JPH0546488B2 - - Google Patents
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- JPH0546488B2 JPH0546488B2 JP59115730A JP11573084A JPH0546488B2 JP H0546488 B2 JPH0546488 B2 JP H0546488B2 JP 59115730 A JP59115730 A JP 59115730A JP 11573084 A JP11573084 A JP 11573084A JP H0546488 B2 JPH0546488 B2 JP H0546488B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- strain
- sensitive
- resistor
- bridge
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/20—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
- G01L1/22—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges
- G01L1/2268—Arrangements for correcting or for compensating unwanted effects
- G01L1/2281—Arrangements for correcting or for compensating unwanted effects for temperature variations
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
この発明は液体などの圧力をダイヤフラムで受
け、ダイヤフラム上に設定された感歪抵抗体によ
り歪を電気信号に変換して取り出す形式の歪セン
サに関する。
け、ダイヤフラム上に設定された感歪抵抗体によ
り歪を電気信号に変換して取り出す形式の歪セン
サに関する。
従来の技術
従来より液体などの圧力を測定する圧力センサ
としてダイヤフラムで圧力を受け、ダイヤフラム
上に形成した感歪抵抗体により歪を電気抵抗の変
化として取り出す圧力センサが広く使用されてい
る。感歪抵抗体には金属ゲージや半導体ゲージの
他、シリコン半導体をダイヤフラムとし、ダイヤ
フラム上に拡散抵抗層を形成せしめたものなどが
ある。感歪抵抗体がシリコンなどの半導体の場合
には特に抵抗やゲージ率が使用温度の影響を強く
受けるので温度に対する補償をより厳密にするこ
とが必要であるが、金属ゲージ式に較べゲージ率
が10倍以上と感度が優れるという利点がある。
としてダイヤフラムで圧力を受け、ダイヤフラム
上に形成した感歪抵抗体により歪を電気抵抗の変
化として取り出す圧力センサが広く使用されてい
る。感歪抵抗体には金属ゲージや半導体ゲージの
他、シリコン半導体をダイヤフラムとし、ダイヤ
フラム上に拡散抵抗層を形成せしめたものなどが
ある。感歪抵抗体がシリコンなどの半導体の場合
には特に抵抗やゲージ率が使用温度の影響を強く
受けるので温度に対する補償をより厳密にするこ
とが必要であるが、金属ゲージ式に較べゲージ率
が10倍以上と感度が優れるという利点がある。
第８図は従来の圧力センサの１例を示したもの
で、半導体ゲージをダイヤフラム上に貼着した要
部の断面図である。感歪抵抗体３，５はダイヤフ
ラム上に形成されている。４，６は感歪抵抗体両
端の電極部をそれぞれ示している。感歪抵抗体は
温度補償をとるため、通常第９図の如く、ブリツ
ジ回路接続して使用される。第９図において、１
１，１２は感歪抵抗、１３，１４は金属抵抗、４
１は定電圧電源部を示している。電源４１はブリ
ツジ端ａ，ｃに接続され、ブリツジ電圧出力は
ｂ，ｄより得られる。
で、半導体ゲージをダイヤフラム上に貼着した要
部の断面図である。感歪抵抗体３，５はダイヤフ
ラム上に形成されている。４，６は感歪抵抗体両
端の電極部をそれぞれ示している。感歪抵抗体は
温度補償をとるため、通常第９図の如く、ブリツ
ジ回路接続して使用される。第９図において、１
１，１２は感歪抵抗、１３，１４は金属抵抗、４
１は定電圧電源部を示している。電源４１はブリ
ツジ端ａ，ｃに接続され、ブリツジ電圧出力は
ｂ，ｄより得られる。
又、感歪抵抗の抵抗温度特性に差がある場合に
は更に、ブリツジを構成する抵抗体部に必要に応
じ、金属抵抗を直・並列接続する方法により、ブ
リツジ出力電圧ｂ，ｄ間の電圧零点の温度による
変動を補償することが知られている。
は更に、ブリツジを構成する抵抗体部に必要に応
じ、金属抵抗を直・並列接続する方法により、ブ
リツジ出力電圧ｂ，ｄ間の電圧零点の温度による
変動を補償することが知られている。
一方出力感度は感歪抵抗のゲージ率に比例する
が、ゲージ率が周囲温度の影響を受けるので、使
用温度に対する補償が必要であり、例えば第１０
図の如く、サーミスター素子１５に金属抵抗１
６，１７を直・並列に接続したものをブリツジに
直列に外付けして加え、これを定電圧電源４２に
接続する方法が知られている。しかしながら上述
の方法では外付けするサーミスタ素子の抵抗温度
特性を感歪抵抗体の抵抗温度特性に見合つて厳密
に調整することはかなり複雑で手間を要すると共
に、例えば−40℃〜＋120℃などの如く、巾広い
使用温度域では充分な感度補償を得ることが困難
な場合が多い。又出力感度補償不一致からくる誤
差はブリツジ出力電圧零点変動を与えるという問
題も内在しており、この零点変動が無視出来ない
ケースも多い。又、所望のサーミスタ素子は必ず
しも小型のものが得られず、センサ全体の形状が
大きくなるなどの欠点を有していた。
が、ゲージ率が周囲温度の影響を受けるので、使
用温度に対する補償が必要であり、例えば第１０
図の如く、サーミスター素子１５に金属抵抗１
６，１７を直・並列に接続したものをブリツジに
直列に外付けして加え、これを定電圧電源４２に
接続する方法が知られている。しかしながら上述
の方法では外付けするサーミスタ素子の抵抗温度
特性を感歪抵抗体の抵抗温度特性に見合つて厳密
に調整することはかなり複雑で手間を要すると共
に、例えば−40℃〜＋120℃などの如く、巾広い
使用温度域では充分な感度補償を得ることが困難
な場合が多い。又出力感度補償不一致からくる誤
差はブリツジ出力電圧零点変動を与えるという問
題も内在しており、この零点変動が無視出来ない
ケースも多い。又、所望のサーミスタ素子は必ず
しも小型のものが得られず、センサ全体の形状が
大きくなるなどの欠点を有していた。
発明の目的
それゆえ、本発明の目的は上述の内容に鑑み、
感歪半導体抵抗体で構成されるブリツジ出力電圧
の零点変動を最小限に保つたまゝで、感度の温度
補償を容易とする小型の歪センサを提供すること
である。
感歪半導体抵抗体で構成されるブリツジ出力電圧
の零点変動を最小限に保つたまゝで、感度の温度
補償を容易とする小型の歪センサを提供すること
である。
発明の構成
本発明は、感歪半導体抵抗がダイヤフラム上に
