JPH0546785B2 - - Google Patents
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- JPH0546785B2 JPH0546785B2 JP86122431A JP12243186A JPH0546785B2 JP H0546785 B2 JPH0546785 B2 JP H0546785B2 JP 86122431 A JP86122431 A JP 86122431A JP 12243186 A JP12243186 A JP 12243186A JP H0546785 B2 JPH0546785 B2 JP H0546785B2
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- Japan
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- phase
- stator
- protrusions
- electromagnets
- lattice
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
- H02K41/031—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors of the permanent magnet type
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
- G06K—GRAPHICAL DATA READING; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
- G06K15/00—Arrangements for producing a permanent visual presentation of the output data, e.g. computer output printers
- G06K15/22—Arrangements for producing a permanent visual presentation of the output data, e.g. computer output printers using plotters
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K2201/00—Specific aspects not provided for in the other groups of this subclass relating to the magnetic circuits
- H02K2201/18—Machines moving with multiple degrees of freedom
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Linear Motors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、相電磁石を一次元ではなく、二次元
に配置する直接形サーフエイスパルスモータに関
する。
に配置する直接形サーフエイスパルスモータに関
する。
半導体製造設備に用いられるXYステージ、
OA機器、周辺機器のXYプロツタ、スキヤナー、
自動製図機などに、サーフエイスパルスモータの
需要が増加している。
OA機器、周辺機器のXYプロツタ、スキヤナー、
自動製図機などに、サーフエイスパルスモータの
需要が増加している。
たとえば可変磁気抵抗（Variable reluctance）
形、ハイブリド（HB）形リニアパルスモータを
Ｘ軸とＹ軸に配置したザイネテイツクス
（Xeinetix）社の面パルスモータが実用されてい
る。
形、ハイブリド（HB）形リニアパルスモータを
Ｘ軸とＹ軸に配置したザイネテイツクス
（Xeinetix）社の面パルスモータが実用されてい
る。
それらの一つには、２つの部材間の単一の軸に
沿つた相対運動を制御するための装置（特公昭49
−41602号）があり、これは可変磁気抵抗形３相
リニアパルスモータをＸ軸に２台とＹ軸に２台で
計４台より成る装置である。二つには、特定の１
つの軸に沿つた出力部材の移動を制御する装置
（特公昭52−7962号）があり、それはハイブリツ
ド形２相リニアパルスモータをＸ軸に２台とＹ軸
に２台と計４台より成る装置である。
沿つた相対運動を制御するための装置（特公昭49
−41602号）があり、これは可変磁気抵抗形３相
リニアパルスモータをＸ軸に２台とＹ軸に２台で
計４台より成る装置である。二つには、特定の１
つの軸に沿つた出力部材の移動を制御する装置
（特公昭52−7962号）があり、それはハイブリツ
ド形２相リニアパルスモータをＸ軸に２台とＹ軸
に２台と計４台より成る装置である。
ところが、これらの面パルスモータや、Ｘ軸、
Ｙ軸にリニアパルスモータを搭載したヒユーレツ
トパツカード（商社名）のXYプロツタのよう
に、構造が複雑で高価なものしかなく、あまり用
いられていない。
Ｙ軸にリニアパルスモータを搭載したヒユーレツ
トパツカード（商社名）のXYプロツタのよう
に、構造が複雑で高価なものしかなく、あまり用
いられていない。
ここにおいて本発明は、従来例の難点を克服
し、多相可変磁気抵抗形パルスモータ１台で、
XYステージ、XYプロツタ等を実現するサーフ
エイスパルスモータを提供することを、その目的
とする。
し、多相可変磁気抵抗形パルスモータ１台で、
XYステージ、XYプロツタ等を実現するサーフ
エイスパルスモータを提供することを、その目的
とする。
本発明は、
相電磁石を一次元ではなく二次元に配置する直
接形サーフエイスモータで、正方格子の場合５相
可変磁気抵抗形、三角格子の場合７相可変磁気抵
抗形が可能であり、１相のみの励磁でＸ方向、Ｙ
方向とも拘束されるので２次元上の１点に保持さ
れ、パルスをＸ軸、Ｙ軸に分配する必要がなく１
台分の相順を決めれば良く、１点の保持力を方向
によらず一定の剛性にでき、マイクロステツピン
グによつて高い分解能がだせるサーフエイスパル
スモータである。
接形サーフエイスモータで、正方格子の場合５相
可変磁気抵抗形、三角格子の場合７相可変磁気抵
抗形が可能であり、１相のみの励磁でＸ方向、Ｙ
方向とも拘束されるので２次元上の１点に保持さ
れ、パルスをＸ軸、Ｙ軸に分配する必要がなく１
台分の相順を決めれば良く、１点の保持力を方向
によらず一定の剛性にでき、マイクロステツピン
グによつて高い分解能がだせるサーフエイスパル
スモータである。
本発明は、固定子の正方格子あるいは三角格子
の交差点に設けた磁性体突起と同じピツチで、可
動子を形成する５相あるいは７相の集中巻電磁石
の固定子への対向磁極表面に固定子と同じピツチ
で複数個の磁性体の歯をそなえ、それらの歯を相
順よく励磁することで、可動子を駆動させる。
の交差点に設けた磁性体突起と同じピツチで、可
動子を形成する５相あるいは７相の集中巻電磁石
の固定子への対向磁極表面に固定子と同じピツチ
で複数個の磁性体の歯をそなえ、それらの歯を相
順よく励磁することで、可動子を駆動させる。
以下、本発明の実施例を第１図乃至第５ａ図に
基き説明する。
基き説明する。
第１図は本発明の実施例の要部を表わす斜視図
である。第２図は、第１図における可動子２０を
構成する５個の電磁石２１のうちの１個を取り出
し、その固定子対向面を示した斜視図である。第
３図は固定子および可動子のそれぞれがそなえる
格子の形態を表わす部分平面図である。
である。第２図は、第１図における可動子２０を
構成する５個の電磁石２１のうちの１個を取り出
し、その固定子対向面を示した斜視図である。第
３図は固定子および可動子のそれぞれがそなえる
格子の形態を表わす部分平面図である。
これらの図において、固定子１０は平板上の磁
性体、表面には正方格子（以下、適宜、基準格子
１０１と称する。）が切つてあり、この格子点
（基準格子１０１の交差点）には磁性体の突起
（歯）１０２Ｓが設けられており、１０３は突起
１０２Ｓ相互間に形成される凹地である。
性体、表面には正方格子（以下、適宜、基準格子
１０１と称する。）が切つてあり、この格子点
（基準格子１０１の交差点）には磁性体の突起
（歯）１０２Ｓが設けられており、１０３は突起
１０２Ｓ相互間に形成される凹地である。
可動子２０は５個の各相用集中巻電磁石２１よ
り成り、各電磁石２１の固定子１０に相対する磁
極（表）面２１３には、固定子１０の正方格子と
同じピツチλで磁性体の突起（歯）１０２ｍが設
けられ、コア２１１にはコイル２１２が巻装され
た単純な形態である。
り成り、各電磁石２１の固定子１０に相対する磁
極（表）面２１３には、固定子１０の正方格子と
同じピツチλで磁性体の突起（歯）１０２ｍが設
けられ、コア２１１にはコイル２１２が巻装され
た単純な形態である。
１、２、３、４、５の各相の電磁石２１が固定
子１０の磁性板に磁極面を対向させて、僅かな空
〓を介し、適宜な支持案内手段を構じて支持され
る。
子１０の磁性板に磁極面を対向させて、僅かな空
〓を介し、適宜な支持案内手段を構じて支持され
る。
各相１〜５の電磁石２１は、第４図に示すよう
に、第１相を中心にした略十字形となるように配
置されている。そして、各相１〜５の電磁石２１
の相対位置を、基準格子１０１に対し角度tan-1
（1/2）＝26.565°だけ回転した直交座標系（Ｘ、
Ｙ：移動座標１００）において、第１相１に対
し、それぞれ第２層２は＋Ｘ方向、第３相３は＋
Ｙ方向、第４相４は−Ｘ方向、第５相５は−Ｙ方
向にみな格子ピツチのλ／√５だけ離間されて配
置されている（第４図では、突起１０２Ｓに対す
る突起１０２ｍのずれとして表わしてある。）。ま
た、可動子２０は固定子１０に対し、一定の空〓
をもつて対向支持され、Ｘ方向、Ｙ方向に移動で
きるようにされた構造を有する。
に、第１相を中心にした略十字形となるように配
置されている。そして、各相１〜５の電磁石２１
の相対位置を、基準格子１０１に対し角度tan-1
（1/2）＝26.565°だけ回転した直交座標系（Ｘ、
Ｙ：移動座標１００）において、第１相１に対
し、それぞれ第２層２は＋Ｘ方向、第３相３は＋
Ｙ方向、第４相４は−Ｘ方向、第５相５は−Ｙ方
向にみな格子ピツチのλ／√５だけ離間されて配
置されている（第４図では、突起１０２Ｓに対す
る突起１０２ｍのずれとして表わしてある。）。ま
た、可動子２０は固定子１０に対し、一定の空〓
をもつて対向支持され、Ｘ方向、Ｙ方向に移動で
きるようにされた構造を有する。
つぎに、実施例の動作を説明する。電磁石２１
を励磁すると、可動子２０の突起１０２ｍが固定
子２０の突起１０２Ｓと一致する方向に吸引力が
動く。
を励磁すると、可動子２０の突起１０２ｍが固定
子２０の突起１０２Ｓと一致する方向に吸引力が
動く。
第４図では、固定子２０の突起１０２Ｓと可動
子電磁石２１の第１相１の突起１０２ｍが一致し
ているが、ここで、電磁石２１の第２相２を励磁
すると、可動子２０は左に１ステツプ（λ／ √５）だけ移動する。
子電磁石２１の第１相１の突起１０２ｍが一致し
ているが、ここで、電磁石２１の第２相２を励磁
すると、可動子２０は左に１ステツプ（λ／ √５）だけ移動する。
その電磁石２１への励磁が、第３相３なら下
方、第４相４なら右方、第５相５なら上方へ、そ
れぞれ１ステツプずつ、すなわちλ／√５ずつ可
動子２０が移動する。
方、第４相４なら右方、第５相５なら上方へ、そ
れぞれ１ステツプずつ、すなわちλ／√５ずつ可
動子２０が移動する。
このようにして、第１相１からはじめて、上
下、左右どちらの方向へも１ステツプずつ移動す
ることができる。すなわち、１→２→３→５→
４，→１……と順次励磁していけば、左方へ可動
子２０はいくらでも移動して行く。１→５→２→
４→３，→１……とすれば上方に動く。同様に、
斜め方向などあらゆる方向へ動かすことができ
る。なお、上記した励磁の順序で可動子２０が何
故左方あるいは上方へ動くのかについては第４図
だけでは明らかではないが、１ステツプずつ移動
した後の各相の突起の状態をその都度図示してみ
れば明らかとなる。
下、左右どちらの方向へも１ステツプずつ移動す
ることができる。すなわち、１→２→３→５→
４，→１……と順次励磁していけば、左方へ可動
子２０はいくらでも移動して行く。１→５→２→
４→３，→１……とすれば上方に動く。同様に、
斜め方向などあらゆる方向へ動かすことができ
る。なお、上記した励磁の順序で可動子２０が何
故左方あるいは上方へ動くのかについては第４図
だけでは明らかではないが、１ステツプずつ移動
した後の各相の突起の状態をその都度図示してみ
れば明らかとなる。
第５図は本発明の他の実施例における説明図で
ある。
ある。
すべての図面において同一符号は同一もしくは
相当部分を示す。
相当部分を示す。
この他の実施例は、基準格子１０１を三角格子
とした場合に適用した７相可変磁気抵抗形サーフ
エイスパルスモータである。なお、可動子２０の
各相電磁石２１の中心を１個のマルで代表させて
示してある。
とした場合に適用した７相可変磁気抵抗形サーフ
エイスパルスモータである。なお、可動子２０の
各相電磁石２１の中心を１個のマルで代表させて
示してある。
ここで少し詳しい説明をつけ加える。
第５ａ図はこの三角格子７相サーフエイスパル
スモータの動作説明図である。
スモータの動作説明図である。
固定子１０における固定子突起１０２ａとその
次の固定突起１０２ｂの間隔（ピツチ）をλと
し、可動子２０の突起が１パルスで501→502→
503……と１ステツプずつ動く、その１ステツプ
移動の長さをＸとすれば、 λ＝√［（５２）］2＋［（√３２）］2 ＝Ｘ√７ したがつて、Ｘ＝λ／√７＝0.378λとなる。な
お、固定子１０の格子１０１に対する可動子１０
の移動方向であるθは θ＝tan-1（√３／５）＝19.1066°である。
次の固定突起１０２ｂの間隔（ピツチ）をλと
し、可動子２０の突起が１パルスで501→502→
503……と１ステツプずつ動く、その１ステツプ
移動の長さをＸとすれば、 λ＝√［（５２）］2＋［（√３２）］2 ＝Ｘ√７ したがつて、Ｘ＝λ／√７＝0.378λとなる。な
お、固定子１０の格子１０１に対する可動子１０
の移動方向であるθは θ＝tan-1（√３／５）＝19.1066°である。
各相１〜７の電磁石２１は、第１相を中心とす
る六面形になるように配置してある。そして、７
相モータでは各相１〜７の電磁石２１の相対位置
を、基準格子１０１に対し、角度tan-1（√３／
５）だけ回転した三角格子座標系（：移動座標１
００）において、第１相に対しそれぞれ第２相は
0°方向、第３相は60°方向、第４相は120°方向、第
５相は180°方向、第６相は240°方向、第７相は
300°方向にみな格子ピツチの１／√７だけ離間さ
せて配置してある。
る六面形になるように配置してある。そして、７
相モータでは各相１〜７の電磁石２１の相対位置
を、基準格子１０１に対し、角度tan-1（√３／
５）だけ回転した三角格子座標系（：移動座標１
００）において、第１相に対しそれぞれ第２相は
0°方向、第３相は60°方向、第４相は120°方向、第
５相は180°方向、第６相は240°方向、第７相は
300°方向にみな格子ピツチの１／√７だけ離間さ
せて配置してある。
さらに、各相１〜７の電磁石２１における移動
座標１００の原点（交差点）から、右下へ行く方
向を＋Ｘ方向（その逆方向を−Ｘ方向）、右上へ
行く方向を＋Ｙ方向（その逆方向を−Ｙ方向）、
上へ行く方向を＋Ｚ方向（下へ行く方向が−Ｚ方
向）としている。
座標１００の原点（交差点）から、右下へ行く方
向を＋Ｘ方向（その逆方向を−Ｘ方向）、右上へ
行く方向を＋Ｙ方向（その逆方向を−Ｙ方向）、
上へ行く方向を＋Ｚ方向（下へ行く方向が−Ｚ方
向）としている。
しかして、本発明の別の実施例として次の手段
が考えられる。
が考えられる。
(a) 電磁石２１を固定子とし、格子１０１付磁性
板を可動子とすることもできる。
板を可動子とすることもできる。
(b) 同時２相励磁、マイクロステツピング、相順
を予め決めた閉ループ制御運転など、リニアパ
ルスモータと同様な制御ができる。
を予め決めた閉ループ制御運転など、リニアパ
ルスモータと同様な制御ができる。
(c) 歯の断面形状を選ぶことによつて、Ｘ方向、
Ｙ方向の保持剛性を自由に設定できる。丸とす
ると、あらゆる方向の剛性が一定になる。
Ｙ方向の保持剛性を自由に設定できる。丸とす
ると、あらゆる方向の剛性が一定になる。
かくして本発明によれば、
(あ) 相数と同一の電磁石を所定ピツチだけずら
して配置しているので、少ない電磁石数で多相
可変磁気抵抗型サーフエイスパルスモータを構
成することができる。
して配置しているので、少ない電磁石数で多相
可変磁気抵抗型サーフエイスパルスモータを構
成することができる。
(い) 歯形の設定によるが、リニアパルスモータ
より保持力が大きい構造である。保持力剛性を
自由に設定できる。
より保持力が大きい構造である。保持力剛性を
自由に設定できる。
(う) パルス分配がＸモータとＹモータに分配す
る必要がないので容易であり、方向と相順が対
応するのでロジツクが単純になる。
る必要がないので容易であり、方向と相順が対
応するのでロジツクが単純になる。
(え) 多相励磁の自由度が多い。マイクロテスツ
ピングにより、大きな分配能が得られる。
ピングにより、大きな分配能が得られる。
したがつて、本発明は当該分野に寄与するとこ
ろ著しい。
ろ著しい。
第１図は本発明の一実施例における要部の構成
を表わす斜視図、第２図は可動子の１つの電磁石
の斜視図、第３図は固定子、可動子の対向面の一
部を示す平面図、第４図はその動作説明図、第５
図および第５ａ図は本発明の他の実施例の説明図
である。 １〜５……第１相〜第５相の電磁石磁性面
（歯）、６，７……７相のときの第６相、第７相の
電磁石磁性面（歯）、１０……固定子で１０１は
格子、１０２は突起をなし１０３は突起により生
じた凹地、２０……可動子、２１……電磁石で２
１１はコア、２１２はコイル、２１３は磁極面。
を表わす斜視図、第２図は可動子の１つの電磁石
の斜視図、第３図は固定子、可動子の対向面の一
部を示す平面図、第４図はその動作説明図、第５
図および第５ａ図は本発明の他の実施例の説明図
である。 １〜５……第１相〜第５相の電磁石磁性面
（歯）、６，７……７相のときの第６相、第７相の
電磁石磁性面（歯）、１０……固定子で１０１は
格子、１０２は突起をなし１０３は突起により生
じた凹地、２０……可動子、２１……電磁石で２
１１はコア、２１２はコイル、２１３は磁極面。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 表面に突起を有する強磁性体コアに励磁巻線
を設けた可動子を、正方格子状に歯切りした突起
を有する平板状の磁性体よりなる固定子に対し、
一定の空〓をもつて対向支持させ、Ｘ方向、Ｙ方
向に移動できるようにしたサーフエイスパルスモ
ータにおいて、 前記可動子を、５相の集中巻電磁石により形成
すると共に、前記固定子と対向するこれら各相の
電磁石の磁極表面に、磁性体の突起を、前記固定
子表面に設けた正方格子状の突起と同一ピツチで
設け、 しかも、前記正方格子に対し角度tan-1（1/2）
だけ回転したＸ、Ｙ直交座標系における各相電磁
石の相対的位置を、第１相の電磁石中心に対して
第２相、第３相、第４相、第５相の電磁石が、そ
れぞれ＋Ｘ方向、＋Ｙ方向、−Ｘ方向、−Ｙ方向へ、
前記正方格子のピツチの１／√５の長さだけ離間
するように、各相電磁石の中心を配置したことを
特徴とするサーフエイスパルスモータ。 ２ 表面に突起を有する強磁性体コアに励磁巻線
を設けた可動子を、格子状に歯切りした突起を有
する平板状の磁性体よりなる固定子に対し、一定
の空〓をもつて対向支持させ、Ｘ方向、Ｙ方向に
移動できるようにしたサーフエイスパルスモータ
において、 前記固定子に歯切りした格子を三角格子とし、
この格子の交差点に磁性体の突起を設け、 前記可動子を、７相の集中巻電磁石により形成
すると共に、前記固定子と対向するこれら各相の
電磁石の磁極表面に、磁性体の突起を、前記固定
子表面に設けた三角格子状の突起と同一ピツチで
設け、 しかも、前記三角格子に対し角度tan-1（1/2）
だけ回転したＸ、Ｙ、Ｚ斜交座標系における各相
電磁石の相対的位置を、第１相の電磁石中心に対
して第２相、第３相、第４相、第５相、第６相、
第７相の電磁石が、それぞれ＋Ｘ方向、＋Ｙ方向、
＋Ｚ方向、−Ｘ方向、−Ｙ方向、−Ｚ方向へ、前記
三角格子のピツチの１／√７の長さだけ離間する
ように、各相電磁石の中心を配置したことを特徴
とするサーフエイスパルスモータ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60-137018 | 1985-06-25 | ||
| JP13701885 | 1985-06-25 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6289467A JPS6289467A (ja) | 1987-04-23 |
| JPH0546785B2 true JPH0546785B2 (ja) | 1993-07-14 |
Family
ID=15188902
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61122431A Granted JPS6289467A (ja) | 1985-06-25 | 1986-05-28 | サ−フエイスパルスモ−タ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4706007A (ja) |
| EP (1) | EP0207353B1 (ja) |
| JP (1) | JPS6289467A (ja) |
| DE (1) | DE3678045D1 (ja) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB8804991D0 (en) * | 1988-03-02 | 1988-03-30 | Williams Fairey Eng Ltd | Improvements in electric motors |
| US4888481A (en) * | 1988-12-19 | 1989-12-19 | Ncr Corporation | Aligning and protective cover for a motor |
| US5081593A (en) * | 1989-08-16 | 1992-01-14 | Megamation Incorporated | Method and apparatus for monitoring and controlling linear motor robot apparatus and the like |
| JPH03208580A (ja) * | 1989-10-03 | 1991-09-11 | Yaskawa Electric Mfg Co Ltd | 面パルスモータを使用したマニピュレータ |
| US5015622A (en) * | 1989-10-17 | 1991-05-14 | Alfred University | Multidirectional/rotational superconductor motor |
| JPH09168275A (ja) * | 1995-12-15 | 1997-06-24 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 多自由度電動機 |
| WO1999004481A1 (en) * | 1997-07-18 | 1999-01-28 | Nikon Corporation | Exciting unit, linear or planar motor using the unit, stage device using the motor, and aligner using the device |
| US6147421A (en) * | 1998-11-16 | 2000-11-14 | Nikon Corporation | Platform positionable in at least three degrees of freedom by interaction with coils |
| US6208045B1 (en) | 1998-11-16 | 2001-03-27 | Nikon Corporation | Electric motors and positioning devices having moving magnet arrays and six degrees of freedom |
| AT409043B (de) * | 2000-02-07 | 2002-05-27 | Heinz Peter Dipl Brandstetter | Vorrichtung und verfahren zur zweidimensionalen positionsbestimmung |
| US6452292B1 (en) | 2000-06-26 | 2002-09-17 | Nikon Corporation | Planar motor with linear coil arrays |
| US6445093B1 (en) | 2000-06-26 | 2002-09-03 | Nikon Corporation | Planar motor with linear coil arrays |
| JP4702083B2 (ja) * | 2006-02-10 | 2011-06-15 | ウシオ電機株式会社 | ＸＹθ移動ステージ |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3376578A (en) * | 1966-05-31 | 1968-04-02 | Bruce A. Sawyer | Magnetic positioning device |
| US3457482A (en) * | 1967-10-30 | 1969-07-22 | Bruce A Sawyer | Magnetic positioning device |
| US3735231A (en) * | 1971-06-28 | 1973-05-22 | B Sawyer | Linear magnetic drive system |
| JPS52523B2 (ja) * | 1972-05-25 | 1977-01-08 | ||
| JPS58175020A (ja) * | 1982-04-05 | 1983-10-14 | Telmec Co Ltd | 二次元精密位置決め装置 |
| JPS5956888A (ja) * | 1982-09-22 | 1984-04-02 | Tokyo Erekutoron Kk | 二次元駆動装置 |
-
1986
- 1986-05-27 US US06/866,639 patent/US4706007A/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-05-28 JP JP61122431A patent/JPS6289467A/ja active Granted
- 1986-06-16 EP EP86108213A patent/EP0207353B1/en not_active Expired
- 1986-06-16 DE DE8686108213T patent/DE3678045D1/de not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3678045D1 (de) | 1991-04-18 |
| JPS6289467A (ja) | 1987-04-23 |
| EP0207353A1 (en) | 1987-01-07 |
| EP0207353B1 (en) | 1991-03-13 |
| US4706007A (en) | 1987-11-10 |
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