JPH05505236A - 表面取付け型圧電セラミツク式加速度計及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ４、前記ハウジングが境界面に沿って相互に固定されたベース部分と頂部部分と を有し、前記導電手段が前記境界面にあって前記ハウジングの部分の一方により 支持された金属面を含む請求の範囲１の発明。

５、前記ベース部分が前記空洞部に通じる座を定め、前記圧電セラミック梁は、 その前記接触面の対の一方が前記境界面において実質的に前記ベース部分から離 れて配されるようにして前記座に受け入れられる請求の範囲４の発明。

６、前記頂部部分は前記圧電セラミックの梁の一方の接触面と向かい合って前記 境界面に前記金属面を支持する請求の範囲５の発明。

７　前記金属面が前記境界面において前記ハウジングの頂部部分により支持され た金属被覆面により定められる請求の範囲６の発明。

８、前記ハウジングは前記電気接触面を支持しているベース部分、及び中間に前 記圧電セラミックの梁を捕捉するように前記ベース部分と共同作用する頂部部分 を有し、前記ハウジングの前記ベース部分及び前記頂部部分の各が前記圧電セラ ミックの梁の両側に開口している１対の凹所のそれぞれを定め、更に前記凹所の 対が共同作用して前記空洞部を定める請求の範囲１の発明。

９、圧電セラミック式の加速度計にして、下側の取付は面上に定められた横断溝 により１対の接触面領域に分割された下側の取付は面を有する箱形の長方体ベー ス部分、前記加速度計用の１対の電気接触面を定めるように前記接触面領域の各 に支持された金属被覆面、前記ベース部分により定められ各が前記ハウジングの 両側の端面に沿って上方に延びかつ各がその下端において前記ハウジングの接触 面領域の対のそれぞれと交差する１対の垂直方向の溝、下端において前記電気接 触面の対のそれぞれと電気的に接続するように前記垂直溝の対の各の全長を延び ている金属被覆面、前記ベース部分は前記凹所を囲む上向きに置かれた周囲境界 面を定めるように関係の上向きの開口凹所を定め、前記垂直方向溝の一方と交差 して前記ハウジングの端面において前記境界面を横切り前記ベース部分の凹所か ら外向きに開口するように横断して延びる座の溝を有し、箱状にされた直方体ハ ウジング：上面が前記境界面とそろうようにして前記座の溝の中に縁の部分で受 け入れられたバイオモルフ圧電セラミックの梁、前記粱は前記縁の部分において 接触する両側に配された上側と下側の金屑被覆の電気接触面の対を有し、前記下 側の電気接触面は前記一方の端部の溝において前記金属被覆面と電気的連続であ り、更に前記梁は前記ベース部分のその他の部分とは間隔を空けて前記ベース部 分の凹所内を延びる片持ち梁の自由部分を有し；及び 前記ベース部分と一致する長方体のハウジング頂部部分、前記頂部部分は下向き に開口しかつ周囲の面を定める凹所を定め、前記頂部部分の凹所と周囲の面とは 前記ベース部分の凹所と向かい合いかつ境界面と一致し、前記周囲の面の上に支 持されかつその一方の端部から他方の端部に前記凹所の回りを延びている金属被 覆面、前記頂部部分はその前記周囲の面において前記境界面の前記ベース部分に 固定され、更に前記頂部部分の前記金属被覆面は前記圧電セラミックの梁の上側 の電気接触面及び前記溝の対の他方における前記金属被覆面の両者と電気的連続 である加速度計。

１０、前記圧電セラミックの梁の前記上側と前記下側の電気接触面、前記ベース 部分の前記垂直方向の溝の対、及び前記頂部部分の前記周囲の面上に支持された 前記金属被覆面の間の電気的な連続が総て導電性エポキシの管理された領域の使 用により行なわれる請求事項９の発明。

１１、前記圧電セラミックの梁が前記座の溝の中に取り付けられ、更に前記頂部 部分は前記粱を前記ハウジング室内に捕捉しかつこれを封止するように前記ベー ス部分に固定され、その総てが構造用エポキシによる請求の範囲１０の発明。

