JPH054468U - 半導体ウエーハの脱水機 - Google Patents

半導体ウエーハの脱水機

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JPH054468U
JPH054468U JP5082491U JP5082491U JPH054468U JP H054468 U JPH054468 U JP H054468U JP 5082491 U JP5082491 U JP 5082491U JP 5082491 U JP5082491 U JP 5082491U JP H054468 U JPH054468 U JP H054468U
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rotor
dust
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和朗 工藤
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山形日本電気株式会社
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Abstract

(57)【要約】 【目的】容器３内壁に堆積する汚れの剥離及びロータ１
部の摩耗による発塵を検知する。 【構成】容器３内の空気を排出する排気管内に収集管８
ａの一端を挿入し、他端に塵埃数を計数するダストカウ
ンタ８を設け、常時発塵を監視する。

Description

【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本考案は、洗浄後の半導体ウェーハに付着する水分を取除く半導体ウェーハの 脱水機に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図２は従来の一例を示す半導体ウェーハの脱水機の模式断面図である。従来、 この種の半導体ウェーハの脱水機は、例えば、図２に示すように、半導体ウェー ハを複数枚収納するキャリア４を搭載するロータ１と、このロータ１を高速回転 させるモータ２と、ロータ１及びキャリア４の周囲を囲む容器３と、容器３の開 口を塞ぐ蓋７とを有していた。また、容器３には、取除かれる水分を排出する排 水口５及びロータ１の回転に伴う容器３内の空気の流れを円滑するための排気口 ６が設けられている。
【０００３】 この半導体ウェーハの脱水機を使用して、洗浄後の半導体ウェーハを水分を取 除くには、まず、半導体ウェーハを収納したキャリア４をロータ１に取付ける。 次に、モータ２よりロータ１を高速回転させることにより半導体ウェーハに付着 する水分は、その遠心力により飛散し、容器３の内壁に付着する。付着した水分 は、内壁を伝わり、排水口５より機外に排出される。
【０００４】 このように、この半導体ウェーハの脱水機は、操作が簡単であることと、短時 間で水分を除去できることから、半導体ウェーハの洗浄装置には必ず附設されて いた。
【０００５】
【考案が解決しようとする課題】
従来の半導体ウェーハの脱水機では、ロータ部の摩耗による発塵や、容器の内 壁への汚れの堆積し、突然、その汚れが剥離して容器内を浮遊し、半導体ウェー ハに付着するということがしばしば起きた。また、この発塵現象が起きる時期を 予想することが困難であるので、定期的に容器内を清掃しなげればならなかった 。しかしながら、この清掃は煩わしいばがりか、機械の稼働率を低下させるとい う問題があった。
【０００６】 本考案の目的は、かかる問題を解消すべく、発塵現象を検知出来る半導体ウェ ーハの脱水機を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本考案の半導体ウェーハの脱水機は、半導体ウェーハを搭載して回転するロー タと、このロータの周囲を囲む容器と、この容器の排気管部に一端が挿入される 収集管と、この収集管の他端に取付けられるダストカウンタとを備えている。
【０００８】
【実施例】
次に本考案について図面を参照して説明する。
【０００９】 図１は本考案の一実施例を示す半導体ウェーハの脱水機の模式断面図である。 この半導体ウェーハの脱水機は、図１に示すように、容器３より突出する排気管 部に収集管８ａの一端を挿入し、他端に塵埃数を計数するダストカウンタ８を設 けたことである。それ以外は従来例と同じである。
【００１０】 次に、この半導体ウェーハの脱水機の動作を説明する。まず、従来例と同様に ロータ１にキャリア４を搭載する。次に、モータ２によりロータ１を高速（１０ ００ｒｐｍ程度）で回転させ、半導体ウェーハ上に付着する水分をその遠心力で 飛散させる。このとき、排気管部に設けた収集管８ａは、発生した塵埃を収集す る。そして、塵埃があれば、ダストカウンタ８はその数を計数する。このように 、常に、発塵を監視し、ある一定のレベル以上の塵埃数をダストカウンタ８が計 数した時は、警報を発する。
【００１１】
【考案の効果】 以上説明したように本考案は、容器内の空気を排出する排気管部に収集管を挿 入し、収集管により採集される塵埃数を計数するダストカウンタを設けることに よって、容器内部の発塵を常時監視することが出来るので、発塵現象を検知出来 る半導体ウェーハの脱水機が得られるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本考案の一実施例を示す半導体ウェーハの脱水
機の模式断面図である。
【図２】従来の一例を示す半導体ウェーハの脱水機の模
式断面図である。
【符号の説明】
１ ロータ ２ モータ ３ 容器 ４ キャリア ５ 排水口 ６ 排気口 ７ 蓋 ８ ダストカウンタ ８ａ 収集管

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 【請求項１】 半導体ウェーハを搭載して回転するロー
    タと、このロータの周囲を囲む容器と、この容器の排気
    管部に一端が挿入される収集管と、この収集管の他端に
    取付けられるダストカウンタとを備えることを特徴とす
    る半導体ウェーハの脱水機。
JP1991050824U 1991-07-02 1991-07-02 半導体ウェーハの脱水機 Expired - Lifetime JP2582375Y2 (ja)

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JPH054468U true JPH054468U (ja) 1993-01-22
JP2582375Y2 JP2582375Y2 (ja) 1998-09-30

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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56149446U (ja) * 1980-04-08 1981-11-10
JPS5821742A (ja) * 1981-07-31 1983-02-08 Nec Corp 位置合わせ露光装置
JPS61208051A (ja) * 1985-03-12 1986-09-16 Nec Corp 縮少投影露光装置
JPH01100442A (ja) * 1987-10-14 1989-04-18 Hitachi Ltd 洗浄効果の評価方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56149446U (ja) * 1980-04-08 1981-11-10
JPS5821742A (ja) * 1981-07-31 1983-02-08 Nec Corp 位置合わせ露光装置
JPS61208051A (ja) * 1985-03-12 1986-09-16 Nec Corp 縮少投影露光装置
JPH01100442A (ja) * 1987-10-14 1989-04-18 Hitachi Ltd 洗浄効果の評価方法

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Date Code Title Description
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 19970805