JPH0543481Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 この考案は小片ワークの突上げ装置、例えば粘
着シート上に貼着された複数の半導体ペレツトを
粘着シートの上方から吸着ノズルで吸着して剥離
させ易いように粘着シートの下からピンで突上げ
る装置に関するものである。

従来の技術 一般に半導体装置の製造に於いて、半導体ペレ
ツトは複数の半導体素子を形成した半導体ウエー
ハを粘着シート上に貼着して各半導体素子を個々
の半導体ペレツトに分割して得られる。上記粘着
シートを放射方向に引き伸ばしてシート上面の
個々の半導体ペレツトを離隔させ、ペレツトマウ
ント工程にて吸着ノズルで半導体ペレツトを１個
ずつ粘着シートから剥離させて取り出し、リード
フレーム等の所定の位置に上記半導体ペレツトを
マウントする。

ところで、上記マウント工程に於いて単に吸着
ノズルで半導体ペレツトを吸着して引き上げるだ
けでは半導体ペレツトが粘着シートから離れない
ことがあるので、半導体ペレツトが粘着シートか
ら剥離し易いようにペレツト突上げ装置が使用さ
れる。

第８図は上記ペレツトマウント工程で使用され
るペレツト突上げ装置の従来例を示すもので、こ
れは半導体ウエーハから分割した多数の半導体ペ
レツト〔以下単にペレツトと称す〕１，１……を
貼着した可撓性粘着シート２を張設したウエーハ
リング３の下方に突上げロツド４を上下動自在に
配置し、この突上げロツド４の上端部に突上げピ
ン５を植立させると共に、下端部にカムフオロア
６を回転自在に装着させ、かつ当該カムフオロア
６を突上げカム７に当接させて構成している。さ
らに、ウエーハリング３を例えばXYテーブル
〔図示せず〕で、XY方向に適宜に移動させるこ
とにより所望のペレツト１をピツクアツプポジシ
ヨンで位置決めさせた後、突上げカム７を回転す
ることにより突上げカム７に当接したカムフオロ
ア６を介して突上げロツド４を上昇し、これによ
り突上げピン５を一体に上昇して粘着シート２を
下方から突上げ、粘着シート２からペレツト１を
第９図に示すように剥離する装置である。

考案が解決しようとする問題点 ところで、上記粘着シート２に貼着されるペレ
ツト１には種々のサイズのものがあり、サイズが
大きくなるに従い貼着スペースが大きくなつて粘
着シート２との粘着力が大きくなる。その為、大
きなサイズのペレツト１を突上げる場合、１本の
突上げピン６で突上げると突上げ力が粘着シート
２に集中されてペレツト１が剥がれる前に粘着シ
ート２が突破られてペレツト１の裏面に傷や欠け
等の破損が生じるという問題があり、複数本、例
えば３本の突上げピン６，６……で突上げを行う
必要があつた。この場合、上記従来の突上げ装置
では突上げロツド４を複数本の突上げピン６，６
……を植立させたものに交換することにより対応
していた。従つて、ペレツト１のサイズが一定以
上及び以下に変更される毎にいちいち突上げロツ
ド４を交換させる必要があり、この交換作業は時
間並びに手数を要して作業性を悪くしていた。

問題点を解決するための手段 この考案は上記問題点に鑑みて提案されたもの
で、この問題点を解決するための技術的手段は上
下動自在に配置され、頂面に１本の突上げピンを
植立した第１の突上げロツドに、頂面に複数本の
突上げピンを植立した第２の突上げロツドを上下
動自在に挿着し、この両突上げロツドに夫々固着
された両突上げレバーの一端に夫々カムフオロア
を装着すると共に他端に当該両突上げレバーを介
して上記両突上げロツドを常時上方に牽引する突
上げスプリングを夫々装着し、かつ、上記両カム
フオロアの上方にそれらが外周面に当接する突上
げカムを配置し、更に、上記両突上げレバーの他
端上方に上下動自在にストツパを配置したもので
ある。