１２、回路板上に圧電セラミック式加速崖計）を表面取付けする方法にして、 各がセラミック又はガラス材料の長方体としてｔｚｆ）ジンクのベース部分及び これと一致するハウジングの頂部部分を形成し、前記ベース部分及び頂部部分の 各に１対の凹所の一方をそれぞれ設け、この凹所は対の他方の凹所と向かい合っ て一致し両者で前記ハウジング内の室を形成するように共同作用し更にそれぞれ の周囲の面が各部分の前記凹所を囲み、前記ハウジングのベース部分の下側の取 付は面に１対の接触面領域を設け、前記ベース部分の端面に前記接触面領域の対 のそれぞれと交差する垂直方向の溝の対を設け、更に前記垂直方向溝の１個と交 差するように前記ベース部分の前記凹所から外方に前記ベース部分の前記周囲の 面を横断する座の溝を形成し： 前記座の溝の中に受け入れられる縁の部分及び前記室内に延びるうる自由な片持 ち梁部分有する圧電セラミックのバイオモルフ梁を形成し：前記接触面領域の対 、前記垂直方向溝の対、前記／％ウジングの頂部部分の前記周囲の面、及び前記 圧電セラミック粱の前記縁の部分の両側の総てに導電性金属被覆を施し：そして 前記圧電セラミックの梁を前記座の溝及び前記ｌ＼ウジングのベース部分と頂部 部分との間の室の内に封止する諸段階を備えた方法。

１３、前記圧電セラミックの梁の前記両側の金属被覆面の一方及び前記座の溝と 交差する前記一方の垂直方向溝の金属被覆面の間。

前記圧電セラミックの梁の前記両側の金属被覆面の他方及び前記ハウジングの頂 部部分の前記周囲の金属被覆面の間；及び前記ハウジングの頂部部分の前記周囲 の金属被覆面及び前記垂直方向溝の対の他方の金属被覆面の間 の電気的連続を確実なものとするためにそれぞれ導電性エポキシの領域を使用す る段階を含んだ請求の範囲１２の方法。

明　細　書 表面取付は型圧電セラミック式加速度計及びその製造方法本発明は、一般に圧電 セラミック式片持ち粱型加速度計に関する。より特別には、本発明は、デバイス のハウジングが圧電セラミ・ツク式片持ち粱型加速度計のエポキシ封止カプセル 封入を形成する圧電式加速度計、並びに表面取り付は技術を使用した加速度計へ の電気接続の形成に関する。

片持ち梁成に取り付けられた圧電セラミック材料のバイモルフ梁を使用した通常 の加速度計は良く知られている。しかし、出願者の知るこれら通常の加速度計の 総ては表面取り付は技術には適していない。これら加速度計のあるものは比較的 大きく、構成が脆弱であり、非常に重く、また加速度計ハウジングから外部の電 気回路に延びる別の導線を必要とする。梁を曲げる形式の圧電セラミック式加速 度計の欠点の総てがないその他の形式の通常の加速度計は、圧電セラミック式デ ノくイスと比べてそれ自体で自励することがない。従って、これらのその他の通 常の加速度計は、圧電セラミック式デバイスでは不要な別の励起、制御又は動力 供給の回路を必要とする。更に、圧電セラミック式加速度計は、別形式の加速度 計では利用できない小形化の利点を提供する。

従って、自励しかつ表面取付は技術を使用した小形、軽量、安価、堅牢、かつ信 頼しうる加速度計が極めて望ましいことが認識される。圧電セラミックの片持ち 柔構造は、かかる加速度計の実現に向かっての良好な出発点を提供する。しかし 、総ての通常の圧電セラミ・ツク式加速度計は上述の難点の幾つかを持っている 。

以上の見地から、本発明の主要な目的は、上に列挙され認められた諸要求を満足 する小形、堅牢、軽量で、信頼性でき、かつ比較的費用のかからない圧電セラミ ック式の梁湾曲型の加速度計を提供することである。

加速度計は、最も費用効果のよい技術を使用した低費用の連続製造におけるその 使用の便のため、表面取付は技術を使用すべきであり、かつ回路板へのその接続 を完成するために別の導線を必要としない。

これらの目的の推進のため、本発明は、内部の空洞部、取付は面、及び前記ハウ ジングの前記取付は面に配された１対の間隔を空けられた電気接触面を定めるハ ウジング；前記ハウジングに固定された縁の端部と前記空洞部内を自由に延びて いる片持ち梁部分とを有する圧電セラミックの梁を備え、前記圧電セラミックの 梁は前記縁の部分においてその両側に電気接触片の対を有し：前記ハウジングは 前記圧電セラミックの梁の前記電気接触片の対の各と前記ハウジングの前記電気 接触面の対のそれぞれの関係のものとを接続する導電手段を有する片持ち梁型の 圧電セラミック式加速度計を提供する。

