JPH0541431A - 半導体装置のリード外観検査装置 - Google Patents
半導体装置のリード外観検査装置Info
- Publication number
- JPH0541431A JPH0541431A JP19515991A JP19515991A JPH0541431A JP H0541431 A JPH0541431 A JP H0541431A JP 19515991 A JP19515991 A JP 19515991A JP 19515991 A JP19515991 A JP 19515991A JP H0541431 A JPH0541431 A JP H0541431A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lead
- image
- semiconductor device
- shielding member
- visual inspection
- Prior art date
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 撮像側のリードの背部に遮光部材を配設し、
水平方向から撮像することで、俯角に起因する認識誤り
を防止できるようにする。 【構成】 検査台１上にセットされたワーク２のリード
２ａを読取部３（鏡筒４、平面鏡５、カメラ６から成
る）によってリードを撮像し、その撮像結果に基づいて
リード２ａの曲がりなどの検査を行うリード外観検査装
置であって、リード２ａの読取部３に対向する側のリー
ド背部に遮光部材７を配設し、読取部３のリード２ａに
対する撮像俯角を０°に設定する。
水平方向から撮像することで、俯角に起因する認識誤り
を防止できるようにする。 【構成】 検査台１上にセットされたワーク２のリード
２ａを読取部３（鏡筒４、平面鏡５、カメラ６から成
る）によってリードを撮像し、その撮像結果に基づいて
リード２ａの曲がりなどの検査を行うリード外観検査装
置であって、リード２ａの読取部３に対向する側のリー
ド背部に遮光部材７を配設し、読取部３のリード２ａに
対する撮像俯角を０°に設定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は集積回路などの半導体装
置のリードを検査する技術、特に、リードの曲がりの有
無を検査するために用いて効果のある技術に関するもの
である。
置のリードを検査する技術、特に、リードの曲がりの有
無を検査するために用いて効果のある技術に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来より、リードを有する電子部品の外
観検査、例えば、半導体装置の外観検査は、目視、画像
認識による画像処理、レーザ変位計による変位の変化に
よる計測などの手段がある。目視検査は、良否判定基準
にしたがって作業者が目視によって行っている。また、
画像認識及びレーザ変位計による場合は、取り込んだ情
報などから判定している。
観検査、例えば、半導体装置の外観検査は、目視、画像
認識による画像処理、レーザ変位計による変位の変化に
よる計測などの手段がある。目視検査は、良否判定基準
にしたがって作業者が目視によって行っている。また、
画像認識及びレーザ変位計による場合は、取り込んだ情
報などから判定している。
【０００３】図２は従来の半導体装置のリード外観検査
装置を示す正面図である。
装置を示す正面図である。
【０００４】検査台１にはワーク（例えば、ＰＬＣＣ：
プラスチック・リーデッド・チップ・パッケージ）２が
セットされ、検査台１に隣接させて画像認識を行うため
の読取部３が配設されている。この読取部３は鏡筒４、
この鏡筒４内に配設される複数の平面鏡５が配設され、
その出射光路上にカメラ６が配設されている。また、ワ
ーク２は不図示の照明手段によって照明されている。
プラスチック・リーデッド・チップ・パッケージ）２が
セットされ、検査台１に隣接させて画像認識を行うため
の読取部３が配設されている。この読取部３は鏡筒４、
この鏡筒４内に配設される複数の平面鏡５が配設され、
その出射光路上にカメラ６が配設されている。また、ワ
ーク２は不図示の照明手段によって照明されている。
【０００５】図２の構成においては、読取部３の入射角
度（俯角）を５°に設定し、ワーク２のリード２ａを撮
像し、不図示の画像処理装置によって画像処理をするこ
とにより、リード２ａの不揃いを判定する。
度（俯角）を５°に設定し、ワーク２のリード２ａを撮
像し、不図示の画像処理装置によって画像処理をするこ
とにより、リード２ａの不揃いを判定する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明者の検討によれ
ば、反射式の画像認識による画像処理手段にあっては、
水平方向から撮影すると、反対側のリード及びワークを
載せる台が撮像されてしまうために、俯角をつけて撮影
を行っているために、誤差を生じるという問題がある。
例えば、コプラナリティ（共面性）を検査するに際して
俯角がある場合、リードの先端がカメラの手前方向また
は奥方向にばらつきがあると、同一のコプラナリティを
持つリードであっても、異なる値のコプラナリティにな
るという問題がある。
ば、反射式の画像認識による画像処理手段にあっては、
