JPH0545602A - レ−ザ走査装置 - Google Patents
レ−ザ走査装置Info
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- JPH0545602A JPH0545602A JP3207999A JP20799991A JPH0545602A JP H0545602 A JPH0545602 A JP H0545602A JP 3207999 A JP3207999 A JP 3207999A JP 20799991 A JP20799991 A JP 20799991A JP H0545602 A JPH0545602 A JP H0545602A
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- lens
- scanning
- curvature
- polygon mirror
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
- G02B26/125—Details of the optical system between the polygonal mirror and the image plane
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B13/00—Optical objectives specially designed for the purposes specified below
- G02B13/0005—Optical objectives specially designed for the purposes specified below having F-Theta characteristic
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Lenses (AREA)
- Laser Beam Printer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 レ−ザプリンタ装置の描画特性を高精細、高
精度化する。 【構成】 単レンズ２枚構成の従来Ｆθレンズ系におい
て、回転多面鏡に近い方の第１レンズを貼りあわせレン
ズに置換する。これにより、第１レンズの設計自由度を
増やしてＦθレンズ系の設計を精緻化して、Ｆθ特性
（走査平面上の位置ずれ特性）や像面湾曲特性（走査平
面上の像のぼやけ特性）等を向上する。
精度化する。 【構成】 単レンズ２枚構成の従来Ｆθレンズ系におい
て、回転多面鏡に近い方の第１レンズを貼りあわせレン
ズに置換する。これにより、第１レンズの設計自由度を
増やしてＦθレンズ系の設計を精緻化して、Ｆθ特性
（走査平面上の位置ずれ特性）や像面湾曲特性（走査平
面上の像のぼやけ特性）等を向上する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】 本発明はレ−ザ走査装置に係
り、特に高精細印刷用のレ−ザプリンタ装置に好適なレ
−ザ走査装置及び非球面走査レンズに係る。
り、特に高精細印刷用のレ−ザプリンタ装置に好適なレ
−ザ走査装置及び非球面走査レンズに係る。
【０００２】
【従来の技術】 周知のようにレ−ザプリンタ装置は図
２に示すように、回転多面鏡１０によりレ−ザビ−ム１
００を偏向走査して走査平面（感光ドラム）１６上に情
報の書き込みを行っている。この走査の際に生ずる走査
平面上の焦点ずれ（像面湾曲）や位置ずれ（歪曲収差）
等をＦθレンズ系１により補正するようにしていた。な
お、Ｆθレンズ系１は像面湾曲の補正とともに上記歪曲
収差を補正して回転多面鏡の走査角度と走査位置が比例
するするようにする。この特性をＦθ特性と呼んでい
る。また、上記Ｆθレンズ系は通常２枚の単レンズ（第
１レンズ５１と第２レンズ５２）で構成されることが多
い。
