JPH0545601A - レーザ走査装置 - Google Patents
レーザ走査装置Info
- Publication number
- JPH0545601A JPH0545601A JP3201006A JP20100691A JPH0545601A JP H0545601 A JPH0545601 A JP H0545601A JP 3201006 A JP3201006 A JP 3201006A JP 20100691 A JP20100691 A JP 20100691A JP H0545601 A JPH0545601 A JP H0545601A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- laser
- scanning
- polygon mirror
- scanning device
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- Pending
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- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 広範囲な走査幅を有し、コンパクトなレーザ
光走査装置を提供することを目的とするものである。 【構成】 一定の位置に固定されたレーザ発振器１から
出射されるレーザビームを、回転自在なポリゴンミラー
４に入射させて走査し、当該走査ビームを放物柱面鏡５
により平行カーテン状の走査ビームに変換して走査する
ようにした光走査装置において、ポリゴンミラー４から
の扇状走査ビームを屈折させさらに広角に広げることの
できる凹シリンドリカルレンズ10をポリゴンミラー４と
放物柱面鏡５との間に配置している。
光走査装置を提供することを目的とするものである。 【構成】 一定の位置に固定されたレーザ発振器１から
出射されるレーザビームを、回転自在なポリゴンミラー
４に入射させて走査し、当該走査ビームを放物柱面鏡５
により平行カーテン状の走査ビームに変換して走査する
ようにした光走査装置において、ポリゴンミラー４から
の扇状走査ビームを屈折させさらに広角に広げることの
できる凹シリンドリカルレンズ10をポリゴンミラー４と
放物柱面鏡５との間に配置している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は例えばレーザプリンタや
レーザマーカ、あるいは各種表面検査装置に用いられる
レーザ走査装置の改良に関するものである。
レーザマーカ、あるいは各種表面検査装置に用いられる
レーザ走査装置の改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図４はこの種の従来のレーザ走査装置の
構成を示す図であり、同図(a) はその正面図、同図(b)
はその側面図をそれぞれ示している。
構成を示す図であり、同図(a) はその正面図、同図(b)
はその側面図をそれぞれ示している。
【０００３】図４において、一定の位置に固定されたレ
ーザ発振器１から出射されるレーザビームは、コリメー
タ２を通り、ポリゴンミラードライバ３にて回転される
ポリゴンミラー４に入射して走査する。また、レーザ発
振器１からポリゴンミラー４への入射ビームの軸は回転
面（回転軸と直交する面）から適宜ずらしてあり、ポリ
ゴンミラー４の回転により反射ビームは、扇状の走査ビ
ームとなる。さらに、この扇状走査ビームを、放物柱面
鏡５にて平行カーテン状の走査ビームに変換し、照射対
象６を走査するようになっている。ここでコリメータ２
は、照射対象６上でのビームスポットを調整する機能を
有し、通常ビームを拡大し、かつ照射対象６上で収束さ
せるように組み合わされた複数のレンズで構成される。
ーザ発振器１から出射されるレーザビームは、コリメー
タ２を通り、ポリゴンミラードライバ３にて回転される
ポリゴンミラー４に入射して走査する。また、レーザ発
振器１からポリゴンミラー４への入射ビームの軸は回転
面（回転軸と直交する面）から適宜ずらしてあり、ポリ
ゴンミラー４の回転により反射ビームは、扇状の走査ビ
ームとなる。さらに、この扇状走査ビームを、放物柱面
鏡５にて平行カーテン状の走査ビームに変換し、照射対
象６を走査するようになっている。ここでコリメータ２
は、照射対象６上でのビームスポットを調整する機能を
有し、通常ビームを拡大し、かつ照射対象６上で収束さ
せるように組み合わされた複数のレンズで構成される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のレーザ走査装置
では図３の(a) に示すように、回転ミラーであるポリゴ
ンミラー４の一定走査角θのとき、走査幅ｗを得ようと
すると、ポリゴンミラー４と放物面鏡５の距離ｌ1 ＝ｗ
×（１／２ｔａｎ（２／θ））の関係でｗに比例してｌ
1 が長くなる。そのため大きなｗを得ようとするとｌ1
が大きくなり走査装置全体が大型化してしまうという問
題があった。そこでｌ1 を減らすために、図５に示すよ
うに複数の平面ミラー７，８で折り返し光学系を構成す
ることで、コンパクト化は計れるが、平面ミラーの面精
