JPH0543472Y2 - - Google Patents
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- JPH0543472Y2 JPH0543472Y2 JP8266288U JP8266288U JPH0543472Y2 JP H0543472 Y2 JPH0543472 Y2 JP H0543472Y2 JP 8266288 U JP8266288 U JP 8266288U JP 8266288 U JP8266288 U JP 8266288U JP H0543472 Y2 JPH0543472 Y2 JP H0543472Y2
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- filter box
- spin dryer
- rotor
- ceiling plate
- filter
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Description
【考案の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本考案はシリコンウエハー等の半導体材料（ウ
エハー）の表面に付着した水分を遠心力によつて
除去し且つ乾燥するスピンドライヤに関し、とく
にスピンドライヤ本体上に設置されるフイルター
ボツクスの改良に関する。[Detailed description of the invention] (Industrial application field) The present invention relates to a spin dryer that uses centrifugal force to remove moisture adhering to the surface of a semiconductor material (wafer) such as a silicon wafer and dries it. This invention relates to improvement of the filter box installed on the main body.
（従来の技術）
ウエハーの水切乾燥を行なうスピンドライヤは
モータにより回転駆動されるロータと、それを包
囲するグローブで構成され、乾燥すべきウエハー
はキヤリヤ内に装着された上、クレイドルを介し
てロータの所定位置にセツトされる。ロータの上
方に吸気口が設けられると共にその上にフイルタ
ーボツクスが設置され、且つグローブ周壁の適当
な位置に排気口が設けられる。ロータの回転によ
り空気はフイルターボツクスを通つて濾過された
上、吸気口からロータ内に吸引され、且つロータ
内を通つて排気口から排出され、そのような空気
流によつてウエハーが乾燥される。(Prior Art) A spin dryer that drains and dries wafers is composed of a rotor that is driven by a motor and a glove that surrounds the rotor.The wafer to be dried is mounted in a carrier and then transferred to the rotor via a cradle. is set at a predetermined position. An intake port is provided above the rotor, a filter box is provided above the intake port, and an exhaust port is provided at an appropriate position on the circumferential wall of the globe. As the rotor rotates, air is filtered through the filter box, sucked into the rotor through the intake port, passed through the rotor, and exhausted from the exhaust port, and the wafer is dried by such air flow. .
このフイルターボツクスはアルミ板またはステ
ンレス板などで構成される天井板とその下面に取
付けられた円筒状の濾材で構成され、従つて空気
は周囲から吸引され、下降してロータに導入され
る。しかるに、従来のフイルターボツクスは第６
図に示すように、円筒状の濾材１が取付けられる
天井板２の下面が平面のままであつたため以下に
記載するような問題点があつた。 This filter box is composed of a ceiling plate made of an aluminum plate or a stainless steel plate, and a cylindrical filter medium attached to the lower surface of the ceiling plate, so that air is sucked in from the surroundings, descends, and is introduced into the rotor. However, the conventional filter box
As shown in the figure, the lower surface of the ceiling plate 2 to which the cylindrical filter medium 1 is attached remained flat, resulting in the following problems.
（考案が解決しようとする課題）
スピンドライヤの作動時、空気は図中の矢印で
示すように円筒状の濾材を通つてフイルターボツ
クス内に入り、そこから下降してスピンドライヤ
の中に吸引されるため、天井板２の下面の中央区
域に吹き溜りができ、フイルターボツクスを通過
した微小なゴミがそこに付着して蓄積され、その
ゴミが時折、そこから剥離して落下し、ロータ中
にセツトされたウエハーに付着してウエハーを汚
すという問題点があつた。(Problem to be solved by the invention) When a spin dryer operates, air enters the filter box through a cylindrical filter medium as shown by the arrow in the figure, descends from there, and is sucked into the spin dryer. As a result, a droplet forms in the central area of the lower surface of the ceiling plate 2, and minute dust that has passed through the filter box adheres and accumulates there, and the dust occasionally peels off from there and falls, causing it to enter the rotor. There was a problem that it adhered to the set wafer and contaminated the wafer.