作 用 上記技術的手段によれば、２つの突上げロツド
の一方を夫々のストツパで上昇できなくするだけ
で、任意の本数の突上げピンを選択することがで
き、装置一部の交換の必要がなくて上記問題点を
容易に解決し得る。

実施例 この考案に係る小片ワークの突上げ装置を半導
体装置のペレツトマウント工程に適用した一例を
第１図乃至第７図を参照しながら説明する。第１
図乃至第５図に於いて、３は第８図に示す従来の
ペレツト突上げ装置と同様に、半導体ウエーハか
ら分割した多数ペレツト１，１……を貼着した可
撓性粘着シート２を張設し、例えばXYテーブル
〔図示せず〕でXY方向に適宜に移動させられる
ことにより所望のペレツト１をピツクアツプポジ
シヨンに位置決めさせるウエーハリングである。
８はウエーハリング３の下方で基台フレーム〔図
示せず〕に上下動自在に配設された有蓋円筒状の
第１の突上げロツドで、頂板８ａの上面中央に突
上げピン９が１本植立されている。１０は第１の
突上げロツド８にブツシユ１１，１１を介して上
下動自在に内挿された第２の突上げロツドで、上
端面に複数本、例えば３本の突上げピン１２，１
２……が第１の突上げロツド８の頂板８ａを貫通
して植立されている。３本の突上げピン１２，１
２……は突上げピン９を中心とする円周上に等間
隔で配置されている。１３は第１の突上げロツド
８の基端部に固着された第１突上げレバーで、一
端側面に第１のカムフオロア１４を回転自在に装
着している。１５は第２の突上げロツド１０の基
端部に固着された第２の突上げレバーで、両端に
支持脚１５ａ，１５ｂを一体形成して両端を第１
の突上げレバー１３と同一高さとし、その一方の
支持脚１５ａの側面に第１のカムフオロア１４と
対向して第２のカムフオロア１６を回転自在に並
列に装着している。１７は第１及び第２のカムフ
オロア１４，１６の上方に両方に跨がつて配置し
た突上げカムで、その外周面に第１及び第２のカ
ムフオロア１４，１６が当接されている。この突
上げカム１７はパルスモータ〔図示せず〕により
回転駆動されるようになつており、回転角度の調
整により突上げ量を任意に設定することができ
る。１８，１９は第１及び第２の突上げレバー１
３，１４の他端と基台フレームとの間に張設され
た第１及び第２の突上げスプリングで、第１及び
第２の突上げロツド８，１０を常時上方に引張り
上げている。２０，２１は基台フレームに第１及
び第２の突上げレバー１３，１４の他端と対応し
て並列に配置された第１及び第２の突上げピン選
択用シリンダで、そのピストンロツド２０ａ，２
１ａの下端に突上げストツパ２２，２３を夫々装
着している。

上記構成からなる突上げ装置の動作例を第１
図、第６図及び第７図を参照して説明する。先
ず、第１図に示す状態に於いて粘着シート２に貼
着されたペレツト１のサイズが小さい場合、第２
の突上げピン選択用シリンダ２１のピストンロツ
ド２１ａを伸長させて該ピストンロツド２１ａの
下端部の突上げストツパ２３を第２の突上げレバ
ー１５の他端の支持脚１５ｂの上面に当接させ
る。これにより、第２の突上げロツド１０が突上
げストツパ２３により第２の突上げレバー１５を
介して上昇できなくなり、第１の突上げロツド８
のみが上下動できる状態となる。この状態でウエ
ーハリング３をXYテーブルでXY方向に適宜の
移動させて所望のペレツト１をピツクアツプポジ
シヨンに位置決めさせた後、第６図に示すように
突上げカム１７をパルスモータにより所定角度回
転駆動することにより突上げカム１７に当接した
第１のカムフオロア１４を介して第１の突上げレ
バー１３が第１の突上げスプリング１８の弾力に
より上昇し、この第１の突上げレバー１３の上昇
により第１の突上げロツド８が上昇し、これによ
り突上げピン９が上昇して粘着シート２の下方よ
りペレツト１を突上げる。

