JPH055735B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH055735B2 JPH055735B2 JP58240602A JP24060283A JPH055735B2 JP H055735 B2 JPH055735 B2 JP H055735B2 JP 58240602 A JP58240602 A JP 58240602A JP 24060283 A JP24060283 A JP 24060283A JP H055735 B2 JPH055735 B2 JP H055735B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- station
- substrate
- magazine
- work station
- pusher
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G60/00—Simultaneously or alternatively stacking and de-stacking of articles
Landscapes
- Special Conveying (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Stacking Of Articles And Auxiliary Devices (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、基板に処理を施す作業ステーシヨン
への基板の供給と同ステーシヨンからの処理後の
基板の排出とを自動的に行う基板搬送装置に関す
る。Detailed Description of the Invention (Industrial Application Field) The present invention provides a substrate transport device that automatically supplies a substrate to a work station that processes the substrate and discharges the processed substrate from the station. Regarding.
(従来技術)
この種の装置は、一般に基板に処理を施す作業
ステーシヨンと、未処理の基板が収納された搬入
側マガジンと、処理後の基板が収納される搬入側
マガジンとを備えている。そして搬入側マガジン
内の基板は、ベルトコンベヤ等の手段により作業
ステーシヨンに搬入され、ここで処理される。処
理後の基板は、さらにベルトコンベヤ等の手段に
より作業ステーシヨンから搬出され、搬入側マガ
ジン内に搬送される。(Prior Art) This type of apparatus generally includes a work station for processing substrates, a carry-in magazine in which unprocessed substrates are stored, and a carry-in magazine in which processed substrates are stored. The substrates in the carry-in magazine are carried to a work station by means such as a belt conveyor and processed there. The processed substrate is further carried out from the work station by means such as a belt conveyor, and is conveyed into the carry-in magazine.
ところで、基板搬送装置においては構成装置の
干渉を抑えて装置全体の大きさを小さくし、かつ
正確な位置決めを行なうことが望まれている。こ
れに対し、上述した基板搬送装置の作業エリアに
は、搬送された基板を載置するターンテーブル
(作業ステーシヨン)や基板に処理を施すための
インサータマシーンを設け、基板に対する処理時
にターンテーブルを回転することにより基板をイ
ンサータマシーンに対して位置決めするようにな
つており(なお、回転テーブルによりワークを位
置決めするようにしたタイプの装置として特開昭
56−81402号公報に示されるものがある。)、従つ
て基板を搬入・搬出するためにベルトコンベア等
の位置が固定された手段を用いる場合にはターン
テーブルとベルトコンベア等とが相互に干渉し合
うことになつて両者の近接を図れず、装置の搬送
方向の長さを短くできない上に、ターンテーブル
ひいては基板のインサータマシーンに対する正確
な位置決めができず、上記要望に応えられていな
かつた。 Incidentally, in a substrate transfer apparatus, it is desired to suppress interference between component devices, reduce the size of the entire apparatus, and perform accurate positioning. In contrast, the work area of the substrate transfer device described above is equipped with a turntable (work station) on which the transferred substrate is placed and an inserter machine for processing the substrate, and the turntable is rotated when processing the substrate. By doing so, the board is positioned with respect to the inserter machine.
There is one shown in Publication No. 56-81402. ), therefore, when using a fixed-position means such as a belt conveyor to carry in and out substrates, the turntable and the belt conveyor interfere with each other, making it impossible to keep them close to each other. However, it is not possible to shorten the length of the device in the transport direction, and it is also not possible to accurately position the turntable and thus the board with respect to the inserter machine, so that the above requirements have not been met.
(発明の目的)
本発明の目的は、基板処理装置と基板搬送手段
との相互の干渉を抑えて装置全体の大きさを小さ
くし、かつ基板の正確な位置決めを行なうことが
できる基板搬送装置を提供することにある。(Object of the Invention) An object of the present invention is to provide a substrate transfer device that can suppress mutual interference between a substrate processing device and a substrate transfer means, reduce the overall size of the device, and accurately position a substrate. It is about providing.