２に示すように、回転多面鏡１０によりレ−ザビ−ム１
００を偏向走査して走査平面（感光ドラム）１６上に情
報の書き込みを行っている。この走査の際に生ずる走査
平面上の焦点ずれ（像面湾曲）や位置ずれ（歪曲収差）
等をＦθレンズ系１により補正するようにしていた。な
お、Ｆθレンズ系１は像面湾曲の補正とともに上記歪曲
収差を補正して回転多面鏡の走査角度と走査位置が比例
するするようにする。この特性をＦθ特性と呼んでい
る。また、上記Ｆθレンズ系は通常２枚の単レンズ（第
１レンズ５１と第２レンズ５２）で構成されることが多
い。
【０００３】上記走査誤差の原因の一つに製造時の加工
誤差によって生じる回転多面鏡の面倒れ誤差があり、特
開昭５４−１２６０５１号公報，特開昭５７−１４４５
１５号公報，特公平１−１４５６４号公報，特公平１−
１５０４６号公報等に記載のように、Ｆθレンズ系１に
シリンドリカル面やト−リック面を含ませてアナモフィ
ック光学系を構成することにより面倒れ補正機能を持た
せ上記誤差を補正していた。また、上記シリンドリカル
面やト−リック面は一般に回転多面鏡１０から遠い方の
第２レンズ５２に適用されていた。回転多面鏡１に近い
方の第１レンズ５１に適用すると副走査方向の横倍率が
大きく（５以上）なり、回転多面鏡１０とＦθレンズ系
１との配置精度が厳しくなるためである。また、特願昭
６１−１０８４４０号公報には、Ｆθレンズ系１の副走
査垂直方向の曲率を偏向位置に応じて回転軸非対称に変
化させて上記誤差を補正することが開示されている。
誤差によって生じる回転多面鏡の面倒れ誤差があり、特
開昭５４−１２６０５１号公報，特開昭５７−１４４５
１５号公報，特公平１−１４５６４号公報，特公平１−
１５０４６号公報等に記載のように、Ｆθレンズ系１に
シリンドリカル面やト−リック面を含ませてアナモフィ
ック光学系を構成することにより面倒れ補正機能を持た
せ上記誤差を補正していた。また、上記シリンドリカル
面やト−リック面は一般に回転多面鏡１０から遠い方の
第２レンズ５２に適用されていた。回転多面鏡１に近い
方の第１レンズ５１に適用すると副走査方向の横倍率が
大きく（５以上）なり、回転多面鏡１０とＦθレンズ系
１との配置精度が厳しくなるためである。また、特願昭
６１−１０８４４０号公報には、Ｆθレンズ系１の副走
査垂直方向の曲率を偏向位置に応じて回転軸非対称に変
化させて上記誤差を補正することが開示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】レ−ザプリンタ装置の
描画を高精細化するためには、走査平面全域で像面湾曲
を焦点深度内に納めるようにして微小なレ−ザスポット
のボケを防止し、同時に、走査の位置ずれや線形性等を
改善するように、Ｆθレンズ系１の性能を向上する必要
がある。単レンズ２枚で構成されていた従来のＦθレン
ズ系では、３次以内の歪曲収差は十分に補正できるもの
の、５次以上の歪曲収差成分は補正困難であり、とくに
レ−ザビ−ムの走査が広画角な場合には画角周辺部での
影響が大きい（例えば走査幅３００ｍｍ、画角±３１゜
に対してＦθ特性値は０．２２％程度）という問題があ
った。なお、Ｆθ特性値とは走査平面上の光点から走査
点までの距離誤差であり、回転多面鏡走査角度に対する
描画の直線性に関係する。また、レンズを３枚以上にす
ればＦθ特性は向上できるものの、部品点数が増えて組
立性が悪くなるので簡単には採用できなかった。
描画を高精細化するためには、走査平面全域で像面湾曲
を焦点深度内に納めるようにして微小なレ−ザスポット
のボケを防止し、同時に、走査の位置ずれや線形性等を
改善するように、Ｆθレンズ系１の性能を向上する必要
がある。単レンズ２枚で構成されていた従来のＦθレン
ズ系では、３次以内の歪曲収差は十分に補正できるもの
の、５次以上の歪曲収差成分は補正困難であり、とくに
レ−ザビ−ムの走査が広画角な場合には画角周辺部での
影響が大きい（例えば走査幅３００ｍｍ、画角±３１゜