ブリツジ回路接続され、ブリツジ出力端の一方に
直列する２ケの該感歪半導体抵抗の中点と電気接
続され、ブリツジ出力電圧零点が温度補償され、
ダイヤフラム上の歪を受けない部分に感歪半導体
抵抗と同一材料からなる感温度抵抗体を設けた歪
センサに於いて、該感温度抵抗体がブリツジ入力
端部に直列接続して定電流源に接続するか、又は
該感温抵抗体と金属抵抗体との直列回路をブリツ
ジ入力端部に並列接続して定電圧源に接続し、ブ
リツジ出力電圧と該感温度抵抗体の電圧を計測し
てコンビユータ演算部で比較の上、温度補正され
た圧力を検力する小型の歪センサを提供する。
ブリツジ回路接続され、ブリツジ出力端の一方に
直列する２ケの該感歪半導体抵抗の中点と電気接
続され、ブリツジ出力電圧零点が温度補償され、
ダイヤフラム上の歪を受けない部分に感歪半導体
抵抗と同一材料からなる感温度抵抗体を設けた歪
センサに於いて、該感温度抵抗体がブリツジ入力
端部に直列接続して定電流源に接続するか、又は
該感温抵抗体と金属抵抗体との直列回路をブリツ
ジ入力端部に並列接続して定電圧源に接続し、ブ
リツジ出力電圧と該感温度抵抗体の電圧を計測し
てコンビユータ演算部で比較の上、温度補正され
た圧力を検力する小型の歪センサを提供する。
実施例
第１図は本発明の歪センサの実施例で要部の断
面図を示している。第１図において１はステンレ
スなどの金属ダイヤフラム、２は樹脂やセラミツ
ク、ガラスなどからなる電気絶縁層、３，５，７
は該絶縁層上に形成されたシリコン、ゲルマニウ
ムなどの感歪半導体抵抗体を示す。感歪抵抗体
３，５はダイヤフラム１に生ずる歪を受ける歪セ
ンサ部で歪による電気抵抗変化と抵抗体３，５の
両端電極４，６より取り出す。抵抗体７はダイヤ
フラム１の歪を受けない部分に形成された感温セ
ンサ部で、感歪抵抗体３，５の温度を近似的に感
知し、その電気抵抗変化を抵抗体７の両端電極８
より取り出す。
面図を示している。第１図において１はステンレ
スなどの金属ダイヤフラム、２は樹脂やセラミツ
ク、ガラスなどからなる電気絶縁層、３，５，７
は該絶縁層上に形成されたシリコン、ゲルマニウ
ムなどの感歪半導体抵抗体を示す。感歪抵抗体
３，５はダイヤフラム１に生ずる歪を受ける歪セ
ンサ部で歪による電気抵抗変化と抵抗体３，５の
両端電極４，６より取り出す。抵抗体７はダイヤ
フラム１の歪を受けない部分に形成された感温セ
ンサ部で、感歪抵抗体３，５の温度を近似的に感
知し、その電気抵抗変化を抵抗体７の両端電極８
より取り出す。
抵抗体３，５，７は同一ダイヤフラム上に同一
半導体材料で形成されており、小型化が容易であ
る。
半導体材料で形成されており、小型化が容易であ
る。
第２図は第１図におけるブリツジ回路接続例を
示したもので、２１，２２，は３，５に相当する
感歪半導体抵抗、２３，２４は金属抵抗、２５は
７に相当する該感歪半導体抵抗と同一材料からな
る感温抵抗体、４３は定電流電源部をそれぞれ示
している。尚、第２図において、ブリツジ電圧出
力零点の温度補償用の金属抵抗接続部分は図より
省略しているがｂ，ｄ間のブリツジ出力電圧の零
点温度補償は充分とれているものとする。又点線
部２０は歪センサとして一体化され、同一周囲温
度で使用される部分を示している。
示したもので、２１，２２，は３，５に相当する
感歪半導体抵抗、２３，２４は金属抵抗、２５は
７に相当する該感歪半導体抵抗と同一材料からな
る感温抵抗体、４３は定電流電源部をそれぞれ示
している。尚、第２図において、ブリツジ電圧出
力零点の温度補償用の金属抵抗接続部分は図より
省略しているがｂ，ｄ間のブリツジ出力電圧の零
点温度補償は充分とれているものとする。又点線
部２０は歪センサとして一体化され、同一周囲温
度で使用される部分を示している。
第３図は第２図におけるブリツジ出力電圧V1
とダイヤフラムに印加される圧力Ｐとの関係を周
囲温度Ｔをパラメーターとして示したものであ
る。図においてT0は20℃を示す。第４図は第２
図における抵抗２５の両端ｃ，ｅ間電圧V2と温
度Ｔと関係を示したものである。第３図に示した
如くブリツジ出力電圧の周囲温度による零点変動
は充分低く抑えられている。又圧力Ｐに対するブ
リツジ出力電圧V1は、α，βを定数として V1α｛１−β（Ｔ−T0）｝Ｐで表わされる。
とダイヤフラムに印加される圧力Ｐとの関係を周
囲温度Ｔをパラメーターとして示したものであ
る。図においてT0は20℃を示す。第４図は第２
図における抵抗２５の両端ｃ，ｅ間電圧V2と温
度Ｔと関係を示したものである。第３図に示した
如くブリツジ出力電圧の周囲温度による零点変動
は充分低く抑えられている。又圧力Ｐに対するブ
リツジ出力電圧V1は、α，βを定数として V1α｛１−β（Ｔ−T0）｝Ｐで表わされる。
又第４図より電圧V2はV0，γを定数としてV2
V0erTで表わされる。従つて、電圧V1，V2を計
測すれば、ＰV1／α｛１−β（Ｔ−T0）｝よりダ
イヤフラムに印加される圧力を算出できる。ま
ず、第３図に示される周囲温度をパラメータとし
て計測される電圧V1の際の圧力値をコンピユー
タの演算部に記憶させておき、第４図の如き周囲
温度と電圧V2の関係を比較することにより真の
圧力値を算出することが可能である。
V0erTで表わされる。従つて、電圧V1，V2を計
測すれば、ＰV1／α｛１−β（Ｔ−T0）｝よりダ
イヤフラムに印加される圧力を算出できる。ま
ず、第３図に示される周囲温度をパラメータとし
て計測される電圧V1の際の圧力値をコンピユー
タの演算部に記憶させておき、第４図の如き周囲
温度と電圧V2の関係を比較することにより真の
圧力値を算出することが可能である。
第５図は第１図におけるブリツジ回路接続の他
の実施例を示す。図において３１，３２は３，５
に相当する感歪半導体抵抗、３３，３４，３６は
金属抵抗、３５は７に相当する感温抵抗体、又は
４５は定電圧電源部をそれぞれ示している。（第
２図と同様、ブリツジ電圧出力零点の温度補償用
の金属抵抗接続部分は省略しているが、ｂ，ｄ間
のブリツジ出力電圧の零点温度補償は、充分とれ
ているものとする）尚点線部３０は、歪センサー
として一体化され、同一周囲温度で使用される部
分を示している。第５図の場合にもブリツジ出力
電圧ｂ，ｄ間電圧V1と、感温抵抗体３５の両端
ec′間電圧V2との関係も第３図、第４図と同様の
特性を有している。従つて、電圧V1，V2を計測
して、圧力Ｐの値を算出できる。尚、必要によ
り、第２図２５、第３図３５の感温抵抗体の抵抗
温度特性を直線化するため第６図、第７図の如
く、感温抵抗体２５，３５の両端にそれぞれ金属
抵抗２６，２７、及び３８，３９を直・並列に加
えることも可能である。金属抵抗３６は、定電圧
電源に対する分担電圧抵抗である。
の実施例を示す。図において３１，３２は３，５
に相当する感歪半導体抵抗、３３，３４，３６は
金属抵抗、３５は７に相当する感温抵抗体、又は
４５は定電圧電源部をそれぞれ示している。（第
２図と同様、ブリツジ電圧出力零点の温度補償用
の金属抵抗接続部分は省略しているが、ｂ，ｄ間
のブリツジ出力電圧の零点温度補償は、充分とれ
ているものとする）尚点線部３０は、歪センサー
として一体化され、同一周囲温度で使用される部