(発明の構成)
本発明は、基板が収納された搬入側マガジン装
置と、該装置から所定の間隔をおいて該装置の前
記基板搬送方向側に設けられた搬出側マガジン装
置と、両マガジン装置間に配置され、かつ基板処
理装置前記基板を載置する回転テーブル及び該回
転テーブルを保持するX−Yテーブルを有し、両
マガジン装置間近傍に設けた基板処理装置に移動
可能な作業ステーシヨンと、前記搬入側マガジン
装置と作業ステーシヨンとの間及び前記作業ステ
ーシヨンと搬入側マガジン装置との間にそれぞれ
位置させ前記基板の非搬送時に前記作業ステーシ
ヨンから離れ基板搬送時に前記作業ステーシヨン
に接近する着ステーシヨン及び脱ステーシヨン
と、前記3つのステーシヨン面によつて構成され
る前記基板の搬送路沿いに移動自在なプツシヤ台
と、該プツシヤ台に設けられかつ前記搬送路面に
位置して前記基板の後端に当接自在な作動位置と
該搬送路から離間した休止位置とを有する出没自
在なプツシヤとを備えていることにより、基板搬
送時には着ステーシヨンを作業ステーシヨンに接
近させて搬送路沿いに出没自在なプツシヤによつ
て基板を作業ステーシヨンに搬入し、X−Yテー
ブルを基板処理装置に移動し回転テーブルの回転
により基板の処理位置を設定して基板の処理を行
い、この後着ステーシヨンを作業ステーシヨンか
ら離間させると共にプツシヤは原点に復帰させ、
次の搬送の待機状態にし、一方、脱ステーシヨン
の作業ステーシヨンに近接させて処理が施された
基板を脱ステーシヨンに排出し、この後脱ステー
シヨンを作業ステーシヨンから離間させるという
ものである。(Structure of the Invention) The present invention provides a carry-in magazine device in which a board is stored, a carry-out magazine device provided on the substrate transport direction side of the device at a predetermined distance from the device, and both magazine devices. a work station disposed between the substrate processing apparatus and having a rotary table on which the substrate is placed and an X-Y table holding the rotary table, and movable to the substrate processing apparatus provided near both magazine apparatuses; , a loading station which is located between the carry-in magazine device and the work station and between the work station and the carry-in magazine device, and which is away from the work station when the substrate is not being transported and approaches the work station when the substrate is being transported; and a removal station, a pusher stand movable along the conveyance path of the substrate constituted by the three station surfaces, and a pusher stand provided on the pusher stand and located on the conveyance path surface at the rear end of the substrate. By being equipped with a retractable pusher that has an operating position where it can freely come into contact and a rest position that is spaced from the conveyance path, the pusher can be retracted and retracted along the conveyance path by moving the loading station close to the work station during substrate conveyance. The substrate is carried into the work station by the X-Y table, the X-Y table is moved to the substrate processing equipment, the processing position of the substrate is set by rotating the rotary table, the substrate is processed, and this post-loading station is separated from the work station. At the same time, Pushya returns to the origin,
The substrate is placed in a standby state for the next transfer, while the processed substrate is discharged to the removal station in close proximity to the work station of the removal station, and then the removal station is separated from the work station.
(実施例)
以下図面に示す実施例を参照しながら本発明を
説明すると、第1図ないし第3図に示すように本
発明に係る装置は、搬入側マガジン装置と、同
装置から所定の間隔をおいてその下流側に配置
された搬出側マガジン装置と、両装置間に配置
された作業ステーシヨンと、搬入側マガジン装
置と作業ステーシヨンとの間に位置する着ス
テーシヨンと、搬出側マガジン装置と作業ス
テーシヨンとの間に位置する脱ステーシヨン
とから構成されている。(Embodiment) The present invention will be described below with reference to the embodiment shown in the drawings. As shown in FIGS. A loading station located between the loading magazine device and the working station, a loading station located between the loading magazine device and the working station, a loading station located downstream of the loading magazine device, and a work station located between the loading and unloading magazine devices. It consists of a station and a removal station located between the station and the removal station.
以下これら各部について説明する。 Each of these parts will be explained below.
