JPH0542658A - 半導体装置の保持機構 - Google Patents
半導体装置の保持機構Info
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- JPH0542658A JPH0542658A JP20071791A JP20071791A JPH0542658A JP H0542658 A JPH0542658 A JP H0542658A JP 20071791 A JP20071791 A JP 20071791A JP 20071791 A JP20071791 A JP 20071791A JP H0542658 A JPH0542658 A JP H0542658A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor device
- printing
- holding mechanism
- movable
- squeegee
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 54
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims abstract description 14
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 claims abstract description 9
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 4
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体装置４は、非常に薄くスクリーン印刷
に於て確実に安定した保持ができず、印刷時スキージ３
により半導体装置４が動いてしまい精度がバラツキ安定
した印刷ができなかった。 【構成】 本発明の半導体装置の保持機構は、半導体装
置４を挟み込む機構の切り欠き部の最深部１１ａ，１１
ｂが、スキージ５の印刷方向に対して平行かつ一直線上
であり、半導体装置４は、可動部３とスキージ５により
常に一方向に押さえつけられる構造である。 【効果】 本発明の半導体装置の保持機構は、スクリー
ン印刷に於て半導体装置４を確実に安定した状態で保持
する事により、半導体装置４にバラツキのない安定した
精度で印刷ができ、歩留りの向上ができる。
に於て確実に安定した保持ができず、印刷時スキージ３
により半導体装置４が動いてしまい精度がバラツキ安定
した印刷ができなかった。 【構成】 本発明の半導体装置の保持機構は、半導体装
置４を挟み込む機構の切り欠き部の最深部１１ａ，１１
ｂが、スキージ５の印刷方向に対して平行かつ一直線上
であり、半導体装置４は、可動部３とスキージ５により
常に一方向に押さえつけられる構造である。 【効果】 本発明の半導体装置の保持機構は、スクリー
ン印刷に於て半導体装置４を確実に安定した状態で保持
する事により、半導体装置４にバラツキのない安定した
精度で印刷ができ、歩留りの向上ができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置の保持機構
に関するものである。
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体装置４にスクリーン印刷を
する場合、被印刷物である前記半導体装置４は非常に薄
く、なおかつウェハーをダイシングマシーンで切断する
時、ハーフカットした状態であり、保持する部分が非常
に少なかった。そのため安定した保持ができず、印刷の
際前記半導体装置４は、スキージ５により動いてしまい
精度が安定せず正確に印刷ができなかった。
する場合、被印刷物である前記半導体装置４は非常に薄
く、なおかつウェハーをダイシングマシーンで切断する
時、ハーフカットした状態であり、保持する部分が非常
に少なかった。そのため安定した保持ができず、印刷の
際前記半導体装置４は、スキージ５により動いてしまい
精度が安定せず正確に印刷ができなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、従来スクリーン印刷に於て、前記半導体装
置４を確実に安定した状態で保持できなかったことであ
る。そのため、印刷精度が不安定で歩留りが低かった。
本発明は、スクリーン印刷に於て、前記半導体装置４を
安定した状態で保持することにより印刷精度のバラツキ
をなくし、歩留りの向上をさせることを目的とする。
する課題は、従来スクリーン印刷に於て、前記半導体装
置４を確実に安定した状態で保持できなかったことであ
る。そのため、印刷精度が不安定で歩留りが低かった。
本発明は、スクリーン印刷に於て、前記半導体装置４を
安定した状態で保持することにより印刷精度のバラツキ
をなくし、歩留りの向上をさせることを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体装置の保
持機構は、図１に示すように前記半導体装置４に印刷す
るスクリーン印刷機に於いて、前記半導体装置４を保持
する機構の、度当り部１の切り欠き部１１ａの頂点と、
可動部３の切り欠き部１１ｂの頂点が、スキージの移動
方向に対して平行かつ一直線上に配置している。
持機構は、図１に示すように前記半導体装置４に印刷す
るスクリーン印刷機に於いて、前記半導体装置４を保持
する機構の、度当り部１の切り欠き部１１ａの頂点と、
可動部３の切り欠き部１１ｂの頂点が、スキージの移動
方向に対して平行かつ一直線上に配置している。
【０００５】
【作用】本発明によると、スクリーン印刷機の前記スキ