本考案の目的は上記従来技術の問題点を解消す
ることであつて、それ故、そのような天井板下面
にゴミが蓄積するのを防止し得る構造のフイルタ
ーボツクスを提供することである。 SUMMARY OF THE PRESENT EMBODIMENT The object of the present invention is to solve the problems of the prior art and therefore to provide a filter box having a structure which can prevent the accumulation of garbage on the underside of such a ceiling panel.
（課題を解決するための手段）
本考案によるフイルターボツクスを特徴づける
構成は、その天井板１１の下面は該下面中央部１
１ａが最も下方に出つ張るように凸状に形成され
ていることである。(Means for Solving the Problems) The configuration that characterizes the filter box according to the present invention is that the lower surface of the ceiling plate 11 is located at the central portion of the lower surface.
1a is formed in a convex shape so as to protrude most downwardly.
（作用）
このフイルターボツクスを通して吸引される空
気は円筒状の濾材１２を通して周囲から導入され
且つスピンドライヤ中に向かつて下降されるが、
天井板１１の下面中央部１１ａが出つ張つている
ためその中央部の面に接して空気が流れ、吹き溜
りとなることはない。従つて、下面中央部にゴミ
が溜ることが防止される。(Function) Air sucked through this filter box is introduced from the surroundings through the cylindrical filter medium 12 and is lowered toward the spin dryer.
Since the center portion 11a of the lower surface of the ceiling plate 11 protrudes, air flows in contact with the surface of the center portion and does not form a pool. Therefore, dust is prevented from accumulating in the center of the lower surface.
（実施例）
次に図面を参照のもとに本考案の実施例を説明
する。第１図は本考案によるフイルターボツクス
１０を備えたスピンドライヤの全体を示すもので
あつて、図示のように、フイルターボツクスはス
ピンドライヤの本体上に設置される。図において
３はスピンドライヤのロータであり、４はそれを
包囲するグローブである。ロータ３の上方には吸
気口５があり、グローブ４の周壁に排気口６があ
る。ロータ３は垂直な主軸７上に取付けられ、該
主軸を介してモータ等で駆動される。図中、矢印
で示すように、吸引される空気は従来と同様に、
フイルターボツクス１０を通過した後、吸気口５
からロータ３を通り、排気口６から流出する。(Example) Next, an example of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows the entire spin dryer equipped with a filter box 10 according to the present invention, and as shown, the filter box is installed on the main body of the spin dryer. In the figure, 3 is the rotor of the spin dryer, and 4 is a glove surrounding it. An intake port 5 is provided above the rotor 3, and an exhaust port 6 is provided on the peripheral wall of the globe 4. The rotor 3 is mounted on a vertical main shaft 7 and is driven by a motor or the like via the main shaft. As shown by the arrow in the figure, the air being sucked in is the same as before.
After passing through the filter box 10, the intake port 5
It passes through the rotor 3 and flows out from the exhaust port 6.
また、フイルターボツクス１０は従来と同様に
天井板１１とその下面に備えられる円筒状の濾材
１２からなり、空気は円筒状の濾材１２を通るた
め周囲から内側に導入され、下降してロータ３に
流入する。通常、濾材１２の外側に合板またはア
ルミニウムからなる外枠１３が設置され、第２図
に示すように、グローブ４の上面に合うように該
外枠によつて輪郭が正方形になるように構成され
る。所望により天井板１１の上に被い板１４が置
かれる。１５は天井板または被い板と外枠１３を
連結する部材である。また、濾材１２の底面には
環状の取付板１６が備えられ、その取付板はねじ
１７によつて外枠１３に固定される。 In addition, the filter box 10 is made up of a ceiling plate 11 and a cylindrical filter medium 12 provided on the lower surface of the ceiling plate 11 as in the conventional case. Air passes through the cylindrical filter medium 12 and is introduced from the surroundings to the inside, descends, and reaches the rotor 3. Inflow. Usually, an outer frame 13 made of plywood or aluminum is installed on the outside of the filter medium 12, and as shown in FIG. Ru. A cover plate 14 is placed on top of the ceiling plate 11 if desired. 15 is a member that connects the ceiling plate or cover plate and the outer frame 13. Further, an annular mounting plate 16 is provided on the bottom surface of the filter medium 12, and the mounting plate is fixed to the outer frame 13 with screws 17.