分を示している。第５図の場合にもブリツジ出力
電圧ｂ，ｄ間電圧V1と、感温抵抗体３５の両端
ec′間電圧V2との関係も第３図、第４図と同様の
特性を有している。従つて、電圧V1，V2を計測
して、圧力Ｐの値を算出できる。尚、必要によ
り、第２図２５、第３図３５の感温抵抗体の抵抗
温度特性を直線化するため第６図、第７図の如
く、感温抵抗体２５，３５の両端にそれぞれ金属
抵抗２６，２７、及び３８，３９を直・並列に加
えることも可能である。金属抵抗３６は、定電圧
電源に対する分担電圧抵抗である。
尚、本実施例ではダイヤフラムが金属の場合を
示したが、ダイヤフラムにシリコン単結晶など半
導体を用いた場合にも同様に優れた効果が得られ
る。
示したが、ダイヤフラムにシリコン単結晶など半
導体を用いた場合にも同様に優れた効果が得られ
る。
又本発明実施例において、感温抵抗体部に印加
する電源は感歪抵抗体部用電源と共通としたが、
それぞれ別電源で駆動してよいことはもちろんで
ある。
する電源は感歪抵抗体部用電源と共通としたが、
それぞれ別電源で駆動してよいことはもちろんで
ある。
発明の効果
上述の如く、本発明は、感歪半導体抵抗がダイ
ヤフラム上にブリツジ回路接続され、ブリツジ出
力端の一方に直列する２ケの該感歪半導体抵抗の
中点と電気接続され、ブリツジ出力電圧零点が温
度補償され、ダイヤフラム上の歪を受けない部分
に感歪半導体抵抗と同一材料からなる感温度抵抗
体を設けた歪センサに於いて、該感温抵抗体がブ
リツジ入力端部に直列接続して定電流源に接続す
るか、又は該感温度抵抗体と金属抵抗体との直列
回路をブリツジ入力端部に並列接続して定電圧源
に接続し、第３図に示す周囲温度をパラメータと
するブリツジ出力電圧と計測圧力の関係を、あら
かじめコンピユータの演算部に記憶させておき、
第４図に示す感温度抵抗体部分の電圧とを比較す
ることにより、感歪半導体抵抗及び金属抵抗体の
温度係数やピエゾ抵抗係数の微調整を省いても、
正確な圧力計測のできる小型の歪センサを提供す
るものである。
ヤフラム上にブリツジ回路接続され、ブリツジ出
力端の一方に直列する２ケの該感歪半導体抵抗の
中点と電気接続され、ブリツジ出力電圧零点が温
度補償され、ダイヤフラム上の歪を受けない部分
に感歪半導体抵抗と同一材料からなる感温度抵抗
体を設けた歪センサに於いて、該感温抵抗体がブ
リツジ入力端部に直列接続して定電流源に接続す
るか、又は該感温度抵抗体と金属抵抗体との直列
回路をブリツジ入力端部に並列接続して定電圧源
に接続し、第３図に示す周囲温度をパラメータと
するブリツジ出力電圧と計測圧力の関係を、あら
かじめコンピユータの演算部に記憶させておき、
第４図に示す感温度抵抗体部分の電圧とを比較す
ることにより、感歪半導体抵抗及び金属抵抗体の
温度係数やピエゾ抵抗係数の微調整を省いても、
正確な圧力計測のできる小型の歪センサを提供す
るものである。
第１図は本発明の歪センサの実施例で要部の断
面図を示す。第２図は第１図に於けるブリツジ回
路接続例を示す。第３図は第２図に於けるブリツ
ジ出力電圧V1とダイヤフラムに印加される圧力
Ｐとの関係を周囲温度Ｔをパラメーターとして示
したもので縦軸は出力電圧を、横軸は圧力を示
す。第４図は、第２図に於ける感温抵抗体間の電
圧V2の温度特性を示し、縦軸は電圧を、横軸は
温度を示す。第５図、第６図及び第７図は本発明
の歪センサの他の実施例のブリツジ回路接続例を
それぞれ示す。第８図は従来の歪センサの一例を
示す要部の断面図である。第９図及び第１０図は
従来の歪センサのブリツジ回路接続例を示す。 ３，５，１１，１２，２１，２２，３１，３２
……感歪半導体抵抗、２５，３５……感温抵抗
体、４１，４２，４５，４６……定電圧電源部、
４３，４４……定電流電源部。
面図を示す。第２図は第１図に於けるブリツジ回
路接続例を示す。第３図は第２図に於けるブリツ
ジ出力電圧V1とダイヤフラムに印加される圧力
Ｐとの関係を周囲温度Ｔをパラメーターとして示
したもので縦軸は出力電圧を、横軸は圧力を示
す。第４図は、第２図に於ける感温抵抗体間の電
圧V2の温度特性を示し、縦軸は電圧を、横軸は
温度を示す。第５図、第６図及び第７図は本発明
の歪センサの他の実施例のブリツジ回路接続例を
それぞれ示す。第８図は従来の歪センサの一例を
示す要部の断面図である。第９図及び第１０図は
従来の歪センサのブリツジ回路接続例を示す。 ３，５，１１，１２，２１，２２，３１，３２
……感歪半導体抵抗、２５，３５……感温抵抗
体、４１，４２，４５，４６……定電圧電源部、
４３，４４……定電流電源部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 感歪半導体抵抗がダイヤフラム上にブリツジ
回路接続され、ブリツジ出力端の一方に直列する
２ケの該感歪半導体抵抗の中点と電気接続され、
ブリツジ出力電圧零点が温度補償され、ダイヤフ
ラム上の歪を受けない部分に感歪半導体抵抗と同
一材料からなる感温度抵抗体２５，３５を設けた
歪センサに於いて、該感温度抵抗体がブリツジ入
力端部に直列接続して定電流源に接続するか、又
は該感温抵抗体と金属抵抗体３６，３８との直列
回路をブリツジ入力端部に並列接続して定電圧源
に接続し、ブリツジ出力電圧V1と該感温度抵抗
体の電圧（V2）を計測して比較の上、温度補正
された圧力を検出することを特徴とする歪セン
サ。 ２ 上記感温抵抗体は、これと直列２６，３８又
は並列２７，３９に金属抵抗体を接続してなるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の歪セ
ンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11573084A JPS60259922A (ja) | 1984-06-05 | 1984-06-05 | 歪センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11573084A JPS60259922A (ja) | 1984-06-05 | 1984-06-05 | 歪センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60259922A JPS60259922A (ja) | 1985-12-23 |
| JPH0546488B2 true JPH0546488B2 (ja) | 1993-07-14 |
Family
ID=14669677
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11573084A Granted JPS60259922A (ja) | 1984-06-05 | 1984-06-05 | 歪センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60259922A (ja) |
Cited By (39)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0728679U (ja) * | 1993-11-11 | 1995-05-30 | セーラー万年筆株式会社 | ノック式筆記具 |