本発明の利点はその比較的簡単かつ安価な構造にある。本発明により達成される 優雅な構造的単純性は製造費用の低下を許し、更に自動組立機械で安全に取り扱 いうる堅牢でかつ信頼しうる加速度計が得られる。

しかし、本加速度計の簡単な構造は標準以下又は中間的な性能を裏切らない。逆 に、この加速度計の加速度感度特性はその他の表面取付は技術加速度計と比べて 有望である。

本発明のこれ等及びその他の目的及び利点は、付属図面を参照し行なわれる本発 明の特に好ましい実施例の以下の説明より明らかとなるであろう。図面において 、 図１は、本発明を具体化した加速度計の斜視図である。

図２は、図４の矢印２−２により定められた面に沿って得られかつ矢印の方向に 見た横断方向断面図である。

図３は、図１の矢印３−３により示されるように、図１に見られる加速度計の下 側、又は取付は面の図である。

図４は、この加速度計の構成部品を完成した加速度計に組み立てるように準備さ れた構成部品の分解図である。

関係図面、特に図１を見れば、加速度計１０が（その一部のみが示された）印刷 回路板１２上に取り付けられて示される。加速度計１０は一般に番号１４で示さ れたハウジングを有し、これは回路板１２の１対の取付は用金属パッド１６．１ ８の上に固定されかつこれらに電気的に接続される。１対の金属の印刷回路要素 ２０．２２がそれぞれパッドから回路板１２の別の電気回路に延びる。

加速度計１０、特にそのハウジング１４を細かく考慮すれば、このハウジングは セラミックのベース部分２４とセラミックの頂部部分２６とを有し、これらは境 界面２８に沿って相互に接着固定され、この境界面はハウジング１４の外面上に 接合線として現れる。一般に境界面２８においてハウジングの部分２４．２６の 間に、バイモルフ圧電セラミックの素子又は梁３０（その一部分だけが図１に見 られる）が収められる。

図２は、ハウジングの部分２４及び２６の各を示し、これらは共同作用して圧電 セラミック素子３０を受け入れる空洞部３６を定める対向凹所３２．３４の対の 一方をそれぞれ定める。圧電セラミック素子はバイモルフであり、これは導電性 接着剤で電気的及び物理的に交互固定された２個の反対極性のセラミック部分よ りなる積層の圧電セラミックを意味する。このバイモルフ圧電セラミック構造は 公知であり、従って圧電セラミック部分が積層面３８において相互接着される点 を指摘することを除いて更に説明されないであろう。圧電セラミック素子３０は 図４に最もよく示されるように長方体であり、その縁の部分４０においてハウジ ングの部９２４．２６の間に捕捉される。圧電セラミック素子３０の片持ち梁部 分４２は、ハウジング１４のその他の部分とは間隔を明けて空洞部３６内を延び る。

図３を見れば、一般に番号４４と矢印とで表された加速度計１０の下側の面、又 は取付は面は、１対の金属面の部分４６．４８を有することが分かるであろう。

面の部分４６．４８は、ハウジング１４の一方の側から他方の側に延びている横 断方向の溝５０を除いてハウジング１４の下側全面４４を含む。事実上、面の部 分４６．４８はセラミックのハウジングの部分２４上の金属被覆面により定めら れ、この金属被覆は図面の太線部分を除いてハウジングの部分２４の材料から識 別できないほど薄い。金属被覆面４６．４８は溝５０にまたがった連続をしない 。面部分４６．４８に塗布される導電性エポキシ接着剤の使用により、回路板１ ２の取付は用パッド１６．１８に加速度計１０をしっかりと取り付け、かつ電気 的に接続することができる。金属被覆面４６．４８との電気接続は、ベース部分 ２４の溝５６．５８内にそれぞれ配された金属被覆面の部分５２及び５４による 。