に対してＦθ特性値は０．２２％程度）という問題があ
った。なお、Ｆθ特性値とは走査平面上の光点から走査
点までの距離誤差であり、回転多面鏡走査角度に対する
描画の直線性に関係する。また、レンズを３枚以上にす
ればＦθ特性は向上できるものの、部品点数が増えて組
立性が悪くなるので簡単には採用できなかった。
【０００５】以下図３〜７を用いて上記従来のＦθレン
ズ系における補正限界についてさらに詳しく説明する。
図３は図２の上面図であり、入射瞳位置が異なる２本の
平行な光ビ−ム１０１と１０２が第２レンズ５２の像側
焦平面２３近傍に焦点を結ぶ様子を示している。なお、
光ビ−ム１０１と１０２が光軸２４と交わる点が第２レ
ンズに対するそれぞれの入射瞳位置２１および２２であ
る。歪曲収差は上記入射瞳位置の影響を受ける。第１レ
ンズ５１は回転対称軸を有する凹レンズ面１１と１３を
有し、第２レンズ５２は球面または平面の回転対称軸を
有するレンズ面１４と回転非対称な凸レンズ面１５を有
している。基本的に、第１レンズ５１は負のパワ−（入
射ビ−ムが光軸２４の外側に曲げられる）を有し、第２
レンズ５２は正のパワ−（入射ビ−ムが光軸２４側に曲
げられる）を有するように構成され、走査平面１６の周
辺部にて全体のＦθ特性として走査位置が光軸側（マイ
ナス側）に偏る傾向があった。この傾向は走査角度が大
きくなるにつれて上記入射瞳位置を第２レンズ５２に近
づけることにより補正できる。
ズ系における補正限界についてさらに詳しく説明する。
図３は図２の上面図であり、入射瞳位置が異なる２本の
平行な光ビ−ム１０１と１０２が第２レンズ５２の像側
焦平面２３近傍に焦点を結ぶ様子を示している。なお、
光ビ−ム１０１と１０２が光軸２４と交わる点が第２レ
ンズに対するそれぞれの入射瞳位置２１および２２であ
る。歪曲収差は上記入射瞳位置の影響を受ける。第１レ
ンズ５１は回転対称軸を有する凹レンズ面１１と１３を
有し、第２レンズ５２は球面または平面の回転対称軸を
有するレンズ面１４と回転非対称な凸レンズ面１５を有
している。基本的に、第１レンズ５１は負のパワ−（入
射ビ−ムが光軸２４の外側に曲げられる）を有し、第２
レンズ５２は正のパワ−（入射ビ−ムが光軸２４側に曲
げられる）を有するように構成され、走査平面１６の周
辺部にて全体のＦθ特性として走査位置が光軸側（マイ
ナス側）に偏る傾向があった。この傾向は走査角度が大
きくなるにつれて上記入射瞳位置を第２レンズ５２に近
づけることにより補正できる。
【０００６】図４は第１レンズ５１の各レンズ面１１と
１３の形状をそのままとして、中心部の厚みｔのみを変
えた場合の走査角度０°と３１°における入射瞳位置の
比を計算した結果である。なお、上記入射瞳位置とは第
２レンズ５２のレンズ面１４より計った距離のことであ
る。図４より走査角度が大きときに入射瞳位置が近い方
が好ましい結果が得られるので、第１レンズ５１中心部
の厚みｔを大きくするほどよいことがわかる。
１３の形状をそのままとして、中心部の厚みｔのみを変
えた場合の走査角度０°と３１°における入射瞳位置の
比を計算した結果である。なお、上記入射瞳位置とは第
２レンズ５２のレンズ面１４より計った距離のことであ
る。図４より走査角度が大きときに入射瞳位置が近い方
が好ましい結果が得られるので、第１レンズ５１中心部
の厚みｔを大きくするほどよいことがわかる。
【０００７】図５は上記第１レンズ５１中心部の厚みｔ
に対応するＦθ特性（走査平面１６上の位置ずれ）の計
算例であり、走査角度３１°の位置からの相対的づれを
プロットしている。中心部の厚みｔが薄いほど走査角度
３１°におけるＦθ特性はマイナス側にずれるので上記
全体のＦθ特性の補正には中心部の厚みｔを厚くする方
がよいことになる。すなわち、単純にＦθ特性を０．１
５％以内にする第１レンズ５１の中心部の厚みｔの値を
求めるだけであれば、ｔ≧７．０ｍｍとなる。
に対応するＦθ特性（走査平面１６上の位置ずれ）の計
算例であり、走査角度３１°の位置からの相対的づれを
