JPH054150A - Method and device for work position/attitude correction with table deflection taken into account - Google Patents

Method and device for work position/attitude correction with table deflection taken into account

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JPH054150A
JPH054150A JP18049591A JP18049591A JPH054150A JP H054150 A JPH054150 A JP H054150A JP 18049591 A JP18049591 A JP 18049591A JP 18049591 A JP18049591 A JP 18049591A JP H054150 A JPH054150 A JP H054150A
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JP
Japan
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axis
work
error
correcting
tilt
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Pending
Application number
JP18049591A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tatsuya Hirai
達也 平井
Shunji Sakura
俊児 佐倉
Ariyasu Sanada
有康 真田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tsubakimoto Chain Co
Original Assignee
Tsubakimoto Chain Co
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Filing date
Publication date
Application filed by Tsubakimoto Chain Co filed Critical Tsubakimoto Chain Co
Priority to JP18049591A priority Critical patent/JPH054150A/en
Publication of JPH054150A publication Critical patent/JPH054150A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To make absolute location of a work in a three-dimensional space by correcting the work position error and inclination error generated by deflection etc. of an X-axis, Y-axis, and Z-axis table. CONSTITUTION:First a model work is placed on a work table 40, which is moved in the X-axis, Y-axis, and Z-axis direction, and the axial direction position and inclination errors generated by the deflection of tables 32, 33, 34 in each position are measured and stored in a memory circuit previously. When an actual work to be processed is placed on the work table 40, a position/ inclination correcting circuit reads the axial direction position error and inclination error out of a memory circuit as correcting values, and the tables 32, 33, 34 are moved while these erroneous portions undergo correction, and at the same time, the work table 40 is rotated round the axes. In this manner, the work table 40 with a work placed thereon is moved while undergoing correction of error due to deflection, and also the attitude of the work is corrected.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、X軸、Y軸、Z軸テー
ブルの撓み等によって生じるワークの位置誤差と傾き誤
差を修正して、ワークの3次元空間における絶対位置決
めをおこなうための方法と、その方法に使用する6軸テ
ーブル装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention corrects a position error and a tilt error of a work caused by bending of an X-axis, Y-axis, Z-axis table or the like to perform absolute positioning of a work in a three-dimensional space. And a 6-axis table device used in the method.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、工作機械は、例えば、X、Y、Z
軸方向に移動するX軸、Y軸、Z軸テーブルの内、最上
位置にあるテーブルにワークを積載し、各テーブルをそ
れぞれの方向に移動させながら、このワークに各種の加
工を施すようになっている。各テーブルは、通常、精密
ボールねじによって移動する。しかし、ボールねじのね
じ軸にはピッチ誤差やバックラッシュ誤差がある。この
ため、このピッチ誤差やバックラッシュ誤差を予め記憶
させておき、その分を修正しながらテーブルを移動させ
るテーブルの位置修正方法がある。
2. Description of the Related Art Conventionally, a machine tool has, for example, X, Y, Z.
