JPH0541561A - Semiconductor light emitting device - Google Patents
Semiconductor light emitting deviceInfo
- Publication number
- JPH0541561A JPH0541561A JP19678991A JP19678991A JPH0541561A JP H0541561 A JPH0541561 A JP H0541561A JP 19678991 A JP19678991 A JP 19678991A JP 19678991 A JP19678991 A JP 19678991A JP H0541561 A JPH0541561 A JP H0541561A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light emitting
- emitting device
- semiconductor light
- laser
- lds
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 18
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000003491 array Methods 0.000 abstract 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Semiconductor Lasers (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、レーザダイオードを複
数個有する半導体発光装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor light emitting device having a plurality of laser diodes.
【0002】[0002]
【従来の技術】これまでの、複数個のレーザダイオード
(以下、LDと略す)が基板上にアレイ型に形成されて
いる半導体発光装置では、各々のLDの光出力や放射パ
ターン等の特性を、同一駆動条件の下で、等しく、かつ
正確に得ることが要求されてきた。このため、その要求
を満たした半導体発光装置が設計、製造されている。2. Description of the Related Art In a conventional semiconductor light emitting device in which a plurality of laser diodes (hereinafter abbreviated as LD) are formed on a substrate in an array type, characteristics such as a light output and a radiation pattern of each LD are determined. Under the same driving condition, it has been required to obtain the same and accurate. Therefore, a semiconductor light emitting device that meets the requirements has been designed and manufactured.
【0003】図4(a)はその半導体発光装置の利用態
様の一例を示したものであり、同図(b)には基板1上
に3個のLD21 、22 、23 がアレイ状に形成された
装置の断面が示されている。これらLD21 、22 、2
3 各々の特性は、前述したように、同一駆動条件の下で
等しくなるように設計されているため、各LDの放射パ
ターンや光出力は同じになる。FIG. 4 (a) shows an example of how the semiconductor light emitting device is used. In FIG. 4 (b), three LDs 2 1 , 2 2 , 2 3 are arrayed on a substrate 1. A cross section of the device formed in FIG. These LD2 1 , 2 2 , 2
As described above, the characteristics of the three LDs are designed to be equal under the same driving condition, so that the LDs have the same radiation pattern and the same light output.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】図4(a)は、前述し
た図4(b)の発光装置を、自動車用レーザレーダに用
いた場合の放射パターンを示す図である。同図(a)に
おいて、P1 ,P2 ,P3 は前途のLD1 ,LD2 ,L
D3 の光パワーが及ぶ範囲を示している。図示の通り、
アレイ型に並ぶ3個のLDの両端に位置するLD22 と
LD23 の光パワーの範囲P2 、P3 が、道路の片側車
線およびセンターラインから外側に出た領域の反射光情
報(図中、斜線で示す部分からの情報)は不用になるた
め、なんらかの処理によってこれを除去することが必要
になる。FIG. 4A is a diagram showing a radiation pattern when the above-described light emitting device of FIG. 4B is used in a laser radar for automobiles. In the figure (a), P 1 , P 2 and P 3 are LD 1 , LD 2 and L in the forward direction.
The range of the optical power of D 3 is shown. As shown,
The light power ranges P 2 and P 3 of the LDs 2 2 and LD 2 3 located at both ends of the three LDs arranged in an array form are reflected light information of a region outside the one lane and the center line of the road (in the figure). , The information from the shaded area) is unnecessary, so it is necessary to remove it by some processing.
【0005】また、同図中ドットで示す領域の信号が得
られないため、別の車両に追い越された場合などでは、
この領域がレーザレーダ装置の盲点となるといった問題
があった。Further, since the signal in the area shown by the dot in the figure cannot be obtained, when another vehicle overtakes,
There is a problem that this area becomes a blind spot of the laser radar device.
【0006】本発明は、これらの問題点を解決した半導
体発光装置を提供することを目的とする。It is an object of the present invention to provide a semiconductor light emitting device that solves these problems.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明は、基板上に複数
個のレーザダイオードがアレイ型に形成された半導体発
光装置において、複数個のレーザダイオードのうち少な
くとも1個のレーザダイオードは、2個以上の発光部が
積層されているか、あるいは、複数個のレーザダイオー
ドのうち少なくとも1個のレーザダイオードは、その発
光面積が他と異なるように形成されていることを特徴と
する。また、上記の特徴に加えて、複数個のレーザダイ
オードの光導波路が互いに非平行となるように形成され
ていてもよい。According to the present invention, in a semiconductor light emitting device having a plurality of laser diodes formed in an array on a substrate, at least one laser diode among the plurality of laser diodes is two. The above-mentioned light emitting portion is laminated, or at least one laser diode among a plurality of laser diodes is formed so that its light emitting area is different from other light emitting areas. In addition to the above characteristics, the optical waveguides of the plurality of laser diodes may be formed so as not to be parallel to each other.
