JPH0552574A - リング レーザー ジヤイロスコープ用の経路長制御アセンブリー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 リング レーザー ジャイロスコープに対す
る経路長制御アセンブリーが提供される。 【構成】 このアセンブリーは、一つの好ましい実施態
様においては、ミラー柱を含むミラー ハウジングに接
合されたミラーが含まれるが、このミラーは、ハウジン
グの軸方向に反ることが可能な膜上に搭載される（ある
いはこの一部を成す）。ペアの圧電トランスジューサー
は、電子入力信号に応答し、バッキングプレートに搭載
される。このトランスジューサーはバッキング プレー
トを挾み、バッキング プレートを変形させ、この膜を
軸方向に反らすようにミラー柱をドライブする。こうし
て、このバッキング プレートは、圧電要素を支持する
こと及びミラー柱をドライブすることの両方の機能を果
たす。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はリング レーザー ジャ
イロスコープのための経路長コントローラ、より詳細に
は、改良及び簡素化された経路長制御アセンブリーに関
する。

【０００２】

【従来の技術】リング レーザー ジャイロスコープ
（Ring LaserGyroscope）は、機械的慣性ジャイロスコ
ープの論理的代替として開発された。サグナック効果
（Sagnac Effect)の原理に基づくと、理想的には、リン
グ レーザー ジャイロスコープは最少の移動パーツを
持ち、非常に高精度の回転検出を可能とする。当初のモ
デルにおいては、リング レーザー ジャイロスコープ
は、少なくとも二つの反対方向に伝播する電磁波（例え
ば、光）を持ち、これが光学リング空洞内において発振
するような設計を持つ。この理想リング レーザー ジ
ャイロスコープが静止しているときは、センサーによっ
て回転は示されない。レーザー ジャイロスコープのリ
ング空洞が中心軸の回りを回転すると、この反対方向に
伝播する波がビート周波数を生成する。特性ロック イ
ン ゾーンより十分に上においては、ビート周波数と基
準の慣性フレームに対するジャイロスコープの回転速度
との間にある線型関係が確立される。

【０００３】実際のリング レーザー ジャイロスコー
プは、ビート周波数とジャイロスコープの回転速度との
間の理想的な線型関係を達成するための様々な調節機構
を必要とする。この理想のリング ジャイロスコープ
は、回転速度に比例するビートノートを特性とするが、
この２モード プレーナー リング レーザー ジャイ
ロスコープは、逆方向に伝播する波が低回転速度にてロ
ッキングすることを阻止するための速度バイアシングあ
るいは機械ディザリングを必要とする。モードロッキン
グは、低回転速度における主要な克服されるべき問題で
あり、ここでは、リング レーザー ジャイロスコープ
がデバイスが回転してないという偽り指標を生成する。
リング レーザー ジャイロスコープの回転速度がロッ
ク インが起こる速度よりも上の値で開始それ、その後
減速された場合、ビーム間の周波数差が、ある入力速度
において消失する。ロック インは、ビーム間の光の結
合から発生する。２モード ジャイロスコープ内の光の
反対方向に伝播するモードのロック イン効果を克服す
るための効果的な手段は、ミラーあるいはジャイロスコ
ープの本体を機械的にディザーすることである。

【０００４】これに加えて、ジャイロスコープの光学経
路長を共振空洞が原子スペクトル利得曲線の中央にて動
作することを確保するために制御及び監視することが必
要である。多様なアプリケーションのために、リング
レーザー ジャイロスコープは、広い温度レンジ、例え
ば、−５５℃から＋７５℃のレンジにて動作することが
要求される。ジャイロスコープのアクティブ利得領域に
よって放射するレーザー光線は、リング レーザーの回
りを少なくとも三つのミラーの表面からの反射によって
伝播するために、フレームの熱膨張が空洞共振波長に大
きな変化を与える。従って、ジャイロスコープの全ての
検出用計器要素がそれに対して調節される空洞の基本共
振を保存するためにジャイロスコープ リング共振器の
光学経路長を変化させるための経路長制御機構を提供す
ることが必要である。