このフイルターボツクス１０の特徴は第１図か
ら明らかなように、天井板１１の下面を、その中
央部が最も下方に出つ張るように凸状に形成した
ことである。１１ａはその凸部を示す。天井板１
１は多くの場合、アルミ合金もしくはステンレス
等の金属で形成されるので、その凸形状は深絞り
成形によつて形成され得る。第３図は深絞りによ
つて形成された天井板１１の一例を示すものであ
る。なお、天井板１１が樹脂で形成される場合に
はその凸部１１ａは天井板の成形時に同時に形成
し得ることは云うまでもない。 As is clear from FIG. 1, the feature of this filter box 10 is that the lower surface of the ceiling plate 11 is formed into a convex shape so that its central portion protrudes most downwardly. 11a indicates the convex portion. Ceiling board 1
Since 1 is often made of metal such as aluminum alloy or stainless steel, its convex shape can be formed by deep drawing. FIG. 3 shows an example of a ceiling plate 11 formed by deep drawing. It goes without saying that when the ceiling board 11 is made of resin, the convex portion 11a can be formed at the same time as the ceiling board is molded.
また、天井板１１下面の凸形状は第４図に示す
ように、中央部が最も突出したブロツク１１a′を
用い、それをねじ１８などによつて天井板１１の
下面に固定することによつて形成してもよい。 Further, the convex shape of the lower surface of the ceiling plate 11 is achieved by using a block 11a' whose central part is most protruding and fixing it to the lower surface of the ceiling plate 11 with screws 18, etc., as shown in FIG. may be formed.
天井板１１下面の凸形状は部分的な球状、放物
面など適当な形状であつてよく、周囲の濾材１２
を通して導入された空気が好適にスピンドライヤ
のロータ３に案内され、従つて天井板下面の中央
区域に吹き溜りを生じない形状であればよい。 The convex shape on the lower surface of the ceiling plate 11 may be any suitable shape such as a partial spherical shape or a paraboloid, and
Any shape is sufficient as long as the air introduced through the ceiling plate is guided to the rotor 3 of the spin dryer in a suitable manner and does not form a pool in the central area of the lower surface of the ceiling plate.
濾材１２としてはこれまでのものと同様に、通
常、0.3μ以上のゴミを除去し得るヘパフイルター
もしくは0.1μ以上のゴミを除去し得るウルパフイ
ルターが用いられ、その濾材は繊維材とセパレー
タで構成され、第５図に示すように、繊維材１２
ａがセパレータ１２ｂを介在させて蛇行状に折り
曲げられたものが円筒状に構成されている。その
繊維材１２ａとしては通常、ガラス繊維紙が用い
られ、またセパレータ１２ｂはクラフト紙または
アルミニウム等で形成される。なお、第５図は濾
材１２の一例を示したものであつて、濾材として
はそれ以外の構成のものであつてもよいことは云
うまでもない。 As the filter medium 12, a Hepa filter capable of removing dust of 0.3μ or more or a Wolpa filter capable of removing dust of 0.1μ or more is usually used as the filter medium 12, and the filter medium is composed of a fiber material and a separator. As shown in FIG.
A is bent into a serpentine shape with a separator 12b interposed therebetween to form a cylindrical shape. Glass fiber paper is usually used as the fiber material 12a, and the separator 12b is made of kraft paper, aluminum, or the like. Note that FIG. 5 shows an example of the filter medium 12, and it goes without saying that the filter medium may have other configurations.