上記搬入側マガジン装置は、基板収納棚(図
示せず)が設けられたマガジン1を水平方向に移
動させるマガジン用の供給コンベヤ2と、同コン
ベヤ2から搬送されてきたマガジン1を鉛直方向
に上昇させるエレベータ装置3とから構成されて
おり、該装置3の上部には、マガジン1内の基板
4を1枚づつ着ステーシヨン上に送り出す送り
ローラ5が設けられている。 The magazine device on the carry-in side includes a magazine supply conveyor 2 that horizontally moves the magazine 1 provided with a board storage shelf (not shown), and a magazine supply conveyor 2 that vertically moves the magazine 1 conveyed from the conveyor 2. An elevator device 3 is provided at the top of the device 3 to feed out the substrates 4 in the magazine 1 one by one onto a loading station.
上記着ステーシヨンは、エレベータ装置3に
隣接して設けられており、該ステーシヨンに
は、基板4を搬送するためのベルトコンベヤ6が
付設されている。この着ステーシヨンは、基板
4がベルトコンベヤ6によつて搬送され、同ステ
ーシヨンの先端に達すると、図示しないエアシ
リンダが作動することにより下流側方向に移動
し、作業ステーシヨン上の後述する搬送ガイド
と近接状態になるようになつている。また、エア
シリンダが不作動時には着ステーシヨンは作業
ステーシヨンとは250mm離れた位置にもどる。 The above-mentioned landing station is provided adjacent to the elevator device 3, and a belt conveyor 6 for conveying the substrate 4 is attached to the station. In this loading station, the substrate 4 is conveyed by a belt conveyor 6, and when it reaches the tip of the station, it is moved downstream by the operation of an air cylinder (not shown), and is moved to the downstream direction by a conveying guide on the work station, which will be described later. It's starting to get close. Additionally, when the air cylinder is inactive, the landing station returns to a position 250 mm away from the work station.
上記搬出側マガジン装置は、搬入側マガジン
装置と同様に、マガジンを下降させるエレベ
ータ装置7と、エレベータ装置7内のマガジン1
を排出する排出コンベヤ8とを備えている。 Similar to the carry-in magazine device, the carry-out magazine device includes an elevator device 7 that lowers the magazine, and a magazine 1 inside the elevator device 7.
and a discharge conveyor 8 for discharging.
上記エレベータ装置7には、脱ステーシヨン
が隣接して設けられており、該ステーシヨン上
には基板4をエレベータ装置7方向に送るベルト
コンベヤ9′が付設されている。この脱ステーシ
ヨンは、図示しないエアシリンダによつて作業
ステーシヨン方向に移動自在となつており、移
動時には作業ステーシヨン上の搬送路と近接状
態になるようになつている。また、着ステーシヨ
ンと同様にエアシリンダが不作動時には脱ステ
ーシヨンは作業ステーシヨンとは250mm離れ
た位置にもどる。 A removal station is provided adjacent to the elevator device 7, and a belt conveyor 9' for conveying the substrates 4 toward the elevator device 7 is attached above the station. This removal station is movable in the direction of the work station by an air cylinder (not shown), and is brought into close proximity to the conveyance path on the work station during movement. Also, like the loading station, when the air cylinder is inactive, the unloading station returns to a position 250 mm away from the work station.
これら着ステースヨンと脱ステーシヨンと
の間には、作業ステーシヨンが設けられてい
る。この作業ステーシヨンにはX−Yの平面方
向に移動自在なX−Yテーブルaと該X−Yテ
ーブル上で回転自在なターンテーブルbと該タ
ーンテーブル上に位置決めされるワークボード
cが設けられている。該ワークボード上には固定
の搬送ガイドdと基板4の大きさに合わせてそ
の位置が変えられる可動の搬送ガイドeが設け
られている。また、作業ステーシヨン上方には
基板4に処理を施す図示しないインサートマシン
が設けられている。該インサートマシンの部品挿
入ヘツドのヘツド中心Oは着ステーシヨンと脱
ステーシヨンとを結ぶ搬送ガイド上からは偏位
した位置にあるため、ターンテーブル上に搬送さ
れた基板4に部品を挿着するときにはX−Yテー
ブルをヘツド中心方向に移動させ、ターンテーブ
ルを回動させて適宜の位置に設定する。 A work station is provided between the loading and unloading stations. This work station is provided with an X-Y table a that is movable in the X-Y plane direction, a turntable b that is rotatable on the X-Y table, and a work board c that is positioned on the turntable. There is. A fixed transport guide d and a movable transport guide e whose position can be changed according to the size of the substrate 4 are provided on the work board. Further, an insert machine (not shown) for processing the substrate 4 is provided above the work station. The head center O of the component insertion head of the insert machine is located at a position offset from the conveyance guide connecting the loading station and the unloading station, so when inserting the component onto the board 4 conveyed onto the turntable, -Move the Y table toward the center of the head and rotate the turntable to set it at an appropriate position.
