JPH0559010B2 - - Google Patents
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- JPH0559010B2 JPH0559010B2 JP1017881A JP1788189A JPH0559010B2 JP H0559010 B2 JPH0559010 B2 JP H0559010B2 JP 1017881 A JP1017881 A JP 1017881A JP 1788189 A JP1788189 A JP 1788189A JP H0559010 B2 JPH0559010 B2 JP H0559010B2
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- Japan
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- guide rail
- vacuum
- stator
- vacuum chamber
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Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、例えば超LSI等の半導体を製造する
ための真空装置等の真空内部において半導体ウエ
ハー等を搬送するために使用する真空内搬送装置
に関し、特に、磁気浮上を利用して真空内で搬送
を行う磁気浮上形真空内搬送装置に関する。
ための真空装置等の真空内部において半導体ウエ
ハー等を搬送するために使用する真空内搬送装置
に関し、特に、磁気浮上を利用して真空内で搬送
を行う磁気浮上形真空内搬送装置に関する。
［従来の技術］
従来、例えば超LSI等の次世代半導体を製造す
るためには、ダストの極めて少ない超高真空装置
が必要となる。そのためには、真空室の内部で半
導体ウエハー等を搬送するためのウエハー搬送装
置も、さらに出来る限りダストを発生しないよう
にするため、摺動部のない例えば磁気浮上式の搬
送装置が必要となる。すなわち、従来のベアリン
グやオイルを用いた摺動面を有するウエハー搬
送、移動、回転機構では、その潤滑油の放散やダ
スト粒子の発生を招いてしまい、例えば
10-10torr以上と言うような超高真空を達成する
ことは難しい。また、例え達成することが出来た
としても非常に大容量の真空ポンプが必要になる
からである。
るためには、ダストの極めて少ない超高真空装置
が必要となる。そのためには、真空室の内部で半
導体ウエハー等を搬送するためのウエハー搬送装
置も、さらに出来る限りダストを発生しないよう
にするため、摺動部のない例えば磁気浮上式の搬
送装置が必要となる。すなわち、従来のベアリン
グやオイルを用いた摺動面を有するウエハー搬
送、移動、回転機構では、その潤滑油の放散やダ
スト粒子の発生を招いてしまい、例えば
10-10torr以上と言うような超高真空を達成する
ことは難しい。また、例え達成することが出来た
としても非常に大容量の真空ポンプが必要になる
からである。
上記の磁気浮上搬送装置としては、一般にリニ
アモータが採用され、このリニアモータは可動子
と固定子とから成り、上記可動子はガイドレール
の表面上に対向して設けられた永久磁石の反発す
る磁力によつて浮上される。そして、可動子の移
動あるいは位置の制御は、ガイドレールに沿つて
巻設した固定子のコイルにより形成された電磁石
の順次励磁することによつて行われる。
アモータが採用され、このリニアモータは可動子
と固定子とから成り、上記可動子はガイドレール
の表面上に対向して設けられた永久磁石の反発す
る磁力によつて浮上される。そして、可動子の移
動あるいは位置の制御は、ガイドレールに沿つて
巻設した固定子のコイルにより形成された電磁石
の順次励磁することによつて行われる。
このような磁気浮上装置では、固定子の電磁石
を形成するコイルの表面に塗布された絶縁材が高
真空中で放散し、超高真空を破壊するのを防止し
たり、放熱等のためため、例えば、特開昭60−
261302公報や実開昭55−125862号公報のように、
固定子を真空空間の外側に配置することが行われ
ている。すなわち、これらの従来技術では、内部
が真空に維持された筒状の搬送路に沿つて可動子
を移動させると共に、固定子はこの搬送路の外側
に配置し、搬送路の壁を介して固定子の磁界を可
動子に及ぼすものである。
を形成するコイルの表面に塗布された絶縁材が高
