JPH0545596A - 回転多面鏡の回転検出機構 - Google Patents
回転多面鏡の回転検出機構Info
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- JPH0545596A JPH0545596A JP3200333A JP20033391A JPH0545596A JP H0545596 A JPH0545596 A JP H0545596A JP 3200333 A JP3200333 A JP 3200333A JP 20033391 A JP20033391 A JP 20033391A JP H0545596 A JPH0545596 A JP H0545596A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 28
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 回転多面鏡の回転検出機構において回転多面
鏡の回転ムラを精度良く検出する。 【構成】 回転多面鏡を備えた光ビーム走査装置におい
て、被走査体上を主走査する走査用光ビーム11Ａを反射
する反射面17Ａとは異なる反射面17Ｂに回転検出用光ビ
ーム11Ｂを照射して反射偏向させ、反射された回転検出
用光ビーム11Ｂを、回転検出用光ビーム11Ｂの偏向方向
に沿って間隔をおいて並んで配設された複数の反射手段
により光検出器23の方向に反射する。この光検出器23は
回転検出用光ビーム11Ｂを受光し、回転多面鏡の回転補
正用パルスを発生する。また走査用光ビーム11Ａの走査
の始点および終点を検出する始点検出器24および終点検
出器25を設けてもよく、被走査体と複数の反射手段との
間に、回転検出用光ビーム11Ｂが被走査体上に達するこ
とを防止する遮光手段を設けるようにしてもよい。
鏡の回転ムラを精度良く検出する。 【構成】 回転多面鏡を備えた光ビーム走査装置におい
て、被走査体上を主走査する走査用光ビーム11Ａを反射
する反射面17Ａとは異なる反射面17Ｂに回転検出用光ビ
ーム11Ｂを照射して反射偏向させ、反射された回転検出
用光ビーム11Ｂを、回転検出用光ビーム11Ｂの偏向方向
に沿って間隔をおいて並んで配設された複数の反射手段
により光検出器23の方向に反射する。この光検出器23は
回転検出用光ビーム11Ｂを受光し、回転多面鏡の回転補
正用パルスを発生する。また走査用光ビーム11Ａの走査
の始点および終点を検出する始点検出器24および終点検
出器25を設けてもよく、被走査体と複数の反射手段との
間に、回転検出用光ビーム11Ｂが被走査体上に達するこ
とを防止する遮光手段を設けるようにしてもよい。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は回転多面鏡を用いて光ビ
ームを走査する光ビーム走査装置において、回転多面鏡
の回転ムラを検出する回転検出機構に関するものであ
る。
ームを走査する光ビーム走査装置において、回転多面鏡
の回転ムラを検出する回転検出機構に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来より、光ビームを機械式光偏向器に
より偏向して走査する光ビーム走査装置が、例えばレー
ザプリンタ等の各種走査記録装置および走査読取装置等
において広く実用に供されており、このような機械式光
偏向器の中でも光ビームの高速走査を達成し得るものと
して回転多面鏡（ポリゴンミラー）が知られている。
より偏向して走査する光ビーム走査装置が、例えばレー
ザプリンタ等の各種走査記録装置および走査読取装置等
において広く実用に供されており、このような機械式光
偏向器の中でも光ビームの高速走査を達成し得るものと
して回転多面鏡（ポリゴンミラー）が知られている。
【０００３】この回転多面鏡は、回転多面体の側面が各
々光偏向面となっており、１回の回転で光偏向面の数に
相当する走査が可能であるため高速走査が可能となる。
々光偏向面となっており、１回の回転で光偏向面の数に
相当する走査が可能であるため高速走査が可能となる。
【０００４】上記のような回転多面鏡は、回転多面鏡用
のモータ（ポリゴンモータ）により定速で駆動されて、
光ビームを反射偏向しこの反射偏向された光ビームによ
って、感光体等への画像や文字の記録や画像の読み取り
が行われる。
のモータ（ポリゴンモータ）により定速で駆動されて、
光ビームを反射偏向しこの反射偏向された光ビームによ
って、感光体等への画像や文字の記録や画像の読み取り
が行われる。
【０００５】しかしながら、回転多面鏡を用いると回転
ムラの影響により回転多面鏡の各反射面で反射された光
ビームが記録シート上を走査する速度が該各反射面に異
なり画像読取装置において画像を読み取って得た画像信
号が担持する画像や画像記録装置において記録シートに
記録された画像に歪が生じる場合があった。とくに画像
記録装置であるレーザプリンタ等においては、光ビーム
が走査を行う感光体上で回転多面鏡の回転ムラにより光
ビームによって記録される画像のパターンを構成するド
ットとドットとの間隔がバラつき、印刷されるパターン
は大きな歪を生じ、印刷品質が低下してしまっていた。