【０００５】ミラー間の光学空洞経路を支持するモノリ
シック フレームを製造するために低膨張率ガラス材料
が使用された場合でも、リング レーザー ジャイロス
コープの経路長は、温度が変化したとき経路長の大きな
変化を受ける。この変化は、ガス状アクティブ媒体、例
えば、ヘリウム−ネオン混合物によって生成される光の
共振周波数において、５波長あるいはそれ以上の大きさ
に相当する。アクティブ経路長制御システムにおいて
は、熱による膨張及び収縮に起因する経路長の変化は、
検出エレクトロニクスによって監視され、一つあるいは
複数の圧電トランスジューサーをドライブするためのフ
ィードバック情報を提供する。

【０００６】経路長制御アセンブリーのもう一つの重要
な機能は、リング レーザー空洞の共振周波数を利得媒
体の不均一ラインのピークあるいは中央に保持すること
である。利得曲線のピークからの共振周波数の逸脱に起
因する分散効果によって、二つの反対方向に伝播する光
線が異なる屈折率、及び結果としての光学経路長を示
し、これが偽りのジャイロ出力、つまり、バイアスを与
えることは当業者においては周知である。さらに、この
バイアスは、温度に依存するのに加えて、この大きさが
空洞共振周波数と利得ライン センターとの間の制御で
きなかったオフセットに依存して変化するために高度に
エラスティックである。

【０００７】先行技術の図１の（Ａ）及び（Ｂ）に示さ
れるように、光学経路長を保存するということは、原子
スペクトル共振利得プロファイル１０の利得センター
ライン１２が最大強度のポイントにおいて、この曲線の
中央に来るべきであることを意味する。様々な温度を通
じてこのセッティングを保持するために、圧電トランス
ジューサー駆動ミラー アセンブリー１６及び１８が図
１の（Ａ）に示されるようにリング レーザー光学経路
２０の経路長の変化を補償するために軸方向に移動する
よう電気的に起動される。光の強度検出器２２及び２４
が回転を検出するために固定ミラー２６及び２８の両側
に位置される。個々のトランスジューサー駆動ミラー
アセンブリー１６及び１８は、フレキシブルの金環表面
あるいはドライバーにこれらの反射表面の軸方向の反り
を達成するために取り付けられた圧電アクチュエーター
を含む。

【０００８】今日に至るまでに、経路長制御アセンブリ
ー、例えば、図１の（Ａ）のアセンブリー１６及び１８
に対する様々なスキームが提案されている。経路長コン
トローラに対するこれら設計の中には、１９８９年４月
２５日付けにてバットラー(Butler)に交付された合衆国
特許第４，８２４，２５３号（本発明と同一の譲受人に
よって所有)；１９８９年８月２９日にリジャング（Lju
ng）らに交付された合衆国特許第４，８６１，１６１
号；１９８７年９月１日にリジャングに交付された合衆
国特許第４，６９１，３２３号、及び１９８０年７月９
日にリジャング及びウイリアムスに交付されたＵＫ特許
ＧＢ２，０３７，４５５号において開示される設計があ
る。リジャングに交付された合衆国特許第４，８６１，
１６１号は、ＰＬＣアセンブリーの設計におけるミラー
の傾斜を最少にするために特定の技術を開示する。

【０００９】図２には、先行技術による経路長制御アセ
ンブリーの複雑な構造の一例が示される。経路長コント
ローラ ミラー アセンブリー３０は、図示されるよう
に、ミラー４４を支持する膜タイプのミラー ハウジン
グ３８を含むが、このミラーは、光学経路内の光をその
表面から反射するようにジャイロスコープフレーム４０
の方を向くように位置される。ハウジング３８は外側シ
リンダー３４及び中央ミラー柱３６を持つ。ミラー柱３
６の金環表面４８及びハウジング３８の外側金環表面５
２は、円形バッキング プレート３２と水平にされる。
円形バッキング プレート３２は、ミラー ハウジング
３８とドライバー本体５０との間に挾まれる。ドライバ
ー本体はドライバー柱５４を含むが、これは、空洞長制
御アセンブリーの起動の際に、ドライバー柱の表面５６
を４２にて示される方向に沿って軸方向に移動させる。
ドライバー柱５４のこの軸方向の移動は、ミラー柱３６
によるフレキシブルなミラー膜４６に対する軸方向の移
動を起こさせ、これによって、ミラー４４が休止位置と
反った位置４４’（破線にて示される）との間で軸方向
に移動することができるようにされる。ドライバー本体
５０は、外側表面５８を持つが、これはバッキング プ
レート３２の裏側と水平にされる。

