JPH0541461A - 接着剤付ガラス小板の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 有効面が清浄で良好な透明性を備え、且つ接
着剤が所定箇所の塗布面のみに塗布形成されたガラス小
板を製造できる、接着剤付ガラス小板の製造方法を提供
する。 【構成】 本発明の接着剤付ガラス小板の製造方法は、
裏面に保持シートを貼り付けたガラス大板の表面に複数
の保護シート片を所定間隔に整列して貼り付け、その後
ガラス大板の各防護シート片の間中央を切断して防護シ
ート片の周囲に塗布面を有する複数のガラス小板にし、
次いで洗浄し乾燥した後、各ガラス小板の塗布面に接着
剤を塗布することにより接着剤付ガラス小板を得る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】受光型半導体素子、例えば紫外線
による書き込み消去可能なメモリーの半導体素子（ＥＰ
−ＲＯＭ）や光結合素子（ＣＣＤ）等の電子部品パッケ
ージにおいては、蓋部材として透明なガラス小板がその
周辺面に塗布された低融点ガラス或いは合成樹脂等の接
着剤によりパッケージ本体に接着して取り付けられる。

【０００２】前記ＥＰ−ＲＯＭやＣＣＤは、パッケージ
内に収容された半導体素子に光を入射させて作動させる
ものであり、光が透過するガラス小板の有効面には良好
な透光性が必要とされる。とりわけ、ＣＣＤでは、鮮明
な画像を得るため、ガラス小板の有効面には透光性に支
障をきたす汚れ、キズ、異物の付着がないことが必要で
ある。

【０００３】本発明は、ガラス小板をパッケージ本体に
接着する前に、該ガラス小板の所要部、すなわち周辺の
塗布面に接着剤が予め塗布してある接着剤付ガラス小板
の製造方法に関する。

【０００４】

【従来の技術】上記の接着剤付ガラス小板を製造する場
合、従来では次の二つの方法がとられている。

【０００５】その一つは、ガラス大板の所要部にパター
ン状に接着剤を塗布し、次にその接着剤付ガラス大板を
そのままダイシング装置の真空チャックテーブル上に載
せて固定し、この状態で水からなる切削液を流しなが
ら、高速回転する切断刃によりパターン毎に切断して接
着剤付のガラス小板を得る方法である。

【０００６】他の一つは、ガラス大板を前記のようなダ
イシング装置で所定寸法のガラス小板に切断し、次いで
切断された各ガラス小板をその外形寸法より若干大きな
収納部を有する整列用治具に手作業により一枚毎納め入
れ、その状態で各ガラス小板の所要部に接着剤を塗布し
て接着剤付のガラス小板を得る方法である。

【０００７】しかしながら、上記従来技術の前者の方法
によると、切断時、ガラス大板の表面に塗布されている
接着剤が切削液の水により変質してその接着性能が大き
く低下し、また切断により分離されたガラス小板がテー
ブル上から離散してわれたり、傷が付いたりする問題が
ある。

【０００８】また、上記従来技術の後者の方法による
と、ガラス小板の表面に接着剤を塗布するに当たって、
その前に切断された多数のガラス小板の一枚一枚を手作
業で一旦整列用治具に精度良く納めなければならず、そ
のハンドリングに大変な手間がかかって生産能率が極め
て悪いため生産コストが高くつく問題がある。

【０００９】そこで、本発明者は、上記の問題を解決す
るために、先に特願平３−１７３２０７で接着剤付ガラ
ス小板の新しい製造方法を提案した。この製造方法は、
ガラス大板の裏面に粘着シートを貼着した後、該ガラス
大板を整列した多数のガラス小板になるように切断し、
次いで該ガラス小板が粘着シートに貼着されたままの状
態で、洗浄し乾燥した後、各ガラス小板の表面の所要部
に接着剤を塗布することにより接着剤付ガラス小板を得
るものであった。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の方法で
は、その工程中ガラス小板の透光部となる有効面がその
まま露出した状態で実施されるため、切断時において、
有効面にガラスのカケラが付着したり、キズがついたり
するという問題が発生した。また接着剤は主にスクリー
ン印刷でガラス小板周辺の塗布面に塗布されるが、この
塗布時において、接着剤が所定の塗布面以外の有効面に
も飛着して付いたり、スクリーン版が有効面に接触して
該有効面にキズが生じたりするという問題があった。