ムラの影響により回転多面鏡の各反射面で反射された光
ビームが記録シート上を走査する速度が該各反射面に異
なり画像読取装置において画像を読み取って得た画像信
号が担持する画像や画像記録装置において記録シートに
記録された画像に歪が生じる場合があった。とくに画像
記録装置であるレーザプリンタ等においては、光ビーム
が走査を行う感光体上で回転多面鏡の回転ムラにより光
ビームによって記録される画像のパターンを構成するド
ットとドットとの間隔がバラつき、印刷されるパターン
は大きな歪を生じ、印刷品質が低下してしまっていた。
【０００６】この回転ムラを補正して画像歪をなくすた
めに、走査線上の始点と終点に光ビームを検出する光検
出器を配置し、それらの光検出器の間を主走査するのに
要する時間を回転多面鏡の各面毎に計測してその各時間
内に互いに同数のクロックがはいるようにクロックの周
期を微小補正し、該クロックを画像読取装置の画像信号
のピックアップのタイミングや画像記録装置の光ビーム
の変調のタイミングに用いる方法が採用されていた（例
えば、実公昭62-8017 号公報参照）。
めに、走査線上の始点と終点に光ビームを検出する光検
出器を配置し、それらの光検出器の間を主走査するのに
要する時間を回転多面鏡の各面毎に計測してその各時間
内に互いに同数のクロックがはいるようにクロックの周
期を微小補正し、該クロックを画像読取装置の画像信号
のピックアップのタイミングや画像記録装置の光ビーム
の変調のタイミングに用いる方法が採用されていた（例
えば、実公昭62-8017 号公報参照）。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記のような回転多面
鏡の回転ムラ補正方法は、光ビームの走査線上の始点と
終点の２箇所に光検出器を備え、光ビームの走査範囲に
おける１回の走査の周期、すなわち回転多面鏡の各反射
面のうちの１つの反射面で反射される光ビームが走査線
上の始点と終点との間を通過する時間（以下光ビーム走
査周期と呼ぶ）に基づいて回転多面鏡の回転を補正して
いる。このため、上記のような回転多面鏡の回転ムラ補
正方法においては、光ビーム走査周期の補正を行うこと
が可能であるが、その周期内の微小時間範囲における回
転多面鏡の回転ムラを検出し補正することは不可能であ
り、回転多面鏡を精度良く回転させて、印刷品質を改善
することは困難であった。
鏡の回転ムラ補正方法は、光ビームの走査線上の始点と
終点の２箇所に光検出器を備え、光ビームの走査範囲に
おける１回の走査の周期、すなわち回転多面鏡の各反射
面のうちの１つの反射面で反射される光ビームが走査線
上の始点と終点との間を通過する時間（以下光ビーム走
査周期と呼ぶ）に基づいて回転多面鏡の回転を補正して
いる。このため、上記のような回転多面鏡の回転ムラ補
正方法においては、光ビーム走査周期の補正を行うこと
が可能であるが、その周期内の微小時間範囲における回
転多面鏡の回転ムラを検出し補正することは不可能であ
り、回転多面鏡を精度良く回転させて、印刷品質を改善
することは困難であった。
【０００８】本発明は上記事情に鑑み、光ビーム走査周
期における微小時間範囲での回転多面鏡の回転ムラを検
出することが可能な回転多面鏡の回転検出機構を提供す
ることを目的とするものである。
期における微小時間範囲での回転多面鏡の回転ムラを検
出することが可能な回転多面鏡の回転検出機構を提供す
ることを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明による第１の回転
多面鏡の回転検出機構は、光源からの走査用光ビームを
各反射面で反射偏向して被走査体上に該光ビームを繰返
し主走査させる回転多面鏡を備えた光ビーム走査装置に
おける回転多面鏡の回転検出機構において、前記回転多
面鏡の前記走査用光ビームを反射偏向する反射面とは異
なる反射面に回転検出用の光ビームを照射する回転検出
用光ビーム照射手段と、前記回転多面鏡によって反射さ
れた前記回転検出用光ビームの偏向方向に沿って間隔を
おいて配設され、該回転多面鏡によって反射された回転
検出用光ビームを所定の一点に向けて反射する複数の反
射手段と、前記所定の一点において前記反射手段によっ
て反射された前記回転検出用光ビームを受光し、受光し
た光に対応してパルスを発生する光検出手段とからなる
ことを特徴とするものである。
多面鏡の回転検出機構は、光源からの走査用光ビームを
各反射面で反射偏向して被走査体上に該光ビームを繰返
し主走査させる回転多面鏡を備えた光ビーム走査装置に
おける回転多面鏡の回転検出機構において、前記回転多
面鏡の前記走査用光ビームを反射偏向する反射面とは異
なる反射面に回転検出用の光ビームを照射する回転検出
用光ビーム照射手段と、前記回転多面鏡によって反射さ
れた前記回転検出用光ビームの偏向方向に沿って間隔を
おいて配設され、該回転多面鏡によって反射された回転
検出用光ビームを所定の一点に向けて反射する複数の反
射手段と、前記所定の一点において前記反射手段によっ
て反射された前記回転検出用光ビームを受光し、受光し
た光に対応してパルスを発生する光検出手段とからなる
ことを特徴とするものである。
