率が向上する。 さらに本発明における最大の特色は、従来の磁
性流体を用いる研磨方法では加工圧力は主として
砥粒の浮力によるが、砥粒の浮力は加工圧として
は小さいために研磨率が非常に小さいのに対し、
本発明では浮子を用いるためにその浮力によつて
砥粒が被研磨面に強く押しつけられ、加工圧が著
しく高められると同時に浮子が研磨方向への抵抗
体となる結果、研磨率が顕著に向上することであ
る。 また浮子の形状を被研磨面の形状に応じて適宜
に変えることにより、複雑な表面の研磨が可能で
ある。
しない場合（比較例１）の60倍の研磨率が得られ
る。 ハ 発明の効果 本発明の研磨方法は、砥粒を含有する磁性流体
中で行われるので、被研磨物への加工力の負荷系
が柔構造であり、従つて過負荷や衝撃力が発生し
にくく、セラミツクなどの脆性材料やアルミニウ
ムなどの延性材料など難加工性材料の研磨を損傷
あるいは加工変質などの発生を最小に抑制しつつ
行うことができる。 また研磨による発熱を効率よく除去できるの
で、上記柔構造負荷の効果と相俟つて高速研磨が
可能となり、研磨効率が向上する。 さらに本発明における最大の特色は、従来の磁
性流体を用いる研磨方法では加工圧力は主として
砥粒の浮力によるが、砥粒の浮力は加工圧として
は小さいために研磨率が非常に小さいのに対し、
本発明では浮子を用いるためにその浮力によつて
砥粒が被研磨面に強く押しつけられ、加工圧が著
しく高められると同時に浮子が研磨方向への抵抗
体となる結果、研磨率が顕著に向上することであ
る。 また浮子の形状を被研磨面の形状に応じて適宜
に変えることにより、複雑な表面の研磨が可能で
ある。
第１Ａ図及び第１Ｂ図、第２Ａ図及び第２Ｂ
図、第３Ａ図及び第３Ｂ図、第４図ならびに第５
図はそれぞれ本発明の具体的実施態様を説明する
ための図、第６Ａ図、第６Ｂ図及び第６Ｃ図は本
発明で使用する浮子の部分拡大断面構造例を示す
図、第７図は実施例１で用いた装置を示す図、第
８図は従来法を説明するための図である。
図、第３Ａ図及び第３Ｂ図、第４図ならびに第５
図はそれぞれ本発明の具体的実施態様を説明する
ための図、第６Ａ図、第６Ｂ図及び第６Ｃ図は本
発明で使用する浮子の部分拡大断面構造例を示す
図、第７図は実施例１で用いた装置を示す図、第
８図は従来法を説明するための図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 砥粒を含有する磁性流体中に非球体状の被研
磨物及びその下方に浮子を浸漬し、磁性流体に外
部磁場を作用させることにより浮子に浮力を与
え、その浮力によつて浮子の作用面と非球体状の
被研磨物との間の砥粒を被研磨物に押しつけると
共に、被研磨物と砥粒を含有する磁性流体との間
に相対運動を与えることよりなる非球体状の被研
磨物の研磨方法。 ２ 非球体状の被研磨物を水平往復運動又は回転
運動又は振動させることにより被研磨物と砥粒を
含有する磁性流体との間に相対運動を与える特許
請求の範囲第１項記載の研磨方法。 ３ 外部磁場を変動させて砥粒を含有する磁性流
体を流動させることにより非球体状の被研磨物と
砥粒を含有する磁性流体との間に相対運動を与え
る特許請求の範囲第１項記載の研磨方法。 ４ 浮子として、その作用面に多数の溝又は凹部
を設けたものを使用する特許請求の範囲第１項記
載の研磨方法。 ５ 浮子として、磁性流体と砥粒のための多数の
連通孔を有するものを使用する特許請求の範囲第
１項記載の研磨方法。 ６ 非球体状の被研磨物が浮子と駆動治具との間
に挟まれて砥粒を含有する磁性流体中に浮遊して
いる特許請求の範囲第１項記載の研磨方法。 ７ 磁性流体に作用させる外部磁場として、隣り
合う磁石の極が互いに異なるように組合せた磁石
群を用いる特許請求の範囲第１項記載の研磨方
法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62026443A JPS63196368A (ja) | 1987-02-09 | 1987-02-09 | 磁性流体を用いる研磨方法 |
| US07/152,937 US4821466A (en) | 1987-02-09 | 1988-02-05 | Method for grinding using a magnetic fluid and an apparatus thereof |
| SE8800380A SE464565B (sv) | 1987-02-09 | 1988-02-05 | Foerfarande foer slipning med anvaendning av ett magnetiskt fluidum och anordning daerfoer |
| DE3803773A DE3803773A1 (de) | 1987-02-09 | 1988-02-08 | Schleifverfahren unter verwendung eines magnetischen fluids sowie vorrichtung hierfuer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62026443A JPS63196368A (ja) | 1987-02-09 | 1987-02-09 | 磁性流体を用いる研磨方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63196368A JPS63196368A (ja) | 1988-08-15 |
| JPH0541395B2 true JPH0541395B2 (ja) | 1993-06-23 |
Family
ID=12193649
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62026443A Granted JPS63196368A (ja) | 1987-02-09 | 1987-02-09 | 磁性流体を用いる研磨方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63196368A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62173166A (ja) * | 1985-08-08 | 1987-07-30 | Jgc Corp | 磁性流体を用いる球体の研磨方法及び研磨装置 |
-
1987
- 1987-02-09 JP JP62026443A patent/JPS63196368A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63196368A (ja) | 1988-08-15 |
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