図４の分解斜視図は、圧電セラミック素子３０が、縁の部分４０を含んで両側を 完全に覆っている１対の金属被覆面６０．６２（その一方だけが図４に見られる ）を有することを示す。金属被覆面６０．６２は、圧電セラミック素子３０の反 対極性のセラミック部分との電気的接触を提供する。ハウジングの部分２４は凹 所３２から外向きに開口している溝の形の座６４を定め、その中に圧電セラミッ ク素子３０の縁の部分４０が受け入れられる。座６４は、ハウジングの部分２４ の境界平面６６から見て、縁の部分４０の厚さと同じ実質的に等しい深さである 。

金属被覆面６２と取付は用の金属被覆面４８との（金属被覆５４を経ての）電気 伝導性を確保するために、金属被覆面５４′の領域が座の溝６４内に設けられか つ溝５８内の金属被覆５４と電気的に接続する。また、導電性エポキシの領域６ ８が金属被覆面の領域５４′上の溝５８と金属被覆６２との接続部に塗布される 。座６４のその他の部分は構造用エポキシ（図示せず）の境界面で表張りされ、 素子３０は座６４内に固定される。素子３０は、これが座６４内に固定されたと き、金属被覆面６０が境界面６６の高さにあるように配置される。

同様に、金属被覆面６０と取付は用金属被覆面４６との電気接続を形成するため に、頂部部分２６には、凹所３４を囲みかつ面６６と対面する境界面を定めてい る周囲の金属被覆面７０が設けられる。溝５６において、金属被覆面５２が面６ ６上に設けられ、番号５２′で示された金属被覆面の領域を定める。圧電セラミ ック素子３０の金属被覆面６０と一致して金属被覆面７０上に導電性エポキシ７ ２の領域が配される。ハウジング１４の反対側の端部において、導電性エポキシ の領域７４が金属被覆面７０と金属被覆５２°とを接触させる。面７０のその他 の部分は、ハウジング１４の気密性と構造的一体性とを得るために、構造用エポ キシを使用して（圧電セラミック素子３０の面６０を含んだ）面６６に接合され る。

加速度計１０の構造を観察したので、次にその作動に注意を向けることにする。

再び図１を見れば、加速度計１０は、パッド１６．１８と加速度計ハウジングの 金属被覆面４６．４８との間の導電性エポキシにより回路板１２上のパッド１６ ．１８に接着固定されかつ電気的に接続される。従って、これに直角なベクトル に沿って（図１に見られる矢印７６により表される）加速度が回路板１２に加え られたとき、梁状の圧電セラミック素子３０は加速力に応じて撓む。この技術に おいてよく知られているように、バイモルフ素子３０の反対極性の２個の圧電結 晶の撓みが、この結晶の対向面にわたる電気変化を起こす。圧電セラミック素子 ３０においては、これら両側の電荷は金属被覆面６０及び６２に集金属被覆５４ ′及び溝５８内の金属被覆５４に、更に加速度計の取付は面４４の金属被覆面４ ８に伝えられる。同様に、金属被覆面６０からの電荷は、導電性エポキシ７２を 経て凹所３４を囲む周囲の金属被覆７０内に伝えられる。先に注意したように、 金属被覆面７０は、導電性エポキシ７４により、面６６の金属被覆５２゛及び溝 ５６内の金属被覆５２に接続される。従って、素子３０の金属被覆６０からの電 荷は、取付は面４４の金属被覆面４６に伝えられる。

ここに説明される加速度計の重要な特徴はその固有の小容量である。

容易に認識できるように、圧電セラミック素子３０は、その圧電セラミックの部 分のひずみに応じて電荷を発生する。圧電セラミック素子３０と加速度計への外 部計測回路との間の電気接続が大容量である場合には、発生した電荷は大部分が この容量内に吸収されるだけであろう。従って、加速度計１０の構造が実質的に 容量を形成しない性質である点に注意することが重要である。例えば、金属被覆 面の部分４６と４８とは、これらが間隔を空けられかつ縁で向かい合う方向付け のため、これらの金属被覆面に基づく容量を最小とする。金属被覆面４８の比較 的小さな部分だけしか金属被覆面７０の一部分と面対面で向かい合わない。しか も、金属被覆４８と向かい合いの金属被覆面７０の面積は非常に小さい。従って 、本発明を具体化した加速度計は、主軸に沿った加速度についての電荷感度２． ０ＯｐＣ／ｇのとき約５５０ｐＦの内部容量を示す。この電荷感度と小さな内部 容量との組合せは、加速度計１０の外部計測回路により容易に対応しつる加速度 計１０からの電気出力を発生する。