【００１０】また、本発明による第２の回転多面鏡の回
転検出機構は、上述した本発明による第１の回転多面鏡
の回転検出機構において、前記光ビームが各主走査の始
点を通過する直前の位置に配設され、該光ビームを受光
し、パルスを発生する始点検出手段と、該光ビームが各
主走査の終点を通過した直後の位置に配設され、該光ビ
ームを受光し、パルスを発生する終点検出手段とを備え
たことを特徴とするものである。
転検出機構は、上述した本発明による第１の回転多面鏡
の回転検出機構において、前記光ビームが各主走査の始
点を通過する直前の位置に配設され、該光ビームを受光
し、パルスを発生する始点検出手段と、該光ビームが各
主走査の終点を通過した直後の位置に配設され、該光ビ
ームを受光し、パルスを発生する終点検出手段とを備え
たことを特徴とするものである。
【００１１】さらに、本発明による第３の回転多面鏡の
回転検出機構は上述した本発明による第１または第２の
回転多面鏡の回転検出機構において、前記被走査体と前
記反射手段との間に、前記回転検出用光ビームが該被走
査体上に達することを防止する遮光手段を備えたことを
特徴とするものである。
回転検出機構は上述した本発明による第１または第２の
回転多面鏡の回転検出機構において、前記被走査体と前
記反射手段との間に、前記回転検出用光ビームが該被走
査体上に達することを防止する遮光手段を備えたことを
特徴とするものである。
【００１２】
【作用】本発明による回転多面鏡の回転検出機構は、光
ビーム走査装置における回転多面鏡の走査用光ビームを
反射偏向する反射面とは異なる反射面に回転検出用光ビ
ームを照射し、回転多面鏡によって反射された回転検出
用光ビームの偏向方向に沿って間隔をおいて並んだ複数
の反射手段を設け、回転検出用光ビームを所定の一点、
すなわち光検出手段が配設されている点に向けて反射
し、この反射手段によって反射された回転検出用光ビー
ムに基づいて回転多面鏡の回転検出用パルスを発生する
ようにした。このため光ビーム走査周期における微小時
間範囲での回転多面鏡の回転の状態を把握できるような
パルスを発生することが可能であり、このパルスに基づ
いてより精度良く回転多面鏡の回転ムラを検出すること
が可能となる。
ビーム走査装置における回転多面鏡の走査用光ビームを
反射偏向する反射面とは異なる反射面に回転検出用光ビ
ームを照射し、回転多面鏡によって反射された回転検出
用光ビームの偏向方向に沿って間隔をおいて並んだ複数
の反射手段を設け、回転検出用光ビームを所定の一点、
すなわち光検出手段が配設されている点に向けて反射
し、この反射手段によって反射された回転検出用光ビー
ムに基づいて回転多面鏡の回転検出用パルスを発生する
ようにした。このため光ビーム走査周期における微小時
間範囲での回転多面鏡の回転の状態を把握できるような
パルスを発生することが可能であり、このパルスに基づ
いてより精度良く回転多面鏡の回転ムラを検出すること
が可能となる。
【００１３】さらに、本発明は上述した複数の反射手段
によって反射された回転検出用光ビームを受光すること
によって得られた回転検出用パルスに加えて、光ビーム
の主走査の始点検出手段と終点検出手段とを設け、光ビ
ーム走査周期の始点と終点とを通過したことを表わすパ
ルスを発生することにより、上述した複数の反射手段の
みを用いた場合よりもさらに精度良く回転ムラを検出す
ることができる。
によって反射された回転検出用光ビームを受光すること
によって得られた回転検出用パルスに加えて、光ビーム
の主走査の始点検出手段と終点検出手段とを設け、光ビ
ーム走査周期の始点と終点とを通過したことを表わすパ
ルスを発生することにより、上述した複数の反射手段の
みを用いた場合よりもさらに精度良く回転ムラを検出す
ることができる。
【００１４】さらに、本発明は、被走査体と複数の反射
手段との間に遮光手段を設けて、回転用光ビームがこの
被走査体に達することを防止するようにしたため、走査
用光ビームによって画像を読み取ったり感光体に画像を
記録する際に、走査用光ビーム以外の光である回転検出
用光ビームを用いてもこの回転検出用光ビームが被走査
体に達することがなく、画像信号を正確に読み取ったり
印刷品質の優れた画像を再生することが可能となる。
手段との間に遮光手段を設けて、回転用光ビームがこの
被走査体に達することを防止するようにしたため、走査
用光ビームによって画像を読み取ったり感光体に画像を
記録する際に、走査用光ビーム以外の光である回転検出
用光ビームを用いてもこの回転検出用光ビームが被走査
体に達することがなく、画像信号を正確に読み取ったり
印刷品質の優れた画像を再生することが可能となる。
【００１５】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例につい
て説明する。
て説明する。
【００１６】図１は本発明の第１実施例である回転多面
鏡の回転検出機構を用いた光ビーム走査記録装置の概略
平面図である。なお、本発明の第１実施例は上述した始
点検出手段および終点検出手段を用いた例である。
鏡の回転検出機構を用いた光ビーム走査記録装置の概略
平面図である。なお、本発明の第１実施例は上述した始
点検出手段および終点検出手段を用いた例である。