度、取付け精度により走査装置としての精度が悪化し、
かつ調整も困難であるという問題があった。
では図３の(a) に示すように、回転ミラーであるポリゴ
ンミラー４の一定走査角θのとき、走査幅ｗを得ようと
すると、ポリゴンミラー４と放物面鏡５の距離ｌ1 ＝ｗ
×（１／２ｔａｎ（２／θ））の関係でｗに比例してｌ
1 が長くなる。そのため大きなｗを得ようとするとｌ1
が大きくなり走査装置全体が大型化してしまうという問
題があった。そこでｌ1 を減らすために、図５に示すよ
うに複数の平面ミラー７，８で折り返し光学系を構成す
ることで、コンパクト化は計れるが、平面ミラーの面精
度、取付け精度により走査装置としての精度が悪化し、
かつ調整も困難であるという問題があった。
【０００５】この発明は前述した従来の問題点を解決す
るためになされたもので、その目的は、広範囲な走査幅
を有し、コンパクト化が可能で、しかも調整が極めて容
易で高精度なレーザ走査装置を提供することにある。
るためになされたもので、その目的は、広範囲な走査幅
を有し、コンパクト化が可能で、しかも調整が極めて容
易で高精度なレーザ走査装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明では、一定の位置に固定されたレーザ発振器
から出射されるレーザビームを、回転自在なポリゴンミ
ラーに入射させて走査し、当該走査ビームを放物柱面鏡
により平行カーテン状の走査ビームに変換して走査する
ようにした光走査装置において、
めに本発明では、一定の位置に固定されたレーザ発振器
から出射されるレーザビームを、回転自在なポリゴンミ
ラーに入射させて走査し、当該走査ビームを放物柱面鏡
により平行カーテン状の走査ビームに変換して走査する
ようにした光走査装置において、
【０００７】ポリゴンミラーからの扇状走査ビームを広
角に広げることのできる凹シリンドリカルレンズまたは
凸面柱ミラーをポリゴンミラーからの走査ビーム経路上
に配置している。
角に広げることのできる凹シリンドリカルレンズまたは
凸面柱ミラーをポリゴンミラーからの走査ビーム経路上
に配置している。
【０００８】
【作用】従って、本発明の光走査装置においては図３
(b) に示すようにｌ1 ＞ｌ2 なる距離ｌ2 にたとえばポ
リゴンミラーと放物柱面鏡を配置しても、(a) と同じ走
査幅ｗを確保することができる。但し、この際の放物柱
面鏡の重点距離ｆは従来よりも短いものを使用する必要
がある。
(b) に示すようにｌ1 ＞ｌ2 なる距離ｌ2 にたとえばポ
リゴンミラーと放物柱面鏡を配置しても、(a) と同じ走
査幅ｗを確保することができる。但し、この際の放物柱
面鏡の重点距離ｆは従来よりも短いものを使用する必要
がある。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
して説明する。
して説明する。
【００１０】図１は、本発明による光走査装置の全体構
成例を示す概要図であり、図４と同一要素には同一符号
を付してその説明を省略し、ここでは異なる部分につい
てのみ述べる。
成例を示す概要図であり、図４と同一要素には同一符号
を付してその説明を省略し、ここでは異なる部分につい
てのみ述べる。
【００１１】すなわち、本実施例では、ポリゴンミラー
４と放物柱面鏡５との間に凹シリンドリカルレンズ９を
挿入する形で配置しており、折り返し光学系を構成する
に必要な平面ミラーは一切要らない。また、レーザ発振
器１からポリゴンミラー４への入射ビーム軸は回転面か
ら適宜ずらしてあり、ポリゴンミラーの回転により反射
ビームは扇状の走査ビームになる。次に以上のように構
成した光平行走査装置の作用について説明する。
４と放物柱面鏡５との間に凹シリンドリカルレンズ９を
挿入する形で配置しており、折り返し光学系を構成する
に必要な平面ミラーは一切要らない。また、レーザ発振
器１からポリゴンミラー４への入射ビーム軸は回転面か
ら適宜ずらしてあり、ポリゴンミラーの回転により反射
ビームは扇状の走査ビームになる。次に以上のように構
成した光平行走査装置の作用について説明する。
【００１２】図１において、一定の位置に固定されたレ
ーザ発振器１から出射されたレーザビームは、コリメー
タ２を通り、回転自在なポリゴンミラー４に入射し、そ
の回転により扇状走査ビームが発生する。この扇状走査
ビームは凹シリンドリカルレンズ９により走査方向に屈
折し、広角に拡げられて放物柱面鏡５に入射し、平行カ
ーテン状の走査ビームに変換されて、対象物に照射され
る。この凹シリンドリカルレンズ９は、放物柱面鏡５と
ポリゴンミラー４の間に置くが、その位置は凹シリンド
リカルレンズ９の重点距離ｆによって決まる。他の実施
例としては、図２に示すようにポリゴンミラー４の走査
ビーム上に凸面柱ミラー12を配置し、その凸面柱ミラー
12に対向して放物面鏡５を配置する。
ーザ発振器１から出射されたレーザビームは、コリメー
タ２を通り、回転自在なポリゴンミラー４に入射し、そ
の回転により扇状走査ビームが発生する。この扇状走査
ビームは凹シリンドリカルレンズ９により走査方向に屈
折し、広角に拡げられて放物柱面鏡５に入射し、平行カ
ーテン状の走査ビームに変換されて、対象物に照射され
る。この凹シリンドリカルレンズ９は、放物柱面鏡５と