本加速度計は上述の目的の総てを満たすと考えられる。加速度計の構造は間車、 堅牢でかつ使用が容易であり、更に現在の表面取り付は技術により容易に扱える 。本発明を具体化した加速度計は破損することな（５０００Ｇに耐えるであろう 。なお、梁３０の片持ち梁部分４２が破損しても、ハウジング１４がこの破片を 完全に収容し、従って加速度計の付近のその他の電気回路を短絡させる要素とな ることはない。本発明はその特に好ましい一実施例を参照し図示され説明された が、かかる引例は本発明に対する限定を意図するものではなく、かかる限定を推 断すべきではない。本発明は、本発明の追加的な定義を与える特許請求の範囲及 び精神によってのみ限定される。

ＦＩＧ、　／ ＦＩＧ、４ 要　約　書 バイモルフ型の片持ちの湾曲梁（３０，４２）式の圧電セラミック式加速度計（ １０）にエポキシ封止の密閉ハウジング（１４，２４，２６）が設けられる。加 えられた加速度に比例した適切な値の自励信号がこの加速度計により提供される 。この加速度計は、表面取付は技術の使用のための金属被覆された表面部分を提 供する。

補正書の写しく翻訳文）提出書　（特許法第４８４条の８）平成４年８月ｌＯ日

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. １．片持ち梁型の圧電セラミック式加速度計にして、内部の空洞部、取付け面、 及び前記ハウジングの前記取付け面に配された１対の間隔を空けられた電気接触 面を定めるハウジング；前記ハウジングに固定された縁の端部と前記空洞部内を 自由に延びている片持ち梁部分とを有する圧電セラミックの梁、前記圧電セラミ ックの梁は前記縁の部分においてその両側に電気接触部の対を有し；を備え、 前記ハウジングは前記圧電セラミックの梁の前記電気接触片の対の各と前記ハウ ジングの前記電気接触面の対のそれぞれ関係のものとを接続する導電手段を有す る 加速度計。
2. ２．前記導電手段が、一方の端部において前記ハウジングの前記電気接触面の対 のそれぞれと接続し更に他方の端部において前記圧電セラミック梁の前記電気接 触片の対の一方と電気的に接続している外部配置型の金属被覆面を有する請求の 範囲１の発明。
3. ３．前記外部配置型の金属被覆面は、前記ハウジングにより外向きに定められか つ前記ハウジングの前記電気接触面の対の前記一方と交差するようにこれと一般 に直交して延びている溝内に配置される請求の範囲２の発明。
4. ４．前記ハウジングが境界面に沿って相互に固定されたベース部分と頂部部分と を有し、前記導電手段が前記境界面にあって前記ハウジングの部分の一方により 支持された金属面を含む請求の範囲１の発明。
5. ５．前記ベース部分が前記空洞部に通じる座を定め、前記圧電セラミック梁は、 その前記接触面の対の一方が前記境界面において実質的に前記ベース部分から離 れて配されるようにして前記座に受け入れられる請求の範囲４の発明。
6. ６．前記頂部部分は前記圧電セラミックの梁の一方の接触面と向かい合って前記 境界面に前記金属面を支持する請求の範囲５の発明。
7. ７．前記金属面が前記境界面において前記ハウジングの頂部部分により支持され た金属被覆面により定められる請求の範囲６の発明。
8. ８．前記ハウジングは前記電気接触面を支持しているベース部分、及び中間に前 記圧電セラミックの梁を捕捉するように前記ベース部分と共同作用する頂部部分 を有し、前記ハウジングの前記ベース部分及び前記頂部部分の各が前記圧電セラ ミックの梁の両側に閉口している１対の凹所のそれぞれを定め、更に前記凹所の 対が共同作用して前記空洞部を定める請求の範囲１の発明。