Among the X-axis, Y-axis, and Z-axis tables that move in the axial direction, the work is loaded on the table at the uppermost position, and while each table is moved in each direction, various processing is performed on this work. ing. Each table is usually moved by a precision ball screw. However, the screw shaft of the ball screw has a pitch error and a backlash error. Therefore, there is a table position correction method in which the pitch error and the backlash error are stored in advance and the table is moved while correcting the errors.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
修正方法は、例えば、図8に示すように、Z軸テーブル
21の昇降を案内する支柱22がワークWの重量等によ
って破線で示した状態に傾いた場合、各軸単体でのピッ
チ誤差補正やバックラッシュ補正だけではテーブルの位
置を正確に制御することはできない。すなわち、ピッチ
誤差補正やバックラッシュ誤差補正に基づき、Z軸テー
ブル21を昇降させ、且つX軸テーブル23を移動さ
せ、ワークWの位置を実線で示す位置に制御したとして
も、ワークWは傾いたままであり、想像線で示すような
正規の姿勢に制御することができないという問題点を有
している。
However, in such a correcting method, for example, as shown in FIG. 8, the support column 22 for guiding the elevation of the Z-axis table 21 is indicated by a broken line due to the weight of the work W or the like. When tilted to, it is not possible to accurately control the position of the table by correcting the pitch error and backlash of each axis alone. That is, even if the Z-axis table 21 is moved up and down and the X-axis table 23 is moved based on the pitch error correction and the backlash error correction to control the position of the work W to the position shown by the solid line, the work W remains tilted. However, there is a problem that it is not possible to control to a normal posture as shown by the imaginary line.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明は、X、Y、Z軸
方向にそれぞれ移動するX軸、Y軸、Z軸テーブルの
内、最上位置にあるテーブルに具えられX、Y、Z軸の
周りに回動しうるようになっているワーク積載テーブル
にモデルワークを積載したとき前記ワーク積載テーブル
のX、Y、Z軸座標位置における軸方向位置誤差と傾き
誤差を記憶回路に記憶させ、実際のワーク加工時に前記
記憶回路に記憶された前記軸方向位置誤差分と傾き誤差
分を位置・傾き補正回路により補正して、前記ワーク積
載テーブルの前記X、Y、Z軸方向位置と前記各軸周り
の回動角を修正することを特徴とするワークの位置・姿
勢修正方法と、X、Y、Z軸方向にそれぞれ移動するX
軸、Y軸、Z軸テーブルと、その内、最上位置にあるテ
ーブルに具えられX、Y、Z軸の周りに回動しうるよう
になっているワーク積載テーブルと、前記ワーク積載テ
ーブルのX、Y、Z軸座標位置における軸方向位置誤差
と傾き誤差を記憶する記憶回路と、前記記憶回路に記憶
された前記軸方向位置誤差分と傾き誤差分を補正して前
記X軸、Y軸、Z軸テーブルの軸方向位置と前記ワーク
積載テーブルの前記X、Y、Z軸周りの回動角を修正す
る位置・傾き補正回路とを有する6軸テーブル装置によ
り、前記の課題を解決したものである。
The present invention is provided on the table at the highest position among the X-axis, Y-axis, and Z-axis tables that move in the X-, Y-, and Z-axis directions, respectively. When a model work is loaded on the work loading table which can be rotated around, the axial position error and the tilt error at the X, Y and Z axis coordinate positions of the work loading table are stored in the storage circuit, A position / tilt correction circuit corrects the axial position error amount and the tilt error amount stored in the storage circuit during the actual work processing, and the X, Y, and Z axial positions of the work loading table and the respective positions. A method for correcting the position / orientation of a work, which is characterized by correcting a rotation angle around an axis, and an X that moves in the X, Y, and Z axis directions, respectively.
Axis, Y-axis, Z-axis table, a work loading table provided on the table at the uppermost position thereof so as to be rotatable around the X, Y, Z axes, and X of the work loading table. , A Y-axis and Z-axis coordinate position, a storage circuit for storing the axial position error and the tilt error, and the X-axis, the Y-axis by correcting the axial position error and the tilt error stored in the storage circuit. The above problem is solved by a 6-axis table device having an axial position of a Z-axis table and a position / tilt correction circuit for correcting the rotation angles of the work loading table around the X, Y, and Z axes. is there.