上記着ステーシヨンから作業ステーシヨン
にかけてプツシヤ台10が設けられている。この
プツシヤ台10は、これらステーシヨン,よ
りも上位に位置しており、その両端部上には、1
対のプツシヤ用シリンダ11,12(但し、12
は図示省略)が設置されている。該シリンダ1
1,12のピストン11a,12aの先端部に
は、揺動リンク13,14(但し、14は図示省
略)の基端部が回転自在に取付けられており、そ
の先端部はプツシヤ台10に回転自在に取付けら
れている。そして該リンク13,14の両端部間
には、プツシヤ台15,16の基端部が固定され
ており、図示の如く、ピストン11a,12aが
伸長すると、プツシヤ15,16は、ほぼ90°回
動してその先端部は着ステーシヨン及び作業ス
テーシヨン上に位置する作動位置Aをとる。こ
れと逆にピストン11a,12aが退動すると、
プツシヤ15,16は上記とは反対に反時計方向
に回動し、着ステーシヨン及び作業ステーシヨ
ンと略平行になる休止位置Bをとる。 A pusher table 10 is provided extending from the loading station to the work station. This pusher table 10 is located higher than these stations, and there are 1
Pair of pusher cylinders 11 and 12 (however, 12
(not shown) is installed. The cylinder 1
The base ends of swing links 13 and 14 (however, 14 is not shown) are rotatably attached to the tips of pistons 11a and 12a of pistons 1 and 12, and the tips thereof are rotatably attached to the pusher base 10. Can be installed freely. The base ends of pusher stands 15, 16 are fixed between the ends of the links 13, 14, and as shown in the figure, when the pistons 11a, 12a extend, the pushers 15, 16 rotate approximately 90 degrees. The distal end thereof assumes an operating position A located above the landing station and the working station. Conversely, when the pistons 11a and 12a retreat,
The pushers 15, 16 rotate counterclockwise in the opposite direction to the above, and assume a rest position B in which they are approximately parallel to the loading station and the work station.
上記プツシヤ台10の長手方向沿いには、プツ
シヤ台摺動シリンダ17が設けられており、その
ピストン17aの先端部に回転自在に取付けられ
たローラ18は、プツシヤ台10に摩擦係合し得
るようになつている。このローラ18は、プツシ
ヤ台10よりも作業ステーシヨン側寄りにあつ
て、作業ステーシヨン沿いに伸張するガイドレ
ール19にも摩擦係合し得るようになつており、
従つてプツシヤ台10は、ピストン17aの進退
動に応じてその長手方向に移動し得ることにな
る。 A pusher stand sliding cylinder 17 is provided along the longitudinal direction of the pusher stand 10, and a roller 18 rotatably attached to the tip of the piston 17a is configured to frictionally engage with the pusher stand 10. It's getting old. This roller 18 is located closer to the work station than the pusher table 10 and can also frictionally engage with a guide rail 19 extending along the work station.
Therefore, the pusher base 10 can be moved in its longitudinal direction in accordance with the forward and backward movements of the piston 17a.
上記ガイドレール19の先端部には、軸承部2
0が取付けられており、この軸承部20には、ス
トツパ21の基端部が回転自在に取付けられてい
る。このストツパ21は、その先端部が作業ステ
ーシヨン上に位置する作動位置Xと、作業ステ
ーシヨンと平行状の姿勢をとる休止位置Yとの
2つの位置をとることが可能である。このストツ
パ21の両端間には、ストツパ用シリンダ22の
ピストン22aの先端部が取付けられており、こ
のピストン22aの進退動によりストツパ21は
回動し得るようになつている。 At the tip of the guide rail 19, a shaft bearing 2 is provided.