次に、第１図に示す状態に於いて粘着シート２
に貼着されたペレツト１のサイズが大きい場合、
第１の突上げピン選択用シリンダ２０のピストン
ロツド２０ａを伸長させて該ピストンロツド２０
ａの下端部の突上げストツパ２２を第１の突上げ
レバー１３の他端上面に当接させる。これにより
第１の突上げロツド８が突上げストツパ２２によ
り第１の突上げレバー１３を介して上昇できなく
なり、第２の突上げロツド１０のみが上下動でき
る状態となる。この状態でウエーハリング３を
XYテーブルでXY方向に適宜に移動させて所望
のペレツト１をピツクアツプポジシヨンに位置決
めさせた後、第７図に示すように突上げカム１７
をパルスモータにより所定角度回転駆動させるこ
とにより突上げカム１７に当接した第２のカムフ
オロア１４を介して第２の突上げレバー１５が第
２の突上げスプリング１９の弾力により上昇し、
この第２の突上げレバー１５の上昇により第２の
突上げロツド１０が上昇し、これにより３本の突
上げピン１２，１２……が一体に上昇して粘着シ
ート２の下方よりペレツト１を突上げる。

以上のように第１及び第２の突上げロツド８，
１０の一方のストツパ２２，２３で上昇できなく
して１本の突上げピン９及び３本の突上げピン１
２，１２……を選択することにより、ペレツト１
のサイズ変更に対応することができるので、従来
のように装置の一部を変換する必要がない。

尚、上記実施例では第１の突上げロツド８の突
上げピン９と第２の突上げロツド１０の突上げピ
ン１２の本数は１本と３本で説明したが、この考
案はこれに限定されるものではない。また、この
考案に係る突上げ装置は半導体装置製造のペレツ
トマウント工程以外にも適用可能であるのは勿論
である。

考案の効果 この考案によれば、従来のように装置の一部を
交換することなく小片ワークのサイズ変更に対応
することが可能となり、交換作業に要する時間並
びに手数を省けて作業性を大幅に向上することが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案一実施例を示す小片ワークの
突上げ装置の概略縦断正面図、第２図、第３図及
び第４図は第１図装置の底面図、左側面図及び右
側面図、第５図は第１図装置のＡ−Ａ線に於ける
拡大断面図、第６図及び第７図は第１図の装置の
各動作例を示す概略縦断正面図、第８図は従来の
突上げ装置を示す概略正面図、第９図は突上げピ
ンでペレツトを粘着シートの下方より突上げた状
態を示す説明図である。 １……ペレツト、２……粘着シート、３……ウ
エーハリング、８……第１の突上げロツド、９…
…突上げピン、１０……第２の突上げロツド、１
２……突上げピン、１３……第１の突上げレバ
ー、１４……第１のカムフオロア、１５……第２
の突上げレバー、１６……第２のカムフオロア、
１７……突上げカム、１８……第１の突上げスプ
リング、１９……第２の突上げスプリング、２０
……第１の突上げピン選択用シリンダ、２１……
第２の突上げピン選択用シリンダ、２２，２３…
…ストツパ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 上下動自在に配置され、頂面に１本の突上げピ
   ンを植立した第１の突上げロツドに、頂面に複数
   本の突上げピンを植立した第２の突上げロツドを
   上下動自在に挿着し、この両突上げロツドに夫々
   固着された両突上げレバーの一端に夫々カムフオ
   ロアを装着すると共に他端に当該両突上げレバー
   を介して上記両突上げロツドを常時上方に牽引す
   る突上げスプリングを夫々装着し、かつ、上記両
   カムフオロアの上方にそれらが外周面に当接する
   突上げカムを配置し、更に、上記両突上げレバー
   の他端上方に上下動自在にストツパを配置したこ
   とを特徴とする小片ワークの突上げ装置。