| US8979815B2 (en) | 2012-12-10 | 2015-03-17 | The Procter & Gamble Company | Absorbent articles with channels |
| US9060904B2 (en) | 2007-06-18 | 2015-06-23 | The Procter & Gamble Company | Disposable absorbent article with sealed absorbent core with substantially continuously distributed absorbent particulate polymer material |
| US9066838B2 (en) | 2011-06-10 | 2015-06-30 | The Procter & Gamble Company | Disposable diaper having reduced absorbent core to backsheet gluing |
| US9072634B2 (en) | 2007-06-18 | 2015-07-07 | The Procter & Gamble Company | Disposable absorbent article with substantially continuously distributed absorbent particulate polymer material and method |
| US9216116B2 (en) | 2012-12-10 | 2015-12-22 | The Procter & Gamble Company | Absorbent articles with channels |
| US9216118B2 (en) | 2012-12-10 | 2015-12-22 | The Procter & Gamble Company | Absorbent articles with channels and/or pockets |
| US9326896B2 (en) | 2008-04-29 | 2016-05-03 | The Procter & Gamble Company | Process for making an absorbent core with strain resistant core cover |
| US9340363B2 (en) | 2009-12-02 | 2016-05-17 | The Procter & Gamble Company | Apparatus and method for transferring particulate material |
| US9375358B2 (en) | 2012-12-10 | 2016-06-28 | The Procter & Gamble Company | Absorbent article with high absorbent material content |
| US9468566B2 (en) | 2011-06-10 | 2016-10-18 | The Procter & Gamble Company | Absorbent structure for absorbent articles |
| US9492328B2 (en) | 2011-06-10 | 2016-11-15 | The Procter & Gamble Company | Method and apparatus for making absorbent structures with absorbent material |
| US9532910B2 (en) | 2012-11-13 | 2017-01-03 | The Procter & Gamble Company | Absorbent articles with channels and signals |
| US9668926B2 (en) | 2011-06-10 | 2017-06-06 | The Procter & Gamble Company | Method and apparatus for making absorbent structures with absorbent material |
| US9713556B2 (en) | 2012-12-10 | 2017-07-25 | The Procter & Gamble Company | Absorbent core with high superabsorbent material content |
| US9713557B2 (en) | 2012-12-10 | 2017-07-25 | The Procter & Gamble Company | Absorbent article with high absorbent material content |
| US9763835B2 (en) | 2003-02-12 | 2017-09-19 | The Procter & Gamble Company | Comfortable diaper |
| US9789009B2 (en) | 2013-12-19 | 2017-10-17 | The Procter & Gamble Company | Absorbent articles having channel-forming areas and wetness indicator |
| US9789011B2 (en) | 2013-08-27 | 2017-10-17 | The Procter & Gamble Company | Absorbent articles with channels |
| US9974699B2 (en) | 2011-06-10 | 2018-05-22 | The Procter & Gamble Company | Absorbent core for disposable absorbent articles |
| US9987176B2 (en) | 2013-08-27 | 2018-06-05 | The Procter & Gamble Company | Absorbent articles with channels |
| US10071002B2 (en) | 2013-06-14 | 2018-09-11 | The Procter & Gamble Company | Absorbent article and absorbent core forming channels when wet |
| US10130527B2 (en) | 2013-09-19 | 2018-11-20 | The Procter & Gamble Company | Absorbent cores having material free areas |