【００１１】本発明は上記問題点を解決し、有効面が清
浄で良好な透光性を備え、且つ接着剤が所定箇所の塗布
面のみに塗布形成されたガラス小板を製造できる、接着
剤付ガラス小板の製造方法を提供することを目的とす
る。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
になした本発明の接着剤付ガラス小板の製造方法は、裏
面に保持シートを貼り付けたガラス大板の表面に複数の
保護シート片を所定間隔に整列して貼り付け、その後ガ
ラス大板の各保護シート片の間中央を切断して各保護シ
ート片の周囲に塗布面を有する複数のガラス小板にし、
次いで洗浄し乾燥した後、各ガラス小板の塗布面に接着
剤を塗布することからなる。

【００１３】

【作用】本発明では切断前に予めガラス大板の表面に複
数の保護シート片が所定間隔で整列して貼り付けてあ
り、この保護シート片はガラス大板より切断される各ガ
ラス小板中央の有効面を保護して被うものである。この
ために、切断時において、有効面にガラスのカケラが付
着したり、傷がついたりすることがなくなり、また接着
剤の塗布時において接着剤が塗布面以外の有効面に飛着
してつくことがなくなると共に塗布作業中に有効面にキ
ズが発生しなくなる。

【００１４】

【実施例】以下、本発明にかかる接着剤付ガラス小板の
製造方法を、図面に示す実施例により具体的に説明す
る。

【００１５】図１において、まずガラス大板１の裏面に
保持シート２を貼り付ける。ガラス大板１は、例えばホ
ウケイ酸ガラスであり、一辺が５０．８ｍｍ、厚みが
０．８ｍｍの正方形の板状物である。保持シート２は、
後工程の切断時およびその後の洗浄・乾燥工程及び接着
剤塗布工程でガラス大板から切断されたガラス小板が分
離して散乱せず規則正しい整列状態を保持するようにす
るためのものであり、ガラス大板１の裏面から簡単には
がれない程度であるが、後には接着剤付のガラス小板を
容易にはがすことができる程度の密着力を有している。
この保持シート２としては、例えば一面にアクリル樹脂
系粘着剤が形成してあるポリオレフィン製の粘着シート
が用いられ、その厚みは０．１５ｍｍである。この粘着
シート２の周囲には、たわみ易い保持シートを張設して
平坦性を維持すると共にハンドリング作業を容易にする
ために、金属製枠３が取り付けてある。

【００１６】次に図２に示すように、裏面に保持シート
２を貼り付けてあるガラス大板１の表面に一辺が５ｍｍ
の保護シート片４を相互に５．２ｍｍ間隔で縦横５列に
整列して貼り付ける。保護シート片４としては前記保持
シートと同様のものが用いられ、これを手作業あるいは
ラベリングマシン等の自動機によりガラス大板１の表面
に貼り付ける。

【００１７】次に、このようにして裏面に保持シート
２、表面に保護シート片４が貼り付けられたガラス大板
１を、ダイシング装置の真空チャックテーブル上に載
せ、位置合わせをした後、真空チャックしてテーブル上
に吸着固定し、この状態で切削液の水を注ぎながら、図
３に示すように刃厚０．２ｍｍ、直径５２ｍｍのダイヤ
モンドブレード５を２００００回転／分に高速回転さ
せ、このブレード５を縦横に順次移動操作してガラス大
板１の各保護シート片４の間中央に切り溝を入れて切断
し、保護シート片の周囲に塗布面６を有する一辺が１０
ｍｍのガラス小板７にする。この切断の場合、切り溝の
深さは、保持シート２の厚みの約半分程度に達するよう
にしてガラス小板７を完全に分断するのが好ましい。前
記の切断工程によって、表面中央に保護シート片４を備
えたガラス小板が、保持シート１上に規則正しく配列さ
れた状態を呈する。