真空中で放散し、超高真空を破壊するのを防止し
たり、放熱等のためため、例えば、特開昭60−
261302公報や実開昭55−125862号公報のように、
固定子を真空空間の外側に配置することが行われ
ている。すなわち、これらの従来技術では、内部
が真空に維持された筒状の搬送路に沿つて可動子
を移動させると共に、固定子はこの搬送路の外側
に配置し、搬送路の壁を介して固定子の磁界を可
動子に及ぼすものである。
［発明が解決しようとしている課題］
しかしながら、このような従来の搬送装置で
は、細長い搬送路の壁面近くでのみ可動子を移動
させることができ、搬送路の壁面から離れた位置
には搬送路を配置できないという欠点がある。従
つて、大きな真空室の奥側に搬送路を設けること
は不可能であつた。
は、細長い搬送路の壁面近くでのみ可動子を移動
させることができ、搬送路の壁面から離れた位置
には搬送路を配置できないという欠点がある。従
つて、大きな真空室の奥側に搬送路を設けること
は不可能であつた。
そこで、本発明は、上記の従来技術における問
題点に鑑み、真空室内の任意の位置に搬送路を配
置することが可能な磁気浮上形真空内搬送装置を
提供することにある。
題点に鑑み、真空室内の任意の位置に搬送路を配
置することが可能な磁気浮上形真空内搬送装置を
提供することにある。
［課題を解決するための手段］
すなわち本発明は、上記目的を達成するため、
真空室内にガイドレールを敷設し、同ガイドレー
ルの表面上に磁石を配列し、上記ガイドレールの
上に可動子を配置し、同可動子の下面に上記磁石
との間に反発する磁石を生じるように磁極を設定
した磁石を設け、上記ガイドレールに沿つて電磁
石からなる固定子を配設し、上記固定子の電磁石
を励磁して上記ガイドレールの表面上に浮上した
上記可動子を上記ガイドレールに沿つて移動させ
る磁気浮上形真空内搬送装置において、上記電磁
石からなる固定子をパイプ状の容器の内部に収容
すると共に、同パイプ状の容器の端部を屈曲自在
なベローズを介して真空室の壁に取り付けて、そ
の内部を真空室の壁の外側の外気に解放したこと
を特徴とする磁気浮上形真空内搬送装置を提供す
る。
真空室内にガイドレールを敷設し、同ガイドレー
ルの表面上に磁石を配列し、上記ガイドレールの
上に可動子を配置し、同可動子の下面に上記磁石
との間に反発する磁石を生じるように磁極を設定
した磁石を設け、上記ガイドレールに沿つて電磁
石からなる固定子を配設し、上記固定子の電磁石
を励磁して上記ガイドレールの表面上に浮上した
上記可動子を上記ガイドレールに沿つて移動させ
る磁気浮上形真空内搬送装置において、上記電磁
石からなる固定子をパイプ状の容器の内部に収容
すると共に、同パイプ状の容器の端部を屈曲自在
なベローズを介して真空室の壁に取り付けて、そ
の内部を真空室の壁の外側の外気に解放したこと
を特徴とする磁気浮上形真空内搬送装置を提供す
る。
［作用］
上記の磁気浮上形真空内搬送装置によれば、電
磁石からなる固定子を収納したパイプ状の容器の
端部を屈曲自在なベローズを介して真空室の壁に
取り付けたため、この固定子を収納した容器は、
ベローズの部分で自由に曲げることができる。こ
のため、固定子を真空室内の壁から離れた任意の
位置に配置することができるので、可動子を走行
させるガイドレールも任意の位置に配置できる。
磁石からなる固定子を収納したパイプ状の容器の
端部を屈曲自在なベローズを介して真空室の壁に
取り付けたため、この固定子を収納した容器は、
ベローズの部分で自由に曲げることができる。こ
のため、固定子を真空室内の壁から離れた任意の
位置に配置することができるので、可動子を走行
させるガイドレールも任意の位置に配置できる。
そして、固定子を収納したパイプ状の容器の内
部を真空室の壁の外側の外気に開放したことによ
り、固定子の電磁石の表面等に塗布された絶縁材
が高真空中で放散することも防止することがで
き、空気の流入に伴う対流により、コイルの温度
低減が可能となる。
部を真空室の壁の外側の外気に開放したことによ
り、固定子の電磁石の表面等に塗布された絶縁材
が高真空中で放散することも防止することがで
き、空気の流入に伴う対流により、コイルの温度
低減が可能となる。
［実施例］
以下、本発明の実施例について、添付の図面を
参照しながら説明する。
参照しながら説明する。
先ず、添付の第１図及び第２図において、例え
ば超LSI等の半導体を製造するための超高真空装
置は、壁によつて外部と気密に仕切られ真空室が
設けられており、この真空室の内部は10-10torr
