JPH0551136B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0551136B2 JPH0551136B2 JP61220850A JP22085086A JPH0551136B2 JP H0551136 B2 JPH0551136 B2 JP H0551136B2 JP 61220850 A JP61220850 A JP 61220850A JP 22085086 A JP22085086 A JP 22085086A JP H0551136 B2 JPH0551136 B2 JP H0551136B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scintillator
- detection means
- ring
- electrode
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
本発明は２次電子検出器に係り、電子ビーム装
置等で試料に照射した電子ビームによつて生ずる
２次電子をシンチレータと電子増倍管等からなる
２次電子の検出手段で検出する際に、複数の検出
手段のシンチレータに供給する高電圧をリング状
電極で一括して供給する様にして、検出手段の点
検、交換を容易にしたものである。
置等で試料に照射した電子ビームによつて生ずる
２次電子をシンチレータと電子増倍管等からなる
２次電子の検出手段で検出する際に、複数の検出
手段のシンチレータに供給する高電圧をリング状
電極で一括して供給する様にして、検出手段の点
検、交換を容易にしたものである。
本発明は２次電子検出器に係り、特に複数の２
次電子を検出する検出手段を電子ビームが照射さ
れる試料面と平行する面内に配設して、定量測定
を行なう、電子ビーム装置等に用いる２次電子検
出器に関する。
次電子を検出する検出手段を電子ビームが照射さ
れる試料面と平行する面内に配設して、定量測定
を行なう、電子ビーム装置等に用いる２次電子検
出器に関する。
電子ビーム装置では試料に照射した電子ビーム
によつて発生する２次電子を検出するときに用い
る２次電子検出器の交換点検がしばしば行なわれ
る。この様な交換点検の容易な２次電子検出器が
要望されていた。
によつて発生する２次電子を検出するときに用い
る２次電子検出器の交換点検がしばしば行なわれ
る。この様な交換点検の容易な２次電子検出器が
要望されていた。
電子ビーム装置、例えば電子ビームテスタ、或
いは測流電子顕微鏡等の定量測定を行う様なもの
では試料に電子ビームを照射し、試料から放出さ
れた２次電子の２次電子検出器で検出していた。
いは測流電子顕微鏡等の定量測定を行う様なもの
では試料に電子ビームを照射し、試料から放出さ
れた２次電子の２次電子検出器で検出していた。
この場合に１つの２次電子検出器を用いていた
が、最近では第６図に示す様に複数の２次電子検
出器２ａ〜２ｄを電子ビーム装置のチエンバー１
内に気密に配置し、試料から放射された２次電子
３をシンチレータ４に加えてライトパイプ６を通
じて光電子増倍管７で増倍させて、電子信号に変
換していた。
が、最近では第６図に示す様に複数の２次電子検
出器２ａ〜２ｄを電子ビーム装置のチエンバー１
内に気密に配置し、試料から放射された２次電子
３をシンチレータ４に加えてライトパイプ６を通
じて光電子増倍管７で増倍させて、電子信号に変
換していた。
２次電子を検出するための２次電子検出器２ａ
〜２ｄの構成としては円筒状のコレクタ電極５の
底部に穿たれた透孔１１を通じて、この透孔１１
に対向配置したシンチレータ４に２次電子が入射
される。２次電子３を受け入れるシンチレータ電
極８はシンチレータ４の外周に設けられ、この電
極に10Kv程度の高電圧を印加するために接続さ
れたワイヤ１０は１つの高圧導入端子９に接続さ
れている。
〜２ｄの構成としては円筒状のコレクタ電極５の
底部に穿たれた透孔１１を通じて、この透孔１１
に対向配置したシンチレータ４に２次電子が入射
される。２次電子３を受け入れるシンチレータ電
極８はシンチレータ４の外周に設けられ、この電