【００１８】次いで、ダイシング装置の真空チャックテ
ーブル上から切断されたガラス小板５を保持シート２に
貼着されたままの状態で取り出し、この状態で切断時の
汚れを取り除くために洗浄を行い、その後引き続き乾燥
をおこなう。この洗浄・乾燥工程には周知の方法が実施
され得るため詳しい説明は省略するが、洗浄には、超音
波法、浸漬法、スピナー法等が用いられ、乾燥には加熱
乾燥法、真空乾燥法等が用いられる。

【００１９】洗浄乾燥の後、保持シート２に貼着された
状態で規則正しく配列されているガラス小板５の周辺部
の塗布面６に接着剤８を塗布する。接着剤の塗布方法と
しては、スクリーン印刷法が最適であり、このスクリー
ン印刷法による場合は、接着剤８が塗布される各ガラス
小板７の塗布面幅２．５ｍｍに対応する箇所にメッシュ
部を有し、他はマスク部としたスクリーン版を、ガラス
小板７に対し正確に位置決めして当接し、次にスクリー
ン版上にインク状の低融点ガラス又は合成樹脂の接着剤
８を適量落とした後、スキージを移動してメッシュ部か
ら接着剤８を押し出すことにより各ガラス小板７の塗布
面６に塗布する。接着剤８が塗布される各ガラス小板７
は保持シート２上に規則正しく配列されているので、ス
クリーン印刷法によって一度に接着剤８を各ガラス小板
の塗布面６に塗布することが可能になる。図４は、この
ようにして保持シート２上に規則正しく配列されている
各ガラス小板５の周辺の塗布面６に、接着剤８が塗布さ
れた状態を示す。

【００２０】次いでこのようにして塗布面６に接着剤８
が塗布されたガラス小板７を保持テープ２からはがして
取り出す。取り出す方法は別にとわないが、図５に示す
ようにガラス小板７を保持シート２の下面から突き上げ
棒８により押し上げるようにすると容易に剥離して取り
出せる。

【００２１】最後にガラス小板７から保護シート片４を
はがすことにより、接着剤付ガラス小板が得られ、もっ
て本発明の上記一連の工程が終了する。

【００２２】上記説明した実施例では、ガラス大板の切
断にダイシング装置を用いているが、これ以外の切断方
法でもよい。またガラス小板の接着剤の塗布方法として
スクリーン印刷法を例示したが、これに限らず別の塗布
方法でもよいし、ハケ塗りなどの手作業によっても行う
ことができる。さらに保持シート及び保護シート片とし
ては、実施例に例示したものに限らず、それらをガラス
小板からはがす際紫外線照射により接着力が低下するよ
うなシート材料であってもよい。

【００２３】

【発明の効果】上述した本発明によれば、予めガラス大
板の表面に保護シート片が所定間隔で配列して貼り付け
られているため、この保護シートに対応するガラス小片
の有効面の箇所が保護される結果、切断時にガラスのカ
ケラや傷が有効面につくのが確実に防止され、また塗布
時に接着剤が塗布面以外の有効面についたり、有効面に
キズがつくのが防止され、よって有効面が清浄で良好な
透光性を備え、しかも接着剤が所定の塗布面のみ正確に
塗布形成されているガラス小板を製造でき、その効果は
実用上大である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の製造方法において、ガラス大板の裏面
にを保持シートに貼り付けた状態を示す平面図である。

【図２】ガラス大板の表面に保護シート片を貼り付けた
状態を示す平面図である。

【図３】ガラス大板をガラス小板に切断する状態を示す
平面図である。

【図４】各ガラス小板の塗布面に接着剤を塗布した状態
を示す平面図である。

【図５】接着剤付ガラス小板を保護シートから取り出す
状態を示す断面図である。

【符号の説明】 １ ガラス大板 ２ 保持シート ４ 保護シート片 ６ 塗布面 ７ ガラス小板 ８ 接着剤

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 裏面に保持シートを貼り付けたガラス大
   板の表面に複数の保護シート片を所定間隔に整列して貼
   り付け、その後ガラス大板の各防護シート片の間中央を
   切断して防護シート片の周囲に塗布面を有する複数のガ
   ラス小板にし、次いで洗浄し乾燥した後、各ガラス小板
   の塗布面に接着剤を塗布することを特徴とする接着剤付
   ガラス小板の製造方法。