【００１７】レーザ光源であるＨｅ−Ｎｅレーザ等のガ
スレーザ10から発せられた光ビーム11は反射鏡12a によ
って反射され光路を変え、ビームスプリッタ13に入射す
る。ビームスプリッタ13に入射した光ビーム11は走査用
光ビーム11Ａと回転検出用光ビーム11Ｂとに分光され
る。まず走査用光ビーム11Ａはコリメータレンズ14によ
って平行光とされ、ＡＯＭ等の光変調器15によって変調
された後、シリンドリカルレンズ16により補正され、反
射鏡12b ，12c により光路を変えて、図示しない制御手
段により回転を制御されるモータにより矢印方向に駆動
される回転多面鏡17の反射面17Ａに照射される。回転多
面鏡17は光ビームを反射偏向させる８面体の回転ミラー
であり、１つの反射面当り１回の光ビーム走査を行う。
また回転多面鏡17の上部には反射型のホトインタプラタ
が取り付けられており、回転多面鏡17上面につけられた
マーキング17a を検出し、面の識別用信号を発生する。
回転多面鏡17により反射偏向された走査用光ビーム11Ａ
はｆθレンズ等の集束レンズ18を通過した後、始点検出
器24を横切りミラー19、ミラー20および図示していない
ミラーにより反射されて始点検出器24に入射する。そし
て走査用光ビーム11Ａは、ミラー20の下部にあり、回転
して副走査を行う感光ドラム上に主走査され、１回の主
走査終了後に図示しないミラーで反射された後終点検出
器25に入射する。
スレーザ10から発せられた光ビーム11は反射鏡12a によ
って反射され光路を変え、ビームスプリッタ13に入射す
る。ビームスプリッタ13に入射した光ビーム11は走査用
光ビーム11Ａと回転検出用光ビーム11Ｂとに分光され
る。まず走査用光ビーム11Ａはコリメータレンズ14によ
って平行光とされ、ＡＯＭ等の光変調器15によって変調
された後、シリンドリカルレンズ16により補正され、反
射鏡12b ，12c により光路を変えて、図示しない制御手
段により回転を制御されるモータにより矢印方向に駆動
される回転多面鏡17の反射面17Ａに照射される。回転多
面鏡17は光ビームを反射偏向させる８面体の回転ミラー
であり、１つの反射面当り１回の光ビーム走査を行う。
また回転多面鏡17の上部には反射型のホトインタプラタ
が取り付けられており、回転多面鏡17上面につけられた
マーキング17a を検出し、面の識別用信号を発生する。
回転多面鏡17により反射偏向された走査用光ビーム11Ａ
はｆθレンズ等の集束レンズ18を通過した後、始点検出
器24を横切りミラー19、ミラー20および図示していない
ミラーにより反射されて始点検出器24に入射する。そし
て走査用光ビーム11Ａは、ミラー20の下部にあり、回転
して副走査を行う感光ドラム上に主走査され、１回の主
走査終了後に図示しないミラーで反射された後終点検出
器25に入射する。
【００１８】次に、回転検出用光ビーム11Ｂは反射鏡12
d により光路を変え、さらに本発明の回転検出用光ビー
ム照射手段である反射鏡21により光路を変え、回転多面
鏡17の走査用光ビーム11Ａが反射した反射面17Ａとは異
なる反射面17Ｂに照射される。反射面17Ｂによって反射
偏向された回転検出用光ビーム11Ｂは等間隔に並べられ
た５つの反射鏡22a 〜22e に22a ，22b ，22c ……22e
の順で反射され光検出器23に入射する。
d により光路を変え、さらに本発明の回転検出用光ビー
ム照射手段である反射鏡21により光路を変え、回転多面
鏡17の走査用光ビーム11Ａが反射した反射面17Ａとは異
なる反射面17Ｂに照射される。反射面17Ｂによって反射
偏向された回転検出用光ビーム11Ｂは等間隔に並べられ
た５つの反射鏡22a 〜22e に22a ，22b ，22c ……22e
の順で反射され光検出器23に入射する。
【００１９】図２は光検出器23、始点検出器24、終点検
出器25および回転多面鏡17上のホトインタプラタにより
得られたパルスのタイミングチャートを表わす図であ
る。ここで(a) は回転多面鏡17の反射面、(b) は回転多
面鏡17上のホトインタプラタによる信号、(c) は光検出
器23による信号、(d) は始点検出器24による信号、(e)
は終点検出器25による信号である。回転多面鏡17は８面
体であるため回転多面鏡17の１面当りの回転角は45°で
あり、５つの反射鏡22a 〜22e は等間隔で並んでいるた
め、反射鏡22a 〜22e の１つ当りの回転角は7.5 °であ
る。したがって回転ムラや面倒れ等がなければ図８の
(c) に示すように５つの反射鏡22a 〜22e により反射さ
れた回転検出用光ビーム11Ｂのパルス信号Ｚ0 〜Ｚ4 は
7.5 °ずつの等間隔となり、同様に始点検出器24と終点
検出器25とから発生されたパルス信号Ｓ1 とＥ1 との間
隔Ａはいかなる面においても等間隔となる。
出器25および回転多面鏡17上のホトインタプラタにより
得られたパルスのタイミングチャートを表わす図であ
る。ここで(a) は回転多面鏡17の反射面、(b) は回転多
面鏡17上のホトインタプラタによる信号、(c) は光検出
器23による信号、(d) は始点検出器24による信号、(e)
は終点検出器25による信号である。回転多面鏡17は８面