プロットしている。中心部の厚みｔが薄いほど走査角度
３１°におけるＦθ特性はマイナス側にずれるので上記
全体のＦθ特性の補正には中心部の厚みｔを厚くする方
がよいことになる。すなわち、単純にＦθ特性を０．１
５％以内にする第１レンズ５１の中心部の厚みｔの値を
求めるだけであれば、ｔ≧７．０ｍｍとなる。
【０００８】図６は第１レンズ５１の中心部の厚みｔと
像面湾曲の関係の計算例である。これより走査角度が大
きい位置にて、上記中心部の厚みｔが４．４ｍｍの場
合、像面は走査平面１６から内側に曲がり、上記ｔが
７．０ｍｍでは像面は外側に曲がる傾向のあることがわ
かる。すなわち、像面湾曲を最小にする上記ｔの最適範
囲が存在することになる。また、上記像面湾曲は焦点深
度内に収めたい。この焦点深度の値は、例えば、波長６
８０ｎｍのレ−ザ光を用いてスポット径の変化を５％ま
で許容すると、ドット密度４８０ｄｐｉの場合は±１ｍ
ｍ，ドット密度６００ｄｐｉの場合は±０．６ｍｍ程度
である。
像面湾曲の関係の計算例である。これより走査角度が大
きい位置にて、上記中心部の厚みｔが４．４ｍｍの場
合、像面は走査平面１６から内側に曲がり、上記ｔが
７．０ｍｍでは像面は外側に曲がる傾向のあることがわ
かる。すなわち、像面湾曲を最小にする上記ｔの最適範
囲が存在することになる。また、上記像面湾曲は焦点深
度内に収めたい。この焦点深度の値は、例えば、波長６
８０ｎｍのレ−ザ光を用いてスポット径の変化を５％ま
で許容すると、ドット密度４８０ｄｐｉの場合は±１ｍ
ｍ，ドット密度６００ｄｐｉの場合は±０．６ｍｍ程度
である。
【０００９】上記中心部の厚みｔを大きくした場合の像
面湾曲は第２レンズの入射ビ−ムの拡がり角が走査角が
大きい位置にて小さくなるようにすれば低減することが
できる。しかし、図７に示すように、上記入射ビ−ムの
拡がり角の比（走査角度０°と同３１°における値の
比）は第１レンズ５１の中心部の厚みｔとほぼ無関係で
あることから、上記厚みｔによって像面湾曲を改善する
ことは困難である。以上の解析結果を要約すると、従来
の単レンズ２枚よりなるＦθレンズ系では歪曲収差や像
面湾曲を改善するための実用的な設計パラメ−タとして
第１レンズ５１の中心部の厚みｔを挙げることができる
が、良好なＦθ特性を与えるレンズ厚みｔの範囲では像
面湾曲を同時には改善できないという難点がある。本発
明の目的は、上記歪曲収差や像面湾曲を同時に低減する
ために、Ｆθレンズ系の第１レンズに実用的な設計自由
度を与えて、これにより画像歪を低減し精細度を高めた
新規な高性能のレ−ザ走査装置を提供することにある。
面湾曲は第２レンズの入射ビ−ムの拡がり角が走査角が
大きい位置にて小さくなるようにすれば低減することが
できる。しかし、図７に示すように、上記入射ビ−ムの
拡がり角の比（走査角度０°と同３１°における値の
比）は第１レンズ５１の中心部の厚みｔとほぼ無関係で
あることから、上記厚みｔによって像面湾曲を改善する
ことは困難である。以上の解析結果を要約すると、従来
の単レンズ２枚よりなるＦθレンズ系では歪曲収差や像
面湾曲を改善するための実用的な設計パラメ−タとして
第１レンズ５１の中心部の厚みｔを挙げることができる
が、良好なＦθ特性を与えるレンズ厚みｔの範囲では像
面湾曲を同時には改善できないという難点がある。本発
明の目的は、上記歪曲収差や像面湾曲を同時に低減する
ために、Ｆθレンズ系の第１レンズに実用的な設計自由
度を与えて、これにより画像歪を低減し精細度を高めた
新規な高性能のレ−ザ走査装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、従来のＦθレンズ系１における２枚構成の単レンズ
のうちの回転多面鏡１０に近い第１レンズ５１を上記貼
り合わせレンズにするようにする。
に、従来のＦθレンズ系１における２枚構成の単レンズ
のうちの回転多面鏡１０に近い第１レンズ５１を上記貼
り合わせレンズにするようにする。