水平方向から撮影すると、反対側のリード及びワークを
載せる台が撮像されてしまうために、俯角をつけて撮影
を行っているために、誤差を生じるという問題がある。
例えば、コプラナリティ（共面性）を検査するに際して
俯角がある場合、リードの先端がカメラの手前方向また
は奥方向にばらつきがあると、同一のコプラナリティを
持つリードであっても、異なる値のコプラナリティにな
るという問題がある。
【０００７】すなわち、図３に示すように、（ａ）図の
如く各リードが高さ方向に正しくて水平方向にリードず
れがある場合は良品として処理されるべきであるにもか
かわらず、（ｂ）図のように画像認識されるため、従来
にあってはｄｘの高さずれのある不良品として判定され
る。また、図４に示すように、（ａ）図の如くに下端高
さにｄｘのレベル差がある場合、本来は不良品であるに
もかかわらず、従来では（ｂ）図のように同一のコプラ
ナリティを持つ良品として認識されてしまう不具合があ
る。
如く各リードが高さ方向に正しくて水平方向にリードず
れがある場合は良品として処理されるべきであるにもか
かわらず、（ｂ）図のように画像認識されるため、従来
にあってはｄｘの高さずれのある不良品として判定され
る。また、図４に示すように、（ａ）図の如くに下端高
さにｄｘのレベル差がある場合、本来は不良品であるに
もかかわらず、従来では（ｂ）図のように同一のコプラ
ナリティを持つ良品として認識されてしまう不具合があ
る。
【０００８】そこで、本発明の目的は、俯角に起因する
リード認識誤りを防止することのできる技術を提供する
ことにある。
リード認識誤りを防止することのできる技術を提供する
ことにある。
【０００９】本発明の前記目的ならびにその他の目的と
新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らか
になるであろう。
新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らか
になるであろう。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下の通りである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下の通りである。
【００１１】すなわち、半導体装置のリードを撮像し、
その撮像結果に基づいて前記リードの曲がりなどの検査
を行うリード外観検査装置であって、前記半導体装置に
対向する側のリード背部に配設される遮光部材と、前記
リードに対する撮像俯角を０°に設定した読取部とを設
けるようにしている。
その撮像結果に基づいて前記リードの曲がりなどの検査
を行うリード外観検査装置であって、前記半導体装置に
対向する側のリード背部に配設される遮光部材と、前記
リードに対する撮像俯角を０°に設定した読取部とを設
けるようにしている。
【００１２】
【作用】上記した手段によれば、リードに隣接させてワ
ークの下部に配設された遮光部材は、リードの撮影に影
響を及ぼす光、例えば、反対側の辺にあるリード群から
反射した光や同方向から読取部に入射する照明などを遮
光し、読取部を水平に設置（俯角０°）しての撮像が可
能になる。したがって、俯角や仰角に起因する誤差が除
去され、リード外観検査を正確に行うことが可能にな
る。
ークの下部に配設された遮光部材は、リードの撮影に影
響を及ぼす光、例えば、反対側の辺にあるリード群から
反射した光や同方向から読取部に入射する照明などを遮
光し、読取部を水平に設置（俯角０°）しての撮像が可
能になる。したがって、俯角や仰角に起因する誤差が除
去され、リード外観検査を正確に行うことが可能にな
る。
【００１３】
【実施例】図１は本発明による半導体装置のリード外観
検査装置の一実施例を示す正面図である。なお、本実施
例においては、図２と同一であるものには同一引用数字
を用いたので、以下においては重複する説明を省略す
る。
検査装置の一実施例を示す正面図である。なお、本実施
例においては、図２と同一であるものには同一引用数字
を用いたので、以下においては重複する説明を省略す
る。
【００１４】本実施例においては、読取部３の検査対象
に対する俯角を０°にすると共に、目的の被写体から反
射される光を遮光するための遮光部材７を、ワーク２と
検査台１との間に介在させたところに特徴がある。遮光
部材７には、ワーク２及びリード２ａに対して疵や圧力
を及ぼすことがなく、また静電破壊を招くことのない材
料である導電性のスポンジを用いている。
に対する俯角を０°にすると共に、目的の被写体から反
射される光を遮光するための遮光部材７を、ワーク２と
検査台１との間に介在させたところに特徴がある。遮光
部材７には、ワーク２及びリード２ａに対して疵や圧力
を及ぼすことがなく、また静電破壊を招くことのない材
料である導電性のスポンジを用いている。
【００１５】このような構成により、遮光部材７によっ
てリード２ａの撮影に悪影響を及ぼす光、例えば、ワー
ク２の反対側の辺にあるリード群から反射された光や同
方向からカメラに入射する照明光などを遮断することが
でき、俯角及び仰角を設けない水平方向からの撮影が可
能になり、これら俯角及び仰角に起因する誤差を排除す
ることができる。この結果、図３のケースでは良品と判
定され、図４のケースでは不良品と判定され、誤りのな
い判定が行われる。
