JPH055849U - 物品搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 被加工物を処理槽から引上げたとき、その被
加工物の下に押出されて被加工物から滴下する液滴を受
止める液受けトレーを設ける。 【効果】 液滴が処理槽の外に滴下して処理槽の外を汚
染したり、次の処理槽の中に滴下して品質を悪化させる
のを防止できる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、電子機器に用いる回路基板や半導体の製造のとき、メッキ工程や現 像工程やエッチング工程等の複数の液体浸漬工程間を、回路基板や半導体等の被 加工物を保持して搬送するための物品搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来の電子機器に用いる回路基板や半導体の製造のとき、メッキ工程や現像工 程やエッチング工程等の複数の液体浸漬工程間を、回路基板や半導体等の被加工 物を保持して搬送するための従来の物品搬送装置は、一つの工程において保持し ている被加工物を液体に浸漬してそれを引上げると、そのままの状態で次工程に 移動するという手順によって被加工物を搬送している。

【０００３】 図３は、このような従来の物品搬送装置の一例を示す正面図である。

【０００４】 図３において、物品搬送装置（図示省略）に保持された被加工物３は、ニッケ ルめっき槽１４の位置に搬送されてくると、そこで降下させられてニッケルめっ き槽１４の中に浸漬され、そこで所定の時間が経過すると再び引上げられて次の 工程である金めっき槽１５の位置に搬送される（矢印Ｅ）。このとき、被加工物 ３に付着したニッケルめっき槽１４の液は、フード１２の上や金めっき槽１５の 中に滴下する。同様に、金めっき槽１５の位置に搬送されてきた被加工物３は、 そこで降下させられて金めっき槽１５の中に浸漬され、所定の時間の経過後引上 げられて次の工程のコバルトめっき槽１６の位置に搬送される（矢印Ｆ）。この とき、被加工物３に付着した金めっき槽１５の液は、フード１３の上やコバルト めっき槽１６の中にに滴下する。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

上述したように、従来の物品搬送装置は、被加工物３に付着した液が、次の工 程に移動するとき、処理槽の外に滴下したり、次の処理槽の中に滴下するため、 槽の外を汚染し、また他の処理槽に不純物を加えて品質を悪化させるという欠点 を有している。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

本考案の物品搬送装置は、複数の液体浸漬工程を有する製造装置において前記 複数の液体浸漬工程間を被加工物を搬送するための物品搬送装置であって、前記 被加工物を保持して上下運動を行う物品保持部と、前記物品保持部を保持してレ ールに沿って左右方向に移動する本体部と、前記本体部の下部に設けられて前記 物品保持部に保持された前記被加工物の下方の位置に前後方向に出し入れ可能で あり洗浄液を流入する流入口と前記洗浄液をパイプを介して排出する排出口とを 有する液受けトレーとを備えている。

【０００７】

【実施例】

次に、本考案の実施例について図面を参照して説明する。

【０００８】 図１は本考案の一実施例を示す図で、（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図、図２ は図１の実施例の液受けトレーの詳細を示す斜視図である。

【０００９】 図１において、物品保持部１は、被加工物３を保持して上下運動（矢印Ａ）を 行う。本体部９は、物品保持部１を保持してレール８に沿って左右方向（矢印Ｂ ）に移動する。液受けトレー２は、本体部９の下部に設けられており、物品保持 部１に保持された被加工物３の下方の位置に前後方向（矢印Ｃ）に出し入れ可能 である。

【００１０】 液受けトレー２は、図２に示すように、洗浄液５を流入するための複数の流入 口１０と、流入口１０から流入した洗浄液５をパイプ７を介して排出する排出口 ６とを有しており、被加工物３が降下するときは後方に引込められており、被加 工物３が処理槽から引上げられたとき、被加工物３の下方の位置に押出される。 このため、被加工物３から滴下する液滴４は、液受けトレー２によって受止めら れ、流入口１０から流入する洗浄液５によって洗浄されて排出口６からパイプ７ を介して排出される。従って、液滴４が処理槽の外に滴下したり、次の処理槽の 中に滴下するが防止される。

【００１１】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案の物品搬送装置は、被加工物を処理槽から引上げ たとき、その被加工物の下に押出されて被加工物から滴下する液滴を受止める液 受けトレーを設けることにより、液滴が処理槽の外に滴下して処理槽の外を汚染 したり、次の処理槽の中に滴下して品質を悪化させるのを防止できるという効果 がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す図で、（ａ）は側面
図、（ｂ）は正面図である。

【図２】図１の実施例の液受けトレーの詳細を示す斜視
図である。

【図３】従来の物品搬送装置の一例を示す正面図であ
る。

【符号の説明】

１ 物品保持部 ２ 液受けトレー ３ 被加工物 ４ 液滴 ５ 洗浄液 ６ 排出口 ７ パイプ ８ レール ９ 本体部 １０ 流入口 １２ フード １３ フード １４ ニッケルめっき槽 １５ 金めっき槽 １６ コバルトめっき槽

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 【請求項１】 複数の液体浸漬工程を有する製造装置に
   おいて被加工物を前記複数の液体浸漬工程間を搬送する
   ための物品搬送装置であって、前記被加工物を保持して
   上下運動を行う物品保持部と、前記物品保持部を保持し
   てレールに沿って左右方向に移動する本体部と、前記本
   体部の下部に設けられて前記物品保持部に保持された前
   記被加工物の下方の位置に前後方向に出し入れ可能であ
   り洗浄液を流入する流入口と前記洗浄液をパイプを介し
   て排出する排出口とを有する液受けトレーとを備えるこ
   とを特徴とする物品搬送装置。