【0005】[0005]

【作用】先ず、ワーク積載テーブルにモデルワークを載
せ、ワーク積載テーブルをX軸、Y軸、Z軸方向の種々
の位置に移動させ、各位置における各テーブルの撓みに
よって生じる軸方向位置誤差、及び、傾きを測定し、そ
の軸方向位置誤差と、傾き誤差を記憶回路に予め記憶さ
せる。この記憶はワークの重量別に行なう。そして、実
際に加工するワークがワーク積載テーブルに載せられた
ときは、X、Y、Z軸テーブルは施すべき加工に応じて
種々の位置に移動させられるが、このとき、位置・傾き
補正回路は、記憶回路から上記軸方向位置誤差と傾き誤
差を修正値として読み出し、この軸方向位置誤差分と傾
き誤差分を補正しながら各テーブルを移動させ、且つワ
ーク積載テーブルを各軸の周りに回動させる。このよう
にして、ワークが載ったワーク積載テーブルは、撓みに
よる軸方向位置誤差と傾き誤差を修正されながら移動
し、且つ、ワークの姿勢も修正される。
First, a model work is placed on the work loading table, the work loading table is moved to various positions in the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions, and an axial position error caused by bending of each table at each position, and , The inclination is measured, and the axial position error and the inclination error are stored in the storage circuit in advance. This memory is stored according to the weight of the work. When the work to be actually processed is placed on the work stacking table, the X, Y and Z axis tables are moved to various positions according to the processing to be performed. At this time, the position / tilt correction circuit , The axial position error and the tilt error are read out from the memory circuit as correction values, each table is moved while correcting the axial position error and the tilt error, and the work loading table is rotated around each axis. Let In this way, the work loading table on which the work is placed moves while the axial position error and the tilt error due to the bending are corrected, and the posture of the work is also corrected.

【0006】[0006]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。6軸テーブル装置30(図1参照)の支柱31に
は、上下方向(Z軸方向)に移動するZ軸テーブル32
が具えられている。Z軸テーブル32には、図1におい
て左右方向(X軸方向)に移動するX軸テーブル33が
具えられている。X軸テーブル33には、図1の表裏方
向(Y軸方向)に移動するY軸テーブル34が具えらて
いる。Y軸テーブル34には、Z軸方向の回転軸35を
中心に回転するZ軸回転フレーム36が具えられてい
る。Z軸回転フレーム36には、X軸方向の回転軸37
を中心に傾動するX軸傾動フレーム38が具えられてい
る。X軸傾動フレーム38には、Y軸方向の回転軸39
を中心に傾動するワーク積載テーブル40が具えられて
いる。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. The Z-axis table 32 that moves in the vertical direction (Z-axis direction) is provided on the column 31 of the 6-axis table device 30 (see FIG. 1).
Is included. The Z-axis table 32 includes an X-axis table 33 that moves in the left-right direction (X-axis direction) in FIG. The X-axis table 33 includes a Y-axis table 34 that moves in the front-back direction (Y-axis direction) of FIG. The Y-axis table 34 includes a Z-axis rotating frame 36 that rotates around a Z-axis rotating shaft 35. The Z-axis rotating frame 36 includes a rotating shaft 37 in the X-axis direction.
An X-axis tilting frame 38 that tilts about is provided. The X-axis tilting frame 38 includes a rotation shaft 39 in the Y-axis direction.
A work loading table 40 that tilts around the center is provided.

【0007】支柱31とZ軸テーブル32との間、及
び、各テーブル32,33,34間には、各テーブル3
2,33,34の移動を案内する公知の直線運動ベアリ
ング(図示省略)が設けられている。又、X軸、Y軸、
Z軸テーブル33,34,32は公知の精密ボールねじ
41,42(Z軸テーブル用のボールねじは図示省略)
によって移動するようになっている。各精密ボールねじ
はZ軸、X軸、Y軸テーブル用サーボモータ51,5
2,53(図2参照)によって作動するようになってい
る。さらに、Z、X、Y軸周りの回転軸35,37,3
9もZ軸回転フレーム用サーボモータ54、X軸傾動フ
レーム用サーボモータ55、ワーク積載テーブル用サー
ボモータ56によって回動するようになっている。
Each table 3 is provided between the column 31 and the Z-axis table 32 and between each table 32, 33, 34.
A known linear motion bearing (not shown) for guiding the movement of 2, 33, 34 is provided. Also, X-axis, Y-axis,
The Z-axis tables 33, 34 and 32 are known precision ball screws 41 and 42 (ball screws for the Z-axis table are not shown).
It is designed to be moved by. Each precision ball screw has a Z-axis, X-axis, and Y-axis table servo motor 51, 5
2, 53 (see FIG. 2). Furthermore, the rotation axes 35, 37, 3 around the Z, X, and Y axes
9 is also rotated by a Z-axis rotary frame servo motor 54, an X-axis tilting frame servo motor 55, and a work loading table servo motor 56.

【0008】この6軸テーブル装置30は、図2に示す
ような制御手段60を有している。この制御手段60
は、補正データ記憶回路(記憶回路)61と、位置・傾
き指令回路62と、位置・傾き補正回路63と、モータ
制御回路64とを有している。補正データ記憶回路61
は、モデルワークを積載したワーク積載テーブル40の
X軸、Y軸、Z軸座標位置におけるX軸、Y軸、Z軸テ
ーブル33,34,32毎の、ピッチ誤差、バックラッ
シュ誤差、ピッチング誤差、ローリング誤差、ヨーイン
グ誤差等を記憶する回路である。ピッチング誤差、ロー
リング誤差、ヨーイング誤差は、支柱31や、各テーブ
ル32,33,34の撓み等によって生じる。
The 6-axis table device 30 has a control means 60 as shown in FIG. This control means 60
Has a correction data storage circuit (storage circuit) 61, a position / tilt command circuit 62, a position / tilt correction circuit 63, and a motor control circuit 64. Correction data storage circuit 61
Is a pitch error, backlash error, pitching error for each of the X-axis, Y-axis, and Z-axis tables 33, 34, 32 at the X-axis, Y-axis, and Z-axis coordinate positions of the work loading table 40 on which the model work is loaded. This circuit stores rolling error, yawing error, and the like. The pitching error, rolling error, and yawing error are caused by the bending of the column 31, the tables 32, 33, 34, and the like.

【0009】バックラッシュ誤差は、図3に示すよう
に、テーブル32,33,34をa点からb点に移動し
た後、a点とb点の間のc点に戻り移動したときのボー
ルねじのねじ軸のバックラッシュによる位置誤差であ
る。破線の位置は正規の位置である。ピッチング誤差
は、図4に示すように、テーブル32,33,34の移
動方向と平行な方向に傾いたときに生じる誤差である。
破線の位置は正規の位置である。ローリング誤差は、図
5に示すように、テーブル32,33,34の移動方向
の軸の周りに傾いたときに生じる誤差である。破線の位
置は正規の位置である。そして、ヨーイング誤差は、図
6に示すように、テーブル32,33,34の移動方向
の軸に対し直角な軸の周りに水平に傾いたときに生じる
誤差である。破線の位置は正規の位置である。
As shown in FIG. 3, the backlash error is caused by a ball screw when the tables 32, 33 and 34 are moved from point a to point b and then returned to point c between points a and b. This is the position error due to the backlash of the screw shaft. The position of the broken line is a regular position. As shown in FIG. 4, the pitching error is an error that occurs when the tables 32, 33, 34 are tilted in a direction parallel to the moving direction.
The position of the broken line is a regular position. The rolling error is an error that occurs when the table 32, 33, 34 is tilted around the axis in the moving direction, as shown in FIG. The position of the broken line is a regular position. Then, as shown in FIG. 6, the yawing error is an error that occurs when the table 32, 33, 34 is horizontally inclined around an axis perpendicular to the axis of the moving direction. The position of the broken line is a regular position.