【００１１】
【作用】上記Ｆθレンズ系において、従来の２枚の単レ
ンズの一方を貼り合わせレンズに置き換えることにより
２枚の単レンズ構成では４面であった屈折面数が５面に
増えるので、Ｆθレンズ系における曲率、面間隔、屈折
率等の設計の自由度がそれぞれ１個ずつ増加する。この
結果、Ｆθレンズ系設計をさらに精緻化することがで
き、像面湾曲を焦点深度内に納め、同時に５次以上の歪
曲収差分を補正できるようになる。また、上記貼り合わ
せレンズを回転多面鏡に近い方の単レンズ５１に置き換
えることにより、二つの貼り合わせ部分の光軸合わせが
容易となり生産性が向上する。
ンズの一方を貼り合わせレンズに置き換えることにより
２枚の単レンズ構成では４面であった屈折面数が５面に
増えるので、Ｆθレンズ系における曲率、面間隔、屈折
率等の設計の自由度がそれぞれ１個ずつ増加する。この
結果、Ｆθレンズ系設計をさらに精緻化することがで
き、像面湾曲を焦点深度内に納め、同時に５次以上の歪
曲収差分を補正できるようになる。また、上記貼り合わ
せレンズを回転多面鏡に近い方の単レンズ５１に置き換
えることにより、二つの貼り合わせ部分の光軸合わせが
容易となり生産性が向上する。
【００１２】
【実施例】図１は、本発明によるレ−ザ走査装置の構成
図であり、図２に示した従来装置と較べて第１レンズ５
１が２分割された貼り合わせレンズになっている点が異
なっている。なお、第１レンズ５１の二つの凹レンズ面
１１、１３等の形状は貼り合わせ面１２の形状や両側の
材質の屈折率等の相違に応じて図２の場合とは異なった
ものとなる。図１において、レ−ザ光源２からのレ−ザ
光１００はコリメ−タレンズ２０により平行光束化さ
れ、シリンダレンズ３により回転多面鏡の反射面４０上
でｙ方向に集光されてスポット形状は図示のように上下
に扁平化される。第１レンズ５１と第２レンズ５２によ
り構成されるＦθレンズ系１は、上記シリンダレンズ３
によりｙ方向に扁平化された光ビ−ムをｘ方向（主走査
方向）に絞り込んで走査平面１６上を走査する。また、
反射面４０と走査平面１６はｙ方向（副走査方向）に関
して幾何光学的共役関係にある。
図であり、図２に示した従来装置と較べて第１レンズ５
１が２分割された貼り合わせレンズになっている点が異
なっている。なお、第１レンズ５１の二つの凹レンズ面
１１、１３等の形状は貼り合わせ面１２の形状や両側の
材質の屈折率等の相違に応じて図２の場合とは異なった
ものとなる。図１において、レ−ザ光源２からのレ−ザ
光１００はコリメ−タレンズ２０により平行光束化さ
れ、シリンダレンズ３により回転多面鏡の反射面４０上
でｙ方向に集光されてスポット形状は図示のように上下
に扁平化される。第１レンズ５１と第２レンズ５２によ
り構成されるＦθレンズ系１は、上記シリンダレンズ３
によりｙ方向に扁平化された光ビ−ムをｘ方向（主走査
方向）に絞り込んで走査平面１６上を走査する。また、
反射面４０と走査平面１６はｙ方向（副走査方向）に関
して幾何光学的共役関係にある。
【００１３】表１は上記本発明のＦθレンズ系１の諸元
の一例である。Ｒはｘ方向（主走査方向）の曲率半径、
ｒはｙ方向（副走査方向）の曲率半径、ｄは面間隔、ｎ
は屈折率である。また、は回転多面鏡１０の反射面４
０である。は第１レンズの凹レンズ面１１、は第１
レンズの貼り合わせ面１２、は第１レンズの凹レンズ
面１３である。同様にとはそれぞれ第２レンズ５２
のレンズ面１４と１５であり、面の形状は式（１）お
よび式（２）で与えられる。また、は走査平面１６で
ある。
の一例である。Ｒはｘ方向（主走査方向）の曲率半径、
ｒはｙ方向（副走査方向）の曲率半径、ｄは面間隔、ｎ
は屈折率である。また、は回転多面鏡１０の反射面４
０である。は第１レンズの凹レンズ面１１、は第１
レンズの貼り合わせ面１２、は第１レンズの凹レンズ
面１３である。同様にとはそれぞれ第２レンズ５２
のレンズ面１４と１５であり、面の形状は式（１）お
よび式（２）で与えられる。また、は走査平面１６で