以上の超真空状態に保たれている。この真空室の
内部には、例えば半導体ウエハー等を搬送するた
めの可動子２を磁気的に浮上させるためのガイド
レール３が敷設されている。すなわち、このガイ
ドレール３の表面上には、例えばサマリウム−コ
バルト磁石等の高磁性の永久磁石３１が複数個、
上記ガイドレール３に沿つて２個ずつお互いに並
列に対抗して設けられており、そしてこれらの上
には上記可動子２が矢印方向に移動可能な状態で
載せられている。そして、上記可動子２の下面に
も、上記と同様に、複数個の永久磁石２１が２個
ずつお互いに並列に対抗して設けられており、上
記可動子２はこれらの永久磁石２１の働きによつ
て上記ガイドレール３の表面上に配列された永久
磁石３１との間の相互磁気反作用によつて僅の隙
間をもつて浮上している。
ば超LSI等の半導体を製造するための超高真空装
置は、壁によつて外部と気密に仕切られ真空室が
設けられており、この真空室の内部は10-10torr
以上の超真空状態に保たれている。この真空室の
内部には、例えば半導体ウエハー等を搬送するた
めの可動子２を磁気的に浮上させるためのガイド
レール３が敷設されている。すなわち、このガイ
ドレール３の表面上には、例えばサマリウム−コ
バルト磁石等の高磁性の永久磁石３１が複数個、
上記ガイドレール３に沿つて２個ずつお互いに並
列に対抗して設けられており、そしてこれらの上
には上記可動子２が矢印方向に移動可能な状態で
載せられている。そして、上記可動子２の下面に
も、上記と同様に、複数個の永久磁石２１が２個
ずつお互いに並列に対抗して設けられており、上
記可動子２はこれらの永久磁石２１の働きによつ
て上記ガイドレール３の表面上に配列された永久
磁石３１との間の相互磁気反作用によつて僅の隙
間をもつて浮上している。
また、上記ガイドレール３の両側面には、内側
端面に凹凸を備えた１対の固定子５，５が上記ガ
イドレール３に沿つて配置されている。そして、
これらの固定子５，５は、その外周を通常の絶縁
材で被覆した一般のコイル材を巻いて製造した電
磁石を複数個備え、これらの電磁石は、図には示
されていない電源回路及びその制御回路によつて
順次励磁され、もつて上記可動子２に矢印方向の
推力を与えると共に所定の位置に移動させる。す
なわち、これらの並列に配置された固定子５，５
の間には、やはりその両端が凹凸状に形成された
上記可動子２が挿入され、これら可動子２の凹凸
部が上記固定子５，５の凹凸部に対向し、もつ
て、ステツプモータ方式のリニアモータを形成し
ている。
端面に凹凸を備えた１対の固定子５，５が上記ガ
イドレール３に沿つて配置されている。そして、
これらの固定子５，５は、その外周を通常の絶縁
材で被覆した一般のコイル材を巻いて製造した電
磁石を複数個備え、これらの電磁石は、図には示
されていない電源回路及びその制御回路によつて
順次励磁され、もつて上記可動子２に矢印方向の
推力を与えると共に所定の位置に移動させる。す
なわち、これらの並列に配置された固定子５，５
の間には、やはりその両端が凹凸状に形成された
上記可動子２が挿入され、これら可動子２の凹凸
部が上記固定子５，５の凹凸部に対向し、もつ
て、ステツプモータ方式のリニアモータを形成し
ている。
そして、本発明によれば、上記ガイドレール３
の両側面に設けられた固定子５，５は、その外周
を、例えば消磁されたSUS材等の非磁性材料か
らなるパイプ状の容器６，６によつて被覆してい
る。そして、このパイプ状の容器６，６は上記真
空室の壁１に接合されており、その内部は上記真
空室内部の真空状態からは遮断され、むしろ外部
の大気圧に導通している。このことにより、上記
固定子５，５を形成するコイルは上記真空室の内
部の高真空状態からは隔離されていることから、
上記コイルの絶縁材が高真空の環境下で、あるい
は真空装置のベーキングの際等において、放散あ
るいは気化したりして上記真空装置の真空度を低
下することを避けることが可能になる。このた
め、上記コイルの絶縁材料としても、一般に使用
されているワニスを使用することが可能になり、
上記コイルの絶縁材料を真空あるいは高温下でも
放散あるいは気化しない様な特殊で高価な絶縁材
料とする必要もない。さらに、本発明によれば、
上記固定子５，５は上記パイプ状の容器６，６の
内部に収容され、さらに、外部の大気圧と導通し
ていることから、上記コイルの配線の際、その導
線の引き出し部分５１を構造複雑な機密構造とす
る必要もなく、例えば第１図にも示すように、上
記パイプ状の容器６，６の外側端部に設けたフラ
ンジ６１，６１を介して比較的簡単に組み立てる
ことが可能となる。
の両側面に設けられた固定子５，５は、その外周
を、例えば消磁されたSUS材等の非磁性材料か
らなるパイプ状の容器６，６によつて被覆してい
る。そして、このパイプ状の容器６，６は上記真
空室の壁１に接合されており、その内部は上記真
空室内部の真空状態からは遮断され、むしろ外部
の大気圧に導通している。このことにより、上記
固定子５，５を形成するコイルは上記真空室の内
部の高真空状態からは隔離されていることから、
上記コイルの絶縁材が高真空の環境下で、あるい
は真空装置のベーキングの際等において、放散あ
るいは気化したりして上記真空装置の真空度を低
下することを避けることが可能になる。このた
め、上記コイルの絶縁材料としても、一般に使用
されているワニスを使用することが可能になり、
上記コイルの絶縁材料を真空あるいは高温下でも
放散あるいは気化しない様な特殊で高価な絶縁材
料とする必要もない。さらに、本発明によれば、
上記固定子５，５は上記パイプ状の容器６，６の
内部に収容され、さらに、外部の大気圧と導通し
ていることから、上記コイルの配線の際、その導
線の引き出し部分５１を構造複雑な機密構造とす
る必要もなく、例えば第１図にも示すように、上
記パイプ状の容器６，６の外側端部に設けたフラ
ンジ６１，６１を介して比較的簡単に組み立てる
ことが可能となる。
さらに、第２図から明らかなように、上記パイ
プ状の容器６，６の真空室の壁１との取り付け部
分は、屈曲自在なベローズ６２，６２となつてお
り、これによつて、上記パイプ状の容器６，６’
はベローズ６２，６２の部分で自由に曲げること
ができる。これにより、上記パイプ状の容器６，
６の位置、すなわち上記固定子５，５の位置を自
由に設定することが可能てあり、上記ガイドレー
ル３の位置が変更されても対応できるるようにな
つている。
プ状の容器６，６の真空室の壁１との取り付け部
分は、屈曲自在なベローズ６２，６２となつてお
り、これによつて、上記パイプ状の容器６，６’
はベローズ６２，６２の部分で自由に曲げること
ができる。これにより、上記パイプ状の容器６，
６の位置、すなわち上記固定子５，５の位置を自
由に設定することが可能てあり、上記ガイドレー
ル３の位置が変更されても対応できるるようにな
つている。
さらに、上記図面等に示された実施例におい
て、上記パイプ状の容器６，６はその断面が円形
のものとして説明されているが、必ずしもこの様
な形状に限られず、例えば四角形あるいは長方形
等の断面形状のものであつてもよい。そして、上
記パイプ状の容器６，６は、上述のように、上記
固定子５，５の凹凸状の端面上を覆つて設けられ
ることから、その材料としては、鉄等の透磁率の
高い材料を用いた場合、このパイプ状の容器６，
６が磁器回路を短絡してしまうという不具合を生
じてしまう。そのため、上記の実施例では、上記
パイプ状の容器６，６の材料として消磁した
SUS材を用いているが、その材料としては必ず
しも上記の消磁したSUS材に限られず、その他
の非磁性材料であつても良いことは明らかであろ
う。
て、上記パイプ状の容器６，６はその断面が円形
のものとして説明されているが、必ずしもこの様
な形状に限られず、例えば四角形あるいは長方形
等の断面形状のものであつてもよい。そして、上
記パイプ状の容器６，６は、上述のように、上記
固定子５，５の凹凸状の端面上を覆つて設けられ
ることから、その材料としては、鉄等の透磁率の
高い材料を用いた場合、このパイプ状の容器６，
６が磁器回路を短絡してしまうという不具合を生
じてしまう。そのため、上記の実施例では、上記
パイプ状の容器６，６の材料として消磁した
SUS材を用いているが、その材料としては必ず
しも上記の消磁したSUS材に限られず、その他
の非磁性材料であつても良いことは明らかであろ
う。
［発明の効果］
以上の説明からも明らかなように、本発明によ
れば、固定子を収納したパイプ状の容器を、真空
室内の任意の位置に配置することができる。この
ため、可動子を走行させるガイドレールも任意の
位置に配置でき、可動子を必要に応じて適当な位
置で走行させることができるようになる。
れば、固定子を収納したパイプ状の容器を、真空
室内の任意の位置に配置することができる。この
ため、可動子を走行させるガイドレールも任意の
位置に配置でき、可動子を必要に応じて適当な位
置で走行させることができるようになる。
第１図は本発明になる磁気浮上形真空内搬送装
置の構造を示す上面図であり、そして、第２図