【0010】位置・傾き指令回路62は、外部から入力
されたデータに基づき、ワーク積載テーブル40を所望
の位置に移動させ、且つ所望の姿勢にすべく、各テーブ
ルの軸方向移動量と、各軸周りの回動角を設定する回路
である。位置・傾き補正回路63は、位置・傾き指令回
路62からの信号によるワーク積載テーブルの軸方向位
置設定データ及び回動角設定データを、補正データ回路
に記憶された補正データによって補正する回路である。
モータ制御回路64は、位置・傾き補正回路63からの
制御信号に基づき各サーボモータを制御する回路であ
る。
The position / tilt command circuit 62 moves the work loading table 40 to a desired position and takes a desired posture based on the data inputted from the outside, and the axial movement amount of each table and each table. It is a circuit that sets the rotation angle around the axis. The position / tilt correction circuit 63 is a circuit that corrects the axial position setting data and the rotation angle setting data of the work loading table based on the signal from the position / tilt command circuit 62 using the correction data stored in the correction data circuit. .
The motor control circuit 64 is a circuit that controls each servo motor based on a control signal from the position / tilt correction circuit 63.

【0011】次に動作を説明する。先ず、ワーク積載テ
ーブル40にモデルワークを載せ、ワーク積載テーブル
40をX軸、Y軸、Z軸の種々の位置に移動させ、各テ
ーブルの軸方向位置誤差、及び撓みによって生じる傾き
を測定し、ピッチ誤差、バックラッシュ誤差、ピッチン
グ誤差、ローリング誤差、ヨーイング誤差等として、位
置・傾き補正回路に記憶させる。この記憶はワークの重
量別に行なう。なお、このような値の測定方法は周知で
あるから、説明は省略する。測定点の数はできる限り多
くすべきであるが、一例をあげると、各軸方向のストロ
ーク長をボールねじのリード長で割った整数値を掛け合
わせた数である。実際に加工するワークがワーク積載テ
ーブル40に載せられたときは、X、Y、Z軸テーブル
33,34,32は施すべき加工に応じて種々の位置に
移動させられるが、このとき、位置・傾き補正回路63
は、補正データ記憶回路61から上記各誤差を修正値と
して読み出し、位置・傾き指令回路62からの各テーブ
ルの軸方向移動量と、各軸周りの回動角を設定する値に
修正を加え、モータ制御回路64にモータ制御信号を送
る。
Next, the operation will be described. First, the model work is placed on the work loading table 40, the work loading table 40 is moved to various positions of the X axis, the Y axis, and the Z axis, and the axial position error of each table and the tilt caused by the bending are measured, It is stored in the position / tilt correction circuit as a pitch error, backlash error, pitching error, rolling error, yawing error, etc. This memory is stored according to the weight of the work. Since the method of measuring such a value is well known, its description is omitted. The number of measurement points should be as large as possible, but as an example, it is the number obtained by multiplying the stroke length in each axial direction by the integer value obtained by dividing the lead length of the ball screw. When the work to be actually processed is placed on the work stacking table 40, the X, Y and Z axis tables 33, 34 and 32 are moved to various positions according to the processing to be performed. Tilt correction circuit 63
Reads out each of the above errors as a correction value from the correction data storage circuit 61, corrects the axial movement amount of each table from the position / tilt command circuit 62 and the value for setting the rotation angle around each axis, A motor control signal is sent to the motor control circuit 64.

【0012】モータ制御信号を受けたモータ制御回路6
4は、アンプ71乃至76を介して各サーボモータを作
動させ、サーボモータの回転数及び回転角をパルスジェ
ネレータ81乃至86により検出しながら、位置・傾き
補正回路63によって設定されたサーボモータの回転数
及び回転角と一致するまで各サーボモータを作動させ
る。このようにして、ワークが載ったワーク積載テーブ
ル40は、ピッチ誤差、バックラッシュ誤差の他に、各
テーブルの撓みによって生じるピッチング誤差、ローリ
ング誤差、ヨーイング誤差等が補正され、正規の位置
に、正規の姿勢に制御される。
A motor control circuit 6 which receives a motor control signal
Reference numeral 4 indicates the rotation of the servo motor set by the position / tilt correction circuit 63 while operating each servo motor via the amplifiers 71 to 76 and detecting the rotation speed and rotation angle of the servo motor by the pulse generators 81 to 86. Operate each servo motor until it matches the number and rotation angle. In this way, the work loading table 40 on which the work is placed is corrected for pitching error, backlash error, pitching error, rolling error, yawing error, etc., which are caused by the bending of each table, and the work position is set to the normal position. Controlled by the attitude of.