極に10Kv程度の高電圧を印加するために接続さ
れたワイヤ１０は１つの高圧導入端子９に接続さ
れている。
シンチレータ４の対向する透孔１１とは反対面
にライトパイプ６の対接し、シンチレータ４に入
射させた２次電子を受けとり発光して、この光信
号をライトパイプ６を通じて光電子増倍管７で光
を増倍して電気信号が取り出される。普通、コレ
クタ電極５には−200〜500V程度の電圧が加えら
れている。
にライトパイプ６の対接し、シンチレータ４に入
射させた２次電子を受けとり発光して、この光信
号をライトパイプ６を通じて光電子増倍管７で光
を増倍して電気信号が取り出される。普通、コレ
クタ電極５には−200〜500V程度の電圧が加えら
れている。
上記従来構成による２次電子検出器ではチエン
バー１内は真空になされているが、この真空容器
内で高圧を供給するためのワイヤ１０を複数本引
き回すためワイヤが多く、且つ長くなる。又、２
次電子検出器２ａ〜２ｄの特にシンチレータ等を
交換する際には、コレクタ電極５内に挿入されて
いるシンチレータ電極８からワイヤ１０を外さな
ければならない。しかし、狭いチエンバー１内で
複数の２次電子検出器のワイヤ１０を外すことは
大変煩雑である。これらは交換だけでなく点検等
についても言えることである。
バー１内は真空になされているが、この真空容器
内で高圧を供給するためのワイヤ１０を複数本引
き回すためワイヤが多く、且つ長くなる。又、２
次電子検出器２ａ〜２ｄの特にシンチレータ等を
交換する際には、コレクタ電極５内に挿入されて
いるシンチレータ電極８からワイヤ１０を外さな
ければならない。しかし、狭いチエンバー１内で
複数の２次電子検出器のワイヤ１０を外すことは
大変煩雑である。これらは交換だけでなく点検等
についても言えることである。
又、コレクタ電極５がシンチレータ電極８やシ
ンチレータ４を覆つているためにシンチレータ４
の交換、点検は益々煩らわしくなる欠点があつ
た。
ンチレータ４を覆つているためにシンチレータ４
の交換、点検は益々煩らわしくなる欠点があつ
た。
本発明の叙上の欠点に鑑みなされたもので、そ
の目的とするところは極めて簡単に保安、点検や
交換が可能な２次電子検出器を提供しようとする
ものである。
の目的とするところは極めて簡単に保安、点検や
交換が可能な２次電子検出器を提供しようとする
ものである。
本発明の２次電子検出器は第１図に示す様にシ
ンチレータ電極８の働きをするシンチレータキヤ
ツプ２３を有するシンチレータ４と対向配置した
ライトパイプ６の反対面に光電子増倍管７を有す
る２次電子を検出する複数の検出手段１２ａ〜１
２ｄを、円筒状の中心部に電子ビーム１５が通過
する円筒状コレクタ電極１４の円筒部に穿つた透
孔１６に対向させて、シンチレータキヤツプ２３
に印加するよう高電圧（10Kv）をリング１３を
通じて与えるようにし、シンチレータ４等の交換
を容易にしたものである。
ンチレータ電極８の働きをするシンチレータキヤ
ツプ２３を有するシンチレータ４と対向配置した
ライトパイプ６の反対面に光電子増倍管７を有す
る２次電子を検出する複数の検出手段１２ａ〜１
２ｄを、円筒状の中心部に電子ビーム１５が通過
する円筒状コレクタ電極１４の円筒部に穿つた透
孔１６に対向させて、シンチレータキヤツプ２３
に印加するよう高電圧（10Kv）をリング１３を
通じて与えるようにし、シンチレータ４等の交換
を容易にしたものである。
本発明の２次電子検出器はチエンバー１に穿つ
た透孔１ａ〜１ｄ（第２図）に本発明の複数の検
出手段１２ａ〜１２ｄを挿入し、チエンバー内で
共通のリング１３を溝１７内に落し込むと共にス
プリング等で押圧するだけで高圧供給のワイヤ１
０とすることにより、シンチレータの保守が簡単
になる。
た透孔１ａ〜１ｄ（第２図）に本発明の複数の検
出手段１２ａ〜１２ｄを挿入し、チエンバー内で
共通のリング１３を溝１７内に落し込むと共にス
プリング等で押圧するだけで高圧供給のワイヤ１
０とすることにより、シンチレータの保守が簡単
になる。
以下、本発明の２次電子検出器を第１図乃至第
５図ａ，ｂ，ｃについて詳記する。
５図ａ，ｂ，ｃについて詳記する。
本発明の電子ビーム装置は図示しないが電子銃
から放出された電子ビームは真空のチエンバー１
内を通つて最終段では対物レンズを形成する対物
レンズ用コイル１８で試料１９上に集束される。
電子ビーム照射によつて試料１９から放出された
２次電子３は本発明の円筒状のコレクタ電極（フ
オーカシング グリツド）１４に形成した透孔１
６を通じて検出手段１２ａ〜１２ｄのシンチレー
タ４に入射される。
から放出された電子ビームは真空のチエンバー１
内を通つて最終段では対物レンズを形成する対物
レンズ用コイル１８で試料１９上に集束される。
電子ビーム照射によつて試料１９から放出された
２次電子３は本発明の円筒状のコレクタ電極（フ
オーカシング グリツド）１４に形成した透孔１
６を通じて検出手段１２ａ〜１２ｄのシンチレー
タ４に入射される。
上述の円筒状コレクタ電極１４は第４図に示す
様に金属等の円筒部２２に複数（本発明では４
個）の透孔１６が穿たれ、これらは互いに円筒部
２２の外周面に互いに対向して穿たれる。円筒部
２２の一方はフランジ部２０で塞がれ、このフラ
ンジ部２０の中央に電子ビーム１５を通過させる
ための透孔２１が穿たれている。この透孔２１は
電子ビーム１５が透過し得る程度の小さな孔でも
よい。この様にするとシンチレータ４に達する上
方からの不用な２次電子を吸収出来る。このコレ
クタ電極には−200V〜500V程度の電圧を印加す
る。
様に金属等の円筒部２２に複数（本発明では４
個）の透孔１６が穿たれ、これらは互いに円筒部
２２の外周面に互いに対向して穿たれる。円筒部
２２の一方はフランジ部２０で塞がれ、このフラ
ンジ部２０の中央に電子ビーム１５を通過させる
ための透孔２１が穿たれている。この透孔２１は
電子ビーム１５が透過し得る程度の小さな孔でも
よい。この様にするとシンチレータ４に達する上
方からの不用な２次電子を吸収出来る。このコレ
クタ電極には−200V〜500V程度の電圧を印加す
る。
この円筒状コレクタ電極１４と対向配置された
複数の検出手段１２ａ〜１２ｄの構成は第３図に
示す様に成されている。即ちシンチレータ４は２
次電子３が入射すると、これを光に変換して、ラ
イトパイプ６を通じて電子増倍管７（第１図参
照）に矢印Ｂで示す様に伝える。
複数の検出手段１２ａ〜１２ｄの構成は第３図に
示す様に成されている。即ちシンチレータ４は２
次電子３が入射すると、これを光に変換して、ラ
イトパイプ６を通じて電子増倍管７（第１図参
照）に矢印Ｂで示す様に伝える。
このために、シンチレータ４は光電面と反対側
でライトパイプ６と対接され、ライトパイプ６の
先端外周に設けた雄螺子部２６にシンチレータキ
ヤツプ２３の内周に設けた雌螺子部２５を螺合さ
せて、シンチレータ４をタイトパイプ６の端面に
対接させる。
でライトパイプ６と対接され、ライトパイプ６の
先端外周に設けた雄螺子部２６にシンチレータキ
ヤツプ２３の内周に設けた雌螺子部２５を螺合さ
せて、シンチレータ４をタイトパイプ６の端面に
対接させる。
シンチレータキヤツプ２３はシンチレータ電極
８となるものでＵ字状の金属キヤツプで構成さ
れ、前面の蓋部２３ａには開口部２４が穿たれ、
円筒状コレクタ電極１４の透孔１６とシンチレー
タキヤツプ２３の開口部２４を通過した２次電子
３がシンチレータ４に入射される。
８となるものでＵ字状の金属キヤツプで構成さ
れ、前面の蓋部２３ａには開口部２４が穿たれ、
円筒状コレクタ電極１４の透孔１６とシンチレー
タキヤツプ２３の開口部２４を通過した２次電子
３がシンチレータ４に入射される。
更に第３図には示されないが第２図に示す様に
ライトパイプ６の途中にはフランジ２７が嵌着さ
れ、ライトパイプ６の端面は電子増倍管７に接
し、適当なケーシング２８によつて電子増倍管７
やフランジ２７が覆われている。
ライトパイプ６の途中にはフランジ２７が嵌着さ
れ、ライトパイプ６の端面は電子増倍管７に接
し、適当なケーシング２８によつて電子増倍管７
やフランジ２７が覆われている。
電子鏡筒を構成するチエンバー１には円周４等
分位置に透孔１ａ〜１ｄが穿たれ、その鏡筒内に
円盤状の絶縁部材２９が固定され、中心部には円
筒状コレクタ電極１４の円筒部２２が挿入出来る
中心孔３１穿たれ、円盤状の税塩部材２９の厚み
方向の真中位置に円周４等分位置に外周から中心
孔３１に向つて貫通する４つの貫通孔３０が穿た
れこの貫通孔３０は鏡筒に穿つた透孔１ａ〜１ｄ
位置と一致する。
分位置に透孔１ａ〜１ｄが穿たれ、その鏡筒内に
円盤状の絶縁部材２９が固定され、中心部には円
筒状コレクタ電極１４の円筒部２２が挿入出来る
中心孔３１穿たれ、円盤状の税塩部材２９の厚み
方向の真中位置に円周４等分位置に外周から中心
孔３１に向つて貫通する４つの貫通孔３０が穿た
れこの貫通孔３０は鏡筒に穿つた透孔１ａ〜１ｄ
位置と一致する。
上述した検出手段１２ａ〜１２ｄの先端を透孔
１ａ〜１ｄと貫通孔３０に挿通させる。尚３２は
透孔１ａ〜１ｄに配したＯリングでチエンバー１
と検出手段間の気密保持がなされる。フランジ２
７は検出種と一体化されているのでチエンバー１
の外壁に螺子３３で固定することでチエンバーと
一体化される。絶縁部材２９には円筒状の溝１７
がリング１３と同径で形成され、溝１７内にリン
グ１３が挿入される。少なくとも４つのシンチレ
ータキヤツプ２３と接する部分の溝１７の深さは
シンチレータキヤツプ２３の外周面迄達してい
る。溝１７の深さを一様にシンチレータキヤツプ
２３に達する迄切り込む様にすればリング１３の
シンチレータキヤツプ２３と接する面（底面）に
第５図ａに示す様な凸部３４を設ける必要がなく
第５図ｂに示す様な底面が平らなリング１３を用
いることが出来る。この場合、リング１３の下面
の一部を第５図ｃにその断面を示す如く、テーパ
面３５にすることにより高電圧導入端子９との接
合を容易にすることができる。リング１３はチエ
ンバー１に気密な状態で取り付けられた高電圧導
入端子９と接続された、更にリング１３は図示し
ないスプリング等を介して溝１７内でシンチレー
タキヤツプ２３に押圧されて電気的に接続されて
いる。またリング１３自身のバネ性を利用すれば
スプリングは不要となる。
１ａ〜１ｄと貫通孔３０に挿通させる。尚３２は
透孔１ａ〜１ｄに配したＯリングでチエンバー１
と検出手段間の気密保持がなされる。フランジ２
７は検出種と一体化されているのでチエンバー１
の外壁に螺子３３で固定することでチエンバーと
一体化される。絶縁部材２９には円筒状の溝１７
がリング１３と同径で形成され、溝１７内にリン
グ１３が挿入される。少なくとも４つのシンチレ
ータキヤツプ２３と接する部分の溝１７の深さは
シンチレータキヤツプ２３の外周面迄達してい
る。溝１７の深さを一様にシンチレータキヤツプ
２３に達する迄切り込む様にすればリング１３の
シンチレータキヤツプ２３と接する面（底面）に
第５図ａに示す様な凸部３４を設ける必要がなく
第５図ｂに示す様な底面が平らなリング１３を用
いることが出来る。この場合、リング１３の下面
の一部を第５図ｃにその断面を示す如く、テーパ
面３５にすることにより高電圧導入端子９との接
合を容易にすることができる。リング１３はチエ
ンバー１に気密な状態で取り付けられた高電圧導
入端子９と接続された、更にリング１３は図示し
ないスプリング等を介して溝１７内でシンチレー
タキヤツプ２３に押圧されて電気的に接続されて
いる。またリング１３自身のバネ性を利用すれば
スプリングは不要となる。
本発明の２次電子検出器は、上述の様に構成さ
れているので点検、交換時には溝内からリングを
取り出し、検出手段をチエンバーに穿つた透孔か
ら引き出すだけでよく、極めて簡単にシンチレー
タ等を交換することが可能となつた。
れているので点検、交換時には溝内からリングを
取り出し、検出手段をチエンバーに穿つた透孔か
ら引き出すだけでよく、極めて簡単にシンチレー
タ等を交換することが可能となつた。
本発明は上述の様に構成し、動作するのでシン
チレータ故障、或いは検出手段の点検等にはリン
グを外すだけで検出手段を簡単に引き出すことが
出来、長いワイヤをチエンバー内に引き回す必要
がない等の多くの特徴を有する。
チレータ故障、或いは検出手段の点検等にはリン
グを外すだけで検出手段を簡単に引き出すことが
出来、長いワイヤをチエンバー内に引き回す必要
がない等の多くの特徴を有する。
第１図は本発明の２次電子検出装置の平面図、
第２図は第１図のＡ−A′断面矢視図、第３図は