【0008】[0008]
【作用】本発明によれば、アレイ状に並ぶ複数のLDの
うちのあるLDを、いくつかの発光部を積層して形成
し、あるいはその発光面積を大きくすることにより、そ
のLDの光出力を他のLDに比べて大きくすることがで
きる。According to the present invention, a certain LD among a plurality of LDs arranged in an array is formed by laminating several light emitting portions, or by increasing the light emitting area thereof, the light output of the LD is increased. Can be made larger than other LDs.
【0009】[0009]
【実施例】図1は、本発明の半導体発光装置の実施例を
示す図である。ここでは基板1上に3個のLDがアレイ
状に並んでいる装置の断面を示す。1 is a view showing an embodiment of a semiconductor light emitting device of the present invention. Here, a cross section of an apparatus in which three LDs are arranged in an array on the substrate 1 is shown.
【0010】同図(a)は、3個のLDからなるアレイ
の中央のLD21 については、3個の発光部20A〜2
0Cを積層して形成し、左右のLD22 ,23 について
は単一の発光部のみで構成したものであり、同図(b)
は、3個のLDからなるアレイの中央のLD21 を構成
する各層の発光部20A〜20Cの断面積を、左右のL
D22 ,23 の発光部よりも広くしたものである。同図
(c)は、3個のLDからなるアレイの中央のLD21
について、発光部を積層して形成することなく、左右に
比べて中央の発光部の面積を広くしたものである。[0010] FIG. (A), the three of LD2 1 central array consisting of LD, three light emitting portion 20A~2
0C is formed by stacking, and the left and right LDs 2 2 and 2 3 are composed of only a single light emitting part.
Is a cross-sectional area of the light emitting portion 20A~20C of each layer constituting the LD2 1 central array of three LD, left and right L
It is wider than the light emitting portions of D2 2 and 2 3 . The same figure (c) shows LD2 1 at the center of the array of three LDs.
In regard to the above, the area of the central light emitting portion is made larger than that of the left and right without forming the light emitting portions in layers.
【0011】いずれの構造によっても、中央のLD1 の
発光部断面図を実効的に左右の両側のLD22 、23 よ
り広くでき、したがって2〜3倍の強いレーザ出力が中
央のLD1 より放射される。また、中央のLD1 の発光
部の面積が広くなることにより、左右のLD2 ,LD3
に比べて中央のLD1 の放射パターンが狭くなる。With any of the structures, the sectional view of the light emitting portion of the central LD 1 can be effectively made wider than the LDs 2 2 and 2 3 on both the left and right sides, so that a laser output of 2-3 times stronger than that of the central LD 1 is obtained. Is emitted. Further, since the area of the light emitting portion of the central LD 1 is increased, the left and right LD 2 , LD 3
The radiation pattern of LD 1 at the center is narrower than that of.
【0012】図2は、上述の発光装置を自動車用レーザ
レーダに用いた場合の放射パターンを示す図である。発
光部が積層、あるいは幅広にされた構造の中央のLD1
の発光部からの光パワーP4 は、左右のLD2,LD3
の光パワーP5 ,P6 よりも大きくなっているため、走
行車両(例えばトラック)の進行方向の左右に比較し
て、進行方向の前方については遠距離からの情報(レー
ザ光の反射光情報)を得ることができる。なお、中央の
LD1 の両端に位置するLD22 、23 の光パワー
P5 、P6 は、適当なパワーに調整することにより、道
路外や反対車線に光ビームが届かないようにして、不必
要な信号をカットオフすることが可能になる。また、中
央のLD1 の光パワーP4 は強く、また前述のように放
射パターンが狭くなっているため、投光レンズの調整に
より少しピントをぼかすことにより、図中破線で示すよ
うな幅の広がった放射パターンにすることも可能にな
る。FIG. 2 is a diagram showing a radiation pattern when the above-mentioned light emitting device is used in a laser radar for automobiles. LD 1 in the center of the structure in which the light emitting part is laminated or widened
Optical power P 4 from the light emitting portion of the right and left LD 2, LD 3
Is greater than the optical powers P 5 and P 6 of the traveling vehicle (for example, a truck) compared to the left and right in the traveling direction, information in front of the traveling direction from a long distance (reflected light information of laser light). ) Can be obtained. The optical powers P 5 and P 6 of the LDs 2 2 and 2 3 located at both ends of the central LD 1 are adjusted to appropriate powers so that the light beam does not reach the outside of the road or the opposite lane. It becomes possible to cut off unnecessary signals. Further, the optical power P 4 of the central LD 1 is strong, and the radiation pattern is narrow as described above. It is also possible to have a broad radiation pattern.