体であるため回転多面鏡17の１面当りの回転角は45°で
あり、５つの反射鏡22a 〜22e は等間隔で並んでいるた
め、反射鏡22a 〜22e の１つ当りの回転角は7.5 °であ
る。したがって回転ムラや面倒れ等がなければ図８の
(c) に示すように５つの反射鏡22a 〜22e により反射さ
れた回転検出用光ビーム11Ｂのパルス信号Ｚ0 〜Ｚ4 は
7.5 °ずつの等間隔となり、同様に始点検出器24と終点
検出器25とから発生されたパルス信号Ｓ1 とＥ1 との間
隔Ａはいかなる面においても等間隔となる。
【００２０】ところが実際はモータの回転ムラや回転多
面鏡の精度による面倒れ等の影響により、パルス信号Ｚ
0 〜Ｚ4 は図３(b) に示すように等間隔とはならず（こ
こで図３(a) は等間隔のパルス信号）、またパルス信号
Ｓ1 とＥ1 との間隔Ａも等間隔とはならない。そこで、
ＡＯＭ15による走査用光ビーム11Ａの変調のタイミング
を指示するクロックを発生するタイミングを、得られた
パルス信号に基づいて変化させることにより回転多面鏡
の回転ムラの面倒れ等による画像の歪みを補正すること
ができる。
面鏡の精度による面倒れ等の影響により、パルス信号Ｚ
0 〜Ｚ4 は図３(b) に示すように等間隔とはならず（こ
こで図３(a) は等間隔のパルス信号）、またパルス信号
Ｓ1 とＥ1 との間隔Ａも等間隔とはならない。そこで、
ＡＯＭ15による走査用光ビーム11Ａの変調のタイミング
を指示するクロックを発生するタイミングを、得られた
パルス信号に基づいて変化させることにより回転多面鏡
の回転ムラの面倒れ等による画像の歪みを補正すること
ができる。
【００２１】上記実施例において、図４に示すように５
つの反射鏡22a 〜22e と走査光学系20との間に遮光板26
を設けて、回転検出用光ビーム11Ｂや回転検出用光ビー
ム11Ｂの反射光が感光体のある方向（図４におけるミラ
ー19のある方向）に達しないようにすれば、感光体に不
要な光が入射することなく印刷品質のよい画像を得るこ
とができる。
つの反射鏡22a 〜22e と走査光学系20との間に遮光板26
を設けて、回転検出用光ビーム11Ｂや回転検出用光ビー
ム11Ｂの反射光が感光体のある方向（図４におけるミラ
ー19のある方向）に達しないようにすれば、感光体に不
要な光が入射することなく印刷品質のよい画像を得るこ
とができる。
【００２２】また、上記第１実施例においてはレーザ光
源としてガスレーザ10を用いているが半導体レーザを用
いてもよいことはもちろんである。半導体レーザは自身
で変調をかけることができるため、ＡＯＭ等の変調器15
を用いることなく回転検出用光ビーム11Ｂに変調をかけ
ることができる。
源としてガスレーザ10を用いているが半導体レーザを用
いてもよいことはもちろんである。半導体レーザは自身
で変調をかけることができるため、ＡＯＭ等の変調器15
を用いることなく回転検出用光ビーム11Ｂに変調をかけ
ることができる。
【００２３】さらに、上記第１実施例においては、回転
検出用光ビーム照射手段としてレーザ光源から発せられ
た光ビーム11をビームスプリッタ13により分光し、走査
用光ビーム11Ａと回転検出用光ビーム11Ｂとを同一光源
から発するようにしているが、ビームスプリッタ13で光
ビーム11を分光することなく、回転検出用光ビーム照射
手段としてガスレーザ、半導体レーザ等のレーザ光源を
用いて直接回転多面鏡17の反射面17Ｂに光ビームを照射
して５つの反射鏡22a 〜22e に反射させてパルス信号を
得るようにしてもよい。
検出用光ビーム照射手段としてレーザ光源から発せられ
た光ビーム11をビームスプリッタ13により分光し、走査
用光ビーム11Ａと回転検出用光ビーム11Ｂとを同一光源
から発するようにしているが、ビームスプリッタ13で光
ビーム11を分光することなく、回転検出用光ビーム照射
手段としてガスレーザ、半導体レーザ等のレーザ光源を
用いて直接回転多面鏡17の反射面17Ｂに光ビームを照射
して５つの反射鏡22a 〜22e に反射させてパルス信号を
得るようにしてもよい。
【００２４】また、上記第１実施例においては、始点検
出器24および終点検出器25を用いてて光ビーム走査周期
の始点と終点とを検出するようにしているが、始点検出
器24、終点検出器25を設けても、複数の反射手段のみに
よって精度良く回転多面鏡の回転を検出できる場合は、
とくに始点検出器24、終点検出器25を使用する必要はな
い。ここでレーザ光源として半導体レーザ30を使用し、
回転検出用光ビーム照射手段としてガスレーザ31を使用
し、始点検出器24および終点検出器25を使用していない
光ビーム走査記録装置を本発明の第２実施例として図５
に示す。
出器24および終点検出器25を用いてて光ビーム走査周期
の始点と終点とを検出するようにしているが、始点検出
器24、終点検出器25を設けても、複数の反射手段のみに
よって精度良く回転多面鏡の回転を検出できる場合は、
とくに始点検出器24、終点検出器25を使用する必要はな
い。ここでレーザ光源として半導体レーザ30を使用し、
回転検出用光ビーム照射手段としてガスレーザ31を使用
し、始点検出器24および終点検出器25を使用していない