ある。
【表１】
【表２】
【数１】 式（１）のａ，ｂは定数である。Ｃは非対称項で表２に
示すようなサンプル点であり、この表に示されない位置
のＣは多項式近似により導かれる。
示すようなサンプル点であり、この表に示されない位置
のＣは多項式近似により導かれる。
【００１４】図８は回転多面鏡と入射レ−ザ光の位置関
係を示す図である。回転多面鏡１０の半径は３２ｍｍ、
面数は８であり、入射レ−ザ光１００は光軸に対して入
射角度β＝６０°で入射される。上記回転多面鏡１０で
走査されたレ−ザ光１００をＦθレンズ系１で結像させ
て画角±３１゜で走査する。
係を示す図である。回転多面鏡１０の半径は３２ｍｍ、
面数は８であり、入射レ−ザ光１００は光軸に対して入
射角度β＝６０°で入射される。上記回転多面鏡１０で
走査されたレ−ザ光１００をＦθレンズ系１で結像させ
て画角±３１゜で走査する。
【００１５】図９の実線は上記図１（本発明実施例）の
Ｆθ特性、同点線は図２（従来）のＦθ特性である。こ
のように貼り合わせ面１２を有する第１レンズを用いる
と、Ｆθ特性値を走査全域で単レンズを用いた場合の３
分２以内、すなわち、±０．１５％以内におさえること
ができる。
Ｆθ特性、同点線は図２（従来）のＦθ特性である。こ
のように貼り合わせ面１２を有する第１レンズを用いる
と、Ｆθ特性値を走査全域で単レンズを用いた場合の３
分２以内、すなわち、±０．１５％以内におさえること
ができる。
【００１６】図１０は像面湾曲特性例であり、実線は上
記図１（本発明実施例）の像点位置、同点線は図２（従
来）の像点位置である。実線の特性は走査全域で±０．
５ｍｍにおさまっており、これにより前記６００dpi(do
t per inch）の焦点深度±０．６ｍｍを満足することが
できる。なお、表３、表４は従来の単レンズよりなるＦ
θレンズ系の諸元、および非対称項Ｃのサンプル点を示
す表である。
記図１（本発明実施例）の像点位置、同点線は図２（従
来）の像点位置である。実線の特性は走査全域で±０．
５ｍｍにおさまっており、これにより前記６００dpi(do
t per inch）の焦点深度±０．６ｍｍを満足することが
できる。なお、表３、表４は従来の単レンズよりなるＦ
θレンズ系の諸元、および非対称項Ｃのサンプル点を示
す表である。
【表３】
【表４】
【００１７】
【発明の効果】本発明により、Ｆθレンズ系の第１レン
ズ（回転多面鏡に近い方のレンズ）を単レンズから貼り
合わせレンズに置き換えることにより、Ｆθ特性（走査
平面上の位置ずれ特性）や像面湾曲特性（走査平面上の
像のぼやけ特性）等を向上することができ、これにより
画像歪を低減し、精細度を高めた高性能のレ−ザ走査装
置を提供することができる。
ズ（回転多面鏡に近い方のレンズ）を単レンズから貼り
合わせレンズに置き換えることにより、Ｆθ特性（走査
平面上の位置ずれ特性）や像面湾曲特性（走査平面上の
像のぼやけ特性）等を向上することができ、これにより
画像歪を低減し、精細度を高めた高性能のレ−ザ走査装
置を提供することができる。
【図１】本発明によるレ−ザ走査装置光学系の構成図で
ある。
ある。
【図２】従来のレ−ザ走査装置光学系の構成図である。
【図３】従来のレ−ザ走査装置光学系の光ビ−ム経路の
説明図である。
説明図である。
【図４】従来のレ−ザ走査装置光学系の入射瞳位置の比
特性図である。
特性図である。
【図５】従来のレ−ザ走査装置光学系のＦθ特性図であ
る。
る。
【図６】従来のレ−ザ走査装置光学系の像点位置特性図
である。
である。
【図７】レ−ザ走査装置光学系のビ−ム拡がり角の比特
性図である。
性図である。
【図８】回転多面鏡とレ−ザビ−ム角度の関係図であ
る。
る。
【図９】本発明と従来のレ−ザ走査装置光学系における
Ｆθ特性の比較図である。
Ｆθ特性の比較図である。
【図１０】本発明と従来のレ−ザ走査装置光学系におけ
る像点位置特性の比較図である。
る像点位置特性の比較図である。