| US10137039B2 (en) | 2013-12-19 | 2018-11-27 | The Procter & Gamble Company | Absorbent cores having channel-forming areas and C-wrap seals |
| US10149788B2 (en) | 2011-06-10 | 2018-12-11 | The Procter & Gamble Company | Disposable diapers |
| US10292875B2 (en) | 2013-09-16 | 2019-05-21 | The Procter & Gamble Company | Absorbent articles with channels and signals |
| US10322040B2 (en) | 2015-03-16 | 2019-06-18 | The Procter & Gamble Company | Absorbent articles with improved cores |
| US10470948B2 (en) | 2003-02-12 | 2019-11-12 | The Procter & Gamble Company | Thin and dry diaper |
| US10507144B2 (en) | 2015-03-16 | 2019-12-17 | The Procter & Gamble Company | Absorbent articles with improved strength |
| US10543129B2 (en) | 2015-05-29 | 2020-01-28 | The Procter & Gamble Company | Absorbent articles having channels and wetness indicator |
| US10561546B2 (en) | 2011-06-10 | 2020-02-18 | The Procter & Gamble Company | Absorbent structure for absorbent articles |
| US10632029B2 (en) | 2015-11-16 | 2020-04-28 | The Procter & Gamble Company | Absorbent cores having material free areas |
| US10639215B2 (en) | 2012-12-10 | 2020-05-05 | The Procter & Gamble Company | Absorbent articles with channels and/or pockets |
| US10736795B2 (en) | 2015-05-12 | 2020-08-11 | The Procter & Gamble Company | Absorbent article with improved core-to-backsheet adhesive |
| US10842690B2 (en) | 2016-04-29 | 2020-11-24 | The Procter & Gamble Company | Absorbent core with profiled distribution of absorbent material |
| US11090199B2 (en) | 2014-02-11 | 2021-08-17 | The Procter & Gamble Company | Method and apparatus for making an absorbent structure comprising channels |
| US11123240B2 (en) | 2016-04-29 | 2021-09-21 | The Procter & Gamble Company | Absorbent core with transversal folding lines |
| US11207220B2 (en) | 2013-09-16 | 2021-12-28 | The Procter & Gamble Company | Absorbent articles with channels and signals |
| US11510829B2 (en) | 2014-05-27 | 2022-11-29 | The Procter & Gamble Company | Absorbent core with absorbent material pattern |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5158442B2 (ja) | 2009-02-27 | 2013-03-06 | 三菱電機株式会社 | 半導体圧力センサおよびその製造方法 |
| JP5278114B2 (ja) * | 2009-03-31 | 2013-09-04 | 株式会社デンソー | センサ装置 |
| JP6341119B2 (ja) * | 2015-03-03 | 2018-06-13 | 株式会社デンソー | センサ駆動装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5647484B2 (ja) * | 1973-03-15 | 1981-11-10 | ||
| JPS5245377A (en) * | 1975-10-08 | 1977-04-09 | Hitachi Ltd | Silicon mechanical-electrical converter |
| JPS5941134B2 (ja) * | 1980-04-15 | 1984-10-04 | 富士電機株式会社 | 圧力変換器 |
-
1984
- 1984-06-05 JP JP11573084A patent/JPS60259922A/ja active Granted
Cited By (73)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0728679U (ja) * | 1993-11-11 | 1995-05-30 | セーラー万年筆株式会社 | ノック式筆記具 |
| US11135096B2 (en) | 2003-02-12 | 2021-10-05 | The Procter & Gamble Company | Comfortable diaper |
| US11793682B2 (en) | 2003-02-12 | 2023-10-24 | The Procter & Gamble Company | Thin and dry diaper |
| US10470948B2 (en) | 2003-02-12 | 2019-11-12 | The Procter & Gamble Company | Thin and dry diaper |
| US10660800B2 (en) | 2003-02-12 | 2020-05-26 | The Procter & Gamble Company | Comfortable diaper |
