JPH0543392Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は例えばフーリエ変換赤外分光光度計
（FTIR）の干渉計において、主としてその固定
鏡の角度を調整する機構に関するものである。

（従来の技術） 第３図にフーリエ変換赤外分光光度計の干渉計
の一例を示す。

１は赤外光源、２はビームスプリツタ（半透
鏡）、３は移動鏡、４は固定鏡である。光源１か
らの赤外光５はビームスプリツタ２に対して45度
の角度で入射する。ビームスプリツタ２では入射
光は透過光５ａと反射光５ｂに二分され、透過光
５ａは移動鏡３によつて反射されて再びビームス
プリツタ２に戻され、反射光５ｂは固定鏡４で反
射されて再びビームスプリツタ２に戻される。透
過光５ａと反射光５ｂはビームスプリツタ２で合
一して干渉光６となり、試料７を透過して検出器
８で検出される。

この干渉計において干渉条件を一定にするため
に、固定鏡４の角度を自動調整する。

従来の調整機構としては、第４図及び第５図に
示されるように、ミラー１０の取付け部１１の裏
面中央部が支柱１２で支持され、ミラー取付け部
１１の裏面上で支柱１２が取りつけられている点
を中心として互いに直交する２軸上にそれぞれミ
ラー取付け部裏面に垂直な方向に変位する駆動源
１３，１４が当接している。ミラー取付け部１１
の裏面上にはまた、支柱１２が取り付けられてい
る位置Ｃに対して駆動源１３，１４が当接してい
る位置と対称な位置がそれぞれ圧縮バネ１５，１
６で押されている。９は支柱１２、駆動源１３，
１４及び圧縮バネ１５，１６を支持しているハウ
ジングである。駆動源１３，１４としては一般に
積層型圧電アクチユエータが用いられている。

（考案が解決しようとする課題） 従来のミラー角度調整機構では、駆動源１３，
１４と圧縮バネ１５，１６はともにミラー取付け
部１１の裏面を押す方向に加圧しており、支柱１
２に対して引張り力を加えている。また、ミラー
１０の角度調整の応答速度を大きくするために、
圧縮バネ１５，１６としてはバネ定数の大きいも
のが使用されているので、支柱１２に対する引張
り力は大きくなつている。その結果、本来ミラー
１０の角度決定の中心になるべき支柱１２が伸び
縮みして微小範囲で正確にミラー角度を決定する
のが困難になる。

本考案は支柱の伸び縮みによるミラー角度調整
誤差を小さくしたミラー角度調整機構を提供する
ことを目的とするものである。

（課題を解決するための手段） 本考案でもミラー取付け部の裏面中央部を支柱
で支持し、ミラー取付け部の裏面上で前記支柱が
取りつけられている点を中心として互いに直交す
る２軸上にそれぞれミラー取付け部裏面に垂直な
方向に変位する駆動源を当接させる。支柱に引張
り力を作用させないようにするために、ミラー取
付け部を挟んで各駆動源と対向する位置から各駆
動源の加圧方向と反対方向に加圧するバネなどの
弾性部材を設ける。

（作用） 本考案ではミラー取付け部の裏面側から駆動源
によつてミラー取付け部を押す力が作用し、ミラ
ー取付け部の表面側からは弾性部材によつて駆動
源と逆方向の力が作用する。その結果、支柱には
張力が働かなくなり、支柱の伸び縮みによる角度
誤差は起こらない。

（実施例） 一実施例を第１図及び第２図に示す。第１図は
正面図、第２図は第１図のＡ−A′位置での断面
図である。従来の調整機構と対比するために、第
４図及び第５図に示されるものと同じ部材には同
一の符号を用いる。

本実施例は第３図に示されるフーリエ変換赤外
分光光度計の干渉計の固定鏡４の角度を調整する
ために設けられたものである。

ハウジング９には支柱（センターバー）１２が
固定されており、支柱１２の先端にはミラー取付
け部１１がその裏面中央部Ｃで固定されている。
ミラー取付け部１１の前面にはミラー取付け部１
１と隙間をもつてミラー１０が固定されている。