１ Ｆθレンズ系 ２ レ−ザ光源 ３ シリンダレンズ １０ 回転多面鏡 １１、１３ 各凹レンズ面 １２ 貼り合わせ面 １４ 回転対称軸球面／平面 １５ 回転非対称凸レンズ面 １６ 走査平面（感光ドラム） ２０ コリメ−タレンズ ２１、２２ 各入射瞳位置 ２３ 像側焦平面 ２４ 光軸 ４０ 反射面 ５１ 第１レンズ ５２ 第２レンズ １００ レ−ザビ−ム １０１、１０２ 各光ビ−ム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 有本 昭 東京都国分寺市東恋ケ窪１丁目280番地 日立製作所中央研究所内
Claims (3)
- 【請求項１】 レ−ザ光源からの光ビ−ムを回転多面鏡
により走査して、２つのレンズを有するＦθレンズ系を
介して走査平面上に照射するようにしたレ−ザ走査装置
において、上記回転多面鏡側に配置されたＦθレンズ系
の第１のレンズを貼り合わせレンズとするようにしたこ
とを特徴とするレ−ザ走査装置。 - 【請求項２】 請求項１において、上記走査平面側に配
置されたＦθレンズ系の第２のレンズを主走査方向と副
走査方向の曲率半径が異なる非球面を有する単レンズと
したことを特徴とするレ−ザ走査装置。 - 【請求項３】 請求項２において、上記第２レンズの非
球面の副走査方向の曲率半径を連続的に変化させたこと
を特徴とするレ−ザ走査装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3207999A JPH0545602A (ja) | 1991-08-20 | 1991-08-20 | レ−ザ走査装置 |
| US07/925,787 US5270850A (en) | 1991-08-20 | 1992-08-07 | Laser scanner |
| DE4227595A DE4227595C2 (de) | 1991-08-20 | 1992-08-20 | Laserscanner |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3207999A JPH0545602A (ja) | 1991-08-20 | 1991-08-20 | レ−ザ走査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0545602A true JPH0545602A (ja) | 1993-02-26 |
Family
ID=16549001
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3207999A Pending JPH0545602A (ja) | 1991-08-20 | 1991-08-20 | レ−ザ走査装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5270850A (ja) |
| JP (1) | JPH0545602A (ja) |
| DE (1) | DE4227595C2 (ja) |
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Family Cites Families (9)
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-
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Also Published As
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| DE4227595C2 (de) | 1996-12-19 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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