0 is attached to the shaft bearing portion 20, and a base end portion of a stopper 21 is rotatably attached to the shaft bearing portion 20. This stopper 21 can take two positions: an operating position X in which its tip is located above the work station, and a rest position Y in which it is parallel to the work station. The tip of a piston 22a of a stopper cylinder 22 is attached between both ends of the stopper 21, and the stopper 21 can be rotated by the forward and backward movement of the piston 22a.
次に上記構成に係る装置の作用について述べ
る。 Next, the operation of the device having the above configuration will be described.
マガジン用の供給コンベヤ2を作動させると、
マガジン1は第1図ないし第3図において左方向
に移動し、エレベータ装置3の昇降台23上に載
置される。この昇降台23は、駆動ユニツト24
によつて駆動され上昇する。上昇が停止すると、
送りローラ5が作動し、マガジン1内の基板4は
同ローラ5によつて1枚づつ着ステーシヨン上
のベルトコンベヤ6上に搬入され、同コンベヤ6
によつて着ステーシヨンの先端部(下流側の端
部)まで搬送される。基板4が同位置に達する
と、図示しない着ステーシヨン用のシリンダが作
動し、着ステーシヨンは作業ステーシヨン方
向に移動する。そして同ステーシヨンの先端部
が作業ステーシヨン上に所定距離だけ進入した
ところで停止する。 When the magazine supply conveyor 2 is activated,
The magazine 1 moves to the left in FIGS. 1 to 3 and is placed on the elevator platform 23 of the elevator device 3. This elevating table 23 has a drive unit 24
It is driven by and rises. When the rise stops,
The feed roller 5 operates, and the substrates 4 in the magazine 1 are conveyed one by one onto the belt conveyor 6 on the loading station.
is carried to the tip (downstream end) of the mounting station. When the substrate 4 reaches the same position, a cylinder for a mounting station (not shown) is activated, and the mounting station moves toward the work station. Then, the station stops when the tip end reaches a predetermined distance above the work station.
他方脱ステーシヨンも着ステーシヨンと同
様に動作する。即ち、着ステーシヨン用のシリン
ダが作動すると同時に図示しない脱ステーシヨン
用のシリンダも作動し、これによつて脱ステーシ
ヨンは作業ステーシヨン方向に移動すること
になり、その先端部が同ステーシヨン上に所定
距離だけ進入したところで停止する。 On the other hand, the detachment station operates similarly to the attachment station. That is, at the same time that the cylinder for the mounting station operates, the cylinder for the removal station (not shown) also operates, and as a result, the removal station moves in the direction of the work station, and its tip is placed above the station by a predetermined distance. It stops when it enters.
図示しない検知手段が、着ステーシヨンの停
止を検知すると、プツシヤ用シリンダ11,12
が作動し、そのピストン11a,12bが伸長す
るため、プツシヤ15,16は水平位置から約
90°回動し、その先端部は着ステーシヨン及び
脱ステーシヨン上に位置する。これら両プツシ
ヤ15,16の先端部は、夫々のステーシヨン
,上に位置する基板4の後端部に位置するよ
うに設定されている。 When a detection means (not shown) detects that the mounting station has stopped, the pusher cylinders 11 and 12
operates, and the pistons 11a and 12b extend, so the pushers 15 and 16 move approximately from the horizontal position.
It rotates 90 degrees and its tip is located above the loading and unloading stations. The tips of these pushers 15 and 16 are set to be located at the rear end of the base plate 4 located above the respective station.
次いでプツシヤ台摺動シリンダ17が作動し、
そのピストン17aが伸長すると、その先端部に
設けられているローラ18がプツシヤ台10に摩
擦係合しているため、プツシヤ台10は下流方向
に移動することになり、これと共にプツシヤ1
5,16も下流方向に移動する。プツシヤ15,
16は、作動位置Aにおいてその先端部が基板4
の後端に当接自在となつており、従つてプツシヤ
台10が移動すると、プツシヤ15,16は基板
4をその後端から押すことになり、この結果基板
4は下流方向に搬送され、着ステーシヨン上の
基板4は作業ステーシヨンに、また作業ステー
シヨン上の基板4は脱ステーシヨン上に搬入
されることになる。 Next, the pusher table sliding cylinder 17 operates,
When the piston 17a extends, the roller 18 provided at its tip is frictionally engaged with the pusher stand 10, so the pusher stand 10 moves in the downstream direction, and along with this, the pusher stand 10 moves downstream.
5 and 16 also move downstream. Pushsia 15,
16, its tip end is connected to the substrate 4 in the operating position A.
When the pusher table 10 moves, the pushers 15 and 16 push the substrate 4 from the rear end, and as a result, the substrate 4 is conveyed downstream and is moved to the mounting station. The upper substrate 4 will be loaded into the work station, and the substrate 4 on the work station will be loaded onto the removal station.
ところで前述したように、作業ステーシヨン
の所定位置には、ストツパ21が設けられてお
り、同ステーシヨン上の基板4の後端が通過す
ると、その先端部は同ステーシヨン上に達し作
動位置をとる。この位置は、基板4が当接する位
置になつており、従つてプツシヤ15,16によ
つて搬送されてきた基板4は、その先端がストツ
パ21に当接することにより当該位置で停止する
ことになる。 As described above, the stopper 21 is provided at a predetermined position on the work station, and when the rear end of the substrate 4 on the station passes, its tip reaches the top of the station and assumes the operating position. This position is the position where the board 4 comes into contact, and therefore, the board 4 conveyed by the pushers 15 and 16 stops at this position when its tip comes into contact with the stopper 21. .
このストツパ21の利点は、次の点にある。即
ち、基板4には大から小まで種々の寸法があり、
従つて基板4の寸法に応じて装置に何等かの変更
を施さなければ、基板4の停止装置にばらつきが
生じることになる。つまり寸法が大きい基板4
は、小さい基板4よりも寸法の差だけ短い時間で
作業ステーシヨンに到達するからである。従つ
てこのようなばらつきをなくすためには、基板4
の寸法に応じて装置に何等かの変更を施さなけれ
ばならない。しかしこれでは煩しさに耐え得な
い。 The advantages of this stopper 21 are as follows. That is, the substrate 4 has various sizes from large to small.
Therefore, unless some modification is made to the device depending on the dimensions of the substrate 4, variations will occur in the device for stopping the substrate 4. In other words, the board 4 has large dimensions.
This is because the substrate 4 reaches the work station in a shorter time than the smaller substrate 4 due to the size difference. Therefore, in order to eliminate such variations, it is necessary to
Some modifications must be made to the equipment depending on the dimensions of the equipment. But this is too much trouble to bear.
そこで上記ストツパ21が用いられるのであ
る。つまり、ストツパ21の正確な位置と、プツ
シヤ台摺動シリンダ17のストローク速度と、退
動時におけるピストン17aの先端からストツパ
21までの距離とが予めわかつていれば、基板4
の先端がストツパ21に達するまでの時間がわか
ることになる。そこで最も寸法の短い基板4を選
び、当該基板4がストツパ21に達する時間を測
定し、この測定時間をタイマにセツトしておき、
タイマの設定時間が満了したところでプツシヤ台
摺動シリンダ17の作動が停止するようにしてお
く。このように設定しておけは、当該基板4がス
トツパ21に当接したところで基板4が停止する
と共にプツシヤ台摺動シリンダ17の作動も停止
する。 Therefore, the stopper 21 is used. In other words, if the exact position of the stopper 21, the stroke speed of the pusher table sliding cylinder 17, and the distance from the tip of the piston 17a to the stopper 21 during retraction are known in advance, the substrate 4
This means that the time required for the tip to reach the stopper 21 can be determined. Therefore, select the board 4 with the shortest size, measure the time it takes for the board 4 to reach the stopper 21, and set this measurement time in a timer.
The operation of the pusher table sliding cylinder 17 is made to stop when the set time of the timer expires. With this setting, when the base plate 4 comes into contact with the stopper 21, the base plate 4 stops and the operation of the pusher table sliding cylinder 17 also stops.
処理を施すべき基板4の寸法が上記基板4のそ
れよりも大きい場合には、最も寸法の小さい基板
4よりも短い時間でストツパ21に到達すること
になり、従つて基板4は停止するが、タイマの設
定時間は満了しいないため、プツシヤ台摺動シリ
ンダ17は設定時間が満了に到るまで作動を継続
する。 If the size of the substrate 4 to be processed is larger than that of the substrate 4, it will reach the stopper 21 in a shorter time than the substrate 4 with the smallest size, and therefore the substrate 4 will stop. Since the set time of the timer has not expired, the pusher table sliding cylinder 17 continues to operate until the set time expires.
このようにタイマの設定時間が満了した時点
で、作業ステーシヨン上にあつた基板4は、脱
ステーシヨン上に達している。 When the set time of the timer expires in this way, the substrate 4 that was on the work station has reached the top of the removal station.
かくして着ステーシヨン上の基板4が作業ス
テーシヨン上に、また作業ステーシヨン上の
基板4が脱ステーシヨン上に達すると、プツシ
ヤ15,16及びストツパ21は休止位置に復帰
し、プツシヤ台10、着ステーシヨン及び脱ス
テーシヨンも夫々元の位置に復帰する。 Thus, when the substrate 4 on the loading station reaches the work station and the substrate 4 on the work station reaches the unloading station, the pushers 15, 16 and the stopper 21 return to their rest positions, and the pusher base 10, the loading station, and the unloading station are moved. The stations also return to their original positions.
次いで作業ステーシヨンのX−Yテーブル
aは搬送ガイドと直交する方向に動いて基板4を
作業ステーシヨンに設けられた図示しないイン
サータマシンのヘツドの真下に移動する。そして
インサータマシンが作動し、基板4の所定の位置
に部品を挿着する。この間、脱ステーシヨン上
の基板4は、押込みシリンダ25及びコンベア
9′によつてエレベータ装置7のマガジン1内に
収納されることになり、収納が完了したならば、
押込みシリンダ25は元の位置に復帰する。また
この間、搬入側マガジン内から基板4が着ステー
シヨン上に供給される。 Next, the X-Y table a of the work station moves in a direction perpendicular to the conveyance guide to move the substrate 4 directly below the head of an inserter machine (not shown) provided at the work station. Then, the inserter machine operates and inserts the component into a predetermined position on the board 4. During this time, the substrate 4 on the unloading station will be stored in the magazine 1 of the elevator device 7 by the push cylinder 25 and the conveyor 9', and once the storage is completed,
The push cylinder 25 returns to its original position. Also, during this time, the substrate 4 is supplied onto the mounting station from within the carry-in magazine.
尚、搬入側のエレベータ装置3内で空になつた
マガジン1は、供給コンベヤ2の上方に設けられ
た排出コンベヤ2aにより排出され、また搬出側
では、排出コンベヤ8の上方に設けられた供給コ
ンベヤ8aによつて空のマガジン1がエレベータ
装置7内に供給されるようになつている。 Incidentally, the empty magazine 1 in the elevator device 3 on the carry-in side is discharged by the discharge conveyor 2a provided above the supply conveyor 2, and on the carry-out side, the magazine 1 is discharged by the discharge conveyor 2a provided above the discharge conveyor 8. 8a allows empty magazines 1 to be fed into the elevator system 7.
(効果)
本発明は、以上か明らかなように、移動自在な
着・脱ステーシヨン、基板の搬送路面に出没自在
なプツシヤによつて基板の搬送を行うので、作業
ステーシヨンと着・脱ステーシヨンとの干渉を、
着・脱ステーシヨンが変位することにより基板の
搬送に応じて適切に避けることができ、この分
着・脱ステーシヨンの作業ステーシヨンへの近接
を図れて装置全体の基板搬送方向の長さひいては
その大きさを小さくでき、かつ干渉等に伴つて惹
起が懸念される基板の位置設定不良がなくなつて
基板の設定精度を向上できる。(Effects) As is clear from the above, in the present invention, substrates are transported by a movable loading/unloading station and a pusher that can appear and retract from the substrate conveying path, so that the work station and the loading/unloading station are connected to each other. interference,
By displacing the loading/unloading station, it is possible to appropriately avoid the loading/unloading station according to the conveyance of the board, and by making the loading/unloading station closer to the work station, the length of the entire device in the substrate conveying direction and its size can be reduced. It is possible to reduce the size of the substrate, and to eliminate defects in board positioning that may occur due to interference and the like, thereby improving board setting accuracy.
また上記搬送手段は、平面沿いに移動するた
め、装置の簡素化、小型化が図れることになる。 Furthermore, since the conveying means moves along a plane, the apparatus can be simplified and downsized.
さらに、構成が簡単なため、メンテナンスが容
易になり、しかも基板の供給、排出を一動作で行
うことができるため作業時間が短縮化される。 Furthermore, since the structure is simple, maintenance is easy, and since substrates can be fed and discharged in one operation, the working time is shortened.
第1図は本発明に係る装置の概略図、第2図
a,b,c,dは同装置の側面図、第3図a,
b,c,dは同装置の平面図、第4図は同装置の
作用を示す説明図である。
……搬入側マガジン装置、……搬出側マガ
ジン装置、……作業ステーシヨン、……着ス
テーシヨン、……脱ステーシヨン、4……基
板、10……プツシヤ台、15,16……プツシ
ヤ、A……作動位置、B……休止位置。
FIG. 1 is a schematic diagram of the device according to the present invention, FIGS. 2 a, b, c, and d are side views of the same device, and FIGS. 3 a,
b, c, and d are plan views of the same device, and FIG. 4 is an explanatory diagram showing the operation of the same device. ... Carrying-in magazine device, ... Carrying-out magazine device, ... Work station, ... Loading station, ... Detachment station, 4... Board, 10... Pusher stand, 15, 16... Pusher, A... Working position, B...rest position.
Claims (1)
装置から所定の間隔をおいて該装置の前記基板搬
送方向側に設けられた搬出側マガジン装置と、両
マガジン装置間に配置され、かつ基板処理装置前
記基板を載置する回転テーブル及び該回転テーブ
ルを保持するX−Yテーブルを有し、両マガジン
装置間近傍に設けた基板処理装置に移動可能な作
業ステーシヨンと、前記搬入側マガジン装置と作
業ステーシヨンとの間及び前記作業ステーシヨン
と搬入側マガジン装置との間にそれぞれ位置させ
前記基板の非搬送時に前記作業ステーシヨンから
離れ基板搬送時に前記作業ステーシヨンに接近す
る着ステーシヨン及び脱ステーシヨンと、前記3
つのステーシヨン面によつて構成される前記基板
の搬送路沿いに移動自在なプツシヤ台と、該プツ
シヤ台に設けられかつ前記搬送路面に位置して前
記基板の後端に当接自在な作動位置と該搬送路か
ら離間した休止位置とを有する出没自在なプツシ
ヤとを備えていることを特徴とする基板搬送装
置。1. A carry-in magazine device in which substrates are stored, a carry-out magazine device provided on the substrate transport direction side of the device at a predetermined distance from the device, and a magazine device arranged between both magazine devices and capable of processing substrates. The device has a rotary table on which the substrate is placed and an X-Y table that holds the rotary table, and a work station that is movable to the substrate processing device provided near both magazine devices, and a work station that works with the magazine device on the carry-in side. a loading station and a unloading station, which are respectively located between the work station and the carry-in magazine device and are separated from the work station when the substrate is not being transported and approach the work station when the substrate is being transported;
a pusher stand that is movable along the conveyance path of the substrate and is configured by two station surfaces; 1. A substrate transfer device comprising: a pusher that is retractable and has a rest position spaced from the transfer path.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58240602A JPS60132832A (en) | 1983-12-20 | 1983-12-20 | Board transfer device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58240602A JPS60132832A (en) | 1983-12-20 | 1983-12-20 | Board transfer device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60132832A JPS60132832A (en) | 1985-07-15 |
| JPH055735B2 true JPH055735B2 (en) | 1993-01-25 |
Family
ID=17061929
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58240602A Granted JPS60132832A (en) | 1983-12-20 | 1983-12-20 | Board transfer device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60132832A (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100919019B1 (en) * | 2002-12-13 | 2009-09-24 | 주식회사 포스코 | Mini Mill Calcium Wire Cage Automatic Filling Device |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5538890Y2 (en) * | 1978-02-13 | 1980-09-11 | ||
| JPS5681402A (en) * | 1979-11-12 | 1981-07-03 | Shinkawa Ltd | Apparatus for feeding and carrying-out of sample |
| JPS57191727U (en) * | 1981-05-29 | 1982-12-04 |
-
1983
- 1983-12-20 JP JP58240602A patent/JPS60132832A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60132832A (en) | 1985-07-15 |
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