ージ５が印刷のため前記度当たり部１方向に移動する
際、前記可動部３は、常に前記度当り部１方向に力が加
えられ、このため前記度当り部１と前記可動部３により
挟まれた前記半導体装置４は、常に前記度当り部１方向
に押し付けられて安定した位置になる。
ージ５が印刷のため前記度当たり部１方向に移動する
際、前記可動部３は、常に前記度当り部１方向に力が加
えられ、このため前記度当り部１と前記可動部３により
挟まれた前記半導体装置４は、常に前記度当り部１方向
に押し付けられて安定した位置になる。
【０００６】
【実施例】本発明の実施例を図１に示す。固定部２の中
央に前記度当たり部１と前記可動部３が入る溝を設け、
その中に前記度当り部１と前記可動部３を設置する。前
記度当り部１には、前記可動部に向かい中凹に90度の度
当たり部の切り欠け１１ａを設ける。前記度当たり部１
は、動かないように前記固定部２の溝の中に前記度当た
り部１を固定する。前記度当たり部１には、前記半導体
装置４の二辺と、前記度当たり部切り欠け１１ａの二辺
が当たるようにする。前記度当り部１の最深部を、前記
固定部２の溝の中心線上に設ける。前記度当たり部切り
欠け１１ａの最深部には、前記半導体装置４の角が当た
らないように、度当たり部の切り欠けニゲ１２ａを設け
る。前記度当り部１には、図２に示すように前記半導体
装置４のダイシングマシーンによりハーフカットされた
半導体装置度当たり側残部突起ニゲ１３ａを設ける。前
記固定部２の溝の中心線上で、前記度当り部１と対面す
る側に前記可動部３を設ける。前記可動部３は、前記固
定部１に向かい中凹に90度の可動部の切り欠け１１ｂを
設ける。切り欠けの最深部は、前記固定部２の溝幅の中
心に設ける。前記度当たり部の切り欠け１１ａの最深部
と、前記可動部の切り欠け１１ｂの最深部を結ぶ直線
を、前記固定部２の溝方向に平行かつ中心に設ける。前
記可動部の切り欠け１１ｂの最深部には、前記半導体装
置４の角が当たらないように、前記可動部３の可動部切
り欠けニゲ１２ｂを設ける。前記可動部３には、前記半
導体装置４のダイシングマシーンによりハーフカットさ
れた半導体装置可動側残部突起ニゲ１３ｂを設ける。前
記可動部３には、圧縮バネ８を内在させる。前記圧縮バ
ネ８は、前記半導体装置４の位置を常に安定させるため
設け前記可動部３を介し、常に前記半導体装置４を、前
記度当たり部１の方向に押さえつける。前記可動部３
は、前記固定部２の溝をスライドする。前記半導体装置
４は、前記可動部３に内在された前記圧縮バネ８による
反力により前記度当り部１との間に挟み込まれる。前記
固定部２には、前記半導体装置４の中央位置に半導体装
置保持機構真空吸着用穴７ａを設ける。前記半導体装置
保持機構真空吸着用穴７ａは、前記半導体装置４を吸着
により引き下げ印刷面の水平位置を安定させるため設け
る。前記度当り部１、前記固定部２、前記可動部３、前
記半導体装置４の上面は、同一平面である。前記半導体
装置４の対角線と、前記度当たり部の切り欠け１１ａの
最深部と、前記可動部の切り欠け１１ｂの最深部は、一
直線にする。前記スキージ５の移動圧力により、前記可
動部３が前記半導体装置４を、前記固定部１の方向に挟
み込むことになる。
央に前記度当たり部１と前記可動部３が入る溝を設け、
その中に前記度当り部１と前記可動部３を設置する。前
記度当り部１には、前記可動部に向かい中凹に90度の度
当たり部の切り欠け１１ａを設ける。前記度当たり部１
は、動かないように前記固定部２の溝の中に前記度当た
り部１を固定する。前記度当たり部１には、前記半導体
装置４の二辺と、前記度当たり部切り欠け１１ａの二辺
が当たるようにする。前記度当り部１の最深部を、前記
固定部２の溝の中心線上に設ける。前記度当たり部切り
欠け１１ａの最深部には、前記半導体装置４の角が当た
らないように、度当たり部の切り欠けニゲ１２ａを設け
る。前記度当り部１には、図２に示すように前記半導体
装置４のダイシングマシーンによりハーフカットされた
半導体装置度当たり側残部突起ニゲ１３ａを設ける。前
記固定部２の溝の中心線上で、前記度当り部１と対面す
る側に前記可動部３を設ける。前記可動部３は、前記固
定部１に向かい中凹に90度の可動部の切り欠け１１ｂを
設ける。切り欠けの最深部は、前記固定部２の溝幅の中
心に設ける。前記度当たり部の切り欠け１１ａの最深部
と、前記可動部の切り欠け１１ｂの最深部を結ぶ直線
を、前記固定部２の溝方向に平行かつ中心に設ける。前
記可動部の切り欠け１１ｂの最深部には、前記半導体装
置４の角が当たらないように、前記可動部３の可動部切
り欠けニゲ１２ｂを設ける。前記可動部３には、前記半
導体装置４のダイシングマシーンによりハーフカットさ
れた半導体装置可動側残部突起ニゲ１３ｂを設ける。前
記可動部３には、圧縮バネ８を内在させる。前記圧縮バ
ネ８は、前記半導体装置４の位置を常に安定させるため
設け前記可動部３を介し、常に前記半導体装置４を、前
記度当たり部１の方向に押さえつける。前記可動部３
は、前記固定部２の溝をスライドする。前記半導体装置
４は、前記可動部３に内在された前記圧縮バネ８による
反力により前記度当り部１との間に挟み込まれる。前記
固定部２には、前記半導体装置４の中央位置に半導体装
置保持機構真空吸着用穴７ａを設ける。前記半導体装置
保持機構真空吸着用穴７ａは、前記半導体装置４を吸着
により引き下げ印刷面の水平位置を安定させるため設け
る。前記度当り部１、前記固定部２、前記可動部３、前
記半導体装置４の上面は、同一平面である。前記半導体
装置４の対角線と、前記度当たり部の切り欠け１１ａの
最深部と、前記可動部の切り欠け１１ｂの最深部は、一
直線にする。前記スキージ５の移動圧力により、前記可