光ビーム走査記録装置を本発明の第２実施例として図５
に示す。
【００２５】なお、図５における本発明による第２実施
例の構成は、半導体レーザ30、ガスレーザ31、および反
射鏡32を除いて、図１に示す本発明による第１実施例と
略同一であるため、第１実施例の各構成要素と対応する
構成要素には第１実施例で用いた番号にダッシュを付し
て示し、説明は省略する。
例の構成は、半導体レーザ30、ガスレーザ31、および反
射鏡32を除いて、図１に示す本発明による第１実施例と
略同一であるため、第１実施例の各構成要素と対応する
構成要素には第１実施例で用いた番号にダッシュを付し
て示し、説明は省略する。
【００２６】なお、上記第１および第２実施例では、回
転検出用光ビームの反射手段としての５つの反射鏡を用
いているが、反射鏡はいくつであってもよく、要求され
る回転多面鏡の回転精度に応じて増減させるようにして
もよい。
転検出用光ビームの反射手段としての５つの反射鏡を用
いているが、反射鏡はいくつであってもよく、要求され
る回転多面鏡の回転精度に応じて増減させるようにして
もよい。
【００２７】また、上記第１および第２実施例では、回
転検出用光ビームの反射手段としての反射鏡を等間隔に
並べているが、回転多面鏡の回転ムラがない場合に得ら
れるパルスの間隔が予め判明しており、実際に得られた
パルスにより回転多面鏡の回転ムラを補正することが可
能であれば、いかなる間隔で並べてもよい。
転検出用光ビームの反射手段としての反射鏡を等間隔に
並べているが、回転多面鏡の回転ムラがない場合に得ら
れるパルスの間隔が予め判明しており、実際に得られた
パルスにより回転多面鏡の回転ムラを補正することが可
能であれば、いかなる間隔で並べてもよい。
【００２８】また、図１および図４において、始点検出
器24および終点検出器25をこれら２つの検出器に対し走
査用光ビーム11Ａが垂直に入射しないように傾けて配置
してあるが、これは始点検出器24および終点検出器25を
走査用光ビーム11Ａが垂直に入射するように配置する
と、走査用光ビーム11Ａが始点検出器24および終点検出
器25のセンサ面で反射して回転多面鏡17の方向に戻って
しまい、この戻り光が回転多面鏡17で反射偏向されて被
走査体に達し、走査面に対してゴースト光を生じさせる
原因となるためである。図１，図４に示すように、始点
検出器24および終点検出器25を走査用光ビーム11Ａの入
射方向に対し傾けて配置しておけば、上述したように走
査用光ビーム11Ａの回転多面鏡17へ戻ることなく走査面
上におけるゴースト光を防止することができる。同様に
光検出器23も回転検出用光ビーム11Ｂが光検出器23に対
して垂直に入射しないように配置するのが好ましい。
器24および終点検出器25をこれら２つの検出器に対し走
査用光ビーム11Ａが垂直に入射しないように傾けて配置
してあるが、これは始点検出器24および終点検出器25を
走査用光ビーム11Ａが垂直に入射するように配置する
と、走査用光ビーム11Ａが始点検出器24および終点検出
器25のセンサ面で反射して回転多面鏡17の方向に戻って
しまい、この戻り光が回転多面鏡17で反射偏向されて被
走査体に達し、走査面に対してゴースト光を生じさせる
原因となるためである。図１，図４に示すように、始点
検出器24および終点検出器25を走査用光ビーム11Ａの入
射方向に対し傾けて配置しておけば、上述したように走
査用光ビーム11Ａの回転多面鏡17へ戻ることなく走査面
上におけるゴースト光を防止することができる。同様に
光検出器23も回転検出用光ビーム11Ｂが光検出器23に対
して垂直に入射しないように配置するのが好ましい。
【００２９】さらに、本発明の回転多面鏡の回転検出機
構は、上述した走査記録装置だけでなく走査読取装置に
も適用できるものであることはいうまでもない。
構は、上述した走査記録装置だけでなく走査読取装置に
も適用できるものであることはいうまでもない。
【００３０】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明の回
転多面鏡の回転検出機構は、光ビーム走査周期の微小時
間範囲における回転多面鏡の回転の状態を表わしたパル
スを発生するようにしたため、回転多面鏡の回転ムラを
精度良く検出することができ、このパルスに基づいて回
転多面鏡の回転ムラを補正するようにすれば光ビーム走
査装置において画像の読取りや記録をより精度良く行う
ことが可能となる。
転多面鏡の回転検出機構は、光ビーム走査周期の微小時
間範囲における回転多面鏡の回転の状態を表わしたパル
スを発生するようにしたため、回転多面鏡の回転ムラを
精度良く検出することができ、このパルスに基づいて回
転多面鏡の回転ムラを補正するようにすれば光ビーム走
査装置において画像の読取りや記録をより精度良く行う
ことが可能となる。
【図１】本発明の回転多面鏡の回転検出機構の第１実施
例を用いた光ビーム走査記録装置の概略平面図
例を用いた光ビーム走査記録装置の概略平面図
【図２】光検出手段の出力信号の一例を表わした図
【図３】光検出手段の出力信号の別な例を表わした図
【図４】本発明の回転多面鏡の回転検出機構の第１実施
例に遮光板を設けた光ビーム走査記録装置の概略平面図