【0013】図3は、本発明の半導体発光装置の他の実
施例を示す図である。同図からわかるように、3個のL
Dからなるアレイの両端に位置するLD22、23 の光
導波路は、予め超高真空中でドライエッチングにより、
中央のLD21 に対し斜めに形成されている。この構造
では、LD21 からのレーザ光に対し、LD22 、23
からのレーザ光は斜めに出射される。この結果、図4の
ドットで示される領域、すなわち従来の装置ではレーザ
光を照射できず、このため反射信号が得られなかった領
域からも反射信号が得られるようになる。FIG. 3 is a diagram showing another embodiment of the semiconductor light emitting device of the present invention. As you can see from the figure, 3 L's
The optical waveguides of the LDs 2 2 and 2 3 located at both ends of the array made of D were previously dry-etched in an ultrahigh vacuum.
It is formed obliquely with respect LD2 1 of the center. In this structure, to the laser light from LD2 1, LD2 2, 2 3
The laser light from is emitted obliquely. As a result, the reflection signal can be obtained from the area indicated by the dot in FIG. 4, that is, the area where the conventional apparatus cannot irradiate the laser beam and thus the reflection signal cannot be obtained.
【0014】なお、これまで述べてきた実施例では、3
個のLDからなるアレイの場合について説明してきた
が、これに限定されたわけではない。また、LDを3層
構造としたが、これに限る必要はなく、2層、あるいは
4層以上の多層構造でも、本実施例と同様の効果を得る
ことができる。In the embodiment described above, 3
Although the case of an array of LDs has been described, the present invention is not limited to this. Further, although the LD has a three-layer structure, it is not limited to this, and the same effect as that of the present embodiment can be obtained with a two-layer structure or a multi-layer structure of four or more layers.
【0015】[0015]
【発明の効果】本発明によれば、アレイ状に並ぶLD
の、光出力や放射パターン等の特性を個々に変えること
ができるので、このLDをレーザレーダ用光源として利
用することにより、前方についてはより遠くまで、その
側方については広い範囲にわたって、所望の情報のみを
得ることが可能になる。According to the present invention, LDs arranged in an array form
Since the characteristics such as the light output and the radiation pattern can be individually changed, by using this LD as a light source for a laser radar, a desired distance can be obtained in a far range in the front and a wide range in the side. Only information can be obtained.
【図1】本発明に係る実施例の半導体発光装置を示す図
である。FIG. 1 is a diagram showing a semiconductor light emitting device according to an embodiment of the invention.
【図2】本発明の半導体発光装置を用いた場合の光放射
パターンを示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a light emission pattern when the semiconductor light emitting device of the present invention is used.
【図3】本発明の他の実施例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing another embodiment of the present invention.
【図4】従来の半導体発光装置を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a conventional semiconductor light emitting device.
1…基板 21 、22 、23 …LD(レーザダイオード) 20A,20B,20C…発光部1 ... Substrate 2 1 , 2 2 , 2 3 ... LD (laser diode) 20A, 20B, 20C ... Light emitting part
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松井 謙 静岡県浜松市市野町1126番地の1 浜松ホ トニクス株式会社内 (72)発明者 宮島 博文 静岡県浜松市市野町1126番地の1 浜松ホ トニクス株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Ken Matsui 1 1126, Nomachi, Hamamatsu City, Shizuoka Prefecture 1126 Hamamatsu Photonics Co., Ltd. (72) Hirofumi Miyajima 1126, 1126 Ichinocho, Hamamatsu City, Shizuoka Prefecture Hamamatsu Photonics Within the corporation
Claims (3)
レイ型に形成された半導体発光装置において、 前記複数個のレーザダイオードのうち少なくとも1個の
レーザダイオードは、複数の発光部を積層して構成され
ていることを特徴とする半導体発光装置。1. A semiconductor light emitting device having a plurality of laser diodes formed in an array on a substrate, wherein at least one laser diode among the plurality of laser diodes is formed by stacking a plurality of light emitting portions. A semiconductor light-emitting device characterized by being provided.