【００１０】二つの圧電要素６０及び６２がドライバー
本体５０の後ろ端の両側に位置する。これら要素は、通
常、バイメタルかバイモーリック材料であり、これらが
電気端子６４及び６６を通じてこれに電圧を加えること
によって交互に分極されると、ドライバー本体５０及び
ドライバー柱５４は、軸方向４２に、必要に応じて前後
に、ドライバー本体５０の中心軸に沿って移動する。こ
の移動は、結果として、バッキング プレートを新たな
位置６８に移動させ、ミラー ハウジング３８の振動膜
４６を新たな位置７２に移動させるが、これらの全ては
結果として、ミラー表面４４を４４’に向けて要求され
るよう軸方向に移動させる。先行技術の図２に示される
ように、別個のドライバー本体５０を含む複雑な構造が
正常に動作するバランスされた経路長制御アセンブリー
を達成するために必要とされる。このような構造の複雑
さは、ミラー４４を軸方向４２にドライブする必要性、
及びドライバー５０がアセンブリー３０のダイナミック
対称性を不安定にすることを回避するための二つの目的
から要求される。ただし、経路長コントローラが複雑で
あればある程、ジャイロスコープの設計及び製造はコス
トが高くなる。

【００１１】必要とされるのは、先行技術による経路長
コントローラーよりも少ない部品から成り、しかも性能
を犠牲にしない経路長コントローラ アセンブリーを製
造するための単純なアプローチである。ここでは、軸方
向に反ることができる膜を含むミラー ハウジング上に
搭載された（あるいはこの一部を成す）ミラーを含むリ
ング レーザー ジャイロスコープに対する経路長コン
トローラーアセンブリーが開示される。ミラー ハウジ
ングは、また、その反ることが可能な膜に接合されたミ
ラー柱を含む。このミラー ハウジングは、バッキング
プレートと水平に位置される。このバッキング プレ
ートは、電子入力信号に応答してこのバッキング プレ
ートを軸方向に反らすためのバッキング プレートに搭
載され、またこれによって支持される少なくとも一つの
トランスジューサーを持つ。この様にして、このバッキ
ング プレートは、圧電トランスジューサー要素及びミ
ラー ハウジングを支持する機能を持つと同時に、ミラ
ー柱を通じてこの膜及び反射ミラーをドライブする機能
を持つ。こうして、このバッキング プレートは、圧電
要素のバイモーヒック効果に起因してトランスジューサ
ーを支持すること及びミラー柱を軸方向にドライブする
ことの二重の機能を持つ。

【００１２】このトランスジューサー要素は、通常、ペ
アのトランスジューサーから成るが、第一のトランスジ
ューサーは、バッキング プレートの片方の側に支持さ
れた平坦なバイモーヒック ディスクであり、第二のト
ランスジューサーは、中央開口を区画する平坦なバイモ
ーヒック リングである。第二のトランスジューサーの
中央開口はミラー ハウジングのミラー柱がバッキング
プレートの片側に挿入されることを許し、一方、バッ
キング プレートの他方の側は第一のトランスジューサ
ーをサポートする。第一及び第二のトランスジューサー
のミラー柱に対する同心性のために経路長制御アセンブ
リーの傾きが最少化される。

【００１３】

【実施例】図３に示されるように、経路長制御アセンブ
リーがリング レーザージャイロスコープの三つあるい
は四つのコーナーの一つの所に位置する。ミラー面８４
は光を光学経路８７に沿って反射する。この反射面は、
ミラー膜８２上に搭載されるが、膜８２はミラー ハウ
ジング７４の順方向表面を形成する。二重機能を持つバ
ッキング プレート／ドライバー７６は、ミラー ハウ
ジング７４の裏側端に位置する。

【００１４】本発明の経路長制御アセンブリーを構成す
る要素のより詳細な図が図４及び５に示される。図示さ
れるように、経路長制御アセンブリー７０の基本要素に
は、ミラー ハウジング７４、及びその二重能力におい
てドライバーとして機能し、圧電要素７８と８０との間
に挾まれたバッキング プレート７６が含まれる。この
圧電要素７８は、ミラー ハウジング７４のミラー柱７
５を受けるための内側金環７７を持つ。これら圧電要素
７８及び８０は、エポキシ セメントを使用して、それ
ぞれ、バッキング プレート／ドライバー７６の前面及
び背面に固定し接合される。

【００１５】ミラー ハウジング７４は、順方向表面を
含むが、これはミラー表面８４を支持し、また膜表面８
２として機能する。この膜表面８２はまたミラー表面８
４に対するミラー基板として機能する。ミラー ハウジ
ング７４は、外側シリンダー８６を持つが、これは、経
路長制御アセンブリー７０に対する対称性及びバランス
を与える。

【００１６】好ましくは、圧電要素７８及び８０を除い
て、アセンブリー７０を構成する全ての要素（例えば、
ミラー ハウジング７４及びバッキング プレート／ド
ライバー７６）は、異なる熱膨張の影響が減少されるよ
うに同一材料にて製造される。比較的低い熱膨張率を持
つ材料、例えば、Cerit, Zerodur, ＵＬＥ（超低膨張）
ガラスなどが経路長制御アセンブリー７０の製造に最も
望ましい。こうすることにより、アセンブリー７０は、
−５５℃から少なくとも＋７５℃までの広い温度レンジ
を通じて動作することが可能となる。

【００１７】動作において、電気金環が図示されるよう
に電気配線８８Ａ及び８８Ｂに沿って示される。圧電要
素７８及び８０は、バッキング プレートに最も近い二
つの内側表面が同一の（例えば、負の）荷電を得、同時
に、要素７８及び８０の外側表面が反対の符号（例え
ば、正の）同一の荷電を得るようにチャージされること
に注意する。こうして、これらが電圧起動されたとき、
圧電要素７８及び８０は、経路長制御アセンブリー７９
の中心軸（図３線４−４）に沿って軸方向に曲がる傾向
を持つ。すると、圧電要素がバッキング プレートを曲
げ、ミラー柱７５を軸方向に移動させる。排気穴９０が
経路長制御アセンブリー７０内の圧力の等化を許すた
め、及び配線８８Ａ及び８８Ｂの圧電要素７８及び８０
から、及びハウジング７４の内側から外側表面への通過
を許し、アセンブリー７０の外側への電気接続ができる
ように提供される。要求される圧力の等化を達成するた
めにミラー ハウジング７４を通じての単一の排気穴の
みが要求されるが（ミラー膜８２がアセンブリー７０の
軸方向に沿って内側及び外側に移動するため）、一方、
先行技術による設計は、図２に示されるように、ドライ
バー本体５０のサイドに少なくとも一つのペアの圧力等
化穴を必要とする。

【００１８】ミラー ハウジング７４のミラー柱７５を
移動させると、反射ミラー表面８４がミラー アセンブ
リー７０の中心軸に沿って前後に移動し、これによっ
て、アクティブ空洞、あるいは光学経路長の制御が達成
される。以前は、（先行技術の図２の）追加のドライバ
ー本体５０が要求される軸方向の移動を達成するために
必要とされたが、本発明ではこれが二重の機能を持つバ
ッキング プレート７６、例えば、ドライバー／圧電要
素支持プレートを使用して達成される。この設計は、ド
ライバー本体５０の要素を削除できるためにかなりのコ
スト節約を可能とする。

【００１９】全ての経路長制御アセンブリーの性能にお
ける特に致命的なエラー源は、ミラーの傾斜、つまり、
垂直軸以外の方向のミラーの移動である。従来の技術
（つまり、リジャング（Ljung）に交付された合衆国特
許第４，８６１，１６１号)において示されるように、
このようなミラーの傾斜は、変動する温度下において、
リング レーザー ジャイロスコープ出力のバイアス
シフトを起こす。

【００２０】経路長制御ミラー アセンブリーのミラー
の傾斜をテストするための有効な技術は、“モード走査
（mode scan)”を遂行する方法である。モード走査は、
セルの電圧を経路長制御圧電要素７８及び８０に加えな
がら、光強度検出器、例えば、図１の（Ａ）の検出器２
２及び２４の出力を同時にモニターする方法である。こ
のようなテスト下においては、経路長制御ミラーがこれ
らの最大数の設計モードを通じて移動し、光検出器から
の出力信号の軌跡は、図１の（Ｂ）に示されるような曲
線（利得プロフィル）を示す。あるモード走査下におけ
る一連の利得プロフィルの最大値の変化はミラーの傾斜
の指標となる。本発明の経路長制御アセンブリー及びミ
ラーが従来のモード走査法に従ってミラーの傾斜を調べ
るためにテストされた。先行技術（合衆国特許第４，８
６１，１６１号を含む）の教示と全く異なる方法にて、
本発明の経路長制御アセンブリーは、以前の設計と比較
して固有の単純さを持つ。設計のこの単純さ（要素間の
ポイント コンタクトの不在を含む）のために、本発明
のミラーの傾斜のテストは非常にうまくいった。本発明
の教示に従って複数の経路長制御アセンブリーが製造及
びテストされた。二つのこれらアセンブリーがリング
レーザー ジャイロスコープ内に統合され、経路長制御
ミラーの傾斜を調べるためのモード走査テストを含む様
々なジャイロスコープ性能テストが遂行された。これら
テストの結果は、（設計目標内である）７つのモードの
走査を通じて、このモード走査の間に利得プロフィルの
最大値の測定されるような変化がないことを示した。

【００２１】好ましい実施態様が示されたが、ここに説
明される基本的な教示及び原理を使用する本発明のその
他の等価の実施態様を考えることが可能であり、これら
もこの好ましい実施態様と類似する機能を遂行すること
ができる。例えば、バッキング プレート７６の面を横
断して力がバランスして分布するようにさえできれば、
空洞長の制御を達成するために、ミラー ハウジング７
４に対して任意の対称形状を使用することができる。従
って、実質的に等価の機能あるいは構造を持つこれらそ
の他の実施態様も本発明の請求の範囲に入るものであ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】（Ａ）は先行技術による空洞長制御システムの
動作を図解するためのリングレーザージャイロスコープ
の図面であり、（Ｂ）は先行技術によるリング レーザ
ー ジャイロスコープの共振周波数にて動作するジャイ
ロスコープの原子利得媒体曲線を図解するグラフであ
る。

【図２】先行技術による経路長制御アセンブリーの断面
図である。

【図３】本発明のリング レーザー ジャイロスコープ
に対する経路長制御アセンブリーの一つの好ましい実施
態様の斜視図である。

【図４】本発明の経路長制御アセンブリーの図３の線４
−４に沿っての断面図である。

【図５】図３のデバイスの拡大等角図である。

【符号の説明】

７０ 経路長制御アセンブリー ７４ ミラー ハウジング ７５ ミラー柱 ７６ バッキング プレート ７８，８０ 圧電要素

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 モハメツド エム．テラニ アメリカ合衆国，91361 カリフオルニア， ウエストレイク ヴイレツジ，ルステイツ ク オーク ドライヴ 31587

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 リング レーザー ジャイロスコープ内
   に使用される経路長制御アセンブリーにおいて、該アセ
   ンブリーが：軸方向に反ることができる膜を含むミラー
   ハウジング上に搭載されたミラー；該反ることができ
   る膜に接合されたミラー柱；バッキング プレート；及
   び該バッキング プレート上に接合された電子入力信号
   に応答して該バッキングプレートを軸方向に反らすため
   の少なくとも一つのトランスジューサーを含み；該バッ
   キング プレートが該ミラー柱、該膜及び該ミラーをド
   ライブし；これによって、該バッキング プレートが該
   少なくとも一つのトランスジューサーを支持すること及
   び該ミラー柱を軸方向にドライブすることの二つの機能
   を持つことを特徴とするリング レーザー ジャイロス
   コープ経路長制御アセンブリー。
2. 【請求項２】 該少なくとも一つのトランスジューサー
   が二つのトランスジューサーから成り：第一の該トラン
   スジューサーが該バッキング プレートの片側に接合さ
   れた平坦なバイモーヒック ディスクであり；第二の該
   トランスジューサーが該ミラー柱が挿入される中央開口
   を区画する平坦なバイモーヒック リングであり、該第
   二のトランスジューサーが該バッキング プレートの他
   方の側に接合されることを特徴とする請求項１のリング
   レーザー ジャイロスコープ用経路長制御アセンブリ
   ー。
3. 【請求項３】 該少なくとも一つのトランスジューサー
   が二つのトランスジューサーから成り：第一の該トラン
   スジューサーが該バッキング プレートの片側に接合さ
   れた中央開口を区画する平坦なバイモーヒック リング
   であり；そして第二の該トランスジューサーが該ミラー
   柱が中に挿入される該第一のトランスジューサーの開口
   と同一サイズの中央開口を区画する平坦なバイモーヒッ
   ク リングであり、該第二のトランスジューサーが該バ
   ッキング プレートの他端に接合されることを特徴とす
   る請求項１のリング レーザー ジャイロスコープ経路
   長制御アセンブリー。
4. 【請求項４】 該ミラー ハウジングがアセンブリーの
   圧力の等化がそれを通じて達成される一つの換気孔のみ
   を持つことを特徴とする請求項１のリングレーザー ジ
   ャイロスコープ用経路長制御アセンブリー。
5. 【請求項５】 該ミラー ハウジング及びバッキング
   プレートが Cervit,Zerodour, 及びＵＬＥガラスから成
   る一群から選択された低温度膨張率材料から製造され；
   該経路長制御アセンブリーが広い温度レンジを通じて動
   作できることを特徴とする請求項１のリング レーザー
   ジャイロスコープ用経路長制御アセンブリー。
6. 【請求項６】 改良されたリング レーザー ジャイロ
   スコープにおいて、該リング レーザー ジャイロスコ
   ープが：閉じられた光学経路を区画するリング コンフ
   ィギュレーションに形成された共振光学空洞を含み；該
   共振光学空洞が該経路長の変化に応答して該光学経路長
   を調節するための経路長制御アセンブリーを持ち；該経
   路長制御アセンブリーがさらに：軸方向に反ることがで
   きる膜を含むミラー ハウジング上に搭載されたミラ
   ー；該反ることができる膜に接合されたミラー柱；バッ
   キング プレート；及び該バッキング プレート上に接
   合された電子入力信号に応答して該バッキングプレート
   を軸方向に反らすための少なくとも一つの圧電要素を含
   み；該バッキング プレートが該ミラー柱、該膜、及び
   該ミラーをドライブし；これによって、該バッキング
   プレートが該少なくとも一つの圧電要素を支持すること
   及び該ミラー柱を軸方向にドライブする二重の機能を持
   つことを特徴とするリング レーザー ジャイロスコー
   プ。
7. 【請求項７】 該経路長制御アセンブリーがさらに：該
   少なくとも一つの圧電要素が二つの要素から成り、 第一の該要素が該バッキング プレートの片側に接合さ
   れた平坦なビイモーヒック ディスクであり、そして該
   第二の要素が該ミラー柱が挿入される中央開口を区画す
   る平坦なバイモーヒック リングであり、該第二の要素
   が該バッキング プレートの他方の側に接合されること
   を特徴とする請求項６のリング レーザージャイロスコ
   ープ。
8. 【請求項８】 リング レーザー ジャイロスコープの
   ために使用する経路長制御アセンブリーにおいて、該ア
   センブリーが：ミラー；該ミラーを軸方向に反ることが
   可能な膜上に搭載するための手段；該反ることが可能な
   膜に結合されたミラー柱；少なくとも一つのトランスジ
   ューサー手段；及び該トランスジューサー手段を支持す
   るため及び該ミラー柱を軸方向にドライブするための手
   段；該支持及びドライブ手段上に接合された少なくとも
   一つのトランスジューサー手段が電子入力信号に応答し
   て該支持及びドライブ手段を軸方向に反らし；該支持及
   びドライブ手段が該ミラー柱、該膜及び、該ミラーを軸
   方向に変位させ；これによって、該支持及びドライブ手
   段が該少なくとも一つのトランスジューサーを支持する
   こと及び望ましくないミラーの傾斜を引き起こすことな
   く該ミラー柱及びミラーを軸方向にドライブするという
   二重の機能を提供することを特徴とする経路長制御アセ
   ンブリー。
9. 【請求項９】 該トランスジューサー手段を支持するた
   め及び該ミラー柱を軸方向にドライブするための手段が
   単一のバッキング プレートから成り；そして該ミラー
   を該軸方向に反ることができる膜上に搭載するための手
   段が一つのミラーハウジングから成ることを特徴とする
   請求項８の経路長制御アセンブリー。
10. 【請求項１０】 該少なくとも一つのトランスジューサ
    ー手段が二つのトランスジューサーから成り、 第一の該トランスジューサーが該支持及びドライブ手段
    の片側に接合された平坦なモーヒック ディスクであ
    り、そして第二の該トランスジューサーが該ミラー柱が
    その中に挿入される中央開口を区画する平坦なバイモー
    ヒック リングであり、該第二のトランスジューサーが
    該支持及びドライブ手段の他方の側に接合されることを
    特徴とする請求項８の経路長制御アセンブリー。