スピンドライヤの作動時、ロータ３の回転によ
りフイルターボツクス１０を介してロータ内に空
気が吸引される。その際、濾材１２を通過した空
気は天井板１１の下面の凸形状の表面に沿つて案
内され、吸気口５に流入する。従つて、フイルタ
ーボツクスの天井板下面の中央部に空気のよど
み、または吹き溜りが生じることはなく、空気の
流通が好適に行なわれる。そしてロータ３内を通
過する空気流によつてロータにセツトされたウエ
ハーが乾燥される。 When the spin dryer is in operation, air is sucked into the rotor through the filter box 10 as the rotor 3 rotates. At this time, the air that has passed through the filter medium 12 is guided along the convex surface of the lower surface of the ceiling plate 11 and flows into the intake port 5. Therefore, air stagnation or pooling does not occur in the center of the lower surface of the ceiling plate of the filter box, and air can circulate properly. The wafer set on the rotor is dried by the air flow passing through the rotor 3.
（考案の効果）
従つて、本考案によれば、フイルターボツクス
の天井板下面の中央部に空気のよどみ、または吹
き溜りを生じることはないので、そこにゴミが付
着して溜ることもなく、それ故、従来のように溜
つたゴミが落下してウエハーを汚す等の欠点がな
く、ウエハーの水切乾燥を常に好適に行なうこと
ができる。(Effects of the invention) Therefore, according to the invention, there is no stagnation or accumulation of air in the center of the lower surface of the ceiling plate of the filter box, so there is no possibility of dust adhering to and accumulating there. Therefore, unlike the conventional method, there is no drawback that accumulated dust falls and contaminates the wafer, and the wafer can always be drained and dried properly.
第１図は本考案の一例によるフイルターボツク
スを備えたスピンドライヤの縦断面図、第２図は
その平面図、第３図は本考案のフイルターボツク
スの一例の断面図、第４図は他の実施例を示す断
面図、第５図は濾材の一部の平面図、そして第６
図は従来のフイルターボツクスの断面図である。
図中、１０……フイルターボツクス、１１……
天井板、１１ａ……凸部、１２……濾材。
FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a spin dryer equipped with a filter box according to an example of the present invention, FIG. 2 is a plan view thereof, FIG. 3 is a sectional view of an example of a filter box according to the present invention, and FIG. FIG. 5 is a sectional view showing an embodiment, FIG. 5 is a plan view of a part of the filter medium, and FIG.
The figure is a sectional view of a conventional filter box. In the figure, 10... filter box, 11...
Ceiling board, 11a... protrusion, 12... filter material.
Claims (1)
ーボツクスであつて、その濾材は円筒状に形成さ
れて天井板の下に備えられ、空気は該濾材を通つ
てスピンドライヤの上方の吸気口からその中に吸
引されるようになつているスピンドライヤのフイ
ルターボツクスにおいて、 該フイルターボツクスの天井板の下面はその中
央区域にごみが付着するのを防ぐため該下面中央
部が最も下方に出つ張るように凸状に形成されて
いることを特徴とするスピンドライヤのフイルタ
ーボツクス。[Claims for Utility Model Registration] A filter box installed on the main body of a spin dryer, the filter medium of which is formed in a cylindrical shape and provided under the ceiling board, and air passes through the filter medium of the spin dryer. In a filter box of a spin dryer into which suction is drawn from an upper air inlet, the lower surface of the ceiling plate of the filter box has a central portion that is the lowest in order to prevent dust from adhering to the central area. A spin dryer filter box characterized by being formed in a convex shape that projects downward.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8266288U JPH0543472Y2 (en) | 1988-06-22 | 1988-06-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8266288U JPH0543472Y2 (en) | 1988-06-22 | 1988-06-22 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH024241U JPH024241U (en) | 1990-01-11 |
| JPH0543472Y2 true JPH0543472Y2 (en) | 1993-11-02 |
Family
ID=31307405
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8266288U Expired - Lifetime JPH0543472Y2 (en) | 1988-06-22 | 1988-06-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0543472Y2 (en) |
-
1988
- 1988-06-22 JP JP8266288U patent/JPH0543472Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH024241U (en) | 1990-01-11 |
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