| US9763835B2 (en) | 2003-02-12 | 2017-09-19 | The Procter & Gamble Company | Comfortable diaper |
| US11234868B2 (en) | 2003-02-12 | 2022-02-01 | The Procter & Gamble Company | Comfortable diaper |
| US9060904B2 (en) | 2007-06-18 | 2015-06-23 | The Procter & Gamble Company | Disposable absorbent article with sealed absorbent core with substantially continuously distributed absorbent particulate polymer material |
| US9072634B2 (en) | 2007-06-18 | 2015-07-07 | The Procter & Gamble Company | Disposable absorbent article with substantially continuously distributed absorbent particulate polymer material and method |
| US9241845B2 (en) | 2007-06-18 | 2016-01-26 | The Procter & Gamble Company | Disposable absorbent article with sealed absorbent core with substantially continuously distributed absorbent particulate polymer material |
| US9326896B2 (en) | 2008-04-29 | 2016-05-03 | The Procter & Gamble Company | Process for making an absorbent core with strain resistant core cover |
| US10004647B2 (en) | 2009-12-02 | 2018-06-26 | The Procter & Gamble Company | Apparatus and method for transferring particulate material |
| US9340363B2 (en) | 2009-12-02 | 2016-05-17 | The Procter & Gamble Company | Apparatus and method for transferring particulate material |
| US9974699B2 (en) | 2011-06-10 | 2018-05-22 | The Procter & Gamble Company | Absorbent core for disposable absorbent articles |
| US9173784B2 (en) | 2011-06-10 | 2015-11-03 | The Procter & Gamble Company | Disposable diaper having reduced absorbent core to backsheet gluing |
| US9649232B2 (en) | 2011-06-10 | 2017-05-16 | The Procter & Gamble Company | Disposable diaper having reduced absorbent core to backsheet gluing |
| US9668926B2 (en) | 2011-06-10 | 2017-06-06 | The Procter & Gamble Company | Method and apparatus for making absorbent structures with absorbent material |
| US9492328B2 (en) | 2011-06-10 | 2016-11-15 | The Procter & Gamble Company | Method and apparatus for making absorbent structures with absorbent material |
| US11135105B2 (en) | 2011-06-10 | 2021-10-05 | The Procter & Gamble Company | Absorbent structure for absorbent articles |
| US11602467B2 (en) | 2011-06-10 | 2023-03-14 | The Procter & Gamble Company | Absorbent structure for absorbent articles |
| US11110011B2 (en) | 2011-06-10 | 2021-09-07 | The Procter & Gamble Company | Absorbent structure for absorbent articles |
| US9468566B2 (en) | 2011-06-10 | 2016-10-18 | The Procter & Gamble Company | Absorbent structure for absorbent articles |
| US9066838B2 (en) | 2011-06-10 | 2015-06-30 | The Procter & Gamble Company | Disposable diaper having reduced absorbent core to backsheet gluing |
| US10813794B2 (en) | 2011-06-10 | 2020-10-27 | The Procter & Gamble Company | Method and apparatus for making absorbent structures with absorbent material |
| US10245188B2 (en) | 2011-06-10 | 2019-04-02 | The Procter & Gamble Company | Method and apparatus for making absorbent structures with absorbent material |
| US10893987B2 (en) | 2011-06-10 | 2021-01-19 | The Procter & Gamble Company | Disposable diapers with main channels and secondary channels |
| US11000422B2 (en) | 2011-06-10 | 2021-05-11 | The Procter & Gamble Company | Method and apparatus for making absorbent structures with absorbent material |
| US10561546B2 (en) | 2011-06-10 | 2020-02-18 | The Procter & Gamble Company | Absorbent structure for absorbent articles |
| US10130525B2 (en) | 2011-06-10 | 2018-11-20 | The Procter & Gamble Company | Absorbent structure for absorbent articles |
| US10517777B2 (en) | 2011-06-10 | 2019-12-31 | The Procter & Gamble Company | Disposable diaper having first and second absorbent structures and channels |
| US10149788B2 (en) | 2011-06-10 | 2018-12-11 | The Procter & Gamble Company | Disposable diapers |
| US10449097B2 (en) | 2012-11-13 | 2019-10-22 | The Procter & Gamble Company | Absorbent articles with channels and signals |
| US9532910B2 (en) | 2012-11-13 | 2017-01-03 | The Procter & Gamble Company | Absorbent articles with channels and signals |
| US9713556B2 (en) | 2012-12-10 | 2017-07-25 | The Procter & Gamble Company | Absorbent core with high superabsorbent material content |
| US10022280B2 (en) | 2012-12-10 | 2018-07-17 | The Procter & Gamble Company | Absorbent article with high absorbent material content |
| US12274609B2 (en) | 2012-12-10 | 2025-04-15 | The Procter & Gamble Company | Absorbent article with high absorbent material content |
| US12016761B2 (en) | 2012-12-10 | 2024-06-25 | The Procter & Gamble Company | Absorbent article with high absorbent material content |
| US8979815B2 (en) | 2012-12-10 | 2015-03-17 | The Procter & Gamble Company | Absorbent articles with channels |
| US9216116B2 (en) | 2012-12-10 | 2015-12-22 | The Procter & Gamble Company | Absorbent articles with channels |
| US9216118B2 (en) | 2012-12-10 | 2015-12-22 | The Procter & Gamble Company | Absorbent articles with channels and/or pockets |
| US9375358B2 (en) | 2012-12-10 | 2016-06-28 | The Procter & Gamble Company | Absorbent article with high absorbent material content |
| US9713557B2 (en) | 2012-12-10 | 2017-07-25 | The Procter & Gamble Company | Absorbent article with high absorbent material content |
| US10639215B2 (en) | 2012-12-10 | 2020-05-05 | The Procter & Gamble Company | Absorbent articles with channels and/or pockets |
| US10071002B2 (en) | 2013-06-14 | 2018-09-11 | The Procter & Gamble Company | Absorbent article and absorbent core forming channels when wet |
| US10736794B2 (en) | 2013-08-27 | 2020-08-11 | The Procter & Gamble Company | Absorbent articles with channels |
| US10765567B2 (en) | 2013-08-27 | 2020-09-08 | The Procter & Gamble Company | Absorbent articles with channels |
| US10335324B2 (en) | 2013-08-27 | 2019-07-02 | The Procter & Gamble Company | Absorbent articles with channels |
| US11612523B2 (en) | 2013-08-27 | 2023-03-28 | The Procter & Gamble Company | Absorbent articles with channels |
| US11406544B2 (en) | 2013-08-27 | 2022-08-09 | The Procter & Gamble Company | Absorbent articles with channels |
| US9987176B2 (en) | 2013-08-27 | 2018-06-05 | The Procter & Gamble Company | Absorbent articles with channels |
| US9789011B2 (en) | 2013-08-27 | 2017-10-17 | The Procter & Gamble Company | Absorbent articles with channels |
| US11207220B2 (en) | 2013-09-16 | 2021-12-28 | The Procter & Gamble Company | Absorbent articles with channels and signals |
| US10292875B2 (en) | 2013-09-16 | 2019-05-21 | The Procter & Gamble Company | Absorbent articles with channels and signals |
| US11154437B2 (en) | 2013-09-19 | 2021-10-26 | The Procter & Gamble Company | Absorbent cores having material free areas |
| US10130527B2 (en) | 2013-09-19 | 2018-11-20 | The Procter & Gamble Company | Absorbent cores having material free areas |
| US12558274B2 (en) | 2013-09-19 | 2026-02-24 | The Procter & Gamble Company | Absorbent cores having material free areas |
| US10828206B2 (en) | 2013-12-19 | 2020-11-10 | Procter & Gamble Company | Absorbent articles having channel-forming areas and wetness indicator |
| US10137039B2 (en) | 2013-12-19 | 2018-11-27 | The Procter & Gamble Company | Absorbent cores having channel-forming areas and C-wrap seals |
| US10675187B2 (en) | 2013-12-19 | 2020-06-09 | The Procter & Gamble Company | Absorbent articles having channel-forming areas and wetness indicator |
| US11191679B2 (en) | 2013-12-19 | 2021-12-07 | The Procter & Gamble Company | Absorbent articles having channel-forming areas and wetness indicator |
| US9789009B2 (en) | 2013-12-19 | 2017-10-17 | The Procter & Gamble Company | Absorbent articles having channel-forming areas and wetness indicator |
| US11090199B2 (en) | 2014-02-11 | 2021-08-17 | The Procter & Gamble Company | Method and apparatus for making an absorbent structure comprising channels |
| US11510829B2 (en) | 2014-05-27 | 2022-11-29 | The Procter & Gamble Company | Absorbent core with absorbent material pattern |
| US10322040B2 (en) | 2015-03-16 | 2019-06-18 | The Procter & Gamble Company | Absorbent articles with improved cores |
| US10507144B2 (en) | 2015-03-16 | 2019-12-17 | The Procter & Gamble Company | Absorbent articles with improved strength |
| US10736795B2 (en) | 2015-05-12 | 2020-08-11 | The Procter & Gamble Company | Absorbent article with improved core-to-backsheet adhesive |
| US11918445B2 (en) | 2015-05-12 | 2024-03-05 | The Procter & Gamble Company | Absorbent article with improved core-to-backsheet adhesive |
| US11497657B2 (en) | 2015-05-29 | 2022-11-15 | The Procter & Gamble Company | Absorbent articles having channels and wetness indicator |
| US10543129B2 (en) | 2015-05-29 | 2020-01-28 | The Procter & Gamble Company | Absorbent articles having channels and wetness indicator |
| US10632029B2 (en) | 2015-11-16 | 2020-04-28 | The Procter & Gamble Company | Absorbent cores having material free areas |
| US10842690B2 (en) | 2016-04-29 | 2020-11-24 | The Procter & Gamble Company | Absorbent core with profiled distribution of absorbent material |
| US12472111B2 (en) | 2016-04-29 | 2025-11-18 | The Procter & Gamble Company | Absorbent core with profiled distribution of absorbent material |
| US11123240B2 (en) | 2016-04-29 | 2021-09-21 | The Procter & Gamble Company | Absorbent core with transversal folding lines |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60259922A (ja) | 1985-12-23 |
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