てリード２ａの撮影に悪影響を及ぼす光、例えば、ワー
ク２の反対側の辺にあるリード群から反射された光や同
方向からカメラに入射する照明光などを遮断することが
でき、俯角及び仰角を設けない水平方向からの撮影が可
能になり、これら俯角及び仰角に起因する誤差を排除す
ることができる。この結果、図３のケースでは良品と判
定され、図４のケースでは不良品と判定され、誤りのな
い判定が行われる。
【００１６】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることは言うまでもない。
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることは言うまでもない。
【００１７】また、以上の説明では、主として本発明者
によってなされた発明をその利用分野であるＰＬＣＣの
リードの外観検査に適用した場合について説明したが、
これに限定されるものではなく、例えば、ＱＦＰ（クワ
ッド・フラット・パッケージ）、ＳＯＰ（スモール・ア
ウト・ライン・パッケージ）などの各種の半導体装置に
適用可能であるほか、抵抗やコンデンサを含むハイブリ
ッド回路をパッケージ及びリードによって集積化したも
のにも適用することが可能である。
によってなされた発明をその利用分野であるＰＬＣＣの
リードの外観検査に適用した場合について説明したが、
これに限定されるものではなく、例えば、ＱＦＰ（クワ
ッド・フラット・パッケージ）、ＳＯＰ（スモール・ア
ウト・ライン・パッケージ）などの各種の半導体装置に
適用可能であるほか、抵抗やコンデンサを含むハイブリ
ッド回路をパッケージ及びリードによって集積化したも
のにも適用することが可能である。
【００１８】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記の通りである。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記の通りである。
【００１９】すなわち、半導体装置のリードを撮像し、
その撮像結果に基づいて前記リードの曲がりなどの検査
を行うリード外観検査装置であって、前記半導体装置に
対向する側のリード背部に配設される遮光部材と、前記
リードに対する撮像俯角を０°に設定した読取部とを設
けるようにしたので、俯角に起因する誤差が除去され、
リード外観検査を正確に行うことが可能になる。
その撮像結果に基づいて前記リードの曲がりなどの検査
を行うリード外観検査装置であって、前記半導体装置に
対向する側のリード背部に配設される遮光部材と、前記
リードに対する撮像俯角を０°に設定した読取部とを設
けるようにしたので、俯角に起因する誤差が除去され、
リード外観検査を正確に行うことが可能になる。
【図１】本発明によるリード外観検査装置の一実施例を
示す正面図である。
示す正面図である。
【図２】従来の半導体装置のリード外観検査装置を示す
正面図である。
正面図である。
【図３】良品の一例とこれに対する従来の不良品評価を
示す画像図である。
示す画像図である。
【図４】不良品の一例とこれに対する従来の良品評価を
示す画像図である。
示す画像図である。
１ 検査台 ２ ワーク ２ａ リード ３ 読取部 ４ 鏡筒 ５ 平面鏡 ６ カメラ ７ 遮光部材
Claims (2)
- 【請求項１】 半導体装置のパッケージから突出するリ
ードを撮像し、その撮像結果に基づいて前記リードの曲
がりなどの検査を行うリード外観検査装置であって、前
記半導体装置に対向する側のリード背部に配設される遮
光部材と、前記リードに対する撮像俯角を０°に設定し
た読取部とを備えることを特徴とする半導体装置のリー
ド外観検査装置。 - 【請求項２】 前記遮光部材は、導電性のスポンジであ
ることを特徴とする請求項１記載の半導体装置のリード
外観検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19515991A JPH0541431A (ja) | 1991-08-05 | 1991-08-05 | 半導体装置のリード外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19515991A JPH0541431A (ja) | 1991-08-05 | 1991-08-05 | 半導体装置のリード外観検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0541431A true JPH0541431A (ja) | 1993-02-19 |
Family
ID=16336414
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19515991A Pending JPH0541431A (ja) | 1991-08-05 | 1991-08-05 | 半導体装置のリード外観検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0541431A (ja) |
-
1991
- 1991-08-05 JP JP19515991A patent/JPH0541431A/ja active Pending
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