JPH055855U - 連続ｐｖｄ装置 - Google Patents
連続ｐｖｄ装置Info
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- JPH055855U JPH055855U JP5089491U JP5089491U JPH055855U JP H055855 U JPH055855 U JP H055855U JP 5089491 U JP5089491 U JP 5089491U JP 5089491 U JP5089491 U JP 5089491U JP H055855 U JPH055855 U JP H055855U
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 長尺薄板の幅変更に対応して蒸着範囲を容易
に変更でき、しかも成膜効率が良好な連続ＰＶＤ装置を
提供することを目的とする。 【構成】 プラズマガン（２）からのプラズマ流（３）
を磁場によってシート状に変形させ、該シート状プラズ
マを、下方に配設した永久磁石（８）により蒸発原料る
つぼ（７）上に導いて蒸発原料を蒸発させ、該蒸発原料
の上方を走行する長尺薄板（９）上に連続的に薄膜を形
成する連続ＰＶＤ装置において、前記るつぼ（７）とそ
の下方に配設した永久磁石（８）とを長尺薄板と平行な
平面上で一体的に所定角度回動可能とする駆動手段（１
０）を備えたことを特徴とする。
に変更でき、しかも成膜効率が良好な連続ＰＶＤ装置を
提供することを目的とする。 【構成】 プラズマガン（２）からのプラズマ流（３）
を磁場によってシート状に変形させ、該シート状プラズ
マを、下方に配設した永久磁石（８）により蒸発原料る
つぼ（７）上に導いて蒸発原料を蒸発させ、該蒸発原料
の上方を走行する長尺薄板（９）上に連続的に薄膜を形
成する連続ＰＶＤ装置において、前記るつぼ（７）とそ
の下方に配設した永久磁石（８）とを長尺薄板と平行な
平面上で一体的に所定角度回動可能とする駆動手段（１
０）を備えたことを特徴とする。
Description
【０００１】
本発明は、プラズマガンからのプラズマ流を磁場によってシート状に変形させ 、該シート状プラズマを、下方に配設した永久磁石により蒸発原料るつぼ上に導 いて蒸発原料を蒸発させ、該蒸発原料の上方を走行する長尺薄板上に連続的に薄 膜を形成する連続ＰＶＤ装置に関するものである。
【０００２】
従来、イオンプレーティング処理あるいは真空蒸着処理を行なう前記ＰＶＤ（ physical vaper deposition）装置として、図５に示すように、真空室１の側部 に、たとえば圧力勾配型プラズマガン２を取付け、前記プラズマガン２からのプ ラズマ流３を空芯コイル４によって、１０-2〜１０-4Ｔｏｒｒの圧力状態とされ た真空室１に引き出し、このプラズマ流３を一対の永久磁石５の磁場によってシ ート状に変形し、該シート状プラズマ流３を、その幅方向に設けた細長いるつぼ ７の下方に設置された１個の細長い固定永久磁石８によって蒸発原料６上に導き 、蒸発原料６を蒸発させ、該蒸発原料６の上方を走行する長尺薄板９上に薄膜を 形成するものがある。なお、反応ガス導入口１ａより、反応ガスとして窒素ガス 、酸素ガス等を導入してもよい。
【０００３】
ところで、るつぼ７の下方に設置される永久磁石８によって形成される磁束密 度分布は、該永久磁石８の設置位置および形状によって一定状態となっているの で、前記磁束密度分布と相関関係にあるプラズマ流３の密度分布も一定状態であ る。すなわち、蒸発原料４の溶融状態は一定状態であるため、前記長尺薄板１０ の幅を変更する場合、効率よく成膜するには前記永久磁石８の長さを異なるもの に取り替えなければならず、操作が非常に面倒であるという課題を有していた。 したがって、本考案は前記従来の課題を、簡単な手段で解決することのできる 連続ＰＶＤ装置を提供することを目的とする。
【０００４】
本考案は、前記目的を達成するために、プラズマガンからのプラズマ流を磁場 によってシート状に変形させ、該シート状プラズマを、下方に配設した永久磁石 により蒸発原料るつぼ上に導いて蒸発原料を蒸発させ、該蒸発原料の上方を走行 する長尺薄板上に連続的に薄膜を形成する連続ＰＶＤ装置において、前記るつぼ とその下方に配設した永久磁石とを長尺薄板と平行な平面上で一体的に所定角度 回動可能とする駆動手段を備えたものである。
【０００５】
前記のように、本考案においては、蒸発原料るつぼとその下方に設けた永久磁 石とを、長尺薄板と平行な平面上で一体的に所定角度回動可能としたため、長尺 薄板の幅に合わせてるつぼを回動させることにより、容易に長尺薄板の幅に対応 した蒸着範囲とすることができる。
【０００６】
つぎに、本考案の実施例を図面にしたがって説明する。 本考案は、前記従来のＰＶＤ装置における細長いるつぼ７とその下方に設置し た永久磁石８とを、モータ等の駆動装置１０により回動可能としたものである。 なお、その他は従来と同様であるため、同一部分に同一符号を付して説明を省 略する。
【０００７】 図１から図３は、本考案にかかる連続ＰＶＤ装置の第１実施例を示し、永久磁 石８はるつぼ７の下方に設置され、走行する長尺薄板９の下方で、前記駆動装置 １０によりネジ軸１１等を介して前記るつぼ７の中心を軸１３として水平に所定 角度回動するようになっている。なお、１２はるつぼ７の回動角度を検出する回 動角度検出装置である。 したがって、最も幅の広い長尺薄板（るつぼ長と略同一長さＷ）９を処理する には、図２に示すように、るつぼ７を長尺薄板９の走行方向に対して直角に位置 させ、長尺薄板９の幅（ｗ）が狭くなると、図３に示すように、るつぼ７を駆動 装置１０により回動させ、その両端を長尺薄板９の両縁部と一致させることによ り容易に長尺薄板９の幅方向の蒸着範囲を変更することができ、しかも、蒸発原 料６から蒸発した原料粒子の大半が長尺薄板９上に付着するため成膜効率も非常 に良好である。
【０００８】 前記実施例では長尺薄板９の幅が変更された場合、変更前後の長尺薄板９の各 幅方向の中央が一致する場合であるが、変更前後において長尺薄板９の一側縁が 同一位置となる場合には、図４に示すように、るつぼ７の回動中心１３を、るつ ぼ７の一端部中央としてるつぼ７を回動可能とすればよい。
【０００９】
以上の説明で明らかなように、本考案によれば、長尺薄板の幅が変更されると 、それに応じてるつぼとその下方に配設した永久磁石とを回動することにより蒸 着面積を変更でき、しかも、成膜の効率向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本考案の連続ＰＶＤ装置の概略図。
【図２】 第１実施例を示す図１のＡ−Ａ線断面図。
【図３】 図２において、るつぼを回動させた状態の平
面図。
面図。
【図４】 第２実施例を示す図１のＡ−Ａ線断面図。
【図５】 従来の連続ＰＶＤ装置の概略図。
１…真空室、２…プラズマガン、３…プラズマ流、６…
蒸発原料、７…るつぼ、８…永久磁石、９…長尺薄板、
１０…駆動装置。
蒸発原料、７…るつぼ、８…永久磁石、９…長尺薄板、
１０…駆動装置。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 【請求項１】 プラズマガンからのプラズマ流を磁場に
よってシート状に変形させ、該シート状プラズマを、下
方に配設した永久磁石により蒸発原料るつぼ上に導いて
蒸発原料を蒸発させ、該蒸発原料の上方を走行する長尺
薄板上に連続的に薄膜を形成する連続ＰＶＤ装置におい
て、前記るつぼとその下方に配設した永久磁石とを長尺
薄板と平行な平面上で一体的に所定角度回動可能とする
駆動手段を備えたことを特徴とする連続ＰＶＤ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5089491U JPH055855U (ja) | 1991-07-02 | 1991-07-02 | 連続ｐｖｄ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5089491U JPH055855U (ja) | 1991-07-02 | 1991-07-02 | 連続ｐｖｄ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH055855U true JPH055855U (ja) | 1993-01-26 |
Family
ID=12871447
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5089491U Pending JPH055855U (ja) | 1991-07-02 | 1991-07-02 | 連続ｐｖｄ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH055855U (ja) |
-
1991
- 1991-07-02 JP JP5089491U patent/JPH055855U/ja active Pending
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