ポリゴンミラー４の間に置くが、その位置は凹シリンド
リカルレンズ９の重点距離ｆによって決まる。他の実施
例としては、図２に示すようにポリゴンミラー４の走査
ビーム上に凸面柱ミラー12を配置し、その凸面柱ミラー
12に対向して放物面鏡５を配置する。
【００１３】ポリゴンミラー４から扇状に走査されるビ
ームを凸面柱ミラー12に入射させ、凸面柱ミラー12に入
射したビームは広角に拡げられて反射し、放物面鏡５に
入射し平行カーテンビームに変換されて、対象物６に照
射される。
ームを凸面柱ミラー12に入射させ、凸面柱ミラー12に入
射したビームは広角に拡げられて反射し、放物面鏡５に
入射し平行カーテンビームに変換されて、対象物６に照
射される。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ポ
リゴンミラーと放物柱面鏡との距離を短縮することがで
き、装置全体のコンパクト化が計れ、かつ構成部品が減
り構造も簡単となり調整が極めて容易でしかも高精度な
レーザ走査装置が提供できる。
リゴンミラーと放物柱面鏡との距離を短縮することがで
き、装置全体のコンパクト化が計れ、かつ構成部品が減
り構造も簡単となり調整が極めて容易でしかも高精度な
レーザ走査装置が提供できる。
【図１】本発明による実施例を示すレーザ走査装置の構
成図である。
成図である。
【図２】本発明による他の実施例を示すレーザ走査装置
の構成図である。
の構成図である。
【図３】本発明のレーザ走査装置の作用を説明する図で
ある。
ある。
【図４】従来のレーザ走査装置の構成図である。
【図５】従来のレーザ走査装置の構成図である。
１…レーザ発振器、２…コリメータ、３…ポリゴンミラ
ードライバ、４…ポリゴンミラー、５…放物柱面鏡、６
…照射対象、７，８…平行ミラー、９…スキャナ本体、
10…凹シリンドリカルレンズ、11…スキャナ本体、12…
凸面柱ミラー。
ードライバ、４…ポリゴンミラー、５…放物柱面鏡、６
…照射対象、７，８…平行ミラー、９…スキャナ本体、
10…凹シリンドリカルレンズ、11…スキャナ本体、12…
凸面柱ミラー。
Claims (2)
- 【請求項１】 レーザビームを出射するレーザ発振器
と、 このレーザ発振器からそのミラー面へ入射されたレーザ
ビームをそのミラー面が回転することで走査する回転自
在なポリゴンミラーと、 このポリゴンミラーからの走査ビーム経路上に設けら
れ、走査ビームが入射されて走査方向に入射ビームを屈
折する凹シリンドリカルレンズと、 この凹シリンドリカルレンズからの走査ビームを平行カ
ーテン状の走査ビームに変換する放物柱面鏡とを有する
レーザ走査装置。 - 【請求項２】 レーザビームを出射するレーザ発振器
と、 このレーザ発振器からそのミラー面へ入射されたレーザ
ビームをそのミラー面が回転することで走査する回転自
在なポリゴンミラーと、 このポリゴンミラーからの走査ビーム経路上に設けら
れ、入射された走査ビームを広角に反射する凸面柱鏡
と、 この凸面柱鏡からの走査ビームを平行カーテン状の走査
ビームに変換する放物柱面鏡とを有するレーザ走査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3201006A JPH0545601A (ja) | 1991-08-12 | 1991-08-12 | レーザ走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3201006A JPH0545601A (ja) | 1991-08-12 | 1991-08-12 | レーザ走査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0545601A true JPH0545601A (ja) | 1993-02-26 |
Family
ID=16433934
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3201006A Pending JPH0545601A (ja) | 1991-08-12 | 1991-08-12 | レーザ走査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0545601A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019151060A1 (ja) * | 2018-02-05 | 2019-08-08 | 日本電気株式会社 | センサ装置 |
-
1991
- 1991-08-12 JP JP3201006A patent/JPH0545601A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019151060A1 (ja) * | 2018-02-05 | 2019-08-08 | 日本電気株式会社 | センサ装置 |
| JP2019135447A (ja) * | 2018-02-05 | 2019-08-15 | 日本電気株式会社 | センサ装置 |
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