例に遮光板を設けた光ビーム走査記録装置の概略平面図
【図５】本発明の回転多面鏡の回転検出機構の第２実施
例を用いた光ビーム走査記録装置の概略平面図
例を用いた光ビーム走査記録装置の概略平面図
10 ガスレーザ 11 光ビーム 11Ａ 走査用光ビーム 11Ｂ 回転検出用光ビーム 13 ビームスプリッタ 14，14′ コリメーティングレンズ 15 光変調器 16，16′ シリンドリカルレンズ 17，17′ 回転多面鏡 18，18′ 集束レンズ 21，31 回転検出用光ビーム照射手段 23 光検出器 24 始点検出器 25 終点検出器
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成３年８月２０日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１７】レーザ光源であるＨｅ−Ｎｅレーザ等のガ
スレーザ10から発せられた光ビーム11は反射鏡12a によ
って反射され光路を変え、ビームスプリッタ13に入射す
る。ビームスプリッタ13に入射した光ビーム11は走査用
光ビーム11Ａと回転検出用光ビーム11Ｂとに分光され
る。まず走査用光ビーム11Ａはコリメータレンズ14によ
って平行光とされ、ＡＯＭ等の光変調器15によって変調
された後、シリンドリカルレンズ16により補正され、反
射鏡12b ，12c により光路を変えて、図示しない制御手
段により回転を制御されるモータにより矢印方向に駆動
される回転多面鏡17の反射面17Ａに照射される。回転多
面鏡17は光ビームを反射偏向させる８面体の回転ミラー
であり、１つの反射面当り１回の光ビーム走査を行う。
また回転多面鏡17の上部には反射型のホトインタプラタ
が取り付けられており、回転多面鏡17上面につけられた
マーキング17a を検出し、面の識別用信号を発生する。
回転多面鏡17により反射偏向された走査用光ビーム11Ａ
はｆθレンズ等の集束レンズ18を通過した後、ミラー1
9、ミラー20および図示していないミラーにより反射さ
れて始点検出器24に入射する。そして走査用光ビーム11
Ａは、ミラー20の下部にあり、回転して副走査を行う感
光ドラム上に主走査され、１回の主走査終了後に図示し
ないミラーで反射された後終点検出器25に入射する。
スレーザ10から発せられた光ビーム11は反射鏡12a によ
って反射され光路を変え、ビームスプリッタ13に入射す
る。ビームスプリッタ13に入射した光ビーム11は走査用
光ビーム11Ａと回転検出用光ビーム11Ｂとに分光され
る。まず走査用光ビーム11Ａはコリメータレンズ14によ
って平行光とされ、ＡＯＭ等の光変調器15によって変調
された後、シリンドリカルレンズ16により補正され、反
射鏡12b ，12c により光路を変えて、図示しない制御手
段により回転を制御されるモータにより矢印方向に駆動
される回転多面鏡17の反射面17Ａに照射される。回転多
面鏡17は光ビームを反射偏向させる８面体の回転ミラー
であり、１つの反射面当り１回の光ビーム走査を行う。
また回転多面鏡17の上部には反射型のホトインタプラタ
が取り付けられており、回転多面鏡17上面につけられた
マーキング17a を検出し、面の識別用信号を発生する。
回転多面鏡17により反射偏向された走査用光ビーム11Ａ
はｆθレンズ等の集束レンズ18を通過した後、ミラー1
9、ミラー20および図示していないミラーにより反射さ
れて始点検出器24に入射する。そして走査用光ビーム11
Ａは、ミラー20の下部にあり、回転して副走査を行う感
光ドラム上に主走査され、１回の主走査終了後に図示し
ないミラーで反射された後終点検出器25に入射する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２０】ところが実際はモータの回転ムラや回転多
面鏡の精度による面倒れ等の影響により、パルス信号Ｚ
0 〜Ｚ4 は図３(b) に示すように等間隔とはならず（こ
こで図３(a) は等間隔のパルス信号）、またパルス信号
Ｓ1 とＥ1 との間隔Ａも等間隔とはならない。そこで、
ＡＯＭ15による走査用光ビーム11Ａの変調のタイミング
を指示するクロックを発生するタイミングを、得られた
パルス信号に基づいて変化させることにより回転多面鏡
の回転ムラによる画像の歪みを補正することができる。
面鏡の精度による面倒れ等の影響により、パルス信号Ｚ
0 〜Ｚ4 は図３(b) に示すように等間隔とはならず（こ
こで図３(a) は等間隔のパルス信号）、またパルス信号
Ｓ1 とＥ1 との間隔Ａも等間隔とはならない。そこで、
ＡＯＭ15による走査用光ビーム11Ａの変調のタイミング
を指示するクロックを発生するタイミングを、得られた
パルス信号に基づいて変化させることにより回転多面鏡
の回転ムラによる画像の歪みを補正することができる。
Claims (3)
- 【請求項１】 光源からの走査用光ビームを各反射面で
反射偏向して被走査体上に該光ビームを繰返し主走査さ
せる回転多面鏡を備えた光ビーム走査装置における回転
多面鏡の回転検出機構において、 前記回転多面鏡の前記走査用光ビームを反射偏向する反
射面とは異なる反射面に回転検出用の光ビームを照射す