は、上記第１図において一点鎖線Ａ−Ａで示す断
面からの断面図である。 １……真空室の壁、２……可動子、３……ガイ
ドレール、２１，３１……永久磁石、５，５……
固定子、６，６……パイプ状の容器、６２，６２
……ベローズ。
置の構造を示す上面図であり、そして、第２図
は、上記第１図において一点鎖線Ａ−Ａで示す断
面からの断面図である。 １……真空室の壁、２……可動子、３……ガイ
ドレール、２１，３１……永久磁石、５，５……
固定子、６，６……パイプ状の容器、６２，６２
……ベローズ。
Claims (1)
- １ 真空室内にガイドレールを敷設し、同ガイド
レールの表面上に磁石を配列し、上記ガイドレー
ルの上に可動子を配置し、同可動子の下面に上記
磁石との間に反発する磁力を生じるように磁極を
設定した磁石を設け、上記ガイドレールに沿つて
電磁石からなる固定子を配設し、上記固定子の電
磁石を励磁して上記ガイドレールの表面上に浮上
した上記可動子を上記ガイドレールに沿つて移動
させる磁気浮上形真空内搬送装置において、上記
電磁石からなる固定子をパイプ状の容器の内部に
収容すると共に、同パイプ状の容器の端部を屈曲
自在なベローズを介して真空室の壁に取り付け、
その内部を真空室の壁の外側の外気に解放したこ
とを特徴とする磁気浮上形真空内搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1788189A JPH02198920A (ja) | 1989-01-28 | 1989-01-28 | 磁気浮上形真空内搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1788189A JPH02198920A (ja) | 1989-01-28 | 1989-01-28 | 磁気浮上形真空内搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02198920A JPH02198920A (ja) | 1990-08-07 |
| JPH0559010B2 true JPH0559010B2 (ja) | 1993-08-30 |
Family
ID=11956042
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1788189A Granted JPH02198920A (ja) | 1989-01-28 | 1989-01-28 | 磁気浮上形真空内搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02198920A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5925956A (en) * | 1995-06-30 | 1999-07-20 | Nikon Corporation | Stage construction incorporating magnetically levitated movable stage |
| JP5176097B2 (ja) * | 2005-08-25 | 2013-04-03 | 国立大学法人富山大学 | 磁気浮上装置並びに磁気浮上方法 |
| JP5419384B2 (ja) * | 2008-05-20 | 2014-02-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 真空処理装置 |
| JP5687049B2 (ja) * | 2010-12-27 | 2015-03-18 | キヤノンアネルバ株式会社 | 搬送装置及び真空処理装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55125862U (ja) * | 1979-03-01 | 1980-09-05 | ||
| JPS60261302A (ja) * | 1984-06-06 | 1985-12-24 | Irie Koken Kk | 高真空中の物品搬送装置 |
-
1989
- 1989-01-28 JP JP1788189A patent/JPH02198920A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02198920A (ja) | 1990-08-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |