JPH0555351A - ワークハンドリング機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ハンドリング時のワークの損傷，位置ずれを
抑えたワークハンドリング機構を得る。 【構成】 ハンドリング機構１ａ，１ｂの側面にコレッ
ト固定用のストッパ５ａ，５ｂを取り付け、このストッ
パ５ａ，５ｂを電磁的または機械的に作動させることに
よりコレット３ａ，３ｂを任意の位置で簡易固定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、長尺，脆弱，あるい
は柔軟なものなどの例えばＣａＡｓ半導体ウエハ、ある
いはチップなどのワークハンドリング機構に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】図６〜図９は従来のワークハンドリング
機構の一連動作を示す各断面図である。図において、１
ａ，１ｂは連動するワークのハンドリング機構、２はワ
ーク、３ａ，３ｂはハンドリング機構１ａ，１ｂの設け
られたワーク吸着用のコレット、４ａ，４ｂはハンドリ
ング機構１ａ，１ｂの内部に設けられかつコレット３
ａ，３ｂの移動に追従する緩衝機構である圧縮バネであ
る。

【０００３】従来のワークハンドリング機構は、ハンド
リング機構１ａ，１ｂが連動して下降してワーク２を真
空吸着するとき、ワーク２を確実にハンドリングするた
め圧縮バネ４ａ，４ｂなどによる図８に示す姿勢の追従
機能によりコレット３ａ，３ｂの高さが傾斜したワーク
２に接触し、複数個の独立したコレット３ａ，３ｂは同
時にワーク２を真空吸着することができるようになって
いる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来のワークハンドリ
ング機構は、図９に示すようにワーク２が傾斜した状態
でハンドリング機構１ｂのバネ緩衝が解放されると、ハ
ンドリング機構１ａはワーク２から離れてしまうので吸
着ミスまたは把持ミスが発生し、しかも長尺，脆弱もの
などのハンドリングではワーク２の破損などを起こす。
また、この解決方法として図１０に示すようにハンドリ
ング機構を揺動させてワーク２の傾斜に沿わせる方法が
あるが、これらは図中想像線で示すようにワーク２の位
置ずれなどの問題点があった。

【０００５】この発明は前述のような問題点を解消する
ためになされたもので、バネ緩衝の解放時のワークの吸
着または把持ミス，ワークの破損，ハンドリング時の位
置ずれをなくし、しかも長尺，脆弱，柔軟もののハンド
リングを可能にするワークハンドリング機構を得ること
を目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明に係るワークハ
ンドリング機構は、バネ緩衝によりワークの姿勢に追従
したのちコレットをストッパにより電磁的あるいは機械
的に簡易固定することにより、ワークの姿勢を保持した
ままハンドリングするものである。

【０００７】

【作用】この発明におけるワークハンドリング機構は、
ハンドリング時のワークの姿勢（反り、傾斜など）に沿
う姿勢追従機能によりワークのダメージを極力低減せし
めると共に、姿勢に追従した位置で電磁的あるいは機械
的に簡易固定することにより、ワークの姿勢にあった位
置での保持を行いハンドリング時のワークの破損，ハン
ドリングミス，ならびに位置ずれを抑える。

【０００８】

【実施例】以下、この発明の一実施例を図１〜図５につ
いて説明する。図１は断面図、図２は図１の部分拡大
図、図３〜図５は一連の動作を示す断面図であり、前記
従来のものと同一または相当部分には同一符号を付して
説明を省略する。図において、５ａ，５ｂはコレット３
ａ，３ｂおよび圧縮バネ４ａ，４ｂを固定，解除するス
トッパで、図２に示すように電磁石６に通電せしめるこ
とにより板バネ７を介して磁性体８を吸着せしめてコレ
ット３ａおよび圧縮バネ４ａを簡易固定する。

【０００９】次に動作について説明する。図１に示すよ
うにワーク２上に移動した複数個の独立してなるハンド
リング機構１ａ，１ｂは、図２，図３に示すように連動
してワーク２を確実に吸着または把持できる位置まで降
下する。このとき、先にワーク２に接触したハンドリン
グ機構１ｂのコレット３ｂは、姿勢追従機能の圧縮バネ
４ｂのたわみによりワーク２の姿勢に追従する。このと
きハンドリング機構１ａ，１ｂはコレット３ａがワーク
２に接触した位置より少し下がって降下を完了する。降
下が完了した時点で、ストッパ５ａ，５ｂの各電磁石６
に通電せしめて電磁的に各板バネ７を介した各磁性体８
を作動させ、各電磁石６と各磁性体８とを吸着保持する
ことにより各板バネ７を介してコレット３ａ，３ｂをそ
れぞれ固定する（図４の状態）。

【００１０】そして、図５に示すように複数個の独立し
てなるハンドリング機構１ａ，１ｂが連動して上昇する
とき、ワーク２の姿勢を保持したまま上昇する。上昇
後、ストッパ５ａ，５ｂを解除することによりワーク２
のプレース時に正しい姿勢にしてプレースする。このと
き１０μｍ程度の位置ずれを問題にしなければ、ストッ
パ５ａ，５ｂの作動を機械的に行っても良い。また、ス
トッパ５ａ，５ｂの解除動作を緩やかに減衰させ、ワー
ク２にかかる緩衝などによる位置ずれなどを減少させる
こともできる。なお、ハンドリング機構１ａ，１ｂの配
置は任意の位置に自由に移動させることも可能である。

【００１１】また、ワーク２に接触したことが解る検出
スイッチを設けて、ハンドリング機構１ａ，１ｂの降下
位置を制御しても良い。前述では主にピックアップ動作
時について述べたが、プレース動作時にも同様のシーケ
ンス応用は可能であり、リリース時のワークの位置ずれ
を小さくすることができる。

【００１２】

【発明の効果】以上のように、この発明によればワーク
の姿勢に追従した位置での姿勢保持機能によりワークの
位置ずれを最小限に抑えることができ、しかもハンドリ
ングミスをなくすることができ、またワークの破損を回
避することができるので、生産性，信頼性，位置決め精
度の向上が得られるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例を示す断面図である。

【図２】図１の部分拡大図である。

【図３】図１からの一連の動作を示す断面図である。

【図４】図１からの一連の動作を示す断面図である。

【図５】図１からの一連の動作を示す断面図である。

【図６】従来のものを示す断面図である。

【図７】図６からの一連の動作を示す断面図である。

【図８】図６からの一連の動作を示す断面図である。

【図９】図６からの一連の動作を示す断面図である。

【図１０】従来の異なる機構を示す断面図である。

【符号の説明】

１ａ，１ｂ ハンドリング機構 ２ ワーク ３ａ，３ｂ コレット ４ａ，４ｂ 圧縮バネ ５ａ，５ｂ ストッパ ６ 電磁石 ７ 板バネ ８ 磁性体

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【手続補正書】

【提出日】平成４年１月１７日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正内容】

【特許請求の範囲】

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワークを吸着または把持するコレット、
   このコレットをワークの傾斜または反り姿勢に追従させ
   る緩衝機構、および前記コレットおよび緩衝機構を固
   定，解除するストッパを備えたことを特徴とするワーク
   ハンドリング機構。
2. 【請求項２】 ストッパを、緩衝方向に対して直交する
   方向に働く電磁石と、この電磁石に対して磁性体を介し
   て配される板バネとで構成し、前記電磁石を通電および
   停電せしめることにより前記磁性体を介して板バネによ
   りコレットおよび緩衝機構を自由に固定，解除する請求
   項１のワークハンドリング機構。