る回転検出用光ビーム照射手段と、 前記回転多面鏡によって反射された前記回転検出用光ビ
ームの偏向方向に沿って間隔をおいて配設され、該回転
多面鏡によって反射された回転検出用光ビームを所定の
一点に向けて反射する複数の反射手段と、 前記所定の一点において前記反射手段によって反射され
た前記回転検出用光ビームを受光し、受光した光に対応
してパルスを発生する光検出手段とからなることを特徴
とする回転多面鏡の回転検出機構。 - 【請求項２】 前記光ビームが各主走査の始点を通過す
る直前の位置に配設され、該光ビームを受光し、パルス
を発生する始点検出手段と、 該光ビームが各主走査の終点を通過した直後の位置に配
設され、該光ビームを受光し、パルスを発生する終点検
出手段とを備えたことを特徴とする請求項１記載の回転
多面鏡の回転検出機構。 - 【請求項３】 前記被走査体と前記反射手段との間に、
前記回転検出用光ビームが該被走査体上に達することを
防止する遮光手段を備えたことを特徴とする請求項１ま
たは２記載の回転多面鏡の回転検出機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3200333A JP3004407B2 (ja) | 1991-08-09 | 1991-08-09 | 回転多面鏡の回転検出機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3200333A JP3004407B2 (ja) | 1991-08-09 | 1991-08-09 | 回転多面鏡の回転検出機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0545596A true JPH0545596A (ja) | 1993-02-23 |
| JP3004407B2 JP3004407B2 (ja) | 2000-01-31 |
Family
ID=16422554
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3200333A Expired - Fee Related JP3004407B2 (ja) | 1991-08-09 | 1991-08-09 | 回転多面鏡の回転検出機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3004407B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016152758A1 (ja) * | 2015-03-20 | 2016-09-29 | 株式会社ニコン | ビーム走査装置、ビーム走査方法、および描画装置 |
| JP2016177251A (ja) * | 2015-09-11 | 2016-10-06 | 株式会社ニコン | ビーム走査装置および描画装置 |
| JP2016206636A (ja) * | 2015-09-11 | 2016-12-08 | 株式会社ニコン | パターン描画装置およびパターン描画方法 |
-
1991
- 1991-08-09 JP JP3200333A patent/JP3004407B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016152758A1 (ja) * | 2015-03-20 | 2016-09-29 | 株式会社ニコン | ビーム走査装置、ビーム走査方法、および描画装置 |
| CN107430272A (zh) * | 2015-03-20 | 2017-12-01 | 株式会社尼康 | 光束扫描装置、光束扫描方法、及描绘装置 |
| CN110596887A (zh) * | 2015-03-20 | 2019-12-20 | 株式会社尼康 | 图案描绘装置及图案描绘方法 |
| TWI691799B (zh) * | 2015-03-20 | 2020-04-21 | 日商尼康股份有限公司 | 光束掃描裝置及描繪裝置 |
| TWI698662B (zh) * | 2015-03-20 | 2020-07-11 | 日商尼康股份有限公司 | 圖案描繪裝置及圖案描繪方法 |
| CN110596887B (zh) * | 2015-03-20 | 2022-04-01 | 株式会社尼康 | 图案描绘装置及图案描绘方法 |
| JP2016177251A (ja) * | 2015-09-11 | 2016-10-06 | 株式会社ニコン | ビーム走査装置および描画装置 |
| JP2016206636A (ja) * | 2015-09-11 | 2016-12-08 | 株式会社ニコン | パターン描画装置およびパターン描画方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3004407B2 (ja) | 2000-01-31 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19991102 |
|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |