JPH0547732U - ファン・フィルタユニット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 ユニット全体の大型化を極力抑制し、騒音の
小さい静粛なファン・フィルタユニットを提供する。 【構成】 頂壁に吸込口21を、底壁に吹出口22をそれぞ
れ有するケーシング11内に、水平仕切壁23を設けてその
上下に上吹出チャンバ24および下吹出チャンバ25を形成
する。遠心型ファン12を、その上向き羽根車31を吸込口
21に臨ませて上吹出チャンバ24内上部に位置させるよう
に配置する。フィルタ13を、下吹出チャンバ25内上部に
プレナムチャンバ41を形成するように下吹出チャンバ25
内下部に配置する。ケーシング11を、平面より見て羽根
車31の外径より長い長辺をもつ長方形に形成する。仕切
壁23に、平面より見て羽根車31よりそれぞれ外方の位置
で開口した一対の連通口42を形成する。上吹出チャンバ
24内に、羽根車31を挾んでその両側から同じ側の連通口
42までそれぞれのびる一対の垂直断面略逆Ｌ字状風通路
45を形成する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、半導体工場、食品工場のクリーンルーム等で使用されるファン・ フィルタユニットに関する。

【０００２】

【従来の技術】

この種のファン・フィルタユニットとしては、図４に示されているように、頂 壁に吸込口61を、底壁に吹出口62をそれぞれ有するケーシング63内に、水平仕切 壁64が設けられてその上下に上吹出チャンバ65および下吹出チャンバ66が形成さ れ、遠心型ファン67が、その羽根車68を上吹出チャンバ65内上部に位置させるよ うに配置され、フィルタ69が、下吹出チャンバ66内上部にプレナムチャンバ71を 形成するように下吹出チャンバ66内下部に配置され、仕切壁64が一定の開孔率を もつパンチングメタルで形成され、パンチングメタルの孔が連通孔72となされて いるものが知られている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

上記ファン・フィルタユニットでは、連通孔72に風を通過させることにより、 流れの均一化を図ろうとするものであるが、プレナムチャンバ71の大きさに対し て、ファン67から吹出される風の速度が速すぎると、均一化をすることが困難で 、渦流が発生して仕切壁64が振動する等の原因により騒音が発生する。均一化を するには、プレナムチャンバ71を大きくすればよいが、そうすると、ケーシング 63が大きくなってユニット全体が嵩高となるため、好ましくない。

【０００４】 この考案の目的は、ユニット全体の大型化を極力抑制し、騒音の小さい静粛な ファン・フィルタユニットを提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

この考案によるファン・フィルタユニットは、頂壁に吸込口を、底壁に吹出口 をそれぞれ有するケーシング内に、水平仕切壁が設けられてその上下に上吹出チ ャンバおよび下吹出チャンバが形成され、遠心型ファンが、その上向き羽根車を 吸込口に臨ませて上吹出チャンバ内上部に位置させるように配置され、フィルタ が、下吹出チャンバ内上部にプレナムチャンバを形成するように下吹出チャンバ 内下部に配置されているファン・フィルタユニットにおいて、ケーシングが、平 面より見て羽根車の外径より長い長辺をもつ長方形に形成され、仕切壁に、平面 より見て羽根車よりそれぞれ外方の位置で開口した一対の連通口が形成され、上 吹出チャンバ内に、羽根車を挾んでその両側から同じ側の連通口までそれぞれの びる一対の垂直断面略逆Ｌ字状風通路が形成されていることを特徴とするもので ある。

【０００６】

【作用】

この考案によるファン・フィルタユニットでは、ケーシングが、平面より見て 羽根車の外径より長い長辺をもつ長方形に形成され、仕切壁に、平面より見て羽 根車よりそれぞれ外方の位置で開口した一対の連通口が形成され、上吹出チャン バ内に、羽根車を挾んでその両側から同じ側の連通口までそれぞれのびる一対の 垂直断面略逆Ｌ字状風通路が形成されているから、羽根車から送出された風が、 風通路を通じて連通口まで導かれ、連通口からプレナムチャンバに開放されるが 、風通路内の風の流れは、一方向であるため、乱流を伴うことなくスムーズであ る。

【０００７】

【実施例】

この考案の実施例を、図１〜図３を参照してつぎに説明する。

【０００８】 ファン・フィルタユニットは、ケーシング11と、ケーシング11内に収められて いる遠心型ファン12およびフィルタ13とを備えている。

【０００９】 ケーシング11は、平面より見て、前後方向を短辺とし、左右方向を長辺とする 長方形状のものである。短辺の２倍の長さが、ほぼ長辺の長さに等しい。ケーシ ング11の頂壁中央部には、ケーシング11の短辺の長さにほぼ等しい円形の吸込口 21が設けられている。ケーシング11の底壁はそのほぼ全体が開口されて吹出口22 とされている。ケーシング11内には水平仕切壁23が設けられてその上下に上吹出 チャンバ24および下吹出チャンバ25が形成されている。