動部３が前記半導体装置４を、前記固定部１の方向に挟
み込むことになる。
【０００７】本発明の他の実施例を図３に示す。半導体
装置の保持機構を機械テーブルにセットするために、半
導体装置保持機構固定用外枠９を設ける。前記半導体装
置保持機構固定用外枠９は、スクリーン印刷機の前記機
械テーブル１０の上に乗る大きさである。前記半導体装
置保持機構固定用外枠９には、図１に示す半導体装置の
保持機構が入る大きさの穴を設ける。前記半導体装置保
持機構固定用外枠９で囲って前記機械テーブル１０に載
せる。前記半導体装置保持機構固定用外枠９は、機械テ
ーブル真空吸着用穴７ｂを介して固定する。前記半導体
装置保持機構固定用外枠９と、前記機械テーブル１０
は、機械的に固定されていないため真空吸着を止めたと
きに自由に移動ができる。前記半導体装置４を保持する
機構の、前記度当り部の切り欠け１１ａの頂点と、前記
可動部の切り欠け１１ｂの頂点が結ぶ直線を、前記スキ
ージ５の移動方向に対し、平行に調整ができる。
装置の保持機構を機械テーブルにセットするために、半
導体装置保持機構固定用外枠９を設ける。前記半導体装
置保持機構固定用外枠９は、スクリーン印刷機の前記機
械テーブル１０の上に乗る大きさである。前記半導体装
置保持機構固定用外枠９には、図１に示す半導体装置の
保持機構が入る大きさの穴を設ける。前記半導体装置保
持機構固定用外枠９で囲って前記機械テーブル１０に載
せる。前記半導体装置保持機構固定用外枠９は、機械テ
ーブル真空吸着用穴７ｂを介して固定する。前記半導体
装置保持機構固定用外枠９と、前記機械テーブル１０
は、機械的に固定されていないため真空吸着を止めたと
きに自由に移動ができる。前記半導体装置４を保持する
機構の、前記度当り部の切り欠け１１ａの頂点と、前記
可動部の切り欠け１１ｂの頂点が結ぶ直線を、前記スキ
ージ５の移動方向に対し、平行に調整ができる。
【０００８】
【発明の効果】本発明の効果は、印刷時における前記半
導体装置４の位置のずれがない。前記スキージ５の移動
により前記半導体装置４の浮き上がり等がなく精度に於
いてバラツキがなく安定した印刷ができる。歩留りの向
上がはかれる。
導体装置４の位置のずれがない。前記スキージ５の移動
により前記半導体装置４の浮き上がり等がなく精度に於
いてバラツキがなく安定した印刷ができる。歩留りの向
上がはかれる。
【図１】本発明の実施例の図。
【図２】本発明の実施例の断面図。
【図３】本発明の他の実施例を示す図。
【図４】本発明の他の実施例の断面図を示す図。
１ ：度当り部 ２ ：固定部 ３ ：可動部 ４ ：半導体装置 ５ ：スキージ ６ ：マスク ７ａ ：半導体装置保持機構真空吸着用穴 ７ｂ ：機械テーブル真空吸着用穴 ８ ：圧縮バネ ９ ：半導体装置保持機構固定用外枠 １０ ：機械テーブル １１ａ：度当り部の切り欠け １１ｂ：可動部の切り欠け １２ａ：度当り部の切り欠けニゲ １２ｂ：可動部の切り欠けニゲ １３ａ：半導体装置度当たり側残部突起ニゲ １３ｂ：半導体装置可動部側残部突起ニゲ
Claims (1)
- 【請求項１】半導体装置に印刷するスクリーン印刷機に
於いて、前記半導体装置を保持する機構が、スキージの
印刷方向に対して平行かつ一直線であることを特徴とす
る半導体装置の保持機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20071791A JPH0542658A (ja) | 1991-08-09 | 1991-08-09 | 半導体装置の保持機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20071791A JPH0542658A (ja) | 1991-08-09 | 1991-08-09 | 半導体装置の保持機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0542658A true JPH0542658A (ja) | 1993-02-23 |
Family
ID=16429038
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20071791A Pending JPH0542658A (ja) | 1991-08-09 | 1991-08-09 | 半導体装置の保持機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0542658A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009071057A1 (de) * | 2007-12-04 | 2009-06-11 | Eads Deutschland Gmbh | Chemikalienresistente halterung für chips mit empfindlichen strukturen auf der oberseite |
-
1991
- 1991-08-09 JP JP20071791A patent/JPH0542658A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009071057A1 (de) * | 2007-12-04 | 2009-06-11 | Eads Deutschland Gmbh | Chemikalienresistente halterung für chips mit empfindlichen strukturen auf der oberseite |
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