レイ型に形成された半導体発光装置において、 前記複数個のレーザダイオードのうち少なくとも1個の
レーザダイオードは、その発光部の断面積が他のレーザ
ダイオードよりも大きく構成されていることを特徴とす
る半導体発光装置。2. A semiconductor light emitting device having a plurality of laser diodes formed in an array on a substrate, wherein at least one laser diode among the plurality of laser diodes has another light emitting portion whose cross-sectional area is different. A semiconductor light emitting device characterized in that it is formed larger than a laser diode.
を構成する光導波路が互いに非平行となるように形成さ
れていることを特徴とする請求項1または2記載の半導
体発光装置。3. The semiconductor light emitting device according to claim 1, wherein the optical waveguides forming the light emitting portions of the plurality of laser diodes are formed so as not to be parallel to each other.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19678991A JPH0541561A (en) | 1991-08-06 | 1991-08-06 | Semiconductor light emitting device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19678991A JPH0541561A (en) | 1991-08-06 | 1991-08-06 | Semiconductor light emitting device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0541561A true JPH0541561A (en) | 1993-02-19 |
Family
ID=16363675
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19678991A Pending JPH0541561A (en) | 1991-08-06 | 1991-08-06 | Semiconductor light emitting device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0541561A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5802088A (en) * | 1995-09-28 | 1998-09-01 | Nippondenso Co., Ltd. | Stack type semiconductor laser device |
| US6654399B1 (en) | 1999-02-24 | 2003-11-25 | Denso Corporation | Semiconductor light projection apparatus and distance measurement apparatus |
-
1991
- 1991-08-06 JP JP19678991A patent/JPH0541561A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5802088A (en) * | 1995-09-28 | 1998-09-01 | Nippondenso Co., Ltd. | Stack type semiconductor laser device |
| US6654399B1 (en) | 1999-02-24 | 2003-11-25 | Denso Corporation | Semiconductor light projection apparatus and distance measurement apparatus |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR960019885A (en) | Surface divergence laser in vertical cavity with continuous grading | |
| JP2737563B2 (en) | Semiconductor light emitting device | |
| CN110873871B (en) | Laser emission arrays, scanning devices, laser radars, smart vehicles, and drones | |
| JPS62500897A (en) | Asymmetric configuration of LED chips | |
| US5642373A (en) | Monolithic semiconductor laser array of radially disposed lasers | |
| EP4080247B1 (en) | Lidar apparatus comprising plurality of switches | |
| JPH0541561A (en) | Semiconductor light emitting device | |
| EP0578836A4 (en) | Semiconductor laser element and laser manufactured using the same | |
| US4751709A (en) | Semiconductor laser array device | |
| US5313478A (en) | Method of operating a semiconductor laser as a mode-locked semiconductor laser and devices for implementing the method | |
| JP4710123B2 (en) | Semiconductor laser | |
| KR20240147317A (en) | Lidar device | |
| JPH04230087A (en) | Semiconductor laser array | |
| CN111082311B (en) | Monolithic manufacturing structure of monolithic photonic integrated device | |
| CN116093745A (en) | VCSEL chip and its preparation method | |
| CN116068531B (en) | An adaptive emission system for laser radar | |
| US7460579B2 (en) | Multi-wavelength semiconductor laser device | |
| CN116799613A (en) | VCSEL chip with high uniformity optical power, lidar and preparation method thereof | |
| US5070508A (en) | Semiconductor laser with adjustable light beam | |
| JPH0685456B2 (en) | Method of manufacturing semiconductor laser device | |
| KR19990044214A (en) | Laser device | |
| JP3204713B2 (en) | Wavelength multiplexing light source | |
| JP3200916B2 (en) | Semiconductor laser and semiconductor laser device | |
| KR970060613A (en) | Semiconductor laser diode and manufacturing method thereof | |
| JP2001223439A (en) | Structure of quantum device and method of manufacturing the same |