本発明に用いる２次電子検出手段の一部拡大側断
面図、第４図は本発明に用いるコレクタ電極の斜
視図、第５図ａ，ｂは本発明に用いるリングの外
観を示す斜視図、第５図ｃは本発明のリングの断
面図、第６図は従来の２次電子検出器の平面図で
ある。 １……チエンバー、２ａ〜２ｄ……２次電子検
出器、４……シンチレータ、５……コレクタ電
極、６……ライトパイプ、７……光電子増倍管、
８……シンチレータ電極、９……高電圧導入端
子、１０……ワイヤ、１２ａ〜１２ｄ……検出手
段、１３……リング、１４……円筒状コレクタ電
極、１６……透孔、１７……溝、２３……シンチ
レータキヤツプ、２９……絶縁部材。
第２図は第１図のＡ−A′断面矢視図、第３図は
本発明に用いる２次電子検出手段の一部拡大側断
面図、第４図は本発明に用いるコレクタ電極の斜
視図、第５図ａ，ｂは本発明に用いるリングの外
観を示す斜視図、第５図ｃは本発明のリングの断
面図、第６図は従来の２次電子検出器の平面図で
ある。 １……チエンバー、２ａ〜２ｄ……２次電子検
出器、４……シンチレータ、５……コレクタ電
極、６……ライトパイプ、７……光電子増倍管、
８……シンチレータ電極、９……高電圧導入端
子、１０……ワイヤ、１２ａ〜１２ｄ……検出手
段、１３……リング、１４……円筒状コレクタ電
極、１６……透孔、１７……溝、２３……シンチ
レータキヤツプ、２９……絶縁部材。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 外周面に対向して設けられる複数の開口部を
有する円筒状コレクタ電極１４と、 前記開口部に対向配置され、シンチレータ電極
を有するシンチレータ４と対向配置したライトパ
イプの反対面に光電子増倍管７を有する２次電子
を検出する複数の検出手段１２ａ，１２ｂ，１２
ｃ，１２ｄと、 前記複数の検出手段のシンチレータ電極に高電
圧を一括して供給するリング状電極１３と、 を備えることを特徴とする２次電子検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61220850A JPS6378445A (ja) | 1986-09-20 | 1986-09-20 | ２次電子検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61220850A JPS6378445A (ja) | 1986-09-20 | 1986-09-20 | ２次電子検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6378445A JPS6378445A (ja) | 1988-04-08 |
| JPH0551136B2 true JPH0551136B2 (ja) | 1993-07-30 |
Family
ID=16757519
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61220850A Granted JPS6378445A (ja) | 1986-09-20 | 1986-09-20 | ２次電子検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6378445A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6630667B1 (en) * | 2000-09-29 | 2003-10-07 | Nptest, Llc | Compact, high collection efficiency scintillator for secondary electron detection |
-
1986
- 1986-09-20 JP JP61220850A patent/JPS6378445A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6378445A (ja) | 1988-04-08 |
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