支柱１２が取り付けられているミラー取付け部
１１の裏面中央部Ｃを中心として互いに直交する
２軸上に駆動源である積層型圧電アクチユエータ
１３，１４がそれぞれ当接している。圧電アクチ
ユエータ１３，１４はハウジング９に固定され、
圧電アクチユエータ１３，１４はミラー取付け部
１１の裏面に対して垂直方向に力を及ぼすように
当接している。圧電アクチユエータ１３，１４は
電圧を印加することによつて伸縮し、ミラー取付
け部１１の裏面を垂直方向に押す。

ハウジング９には板バネ２０，２１が固定され
ており、それらの板バネ２０，２１の当接部は圧
電アクチユエータ１３，１４の変位軸と同軸上で
ミラー取付け部１１を挟んで圧電アクチユエータ
１３，１４とそれぞれ対向する位置にあり、板バ
ネ２０，２１はミラー取付け部１１をそれぞれ圧
電アクチユエータ１３，１４方向に加圧する。

次に、本実施例の動作について説明する。

圧電アクチユエータ１３，１４に電圧を印加す
ることにより圧電アクチユエータ１３，１４がミ
ラー取付け部１１の裏面を押す。一方、圧電アク
チユエータ１３，１４の押す力に対して、ミラー
取付け部１１の表面側から板バネ２０，２１が圧
電アクチユエータ１３，１４と逆方向の力を加え
ている。圧電アクチユエータ１３，１４と板バネ
２０，２１の釣合いによりミラー１０の角度が決
定される。このとき、支柱１２には曲げ力だけが
加わるため、引張り力による歪の影響はない。

実施例ではミラー取付け部を駆動源と逆方向に
加圧する弾性部材として板バネを示しているが、
圧縮バネを用いるなど、他の機構に変えることも
できる。

実施例は本考案を干渉計の固定鏡に適用してい
るが、本考案を干渉計の可動鏡に適用することも
できる。

（考案の効果） 本考案では駆動源の変位軸と同軸上でミラー取
付け部を挟んで各駆動源と対向する位置にそれぞ
れミラー取付け部を駆動方向に加圧する弾性部材
を設けたので、支柱の伸縮によるミラー角度の誤
差がなくなり、ミラー角度の調整精度が向上す
る。そのため、例えばこの調整機構をフーリエ変
換赤外分光光度計の干渉計の固定鏡に適用するこ
とにより、干渉状態を常に最良の状態になるよう
に制御することができる。

本考案の調整機構は弾性部材の押圧が支柱の歪
に影響を与えないため、組立て工程では弾性部材
の押圧の調整が容易である。

【図面の簡単な説明】

第１図は一実施例を示す正面図、第２図は第１
図のＡ−A′線位置での断面図、第３図は本考案
が適用されるフーリエ変換赤外分光光度計の干渉
計を示す概略構成図である。第４図は従来のミラ
ー角度調整機構を示す正面図、第５図は第４図の
Ｂ−B′線位置での断面図である。 １０……ミラー、１１……ミラー取付け部、１
２……支柱、１３，１４……圧電アクチユエー
タ、２０，２１……板バネ、Ｃ……ミラー取付け
部の支柱取付け部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ミラー取付け部の裏面中央部を支柱で支持し、
   ミラー取付け部の裏面上で前記支柱が取りつけら
   れている点を中心として互いに直交する２軸上に
   それぞれミラー取付け部裏面に垂直な方向に変位
   する駆動源を当接させ、前記駆動源の変位軸と同
   軸上でミラー取付け部を挟んで各駆動源と対向す
   る位置にそれぞれミラー取付け部を駆動源方向に
   加圧する弾性部材を設けたミラー角度調整機構。