9. ９．圧電セラミック式の加速度計にして、下側の取付け面上に定められた横断溝 により１対の接触面領域に分割された下側の取付け面を有する箱形の長方体ベー ス部分、前記加速度計用の１対の電気接触面を定めるように前記接触面領域の各 に支持された金属被覆面、前記ベース部分により定められ各が前記ハウジングの 両側の端面に沿って上方に延びかつ各がその下端において前記ハウジングの接触 面領域の対のそれぞれと交差する１対の垂直方向の溝、下端において前記電気接 触面の対のそれぞれと電気的に接続するように前記垂直溝の対の各の全長を延び ている金属被覆面、前記ベース部分は前記凹所を囲む上向きに置かれた周囲境界 面を定めるように関係の上向きの開口凹所を定め、前記垂直方向溝の一方と交差 して前記ハウジングの端面において前記境界面を横切り前記ベース部分の凹所か ら外向きに開口するように横断して延びる座の溝を有し、箱状にされた直方体ハ ウジング；上面が前記境界面とそろうようにして前記座の溝の中に縁の部分で受 け入れられたバイオモルフ圧電セラミックの梁、前記梁は前記縁の部分において 接触する両側に配された上側と下側の金属被覆の電気接触面の対を有し、前記下 側の電気接触面は前記一方の端部の溝において前記金属被覆面と電気的連続であ り、更に前記梁は前記ベース部分のその他の部分とは間隔を空けて前記ベース部 分の凹所内を延びる片持ち梁の自由部分を有し；及び 前記ベース部分と一致する長方体のハウジング頂部部分、前記頂部部分は下向き に開口しかつ周囲の面を定める凹所を定め、前記頂部部分の凹所と周囲の面とは 前記ベース部分の凹所と向かい合いかつ境界面と一致し、前記周囲の面の上に支 持されかつその一方の端部から他方の端部に前記凹所の回りを延びている金属被 覆面、前記頂部部分はその前記周囲の面において前記境界面の前記ベース部分に 固定され、更に前記頂部部分の前記金属被覆面は前記圧電セラミックの梁の上側 の電気接触面及び前記溝の対の他方における前記金属被覆面の両者と電気的連続 である加速度計。
10. １０．前記圧電セラミックの梁の前記上側と前記下側の電気接触面、前記ベース 部分の前記垂直方向の溝の対、及び前記頂部部分の前記周囲の面上に支持された 前記金属被覆面の間の電気的な連続が総て導電性エポキシの管理された領域の使 用により行なわれる請求事項９の発明。
11. １１．前記圧電セラミックの梁が前記座の溝の中に取り付けられ、更に前記頂部 部分は前記梁を前記ハウジング室内に捕捉しかつこれを封止するように前記ベー ス部分に固定され、その総てが構造用エポキシによる請求の範囲１０の発明。
12. １２．回路板上に圧電セラミック式加速度計）を表面取付けする方法にして、 各がセラミック又はガラス材料の長方体としてハウジングのベース部分及びこれ と一致するハウジングの頂部部分を形成し、前記ベース部分及び頂部部分の各に １対の凹所の一方をそれぞれ設け、この凹所は対の他方の凹所と向かい合って一 致し両者で前記ハウジング内の室を形成するように共同作用し更にそれぞれの周 囲の面が各部分の前記凹所を囲み、前記ハウジングのベース部分の下側の取付け 面に１対の接触面領域を設け、前記ベース部分の端面に前記接触面領域の対のそ れぞれと交差する垂直方向の溝の対を設け、更に前記垂直方向溝の１個と交差す るように前記ベース部分の前記凹所から外方に前記ベース部分の前記周囲の面を 横断する座の溝を形成し； 前記座の溝の中に受け入れられる緑の部分及び前記室内に延びるうる自由な片持 ち梁部分有する圧電セラミックのバイオモルフ梁を形成し；前記接触面領域の対 、前記垂直方向溝の対、前記ハウジングの頂部部分の前記周囲の面、及び前記圧 電セラミック梁の前記縁の部分の両側の総てに導電性金属被覆を施し；そして 前記圧電セラミックの梁を前記座の溝及び前記ハウジングのベース部分と頂部部 分との間の室の内に封止する諸段階を備えた方法。
13. １３．前記圧電セラミックの梁の前記両側の金属被覆面の一方及び前記座の溝と 交差する前記一方の垂直方向溝の金属被覆面の間；前記圧電セラミックの梁の前 記両側の金属被覆面の他方及び前記ハウジングの頂部部分の前記周囲の金属被覆 面の間；及び前記ハウジングの頂部部分の前記周囲の金属被覆面及び前記垂直方 向溝の対の他方の金属被覆面の間 の電気的連続を確実なものとするためにそれぞれ導電性エポキシの領域を使用す る段階を含んだ請求の範囲１２の方法。