【0013】図7は以上の動作を別の角度から理解しや
すく説明するため、図1の6軸テーブル装置30の内、
Z軸テーブル32、(Y)回転軸39、X軸テーブル3
3を便宜上一箇所にまとめた変形図である。図7におい
て、本来実線の位置にあるべきワークWが、ワークWの
重量によって破線で示した様に支柱31が傾き、破線の
位置に移動したとき、先ず、(Y)回転軸39を回転さ
せて、想像線で示すようにワークWを水平の状態に姿勢
を直す。次に、支柱31の撓みによって沈み込んだ高さ
分(H)と、右に位置がずれた分(L)とを、Z軸テー
ブル32の上昇と、X軸テーブル33の左移動(ピッチ
ング補正)とによって修正する。このようにして、ワー
クWは、制御手段60によって、各誤差が修正されて、
正規の位置に、正規の姿勢にセットされることになる。
In order to make the above operation easier to understand from a different angle, FIG. 7 shows the 6-axis table device 30 of FIG.
Z-axis table 32, (Y) rotary shaft 39, X-axis table 3
FIG. 3 is a modified view in which 3 is put together in one place for convenience. In FIG. 7, when the work W, which should originally be in the position of the solid line, moves the support 31 to the position of the broken line as shown by the broken line due to the weight of the work W, first, the (Y) rotary shaft 39 is rotated. Then, as shown by the imaginary line, the posture of the work W is corrected to be horizontal. Next, the height (H) depressed by the bending of the support column 31 and the amount (L) displaced to the right are moved up by the Z-axis table 32 and moved left by the X-axis table 33 (pitching correction). ) And to fix. In this way, the work W has each error corrected by the control means 60,
It will be set in a regular position and in a regular posture.

【0014】なお、以上の実施例では、Z軸上にX軸、
Y軸テーブルが載っているが、X軸、Y軸テーブル上に
Z軸テーブルが載る構造であってもよい。又、周囲の温
度変化によって生じる各テーブルの軸方向位置誤差、傾
き誤差等も同様にして修正することができる。
In the above embodiment, the X axis is on the Z axis,
Although the Y-axis table is mounted, the Z-axis table may be mounted on the X-axis and Y-axis tables. Further, axial position error, tilt error, etc. of each table caused by a change in ambient temperature can be similarly corrected.

【0015】[0015]

【発明の効果】本発明の位置修正方法と装置によると、
X軸、Y軸、Z軸テーブルの撓みによって生じる軸方向
位置誤差と傾き誤差を修正することができ、ワーク積載
テーブルを所望の位置に正確に移動させることができる
(絶対位置の補正、すなわち、姿勢の補正ができる)と
いう効果を奏する。逆にいうと、撓みを抑えるために機
械的に移動する部分の剛性を従来のように大きく設定す
る必要がなくなり、その結果、装置の全体的軽量化を図
ることができる。又、各テーブルの部品の加工精度が多
少悪くても、その精度に再現性がある場合は、ワークの
絶対位置決め精度を向上させることができる。
According to the position correcting method and apparatus of the present invention,
Axial position error and tilt error caused by bending of the X-axis, Y-axis, and Z-axis tables can be corrected, and the work loading table can be accurately moved to a desired position (absolute position correction, that is, The posture can be corrected). In other words, it is not necessary to set the rigidity of the mechanically moving portion to a large value as in the conventional case in order to suppress the bending, and as a result, the overall weight of the device can be reduced. Further, even if the processing accuracy of the parts of each table is somewhat poor, if the accuracy is reproducible, the absolute positioning accuracy of the work can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の位置・姿勢修正方法に使用される6軸
テーブル装置の斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view of a 6-axis table device used in a position / orientation correction method of the present invention.

【図2】制御手段の回路図である。FIG. 2 is a circuit diagram of control means.

【図3】バックラッシュ誤差を説明する図である。FIG. 3 is a diagram illustrating backlash error.

【図4】ピッチング誤差を説明する図である。FIG. 4 is a diagram illustrating a pitching error.

【図5】ローリング誤差を説明する図である。FIG. 5 is a diagram illustrating a rolling error.

【図6】ヨーイング誤差を説明する図である。FIG. 6 is a diagram illustrating a yawing error.

【図7】簡略化した動作説明図である。FIG. 7 is a simplified operation explanatory diagram.

【図8】従来の動作説明図である。FIG. 8 is a diagram for explaining a conventional operation.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

30 6軸テーブル装置 32 Z軸テーブル 33 X軸テーブル 34 Y軸テーブル 35 回転軸 37 回転軸 39 回転軸 40 ワーク積載テーブル 61 補正データ記憶回路(記憶回路) 63 位置・傾き補正回路 30 6-axis table device 32 Z-axis table 33 X-axis table 34 Y-axis table 35 rotation axis 37 rotation axis 39 rotation axis 40 work loading table 61 Correction data storage circuit (storage circuit) 63 Position / tilt correction circuit

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 X、Y、Z軸方向にそれぞれ移動するX
軸、Y軸、Z軸テーブルの内、最上位置にあるテーブル
に具えられX、Y、Z軸の周りに回動しうるようになっ
ているワーク積載テーブルにモデルワークを積載したと
き前記ワーク積載テーブルのX、Y、Z軸座標位置にお
ける軸方向位置誤差と傾き誤差を記憶回路に記憶させ、
実際のワーク加工時に前記記憶回路に記憶された前記軸
方向位置誤差分と傾き誤差分を位置・傾き補正回路によ
り補正して、前記ワーク積載テーブルの前記X、Y、Z
軸方向位置と前記各軸周りの回動角を修正することを特
徴とする、ワークの位置・姿勢修正方法。
1. An X moving in the X, Y, and Z axis directions, respectively.
When loading model work on a work loading table which is provided on the table at the uppermost position among the axis, Y axis and Z axis tables and is rotatable around the X, Y and Z axes Axial position error and tilt error at the X, Y, and Z axis coordinate positions of the table are stored in the storage circuit,
The position / tilt correction circuit corrects the axial position error amount and the tilt error amount stored in the storage circuit during the actual work processing, and the X, Y, Z of the work loading table is corrected.
A method for correcting a position / orientation of a work, which comprises correcting an axial position and a rotation angle around each of the axes.
【請求項2】 X、Y、Z軸方向にそれぞれ移動するX
軸、Y軸、Z軸テーブルと、その内、最上位置にあるテ
ーブルに具えられX、Y、Z軸の周りに回動しうるよう
になっているワーク積載テーブルと、前記ワーク積載テ
ーブルのX、Y、Z軸座標位置における軸方向位置誤差
と傾き誤差を記憶する記憶回路と、前記記憶回路に記憶
された前記軸方向位置誤差分と傾き誤差分を補正して前
記X軸、Y軸、Z軸テーブルの軸方向位置と前記ワーク
積載テーブルの前記X、Y、Z軸周りの回動角を修正す
る位置・傾き補正回路とを有することを特徴とする、6
軸テーブル装置。
2. An X which moves in the X, Y and Z axis directions, respectively.
Axis, Y-axis, Z-axis table, a work loading table provided on the table at the uppermost position thereof so as to be rotatable around the X, Y, Z axes, and X of the work loading table. , A Y-axis and Z-axis coordinate position, a storage circuit for storing the axial position error and the tilt error, and the X-axis, the Y-axis by correcting the axial position error and the tilt error stored in the storage circuit. 6. A position / tilt correction circuit for correcting the axial position of the Z-axis table and the rotation angle of the work loading table around the X, Y, and Z axes.
Axis table device.
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