【００１０】 ファン12は、上向き羽根車31およびモータ32を備えている。羽根車31は、上面 吸込側を吸込口21に臨ませて上吹出チャンバ24内上部に位置させられている。モ ータ32は、ケーシング11の前後側壁に渡し止められた横材33にブラケット34を介 して取付けられている。

【００１１】 フィルタ13は、下吹出チャンバ25の高さの３分の２程度の厚みを有しかつケー シング11内面にほぼ合致する周面を有する板状のものであって、下吹出チャンバ 25の上部にプレナムチャンバ41を形成しかつ吹出口22の全体を被覆するように下 吹出チャンバ25内下部に配置されている。

【００１２】 仕切壁23の左右両端近くには、一対の連通口42が仕切壁23のほぼ左右方向全長 にわたって設けられている。そして、下吹出チャンバ25内の羽根車31の左右両側 には、内外で対をなす風通路形成板43，44が一対ずつ設けられ、これにより、上 吹出チャンバ25内に、羽根車31を挾んでその両側から同じ側の連通口42までそれ ぞれのびる垂直断面略逆Ｌ字状に湾曲した一対の風通路45が形成されている。す なわち、内外の風通路形成板43，44は、ともにパンチングメタルで垂直横断面逆 Ｌ字状に形成されたものであって、風通路45を挾んで相対しかつケーシング11の 内外側壁にまたがるように配置されている。詳しくは、内通路形成板43は、羽根 車31の下端レベルから連通口42の内縁部までのび、外通路形成板44は、羽根車31 の上端レベルから連通口42の外縁部までのびている。また、内通路形成板43の内 縁部には垂下状遮風板46が一体的に設けられている。

【００１３】 内通路形成板43とこれと相対する仕切壁23の間には吸音材47が詰められるとも もに、外通路形成板44とこれと相対するケーシング11の頂壁および側壁の間に吸 音材48が詰められている。さらに、羽根車31下方の仕切壁23上には吸音材49が敷 かれている。

【００１４】 さらに、連通口42の直下には、水平状パンチングメタル製整流板51がフィルタ 13の上面の左右両端近くの部分を被覆するように配置されている。

【００１５】 ファン12の駆動により、吸込口21からケーシング11内に吸込まれた風は、羽根 車31からその半径方向に送出されるが、羽根車31の前後方向には行き場が無いた め、大部分の風は左右の風通路45に分れて導入され、風通路45内を連通口42まで 導かれ、連通口42からプレナムチャンバ41に開放される。風が風通路45内を流れ る際、流れに伴う騒音は、吸音材47，48に吸音されて減衰される。また、風通路 45が湾曲していて比較的長い（例えば同一大きさのケーシング内に形成された直 線状風通路と比較して）ため、同減衰作用が効果的に行われ、風通路45内の流れ が一方向であるため、乱流を伴うことなく風がスムーズに流れる。そして、プレ ナムチャンバ41内に流入した風は、整流板51に衝突し、その一部は整流板51を通 過してそのままフィルタ13に通されるが、残りの風はその流れの方向が内向きに 変えられて、フィルタ13の整流板51で被覆されていない部分を通される。その結 果、フィルタ13の全体をくまなく風が通り抜け、局部的な圧力のばらつきや乱流 を生じる恐れがない。

【００１６】

【考案の効果】

この考案によれば、羽根車から送出された風が、風通路を通じて連通口まで導 かれ、連通口からプレナムチャンバに開放されるが、風通路内の風の流れは、一 方向であるため、乱流を伴うことなくスムーズであるから、ユニット全体の大型 化を極力抑制し、騒音の小さい静粛なファン・フィルタユニットを提供すること ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案によるファン・フィルタユニットの垂
直縦断面図である。

【図２】同ファン・フィルタユニットの垂直横断面図で
ある。

【図３】同ファン・フィルタユニットの破砕断面を含む
平面図である。

【図４】従来のファン・フィルタユニットの垂直縦断面
図である。

【符号の説明】

11 ケーシング 12 ファン 13 フィルタ 21 吸込口 22 吹出口 23 仕切壁 24 上吹出チャンバ 25 下吹出チャンバ 31 羽根車 41 プレナムチャンバ 42 連通口 45 風通路

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 頂壁に吸込口21を、底壁に吹出口22をそ
   れぞれ有するケーシング11内に、水平仕切壁23が設けら
   れてその上下に上吹出チャンバ24および下吹出チャンバ
   25が形成され、遠心型ファン12が、その上向き羽根車31
   を吸込口21に臨ませて上吹出チャンバ24内上部に位置さ
   せるように配置され、フィルタ13が、下吹出チャンバ25
   内上部にプレナムチャンバ41を形成するように下吹出チ
   ャンバ25内下部に配置されているファン・フィルタユニ
   ットにおいて、 ケーシング11が、平面より見て羽根車31の外径より長い
   長辺をもつ長方形に形成され、仕切壁23に、平面より見
   て羽根車31よりそれぞれ外方の位置で開口した一対の連
   通口42が形成され、上吹出チャンバ24内に、羽根車31を
   挾んでその両側から同じ側の連通口42までそれぞれのび
   る一対の垂直断面略逆Ｌ字状風通路45が形成されている
   ことを特徴とするファン・フィルタユニット。