JPH0560274B2 - - Google Patents
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- JPH0560274B2 JPH0560274B2 JP59102024A JP10202484A JPH0560274B2 JP H0560274 B2 JPH0560274 B2 JP H0560274B2 JP 59102024 A JP59102024 A JP 59102024A JP 10202484 A JP10202484 A JP 10202484A JP H0560274 B2 JPH0560274 B2 JP H0560274B2
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- H01F6/06—Coils, e.g. winding, insulating, terminating or casing arrangements therefor
- H01F6/065—Feed-through bushings, terminals and joints
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- Power Engineering (AREA)
- Containers, Films, And Cooling For Superconductive Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は超電導磁石と冷媒冷凍機とを組合わせ
たものであつて、例えば単結晶育成装置、核磁気
共鳴装置に使用される超電導電磁石装置の改良に
関する。 〔発明の技術的背景〕 従来この種の超電導電磁石装置の一例として第
1図のように構成されたものがある。 すなわち、外槽1内に輻射シールド板2が配置
され、この内側に内槽3が配置され、これらによ
り保冷容器4が構成されている。上記内槽3内に
は後述する冷媒冷凍機により極低温例えば4.2K
に冷却される液体ヘリウム5が封入され、超電導
コイル6が図示しない超電導コイル支持材により
上記内槽3内に支持されている。この超電導コイ
ル6はパワーリード7の一端部と電気的に接続さ
れ、このパワーリード7の他端部が上記保冷容器
4の外部の常温空間に一端部が位置するように設
けられ、上記パワーリード7の一端部は外部電源
8と電気的に接続され、これにより超電導コイル
6が励磁可能になつている。上記内槽3には、こ
の内槽3内で生ずる異常ヘリウムガス圧を上記外
槽1外部に放圧できるように放圧配管9の一端部
が連結され、この放圧配管9の他端部が外部空間
に位置するとともに、放圧配管の他端部には機械
式放圧装置10およびラプチヤーデスク式放圧装
置11が連結されている。 上記機械式放圧装置10は所定圧をこえたとき
弁体が開放状態となり、所定圧未満のとき弁体が
閉路状態となる構成のものである。又上記ラプチ
ヤーデスク式放圧装置11は異常圧となつたとき
容器開口部を閉塞している部材が破裂するような
構成のものである。 上記冷媒冷凍機として例えばヘリウム冷凍機
(以下冷凍機と称す)12が用いられ、これは以
下のように構成されている。上記外槽1の外部上
壁面には冷凍機ヘツド13が設けられ、この冷凍
機ヘツド13の冷媒流入配管14および冷媒戻り
配管15にはヘリウムを圧縮する圧縮機16が接
続され、圧縮機16にはこれを駆動するための電
動機17が直結されている。上記冷凍機ヘツド1
3には、上記外槽1内であつて、輻射シールド板
2の外側に配設され、上記パワーリード7および
輻射シールド板2を冷却するための第1段冷却器
18が設けられ、この第1段冷却器18には輻射
シールド板2内であつて上記パワーリード7を冷
却するための第2段冷却器19が設けられてい
る。上記第1段冷却器18および第2段冷却器1
9はいずれも、上記冷凍機ヘツド13内に有する
ピストン駆動機構(図示せず)により駆動される
ヘリウムを圧縮膨脹するピストン(図示せず)
と、このピストンの圧縮膨脹作用により冷却され
るヘリウムを蓄冷する蓄冷材(図示せず)と、機
械的支持および熱伝導をかねた部材例えばフラン
ジ18A,19Aとからなつている。この第1段
冷却器18のフランジ18Aは上記輻射シールド
板2に機械的および伝熱的に接続され、また第1
段冷却器18のフランジ18Aとパワーリード7
の第1段ヒートステーシヨン20との間は熱伝導
の良好な伝熱部材21により機械的および伝熱で
きるように接続されており、さらに第2段冷却器
19のフランジ19Aとパワーリード7の第2段
ヒートステーシヨン22との間も同様に伝熱部材
23により接続されている。 上記内槽3内には、この内部の液体ヘリウム5
が蒸発により生ずるヘリウムガスを再凝縮するた
めにヘリウム再凝縮器(以下再凝縮器と称す)2
4が設けられ、この再凝縮器24の入口側、出口
側にはJ−T流入配管25およびJ−T戻り配管
26の一端部が接続されている。このJ−T流入
配管25およびJ−T戻り配管26の他端部は、
上記冷凍機ヘツド13の入口側および出口側に接
続されている冷媒流入配管14および冷媒戻り配
管15と接続され、上記J−T流入配管25およ
びJ−T戻り配管26の途中には第1段熱交換器
27の流入側、第2段熱交換器28の流入側、第
3段熱交換器29の流入側が直列に接続されてい
る。 そして、第1段熱交換器27と第2段熱交換器
28が接続されている上記J−T流入配管25の
途中に上記第1段冷却器18のフランジ18Aが
貫通固着されている。、また、上記第2段熱交換
器28と上記第3段熱交換器29が接続されてい
るJ−T流入配管25の途中には上記第2段冷却
器19のフランジ19Aが貫通固着されている。
上記第3段熱交換器29と上記再凝縮器24が接
続されているJ−T流入配管25の途中にJ−T
弁30が設けられている。上記J−T戻り配管2
6には、上記第1、第2および第3段熱交換器2
7,28,29の流出側が直列に接続されてい
る。このように冷凍機12が構成されている。 次に以上のように構成された従来の超電導磁石
装置の動作について説明する。 常温空間(例えば300K)にパワーリード7の
一端部が位置し、この他端部は、外槽1および輻
射シールド板2を介して内槽3内部に位置してい
るので、パワーリード7の作用すなわち熱伝導、
熱輻射により常温空間よりの熱が内槽3内に侵入
し、極低温(例えば4.2K)状態にある液体ヘリ
ウム5は蒸発してゆく。 この液体ヘリウム5の蒸発を最小限に押えるた
めに、外槽1内に輻射シールド板2が配設され、
この輻射シールド板2は、第1段冷却器18によ
り70〜100Kに冷却されるようになつている。外
部の常温空間よりの侵入熱のうち、最も多いの
は、パワーリード7より伝わる侵入熱である。こ
の侵入熱を低減するために、パワーリード7は、
70〜100Kに冷却されたヒートステーシヨン20
および10〜20Kに冷却されたヒートステーシヨン
22により強制的に冷却されている。 通常、この様な侵入熱低減により内槽3内での
液体ヘリウム5に蒸発量は1〜2/hと小さな
値となる。この蒸発したヘリウムガスは4.2Kに
冷却されている再凝縮器24により凝縮(液化)
されて液体ヘリウムとなつて内槽3に戻る。この
ようにして、液体ヘリウムを再注液せずに超電導
磁石装置を連続運転することが出来る。 〔背景技術の問題点〕 ところが、上記のように構成された従来の超電
導磁石装置では以下に述べる欠点があつた。パワ
ーリード7を介しての侵入熱量は式に示すよう
に外部電源8よりの励磁電流値に比例する。 Qp=I・√・(h 2−c 2) …… ここで、 Qp:パワーリード7からの侵入熱量 I:励磁電流値 α:定数(p:パワーリード抵抗率、T:温度
とした時、p=αTなる定数) K:パワーリード7の熱伝導率 Th:高温部温度 Tc:低温部温度 例えば、Thをヒートステーシヨン22の温度
10K〜20Kにとり、Tcを液体ヘリウム5の温度
4.2KにとればQpは液体ヘリウムへの侵入熱量と
なり、この熱に相当した気化熱分の液体ヘリウム
が蒸発する。超電導コイル6によつて発生する磁
場を可変させたいという要請がある場合(例えば
単結晶育成装置、核磁気共鳴装置に使用する場
合)磁場強度に比例して励磁電流値Iを変えるの
で式によれば侵入熱量Qpはこれに応じて変化
することになる。従つて、液体ヘリウム蒸発量も
変動することになる。 ここで、冷凍機12の冷凍動作を考えてみる。 圧縮機16内のヘリウムガスは、電動機17に
て駆動圧縮され、冷媒流入配管14、冷凍機ヘツ
ド13、第1段冷却器18、第2段冷却器19、
冷媒戻り配管15を通つて再び圧縮機16へと戻
る循環ループ内を流動している。この際、冷凍機
ヘツド13内にてヘリウムガスは断熱膨脹し、こ
の時の熱の授受により第1段冷却器18は100K
〜70Kに、第2段冷却器19は10K〜20Kに冷却
される。一方、圧縮機16より吐出されたヘリウ
ムガスは、一部が冷媒流入配管14より分岐しJ
−T流入配管25へ流入する。このヘリウムガス
は、第1段熱交換器27、第1段冷却器18、第
2段熱交換器28、第2段冷却器19、第3段熱
交換器29を通つて、反転温度以下の(例えば
20K以下)極低温ヘリウムガスとなる。このヘリ
ウムガスはJ−T弁30を通過する際に、いわゆ
るジユール・トムソン効果により極低温(例えば
4.2K)の気・液2相流となり再凝縮器24へと
流入する。このため内槽3内にて蒸発しているヘ
リウムガスは、この再凝縮器24により再び液化
され、液体ヘリウムになつて内槽3内へ戻る。再
凝縮器24を流出したヘリウムガスは、第3段熱
交換器29、第2段熱交換器28、第1段熱交換
器27、J−T戻り配管26を通つて、圧縮機1
6へと戻る。 第2図bはこの冷凍機12の再凝縮器24の冷
凍能力曲線を示す。横軸は再凝縮器24のヘリウ
ムガスの温度T(K)、縦軸はその冷凍能力P−
(Watt)を示し、は電動機17の運転周波数
(50Hz)を示している。第2図aは、励磁電流値
Iに対する液体ヘリウムへの侵入熱量Qを示す。 ここで、Q=Qp+Qpとなり、Qpは上記式に
て示されるパワーリード7よりの侵入熱量、Qp
は超電導コイル支持材(図示せず)、輻射シール
ド板2を介して侵入する熱量であり励磁電流値に
は存在せずほぼ一定値である。超電導コイル6へ
の励磁電流値がその最低値Inioである時、液体ヘ
リウム5への侵入熱量はQ1となる。このQ1にて
蒸発したヘリウムをすべて再凝縮するためには
P1=Q1なる再凝縮器24の冷凍能力が必要であ
り、第2図bより、この場合はb1なる冷凍能力曲
線上の点にて冷凍機は動作することになる。この
時の冷媒温度およびこれと平衡状態にある液体ヘ
リウム5の温度はT1となる。 次に、励磁電流を上げてその最大値Inaxにて超
電導コイル6を運転する時は、液体ヘリウム5へ
の侵入熱量はQ2となる。おの場合はP2=Q2とな
る第2図bのb2なる冷凍能力曲線上の点にてヘリ
ウム冷凍機12は動作することになる。このとき
の液体ヘリウム5の温度はT2となる。超電導コ
イル6の運転をやめ、励磁電流を零にした時は、
Q0=T0となり、冷凍能力曲線上のb0なる点にて
冷凍機12は動作し、液体ヘリウム5の温度は
T0となる。但し、電動機17の運転周波数1は
一定となつている。 ここで、超電導コイル6の運転温度を考えてみ
る。この場合超電導コイル6として例えば、
Nbti超電導線を巻回したものを用い、運転温度
4.2K近傍で設計されるのが通例である。設計許
容温度マージンはせいぜいプラス1K程度である。
これ以上温度を上げると超電導コイル6はいわゆ
るクエンチすなわち常電導転移を生じやすくなり
超電導コイル6の損傷をまねくことになる。 第2図bの場合、T1を設計運転温度(例えば
4.2K)にすると、T2はT1=T1+1(例えば5.2K)
となり、T0はT0<T1となる。液体ヘリウム5は
4.2Kにてほぼ大気圧なので、T0なる温度状態で
は、液体ヘリウムは負圧の状態となつている。す
なわち、内槽3内および再凝縮器24と、この付
近のJ−T流入配管25、J−T戻り配管26、
J−T弁30は負圧現象となつている。 この様な状況下では、大気中の水分、窒素分、
酸素分等の不純物が内槽3の溶接部、再凝縮器2
4の溶接部、シールド部、J−T弁30の大気と
のシール部等を介して、ppmオーダの微少量ずつ
J−T配管系統(J−T流入配管25、J−T戻
り配管26の総称)に混入してくる。J−T配管
系統に混入した不純物は4.2K以下の温度で固化
してゆくので、長時間に渡つてこの運転状態が続
くと、特に冷媒流入配管14、冷媒戻り配管15
に比べて配管口径の細いJ−T配管系統は不純物
による目づまりを生じJ−T配管系統が閉塞に至
り、もはや冷凍機12はその性能を発揮出来なく
なるという欠点がある。 上記のような負圧現象を発生させないために
は、T0>4.2Kとし無励磁状態でもJ−T配管系
統および内槽3が大気圧以上になる様にすれば良
いが、この場合は、T2<5.2KあるいはT2−T0
1Kとなる運転温度制約条件があるのでT0<4.2K
の時に比べてInioとInaxを広い範囲に取れなくな
る。すなわち、磁場可変領域が狭くなり、例えば
単結晶育成装置、核磁気共鳴装置には使用できな
いことがある。更に、第2図bに示す各運転状態
b0,b1,b2に冷凍機12が状態窒化する場合、励
磁電流値の変化による侵入熱量の変化に対してP
=Qとなる冷凍機12の冷凍能力の追随性が悪
い。すなわち、冷凍能力変化の時定数例えば、数
時間程度と大きい。このため、励磁電流値を変化
させている時は、励磁電流値変化の時定数は冷凍
機12の冷凍能力変化の時定数より充分に小さい
ので、侵入熱量と冷凍能力が常にバランスしてい
ない状態で超電導磁石装置を運転することにな
る。例えば、励磁電流値を上げた場合、外部より
の侵入熱量は励磁電流値に見合つてすぐに増大す
るが、再凝縮器24に於ける冷凍能力は、ほとん
ど前の状態と変わらない。このため、液体ヘリウ
ムの蒸発量が急増し密閉状態の内槽圧力は急激に
増大する。内槽圧力が設計圧力以上になると保冷
容器4に設けられた機械式放圧装置10より蒸発
ヘリウムガスが放出する。冷凍能力追随性が悪い
ので、最悪の場合、侵入熱量と冷凍能力がバラン
スして機械式放圧装置10の動作が停止する前に
内槽3内に貯液されている液体ヘリウム5がすべ
て蒸発して大気へ放出してしまう。あるいは、内
槽圧力上昇が急激すぎてラプチヤーデスク式放圧
装置11が動作して液体ヘリウム5がすべて大気
へ放出してしまう場合もある。この様な場合、J
−T弁30の開度をマニユアルで変えてバランス
点を探すという方式があるが、この調整そのもの
が難しく経験を積んだ運転者にして初めて可能で
ある。いわんや素人では、ほとんど不可能であ
る。そのため、上記したような冷凍機付超電導磁
石装置は運転操作が難しく、長期信頼運転に欠け
るという欠点があつた。 〔発明の目的〕 本発明は、上記の従来技術のもつ欠点を除去す
るために行つたもので、超電導コイルの励磁電流
値変化に伴う侵入熱量変化に対応して冷媒冷凍機
の冷凍能力を制御でき、不純物混入の危険性がな
く、超電導コイルの運転電流を広範囲に選ぶこと
ができ、液体ヘリウム温度あるいは圧力を常に一
定値に制御でき操作性に勝れ、長期信頼運転可能
な超電導磁石装置を提供することを目的としてい
る。 〔発明の概要〕 本発明は上記目的を達成するために、第1番目
の発明では冷媒冷凍機の圧縮機駆動用電動機の回
転数を制御する回転数制御手段を具備し、第2番
目の発明では冷媒冷凍機の圧縮機の冷媒吐出流量
を制御する冷媒流量制御手段を具備し、第3番目
の発明では冷媒冷凍機のJ−T配管系統に冷媒の
圧力を制御する冷媒圧力制御手段を具備したもの
である。 〔発明の実施例〕 以下、本発明について図面を参照して説明す
る。はじめに第3図により本発明の第1の実施例
について説明するが、第1図と同一部分には同一
符号を付してその説明を省略する。圧縮機16を
駆動するための電動機17を回転数制御するため
に次のように構成されている。電動機17にはイ
ンバータ可変速制御装置31が電気的に接続され
ている。このインバータ可変速制御装置31には
後述する中央制御装置32からの周波数設定信号
aが出力されるようになつている。 中央制御装置32には、電動機17の回転数計
33で計測され、これが電気信号に変換された制
御信号bが入力されるようになつている。再凝縮
器24の温度が温度計測器34により計測され、
この計測値が変換器35により電気制御信号cに
変換されて上記中央制御装置32に入力されるよ
うになつている。また、上記内槽3の圧力すなわ
ち、放圧配管9の圧力が圧力計測器36で計測さ
れ、この計測値は変換器37により電気制御信号
dに変換されて、上記中央制御装置32に入力さ
れるようになつている。また、上記外部電源8の
励磁電流値Iは変換器40に制御信号eに変換さ
れて上記中央制御装置32に入力されるようにな
つている。そして、上記放圧配管9には上記機械
式放圧装置10を設けず、この代りに電磁弁、電
動弁等の自動弁39が設けられ、この自動弁39
に上記中央制御装置32からの開・閉信号fが出
力されるようになつている。 上記中央制御装置32には、上記電動機17の
回転数に基づく制御信号b、再凝縮器24の温度
に基づく制御信号c、放圧配管9の圧力に基づく
制御信号dおよび超電導コイル6の励磁電流に基
づく信号eが入力され、第2図に示す内容の励磁
電流信号によつて外部からの侵入熱量Qを求め、
これに対応して制御すべき周波数設定信号aを上
記インバータ可変速制御装置31に出力し、また
中央制御装置32は第4図、第5図、第6図に示
す制御により自動弁39に対して開・閉信号が
与えられる。 次に、このように構成された本発明の超電導磁
石装置の作用を説明刷る。電動機17の周波数
と冷凍機12の冷凍能力Pとの間には次のような
関係が成立する。 P=K・ …… ここでK:比例定数 第2図bに示すように、周波数を変えると図
示のような冷凍能力曲線が得られる。但し、図中
0なる曲線はT1にてP0なる冷凍能力となる様に
周波数を選んだ場合であり、同様に1はT1にて
P1,2はT1にてP2となる様に周波数を選定して
いる。ここで0<1<2であり1は従来の電動機
17の回転数制御をしない時の周波数である。ま
ず、超電導コイル6への励磁電流値が零の時を考
える。第2図bに於いて従来装置ではbpなる位置
にて冷凍機12は運転されているが、本発明装置
ではインバータ可変速制御装置31より周波数を
0なる値に変化させ、冷凍機運転状態をb4なる位
置にする。 この時、上記中央制御装置32は第4図にて示
すフローチヤートに従つた制御を行う。すなわ
ち、励磁電流零に相当する周波数0に設定し、回
転数計33とインバータ可変速制御装置31によ
り周波数を一定値0に保持させ=0のときは
微調変動分Δを加算、減算して=0にさせる。
再凝縮器24の温度およびこれと平衡になつてい
るこれをPrlとする。ラプチヤーデスク式放圧装
置11が破れつする内槽圧力より低い設計許容内
槽圧力をProとする。ここでPro>Prlである。 以下項番の手順で運転制御が行われる。 (1) 内槽3内圧力Prと設計許容内槽圧力Proを比
較する。Pr>Proであれば自動弁39を開にし
てPr=Prlなるまで放圧する。この開動作数N
をカウントする。この動作が頻繁になりある一
定時間内でNpより大となつたら制御不能とい
うことで冷凍機12の運転を停止させる。Pr
<Proであれば次の(2)へ進。 (2) PrとPrlを比較する。Pr=Prlならこの状態
を保持する。そしてPr<Prlの時は、周波数を
微調変動分Δ0減少させ冷凍能力を低下させ蒸
発ヘリウム量を増大させ、内槽3の圧力を上昇
させる。Pr>Prlの時は、周波数を微調変動分
Δ0増大させ冷凍能力を上げヘリウムガス再凝
縮量を増大させ、内槽圧力を低下させる。これ
らの動作の後、再びPrとPrlを比較する。この
(1)(2)の手順をくり返して、第2図の特性曲線上
b4なる位置を制御する。 次に、超電導コイル6を励磁してInio<I<
Inaxなる値にて通電保持する時を考える。以
下、I=例えばInaxにて説明する。第2図bに
於いて、従来装置ではb2なる位置にて冷凍機1
2は運転されているが本発明装置では周波数を
2なる値に変化させて冷凍機12の運転状態を
b5なる位置にする。この時、中央制御装置32
は第6図に示すフローチヤートに従つた制御を
行う。以下次の(3),(4)の手順で運転制御が行わ
れる。 (3) 所要の励磁電流値Inaxに対応した周波数2を
設定するにあたり、第5図に示すように周波数
を変化させる。すなわち、冷凍能力変化の追随
を良くするために、 =2+ΔF2(ΔF2:オーバーシユート分) なる周波数でΔT2なる間、周波数をオーバーシ
ユートさせるΔF2とΔT2の値は、使用する冷凍
機の冷凍能力変化追随性より最適値を設定す
る。オーバーシユートの後に周波数を2に固定
し、I=Oの時と同様に周波数一定制御を行
う。 (4) I=Oの場合と同様にPr=Pr1となる様に周
波数制御を行う。 この(3),(4)の手順をくり返して、第2図bの
特性曲線上b5なる位置を制御する。 次に、超電導コイル6を減磁してInio<I<
Inaxなる値にて通電保持する時を考える。この
場合は、上記の励磁の場合とほぼ同様な制御を
行う。但し、周波数の変化の仁法が第5図の2
→1→ΔF1→1のようになり、第6図に於い
て、2およびΔF2なる周波数が1およびΔF1と
なる。 以上述べた実施例によれば、冷凍機12の圧縮
機16を駆動する電動機17の回転数を制御でき
るようにしたので、外部電源8により超電導コイ
ル6に与えられる励磁電流値変化に伴う侵入熱量
変動に対応して冷凍機12の冷凍能力制御でき、
しかもこの制御応答性が良好で、また侵入熱量変
動に対する冷凍能力の追随性が良く、超電導コイ
ル6に与える励磁電流を広範囲に選べる。さらに
J−T配管系統の負圧現象が回避されるので、J
−T30弁近くの配管系統に不純物の混入がなく
なり、冷凍機12の能力低下がなくなり、操作性
がきわめて良好である。また回転数制御で冷凍機
12の能力を制御するようにしたので、後述する
ように経時的冷凍能力劣化を補償でき、冷凍機1
2を長期間にわたつて運転することができる。さ
らにインバータ可変速制御装置31で電動機17
を制御したので、電動機17で消費する電力が必
要最小限ですむ。従つて、総合的に長期間信頼性
の高い運転が可能となる。 次に以上述べた実施例の超電導磁石装置を長期
間継続運転すると冷凍機12の冷凍能力が経時劣
化するので、これを補償する方法について説明す
る。はじめに第7図および第8図によりその一例
を説明する。冷凍機12の冷凍能力Pは一般に第
7図に示すような経時劣化となり、時間関数P
(t)となる。ここで、P0は初期の冷凍能力を示
し、Pfは冷凍機のメンテナンス時期に達した時
の冷凍能力を示している。超電導磁石装置を設計
する際は、Pf>εP2となる様にしなければならな
い。ここで、εは安全率、P2は第2図bの冷凍
能力である。 第8図に於いて、励磁電流値Iが設定されると
侵入熱量Qが確定し、それに対応した冷凍能力を
出す周波数が決定される。ただし、この周波数
は冷凍能力経時劣化がない時の値である。運転
開始時よりの経時t1がわかつているので、冷凍能
力の劣化率η(t1)は、第7図より求められる
P(t1)/P0がわかる。おの低下分を補償する周波数 増加率K(t1)がη(t1)・なる周波数にて冷凍
機12を運転し、冷凍能力経時劣化を補償する。
これを具体的に行うには、予め第7図の特性を中
央制御装置32に記憶させておき、Pfとなる時
間の前において、第3図の温度計測器34又は圧
力計測器36の計測値と目標値との偏差が生じた
とき、この偏差を補償するように中央制御装置3
2からインバータ可変速制御装置31に周波数設
定信号aを出力させるようにすればよい。 次に第9図により冷凍機12の冷凍能力経時劣
化を補償する他の方法について説明する。すなわ
ち、超電導コイル6の励磁電流値Iが設定される
と、これに対応した周波数が決まる。この周波
数で運転した際、冷凍能力劣化により内槽3内
圧力PrがPrlより低い場合は、周波数をΔ上昇さ
せて+Δなる周波数にて運転する。PrがPrlに
等しくなるまで周波数を増やして冷凍能力経時劣
化を補償する。この補償方法は第6図のフローチ
ヤートに含まれている。これを具体的に行うには
第3図の温度計測器34又は圧力計測器36の計
測値を一定時間ごとに中央制御装置32に入力
し、この内部でその計測値と設定値とを比較し、
偏差が生じたときこの偏差分を補償するように中
央制御装置32からインバータ可変速制御装置3
1に、周波数設定信号aを出力させるようにすれ
ばよい。 次に本発明の第2の実施例について第10図を
参照して説明する。第3図で示した第1の実施例
と同一部分には同一符号を付してその説明を省略
する。第3図の第1の実施例では、インバータ可
変速制御装置31により電動機17の回転数を制
御する構成としたが、ここではこの構成の代りに
冷媒主流量を制御可能な構成としたものである。
すなわち、圧縮機16吐出側の媒体流入配管14
には、主流量調節弁46および主流量計測器47
が直列に設けられている。上記主流量調節弁46
と圧縮機16の流入側との間にバイパス配管45
が接続され、このバイパス配管45にはバイパス
流量調節弁49とバイパス流量計測器50が直列
に設けられている。上記主流量計測器47および
バイパス流量計測器50により計測された流量は
変換器48,51により電気制御信号g,hに変
換されて中央制御装置32に入力されるようにな
つている。 この中央制御装置32には上記電気制御信号
g,h以外に、第3図と同様に再凝縮器24の温
度に基づく制御信号c、放圧配管9の圧力に基づ
く制御信号dおよび超電導コイル6の励磁電流に
基づく信号eが入力され、内部で所定の演算処理
が行われて、上記主流量調節弁46およびバイパ
ス流量調節弁49に対して弁開度指令が与えられ
るとともに、自動弁39に対して開・閉信号が
与えられる。 このように構成された本発明の第2の実施例に
おいても上記した第1の実施例と同様な効果が得
られるばかりでなく、媒体流入配管14の圧縮機
16吐出側およびバイパス配管45にそれぞれ主
流量調節弁46、バイパス流量調節弁49を設け
ているので、冷凍機12の制御範囲が広くとれ
る。 次に本発明の第3の実施例について第11図を
参照して説明するが、第3図と同一部分には同一
符号を付してその説明を省略する。第3図の実施
例ではインバータ可変速制御装置31により電動
機17の回転数を制御する構成としたが、ここで
はこの構成の代りにJ−T配管系統に媒体の圧力
を制御可能な構成としたものである。すなわち、
J−T流入配管25とJ−T戻り配管26を、媒
体流入配管14と媒体戻り配管15とは接続せ
ず、それに圧縮機52の吐出側と流入側を接続
し、圧縮機52の吐出側と流入側との間に圧力調
節弁54を設ける。圧縮機52にはこれを駆動す
るための電動機53が直結されている。またJ−
T戻り配管26の圧縮機52の流入側に圧力計測
器55を設け、この圧力計測器55により計測さ
れた計測値を変換器56により電気制御信号Kに
変換して中央制御装置32に入力する。これ以外
に中央制御装置32には、第3図と同様に再凝縮
器24の温度に基づく制御信号c、放圧配管9の
圧力に基づく制御信号dおよび超電導コイル6の
励磁電流に基づく制御信号eが入力される。そし
て中央制御装置32の内部において所定の演算処
理が行われて、上記圧力調節弁54に対して弁開
度信号が出力され、さらに自動弁39に対して開
閉信号が与えられる。 このように構成された本発明の第3の実施例に
おいても上記した第1の実施例と同様な効果が得
られるばかりでなく、J−T流入配管25とJ−
T戻り配管26の間に圧力調節弁54が設けられ
ているので、J−T戻り配管26内の媒体圧力が
一定値より下がることはなく、つまり負圧となる
ことはなく信頼性が高いという利点がある。 なお、上記した第3図の実施例では圧縮機16
を駆動する電動機17を、インバータ可変速制御
装置31で回転数制御を行うようにしたが、これ
に限らずギヤー等の変速機により電動機17の回
転数制御を行つてもよい。さらに上記した実施例
では冷媒冷凍機としてギホードマクマホーン式あ
るいはソルベー式を念頭においたが、逆スターリ
ング方式の冷媒冷凍機であつても同様な作用効果
が得られる。 〔発明の効果〕 以上述べた本発明によれば、超電導コイルの励
磁電流値変化に伴う侵入熱量変化に対応して冷媒
冷凍機の冷却能力を制御でき、不純物混入の危険
性がなく、超電導コイルの運転電流を広範囲に選
ぶことができ、液体ヘリウム温度あるいは圧力を
常に一定値に制御でき、操作性に優れ、長期信頼
運転が可能な超電導磁石装置を提供できる。
たものであつて、例えば単結晶育成装置、核磁気
共鳴装置に使用される超電導電磁石装置の改良に
関する。 〔発明の技術的背景〕 従来この種の超電導電磁石装置の一例として第
1図のように構成されたものがある。 すなわち、外槽1内に輻射シールド板2が配置
され、この内側に内槽3が配置され、これらによ
り保冷容器4が構成されている。上記内槽3内に
は後述する冷媒冷凍機により極低温例えば4.2K
に冷却される液体ヘリウム5が封入され、超電導
コイル6が図示しない超電導コイル支持材により
上記内槽3内に支持されている。この超電導コイ
ル6はパワーリード7の一端部と電気的に接続さ
れ、このパワーリード7の他端部が上記保冷容器
4の外部の常温空間に一端部が位置するように設
けられ、上記パワーリード7の一端部は外部電源
8と電気的に接続され、これにより超電導コイル
6が励磁可能になつている。上記内槽3には、こ
の内槽3内で生ずる異常ヘリウムガス圧を上記外
槽1外部に放圧できるように放圧配管9の一端部
が連結され、この放圧配管9の他端部が外部空間
に位置するとともに、放圧配管の他端部には機械
式放圧装置10およびラプチヤーデスク式放圧装
置11が連結されている。 上記機械式放圧装置10は所定圧をこえたとき
弁体が開放状態となり、所定圧未満のとき弁体が
閉路状態となる構成のものである。又上記ラプチ
ヤーデスク式放圧装置11は異常圧となつたとき
容器開口部を閉塞している部材が破裂するような
構成のものである。 上記冷媒冷凍機として例えばヘリウム冷凍機
(以下冷凍機と称す)12が用いられ、これは以
下のように構成されている。上記外槽1の外部上
壁面には冷凍機ヘツド13が設けられ、この冷凍
機ヘツド13の冷媒流入配管14および冷媒戻り
配管15にはヘリウムを圧縮する圧縮機16が接
続され、圧縮機16にはこれを駆動するための電
動機17が直結されている。上記冷凍機ヘツド1
3には、上記外槽1内であつて、輻射シールド板
2の外側に配設され、上記パワーリード7および
輻射シールド板2を冷却するための第1段冷却器
18が設けられ、この第1段冷却器18には輻射
シールド板2内であつて上記パワーリード7を冷
却するための第2段冷却器19が設けられてい
る。上記第1段冷却器18および第2段冷却器1
9はいずれも、上記冷凍機ヘツド13内に有する
ピストン駆動機構(図示せず)により駆動される
ヘリウムを圧縮膨脹するピストン(図示せず)
と、このピストンの圧縮膨脹作用により冷却され
るヘリウムを蓄冷する蓄冷材(図示せず)と、機
械的支持および熱伝導をかねた部材例えばフラン
ジ18A,19Aとからなつている。この第1段
冷却器18のフランジ18Aは上記輻射シールド
板2に機械的および伝熱的に接続され、また第1
段冷却器18のフランジ18Aとパワーリード7
の第1段ヒートステーシヨン20との間は熱伝導
の良好な伝熱部材21により機械的および伝熱で
きるように接続されており、さらに第2段冷却器
19のフランジ19Aとパワーリード7の第2段
ヒートステーシヨン22との間も同様に伝熱部材
23により接続されている。 上記内槽3内には、この内部の液体ヘリウム5
が蒸発により生ずるヘリウムガスを再凝縮するた
めにヘリウム再凝縮器(以下再凝縮器と称す)2
4が設けられ、この再凝縮器24の入口側、出口
側にはJ−T流入配管25およびJ−T戻り配管
26の一端部が接続されている。このJ−T流入
配管25およびJ−T戻り配管26の他端部は、
上記冷凍機ヘツド13の入口側および出口側に接
続されている冷媒流入配管14および冷媒戻り配
管15と接続され、上記J−T流入配管25およ
びJ−T戻り配管26の途中には第1段熱交換器
27の流入側、第2段熱交換器28の流入側、第
3段熱交換器29の流入側が直列に接続されてい
る。 そして、第1段熱交換器27と第2段熱交換器
28が接続されている上記J−T流入配管25の
途中に上記第1段冷却器18のフランジ18Aが
貫通固着されている。、また、上記第2段熱交換
器28と上記第3段熱交換器29が接続されてい
るJ−T流入配管25の途中には上記第2段冷却
器19のフランジ19Aが貫通固着されている。
上記第3段熱交換器29と上記再凝縮器24が接
続されているJ−T流入配管25の途中にJ−T
弁30が設けられている。上記J−T戻り配管2
6には、上記第1、第2および第3段熱交換器2
7,28,29の流出側が直列に接続されてい
る。このように冷凍機12が構成されている。 次に以上のように構成された従来の超電導磁石
装置の動作について説明する。 常温空間(例えば300K)にパワーリード7の
一端部が位置し、この他端部は、外槽1および輻
射シールド板2を介して内槽3内部に位置してい
るので、パワーリード7の作用すなわち熱伝導、
熱輻射により常温空間よりの熱が内槽3内に侵入
し、極低温(例えば4.2K)状態にある液体ヘリ
ウム5は蒸発してゆく。 この液体ヘリウム5の蒸発を最小限に押えるた
めに、外槽1内に輻射シールド板2が配設され、
この輻射シールド板2は、第1段冷却器18によ
り70〜100Kに冷却されるようになつている。外
部の常温空間よりの侵入熱のうち、最も多いの
は、パワーリード7より伝わる侵入熱である。こ
の侵入熱を低減するために、パワーリード7は、
70〜100Kに冷却されたヒートステーシヨン20
および10〜20Kに冷却されたヒートステーシヨン
22により強制的に冷却されている。 通常、この様な侵入熱低減により内槽3内での
液体ヘリウム5に蒸発量は1〜2/hと小さな
値となる。この蒸発したヘリウムガスは4.2Kに
冷却されている再凝縮器24により凝縮(液化)
されて液体ヘリウムとなつて内槽3に戻る。この
ようにして、液体ヘリウムを再注液せずに超電導
磁石装置を連続運転することが出来る。 〔背景技術の問題点〕 ところが、上記のように構成された従来の超電
導磁石装置では以下に述べる欠点があつた。パワ
ーリード7を介しての侵入熱量は式に示すよう
に外部電源8よりの励磁電流値に比例する。 Qp=I・√・(h 2−c 2) …… ここで、 Qp:パワーリード7からの侵入熱量 I:励磁電流値 α:定数(p:パワーリード抵抗率、T:温度
とした時、p=αTなる定数) K:パワーリード7の熱伝導率 Th:高温部温度 Tc:低温部温度 例えば、Thをヒートステーシヨン22の温度
10K〜20Kにとり、Tcを液体ヘリウム5の温度
4.2KにとればQpは液体ヘリウムへの侵入熱量と
なり、この熱に相当した気化熱分の液体ヘリウム
が蒸発する。超電導コイル6によつて発生する磁
場を可変させたいという要請がある場合(例えば
単結晶育成装置、核磁気共鳴装置に使用する場
合)磁場強度に比例して励磁電流値Iを変えるの
で式によれば侵入熱量Qpはこれに応じて変化
することになる。従つて、液体ヘリウム蒸発量も
変動することになる。 ここで、冷凍機12の冷凍動作を考えてみる。 圧縮機16内のヘリウムガスは、電動機17に
て駆動圧縮され、冷媒流入配管14、冷凍機ヘツ
ド13、第1段冷却器18、第2段冷却器19、
冷媒戻り配管15を通つて再び圧縮機16へと戻
る循環ループ内を流動している。この際、冷凍機
ヘツド13内にてヘリウムガスは断熱膨脹し、こ
の時の熱の授受により第1段冷却器18は100K
〜70Kに、第2段冷却器19は10K〜20Kに冷却
される。一方、圧縮機16より吐出されたヘリウ
ムガスは、一部が冷媒流入配管14より分岐しJ
−T流入配管25へ流入する。このヘリウムガス
は、第1段熱交換器27、第1段冷却器18、第
2段熱交換器28、第2段冷却器19、第3段熱
交換器29を通つて、反転温度以下の(例えば
20K以下)極低温ヘリウムガスとなる。このヘリ
ウムガスはJ−T弁30を通過する際に、いわゆ
るジユール・トムソン効果により極低温(例えば
4.2K)の気・液2相流となり再凝縮器24へと
流入する。このため内槽3内にて蒸発しているヘ
リウムガスは、この再凝縮器24により再び液化
され、液体ヘリウムになつて内槽3内へ戻る。再
凝縮器24を流出したヘリウムガスは、第3段熱
交換器29、第2段熱交換器28、第1段熱交換
器27、J−T戻り配管26を通つて、圧縮機1
6へと戻る。 第2図bはこの冷凍機12の再凝縮器24の冷
凍能力曲線を示す。横軸は再凝縮器24のヘリウ
ムガスの温度T(K)、縦軸はその冷凍能力P−
(Watt)を示し、は電動機17の運転周波数
(50Hz)を示している。第2図aは、励磁電流値
Iに対する液体ヘリウムへの侵入熱量Qを示す。 ここで、Q=Qp+Qpとなり、Qpは上記式に
て示されるパワーリード7よりの侵入熱量、Qp
は超電導コイル支持材(図示せず)、輻射シール
ド板2を介して侵入する熱量であり励磁電流値に
は存在せずほぼ一定値である。超電導コイル6へ
の励磁電流値がその最低値Inioである時、液体ヘ
リウム5への侵入熱量はQ1となる。このQ1にて
蒸発したヘリウムをすべて再凝縮するためには
P1=Q1なる再凝縮器24の冷凍能力が必要であ
り、第2図bより、この場合はb1なる冷凍能力曲
線上の点にて冷凍機は動作することになる。この
時の冷媒温度およびこれと平衡状態にある液体ヘ
リウム5の温度はT1となる。 次に、励磁電流を上げてその最大値Inaxにて超
電導コイル6を運転する時は、液体ヘリウム5へ
の侵入熱量はQ2となる。おの場合はP2=Q2とな
る第2図bのb2なる冷凍能力曲線上の点にてヘリ
ウム冷凍機12は動作することになる。このとき
の液体ヘリウム5の温度はT2となる。超電導コ
イル6の運転をやめ、励磁電流を零にした時は、
Q0=T0となり、冷凍能力曲線上のb0なる点にて
冷凍機12は動作し、液体ヘリウム5の温度は
T0となる。但し、電動機17の運転周波数1は
一定となつている。 ここで、超電導コイル6の運転温度を考えてみ
る。この場合超電導コイル6として例えば、
Nbti超電導線を巻回したものを用い、運転温度
4.2K近傍で設計されるのが通例である。設計許
容温度マージンはせいぜいプラス1K程度である。
これ以上温度を上げると超電導コイル6はいわゆ
るクエンチすなわち常電導転移を生じやすくなり
超電導コイル6の損傷をまねくことになる。 第2図bの場合、T1を設計運転温度(例えば
4.2K)にすると、T2はT1=T1+1(例えば5.2K)
となり、T0はT0<T1となる。液体ヘリウム5は
4.2Kにてほぼ大気圧なので、T0なる温度状態で
は、液体ヘリウムは負圧の状態となつている。す
なわち、内槽3内および再凝縮器24と、この付
近のJ−T流入配管25、J−T戻り配管26、
J−T弁30は負圧現象となつている。 この様な状況下では、大気中の水分、窒素分、
酸素分等の不純物が内槽3の溶接部、再凝縮器2
4の溶接部、シールド部、J−T弁30の大気と
のシール部等を介して、ppmオーダの微少量ずつ
J−T配管系統(J−T流入配管25、J−T戻
り配管26の総称)に混入してくる。J−T配管
系統に混入した不純物は4.2K以下の温度で固化
してゆくので、長時間に渡つてこの運転状態が続
くと、特に冷媒流入配管14、冷媒戻り配管15
に比べて配管口径の細いJ−T配管系統は不純物
による目づまりを生じJ−T配管系統が閉塞に至
り、もはや冷凍機12はその性能を発揮出来なく
なるという欠点がある。 上記のような負圧現象を発生させないために
は、T0>4.2Kとし無励磁状態でもJ−T配管系
統および内槽3が大気圧以上になる様にすれば良
いが、この場合は、T2<5.2KあるいはT2−T0
1Kとなる運転温度制約条件があるのでT0<4.2K
の時に比べてInioとInaxを広い範囲に取れなくな
る。すなわち、磁場可変領域が狭くなり、例えば
単結晶育成装置、核磁気共鳴装置には使用できな
いことがある。更に、第2図bに示す各運転状態
b0,b1,b2に冷凍機12が状態窒化する場合、励
磁電流値の変化による侵入熱量の変化に対してP
=Qとなる冷凍機12の冷凍能力の追随性が悪
い。すなわち、冷凍能力変化の時定数例えば、数
時間程度と大きい。このため、励磁電流値を変化
させている時は、励磁電流値変化の時定数は冷凍
機12の冷凍能力変化の時定数より充分に小さい
ので、侵入熱量と冷凍能力が常にバランスしてい
ない状態で超電導磁石装置を運転することにな
る。例えば、励磁電流値を上げた場合、外部より
の侵入熱量は励磁電流値に見合つてすぐに増大す
るが、再凝縮器24に於ける冷凍能力は、ほとん
ど前の状態と変わらない。このため、液体ヘリウ
ムの蒸発量が急増し密閉状態の内槽圧力は急激に
増大する。内槽圧力が設計圧力以上になると保冷
容器4に設けられた機械式放圧装置10より蒸発
ヘリウムガスが放出する。冷凍能力追随性が悪い
ので、最悪の場合、侵入熱量と冷凍能力がバラン
スして機械式放圧装置10の動作が停止する前に
内槽3内に貯液されている液体ヘリウム5がすべ
て蒸発して大気へ放出してしまう。あるいは、内
槽圧力上昇が急激すぎてラプチヤーデスク式放圧
装置11が動作して液体ヘリウム5がすべて大気
へ放出してしまう場合もある。この様な場合、J
−T弁30の開度をマニユアルで変えてバランス
点を探すという方式があるが、この調整そのもの
が難しく経験を積んだ運転者にして初めて可能で
ある。いわんや素人では、ほとんど不可能であ
る。そのため、上記したような冷凍機付超電導磁
石装置は運転操作が難しく、長期信頼運転に欠け
るという欠点があつた。 〔発明の目的〕 本発明は、上記の従来技術のもつ欠点を除去す
るために行つたもので、超電導コイルの励磁電流
値変化に伴う侵入熱量変化に対応して冷媒冷凍機
の冷凍能力を制御でき、不純物混入の危険性がな
く、超電導コイルの運転電流を広範囲に選ぶこと
ができ、液体ヘリウム温度あるいは圧力を常に一
定値に制御でき操作性に勝れ、長期信頼運転可能
な超電導磁石装置を提供することを目的としてい
る。 〔発明の概要〕 本発明は上記目的を達成するために、第1番目
の発明では冷媒冷凍機の圧縮機駆動用電動機の回
転数を制御する回転数制御手段を具備し、第2番
目の発明では冷媒冷凍機の圧縮機の冷媒吐出流量
を制御する冷媒流量制御手段を具備し、第3番目
の発明では冷媒冷凍機のJ−T配管系統に冷媒の
圧力を制御する冷媒圧力制御手段を具備したもの
である。 〔発明の実施例〕 以下、本発明について図面を参照して説明す
る。はじめに第3図により本発明の第1の実施例
について説明するが、第1図と同一部分には同一
符号を付してその説明を省略する。圧縮機16を
駆動するための電動機17を回転数制御するため
に次のように構成されている。電動機17にはイ
ンバータ可変速制御装置31が電気的に接続され
ている。このインバータ可変速制御装置31には
後述する中央制御装置32からの周波数設定信号
aが出力されるようになつている。 中央制御装置32には、電動機17の回転数計
33で計測され、これが電気信号に変換された制
御信号bが入力されるようになつている。再凝縮
器24の温度が温度計測器34により計測され、
この計測値が変換器35により電気制御信号cに
変換されて上記中央制御装置32に入力されるよ
うになつている。また、上記内槽3の圧力すなわ
ち、放圧配管9の圧力が圧力計測器36で計測さ
れ、この計測値は変換器37により電気制御信号
dに変換されて、上記中央制御装置32に入力さ
れるようになつている。また、上記外部電源8の
励磁電流値Iは変換器40に制御信号eに変換さ
れて上記中央制御装置32に入力されるようにな
つている。そして、上記放圧配管9には上記機械
式放圧装置10を設けず、この代りに電磁弁、電
動弁等の自動弁39が設けられ、この自動弁39
に上記中央制御装置32からの開・閉信号fが出
力されるようになつている。 上記中央制御装置32には、上記電動機17の
回転数に基づく制御信号b、再凝縮器24の温度
に基づく制御信号c、放圧配管9の圧力に基づく
制御信号dおよび超電導コイル6の励磁電流に基
づく信号eが入力され、第2図に示す内容の励磁
電流信号によつて外部からの侵入熱量Qを求め、
これに対応して制御すべき周波数設定信号aを上
記インバータ可変速制御装置31に出力し、また
中央制御装置32は第4図、第5図、第6図に示
す制御により自動弁39に対して開・閉信号が
与えられる。 次に、このように構成された本発明の超電導磁
石装置の作用を説明刷る。電動機17の周波数
と冷凍機12の冷凍能力Pとの間には次のような
関係が成立する。 P=K・ …… ここでK:比例定数 第2図bに示すように、周波数を変えると図
示のような冷凍能力曲線が得られる。但し、図中
0なる曲線はT1にてP0なる冷凍能力となる様に
周波数を選んだ場合であり、同様に1はT1にて
P1,2はT1にてP2となる様に周波数を選定して
いる。ここで0<1<2であり1は従来の電動機
17の回転数制御をしない時の周波数である。ま
ず、超電導コイル6への励磁電流値が零の時を考
える。第2図bに於いて従来装置ではbpなる位置
にて冷凍機12は運転されているが、本発明装置
ではインバータ可変速制御装置31より周波数を
0なる値に変化させ、冷凍機運転状態をb4なる位
置にする。 この時、上記中央制御装置32は第4図にて示
すフローチヤートに従つた制御を行う。すなわ
ち、励磁電流零に相当する周波数0に設定し、回
転数計33とインバータ可変速制御装置31によ
り周波数を一定値0に保持させ=0のときは
微調変動分Δを加算、減算して=0にさせる。
再凝縮器24の温度およびこれと平衡になつてい
るこれをPrlとする。ラプチヤーデスク式放圧装
置11が破れつする内槽圧力より低い設計許容内
槽圧力をProとする。ここでPro>Prlである。 以下項番の手順で運転制御が行われる。 (1) 内槽3内圧力Prと設計許容内槽圧力Proを比
較する。Pr>Proであれば自動弁39を開にし
てPr=Prlなるまで放圧する。この開動作数N
をカウントする。この動作が頻繁になりある一
定時間内でNpより大となつたら制御不能とい
うことで冷凍機12の運転を停止させる。Pr
<Proであれば次の(2)へ進。 (2) PrとPrlを比較する。Pr=Prlならこの状態
を保持する。そしてPr<Prlの時は、周波数を
微調変動分Δ0減少させ冷凍能力を低下させ蒸
発ヘリウム量を増大させ、内槽3の圧力を上昇
させる。Pr>Prlの時は、周波数を微調変動分
Δ0増大させ冷凍能力を上げヘリウムガス再凝
縮量を増大させ、内槽圧力を低下させる。これ
らの動作の後、再びPrとPrlを比較する。この
(1)(2)の手順をくり返して、第2図の特性曲線上
b4なる位置を制御する。 次に、超電導コイル6を励磁してInio<I<
Inaxなる値にて通電保持する時を考える。以
下、I=例えばInaxにて説明する。第2図bに
於いて、従来装置ではb2なる位置にて冷凍機1
2は運転されているが本発明装置では周波数を
2なる値に変化させて冷凍機12の運転状態を
b5なる位置にする。この時、中央制御装置32
は第6図に示すフローチヤートに従つた制御を
行う。以下次の(3),(4)の手順で運転制御が行わ
れる。 (3) 所要の励磁電流値Inaxに対応した周波数2を
設定するにあたり、第5図に示すように周波数
を変化させる。すなわち、冷凍能力変化の追随
を良くするために、 =2+ΔF2(ΔF2:オーバーシユート分) なる周波数でΔT2なる間、周波数をオーバーシ
ユートさせるΔF2とΔT2の値は、使用する冷凍
機の冷凍能力変化追随性より最適値を設定す
る。オーバーシユートの後に周波数を2に固定
し、I=Oの時と同様に周波数一定制御を行
う。 (4) I=Oの場合と同様にPr=Pr1となる様に周
波数制御を行う。 この(3),(4)の手順をくり返して、第2図bの
特性曲線上b5なる位置を制御する。 次に、超電導コイル6を減磁してInio<I<
Inaxなる値にて通電保持する時を考える。この
場合は、上記の励磁の場合とほぼ同様な制御を
行う。但し、周波数の変化の仁法が第5図の2
→1→ΔF1→1のようになり、第6図に於い
て、2およびΔF2なる周波数が1およびΔF1と
なる。 以上述べた実施例によれば、冷凍機12の圧縮
機16を駆動する電動機17の回転数を制御でき
るようにしたので、外部電源8により超電導コイ
ル6に与えられる励磁電流値変化に伴う侵入熱量
変動に対応して冷凍機12の冷凍能力制御でき、
しかもこの制御応答性が良好で、また侵入熱量変
動に対する冷凍能力の追随性が良く、超電導コイ
ル6に与える励磁電流を広範囲に選べる。さらに
J−T配管系統の負圧現象が回避されるので、J
−T30弁近くの配管系統に不純物の混入がなく
なり、冷凍機12の能力低下がなくなり、操作性
がきわめて良好である。また回転数制御で冷凍機
12の能力を制御するようにしたので、後述する
ように経時的冷凍能力劣化を補償でき、冷凍機1
2を長期間にわたつて運転することができる。さ
らにインバータ可変速制御装置31で電動機17
を制御したので、電動機17で消費する電力が必
要最小限ですむ。従つて、総合的に長期間信頼性
の高い運転が可能となる。 次に以上述べた実施例の超電導磁石装置を長期
間継続運転すると冷凍機12の冷凍能力が経時劣
化するので、これを補償する方法について説明す
る。はじめに第7図および第8図によりその一例
を説明する。冷凍機12の冷凍能力Pは一般に第
7図に示すような経時劣化となり、時間関数P
(t)となる。ここで、P0は初期の冷凍能力を示
し、Pfは冷凍機のメンテナンス時期に達した時
の冷凍能力を示している。超電導磁石装置を設計
する際は、Pf>εP2となる様にしなければならな
い。ここで、εは安全率、P2は第2図bの冷凍
能力である。 第8図に於いて、励磁電流値Iが設定されると
侵入熱量Qが確定し、それに対応した冷凍能力を
出す周波数が決定される。ただし、この周波数
は冷凍能力経時劣化がない時の値である。運転
開始時よりの経時t1がわかつているので、冷凍能
力の劣化率η(t1)は、第7図より求められる
P(t1)/P0がわかる。おの低下分を補償する周波数 増加率K(t1)がη(t1)・なる周波数にて冷凍
機12を運転し、冷凍能力経時劣化を補償する。
これを具体的に行うには、予め第7図の特性を中
央制御装置32に記憶させておき、Pfとなる時
間の前において、第3図の温度計測器34又は圧
力計測器36の計測値と目標値との偏差が生じた
とき、この偏差を補償するように中央制御装置3
2からインバータ可変速制御装置31に周波数設
定信号aを出力させるようにすればよい。 次に第9図により冷凍機12の冷凍能力経時劣
化を補償する他の方法について説明する。すなわ
ち、超電導コイル6の励磁電流値Iが設定される
と、これに対応した周波数が決まる。この周波
数で運転した際、冷凍能力劣化により内槽3内
圧力PrがPrlより低い場合は、周波数をΔ上昇さ
せて+Δなる周波数にて運転する。PrがPrlに
等しくなるまで周波数を増やして冷凍能力経時劣
化を補償する。この補償方法は第6図のフローチ
ヤートに含まれている。これを具体的に行うには
第3図の温度計測器34又は圧力計測器36の計
測値を一定時間ごとに中央制御装置32に入力
し、この内部でその計測値と設定値とを比較し、
偏差が生じたときこの偏差分を補償するように中
央制御装置32からインバータ可変速制御装置3
1に、周波数設定信号aを出力させるようにすれ
ばよい。 次に本発明の第2の実施例について第10図を
参照して説明する。第3図で示した第1の実施例
と同一部分には同一符号を付してその説明を省略
する。第3図の第1の実施例では、インバータ可
変速制御装置31により電動機17の回転数を制
御する構成としたが、ここではこの構成の代りに
冷媒主流量を制御可能な構成としたものである。
すなわち、圧縮機16吐出側の媒体流入配管14
には、主流量調節弁46および主流量計測器47
が直列に設けられている。上記主流量調節弁46
と圧縮機16の流入側との間にバイパス配管45
が接続され、このバイパス配管45にはバイパス
流量調節弁49とバイパス流量計測器50が直列
に設けられている。上記主流量計測器47および
バイパス流量計測器50により計測された流量は
変換器48,51により電気制御信号g,hに変
換されて中央制御装置32に入力されるようにな
つている。 この中央制御装置32には上記電気制御信号
g,h以外に、第3図と同様に再凝縮器24の温
度に基づく制御信号c、放圧配管9の圧力に基づ
く制御信号dおよび超電導コイル6の励磁電流に
基づく信号eが入力され、内部で所定の演算処理
が行われて、上記主流量調節弁46およびバイパ
ス流量調節弁49に対して弁開度指令が与えられ
るとともに、自動弁39に対して開・閉信号が
与えられる。 このように構成された本発明の第2の実施例に
おいても上記した第1の実施例と同様な効果が得
られるばかりでなく、媒体流入配管14の圧縮機
16吐出側およびバイパス配管45にそれぞれ主
流量調節弁46、バイパス流量調節弁49を設け
ているので、冷凍機12の制御範囲が広くとれ
る。 次に本発明の第3の実施例について第11図を
参照して説明するが、第3図と同一部分には同一
符号を付してその説明を省略する。第3図の実施
例ではインバータ可変速制御装置31により電動
機17の回転数を制御する構成としたが、ここで
はこの構成の代りにJ−T配管系統に媒体の圧力
を制御可能な構成としたものである。すなわち、
J−T流入配管25とJ−T戻り配管26を、媒
体流入配管14と媒体戻り配管15とは接続せ
ず、それに圧縮機52の吐出側と流入側を接続
し、圧縮機52の吐出側と流入側との間に圧力調
節弁54を設ける。圧縮機52にはこれを駆動す
るための電動機53が直結されている。またJ−
T戻り配管26の圧縮機52の流入側に圧力計測
器55を設け、この圧力計測器55により計測さ
れた計測値を変換器56により電気制御信号Kに
変換して中央制御装置32に入力する。これ以外
に中央制御装置32には、第3図と同様に再凝縮
器24の温度に基づく制御信号c、放圧配管9の
圧力に基づく制御信号dおよび超電導コイル6の
励磁電流に基づく制御信号eが入力される。そし
て中央制御装置32の内部において所定の演算処
理が行われて、上記圧力調節弁54に対して弁開
度信号が出力され、さらに自動弁39に対して開
閉信号が与えられる。 このように構成された本発明の第3の実施例に
おいても上記した第1の実施例と同様な効果が得
られるばかりでなく、J−T流入配管25とJ−
T戻り配管26の間に圧力調節弁54が設けられ
ているので、J−T戻り配管26内の媒体圧力が
一定値より下がることはなく、つまり負圧となる
ことはなく信頼性が高いという利点がある。 なお、上記した第3図の実施例では圧縮機16
を駆動する電動機17を、インバータ可変速制御
装置31で回転数制御を行うようにしたが、これ
に限らずギヤー等の変速機により電動機17の回
転数制御を行つてもよい。さらに上記した実施例
では冷媒冷凍機としてギホードマクマホーン式あ
るいはソルベー式を念頭においたが、逆スターリ
ング方式の冷媒冷凍機であつても同様な作用効果
が得られる。 〔発明の効果〕 以上述べた本発明によれば、超電導コイルの励
磁電流値変化に伴う侵入熱量変化に対応して冷媒
冷凍機の冷却能力を制御でき、不純物混入の危険
性がなく、超電導コイルの運転電流を広範囲に選
ぶことができ、液体ヘリウム温度あるいは圧力を
常に一定値に制御でき、操作性に優れ、長期信頼
運転が可能な超電導磁石装置を提供できる。
第1図には従来の超電導磁石装置の一例を示す
概略構成図、第2図a,bは超電導コイルの励磁
電流に対する侵入熱量およびヘリウム冷凍機の冷
凍能力を示す特性曲線図、第3図は本発明の超電
導磁石装置の第1の実施例を示す概略構成図、第
4図は励磁電流が零のときの超電導磁石装置の運
転制御方法を示すフローチヤート、第5図は冷凍
能力変化時の電動機の周波数変化を示す図、第6
図は励磁電流を変化させた時の超電導磁石装置の
運転制御方法を示すフローチヤート、第7図は冷
凍能力経時劣化を示す図、第8図および第9図は
冷凍能力経時劣化の補償方法を示すフロー図、第
10図および第11図は本発明の超電導磁石装置
の第2および第3の実施例を示す概略構成図であ
る。 1……外槽、2……輻射シールド板、3……内
槽、4……保冷容器、5……液体ヘリウム、6…
…超電導コイル、7……パワーリード、8……外
部電源、9……放圧配管、10……機械式放圧装
置、11……ラプチヤーデスク式放圧装置、12
……ヘリウム冷凍機、13……冷凍機ヘツド、1
4……冷媒流入配管、15……冷媒戻り配管、1
6……圧縮機、17……電動機、18……第1段
冷却器、19……第2段冷却器、20……第1段
ステーシヨン、21……伝熱部材、22……第2
段ステーシヨン、23……伝熱部材、24……再
凝縮器、25……J−T流入配管、26……J−
T戻り配管、27……第1段熱交換器、26……
第2段熱交換器、29……第3段熱交換器、30
……J−T弁、31……インバータ可変速制御装
置、32……中央制御装置、35,37,40…
…変換器、34……温度計測器、36……圧力計
測器、39……自動弁、45……バイパス配管、
46……主流量調節弁、47……主流量計測器、
48,51,56……変換器、49……バイパス
流量調節弁、50……バイパス流量計測器、52
……圧縮機、53……電動機、54……圧力調節
弁、55……圧力計測器。
概略構成図、第2図a,bは超電導コイルの励磁
電流に対する侵入熱量およびヘリウム冷凍機の冷
凍能力を示す特性曲線図、第3図は本発明の超電
導磁石装置の第1の実施例を示す概略構成図、第
4図は励磁電流が零のときの超電導磁石装置の運
転制御方法を示すフローチヤート、第5図は冷凍
能力変化時の電動機の周波数変化を示す図、第6
図は励磁電流を変化させた時の超電導磁石装置の
運転制御方法を示すフローチヤート、第7図は冷
凍能力経時劣化を示す図、第8図および第9図は
冷凍能力経時劣化の補償方法を示すフロー図、第
10図および第11図は本発明の超電導磁石装置
の第2および第3の実施例を示す概略構成図であ
る。 1……外槽、2……輻射シールド板、3……内
槽、4……保冷容器、5……液体ヘリウム、6…
…超電導コイル、7……パワーリード、8……外
部電源、9……放圧配管、10……機械式放圧装
置、11……ラプチヤーデスク式放圧装置、12
……ヘリウム冷凍機、13……冷凍機ヘツド、1
4……冷媒流入配管、15……冷媒戻り配管、1
6……圧縮機、17……電動機、18……第1段
冷却器、19……第2段冷却器、20……第1段
ステーシヨン、21……伝熱部材、22……第2
段ステーシヨン、23……伝熱部材、24……再
凝縮器、25……J−T流入配管、26……J−
T戻り配管、27……第1段熱交換器、26……
第2段熱交換器、29……第3段熱交換器、30
……J−T弁、31……インバータ可変速制御装
置、32……中央制御装置、35,37,40…
…変換器、34……温度計測器、36……圧力計
測器、39……自動弁、45……バイパス配管、
46……主流量調節弁、47……主流量計測器、
48,51,56……変換器、49……バイパス
流量調節弁、50……バイパス流量計測器、52
……圧縮機、53……電動機、54……圧力調節
弁、55……圧力計測器。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 液体ヘリウムを封入すると共に、超電導コイ
ルを収納する内槽と、 この内槽を収納する外槽と、 この外槽と上記内槽との間に配設された輻射シ
ールド体からなり、上記超電導コイルを極低温に
保持する保冷容器と、 この保冷容器外部に配設された外部電源と上記
超電導コイルを電気的に接続するパワーリード
と、 上記内槽内の液体ヘリウムの蒸発ガスを再凝縮
させる再凝縮器と、 この再凝縮器の冷媒流入側および冷媒戻り側に
その一端が接続され、その他端が上記保冷容器外
部に位置するように設けられたJ−T配管系統
と、 上記パワーリード、輻射シールド体、J−T配
管系統を冷却する複数の冷却器と、 このパワーリード、輻射シールド体、J−T配
管系統に冷媒を供給する配管系統と、 上記保冷容器外部に配置され、上記冷媒を圧縮
する圧縮機およびこの圧縮機を駆動する電動機と
からなる冷媒冷凍機と、 この冷媒冷凍機の電動機の回転数を制御する回
転数制御手段と、 上記電動機の回転数に基づく制御信号b、上記
再凝縮器の温度に基づく制御信号c 、上記内槽
の圧力を放出する放圧配管の圧力に基づく制御信
号dおよび上記超電導コイルの励磁電流に基づく
制御信号eが入力され、励磁電流信号によつて外
部からの侵入熱量を求め、これに対応して制御す
べき周波数設定信号aを上記回転数制御手段に出
力し、かつ上記放圧配管に設けられている自動弁
に対して開・閉信号fを与える中央制御装置とを
備え、 上記冷媒冷凍機の冷凍能力を保冷容器外部から
の侵入熱量に対して制御可能にしたことを特徴と
する超電導磁石装置。 2 液体ヘリウムを封入すると共に、超電導コイ
ルを収納する内槽と、 この内槽を収納する外槽と、 この外槽と上記内槽との間に配設された輻射シ
ールド体からなり、上記超電導コイルを極低温に
保持する保冷容器と、 この保冷容器外部に配設された外部電源と上記
超電導コイルを電気的に接続するパワーリード
と、 上記内槽内の液体ヘリウムの蒸発ガスを再凝縮
させる再凝縮器と、 この再凝縮器の冷媒流入側および冷媒戻り側に
その一端が接続され、その他端が上記保冷容器外
部に位置するように設けられたJ−T配管系統
と、 上記パワーリード、輻射シールド体、J−T配
管系統を冷却する複数の冷却器と、 このパワーリード、輻射シールド体、J−T配
管系統に冷媒を供給する配管系統と、 上記保冷容器外部に配置され、上記冷媒を圧縮
する圧縮機およびこの圧縮機を駆動する電動機と
からなる冷媒冷凍機と、 この冷媒冷凍機の電動機の回転数を制御する回
転数制御手段と、 上記再凝縮器の温度を計測する温度計測手段
と、 上記放圧配管の圧力を計測する圧力計測手段
と、 上記温度計測手段で計測された温度計測値また
は上記圧力計測手段で計測された圧力計測値と設
定値を入力し、この両者間に偏差が生じたとき、
この偏差を補償するように上記回転数制御手段に
対して周波数設定信号を出力する中央制御装置と
を備え、 前記冷媒冷凍機にこの冷凍能力が経時劣化する
のを補償する機能を付加したことを特徴とする超
電導磁石装置。 3 液体ヘリウムを封入すると共に、超電導コイ
ルを収納する内槽と、 この内槽を収納する外槽と、 この外槽と上記内槽との間に配設された輻射シ
ールド体からなり、上記超電導コイルを極低温に
保持する保冷容器と、 この保冷容器外部に配設された外部電源と上記
超電導コイルを電気的に接続するパワーリード
と、 上記内槽内の液体ヘリウムの蒸発ガスを再凝縮
させる再凝縮器と、 この再凝縮器の冷媒流入側および冷媒戻り側に
その一端が接続され、その他端が上記保冷容器外
部に位置するように設けられたJ−T配管系統
と、 上記パワーリード、輻射シールド体、J−T配
管系統を冷却する複数の冷却器と、 このパワーリード、輻射シールド体、J−T配
管系統に冷媒を供給する配管系統と、 上記保冷容器外部に配置され、上記冷媒を圧縮
する圧縮機およびこの圧縮機を駆動する電動機と
からなる冷媒冷凍機と、 この冷媒冷凍機とJ−T配管系統の間に配設さ
れた冷媒流入配管に設けられた冷媒の主流量を調
節する流量調節弁と、 上記冷媒冷凍機の入口側および吐出側に接続さ
れたバイパス配管路に設けられたバイパス流量調
節弁と、 上記バイパス配管路と上記冷媒流入配管の流量
に応じた電気制御信号g,hと、上記再凝縮器の
温度に基づく制御信号c、上記内槽の圧力を放出
する放圧配管の圧力に基づく制御信号dおよび上
記超電導コイルの励磁電流に基づく制御信号eが
入力され、内部で所定の演算処理により上記流量
調節弁およびバイパス流量調節弁に対して弁開度
指令i,jを与え、かつ上記放圧配管に設けられ
ている自動弁に対して開・閉信号fを与える中央
制御装置とを備え、 上記冷媒冷凍機の冷凍能力を保冷容器外部から
の侵入熱量に対して制御可能にしたことを特徴と
する超電導磁石装置。 4 液体ヘリウムを封入すると共に、超電導コイ
ルを収納する内槽と、 この内槽を収納する外槽と、 この外槽と上記内槽との間に配設された輻射シ
ールド体からなり、上記超電導コイルを極低温に
保持する保冷容器と、 この保冷容器外部に配設された外部電源と上記
超電導コイルを電気的に接続するパワーリード
と、 上記内槽内の液体ヘリウムの蒸発ガスを再凝縮
させる再凝縮器と、 この再凝縮器の冷媒流入側および冷媒戻り側に
その一端が接続され、その他端が上記保冷容器外
部に位置するように設けられたJ−T配管系統
と、 上記パワーリード、輻射シールド体、J−T配
管系統を冷却する複数の冷却器と、このパワーリ
ード、輻射シールド体、J−T配管系統に冷媒を
供給する配管系統と、 上記保冷容器外部に配置され、上記冷媒を圧縮
する圧縮機およびこの圧縮機を駆動する電動機と
からなる冷媒冷凍機と、 この冷媒冷凍機とJ−T配管系統の間に配設さ
れた冷媒流入配管に設けられた冷媒の主流量を調
節する流量調節弁と、 上記冷媒冷凍機の入口側および吐出側に接続さ
れたバイパス配管路に設けられたバイパス流量調
節弁と、 上記再凝縮器の温度を計測する温度計測手段
と、 上記放圧配管の圧力を計測する圧力計測手段
と、 上記温度計測手段で計測された温度計測値また
は上記圧力計測手段で計測された圧力計測値と設
定値を入力し、この両者間に偏差が生じたとき、
この偏差を補償するように上記回転数制御手段に
対して周波数設定信号を出力する中央制御装置と
を備え、 前記冷媒冷凍機にこの冷凍能力が経時劣化する
のを補償する機能を付加したことを特徴とする超
電導磁石装置。 5 液体ヘリウムを封入すると共に、超電導コイ
ルを収納する内槽と、 この内槽を収納する外槽と、 この外槽と上記内槽との間に配設された輻射シ
ールド体からなり、上記超電導コイルを極低温に
保持する保冷容器と、 この保冷容器外部に配設された外部電源と上記
超電導コイルを電気的に接続するパワーリード
と、 上記内槽内の液体ヘリウムの蒸発ガスを再凝縮
させる再凝縮器と、 この再凝縮器の冷媒流入側および冷媒戻り側に
その一端が接続され、その他端が上記保冷容器外
部に位置するように設けられたJ−T配管系統
と、 上記パワーリード、輻射シールド体、J−T配
管系統を冷却する複数の冷却器と、 このパワーリード、輻射シールド体、J−T配
管系統に冷媒を供給する配管系統と、 上記保冷容器外部に配置され、上記冷媒を圧縮
する圧縮機およびこの圧縮機を駆動する電動機と
からなる冷媒冷凍機と、 この冷媒冷凍機とJ−T配管系統の間に配設さ
れた冷媒流入配管に設けられた冷媒の主流量を調
節する流量調節弁と、 上記冷媒冷凍機の入口側および吐出側に接続さ
れたJ−T配管系統に設けられた圧力調節弁と、 上記冷媒冷凍機の入口側の圧力に応じた制御信
号kと、上記再凝縮器の温度に基づく制御信号
c、上記内槽の圧力を放出する放圧配管の圧力に
基づく制御信号dおよび上記超電導コイルの励磁
電流に基づく制御信号eが入力され、内部で所定
の演算処理により上記圧力調節弁に対して弁開度
指令を与え、かつ上記放圧配管に設けられている
自動弁に対して開・閉信号fを与える中央制御装
置とを備え、 上記冷媒冷凍機の冷凍能力を保冷容器外部から
の侵入熱量に対して制御可能にしたことを特徴と
する超電導磁石装置。 6 液体ヘリウムを封入すると共に、超電導コイ
ルを収納する内槽と、 この内槽を収納する外槽と、 この外槽と上記内槽との間に配設された輻射シ
ールド体からなり、上記超電導コイルを極低温に
保持する保冷容器と、 この保冷容器外部に配設された外部電源と上記
超電導コイルを電気的に接続するパワーリード
と、 上記内槽内の液体ヘリウムの蒸発ガスを再凝縮
させる再凝縮器と、 この再凝縮器の冷媒流入側および冷媒戻り側に
その一端が接続され、その他端が上記保冷容器外
部に位置するように設けられたJ−T配管系統
と、 上記パワーリード、輻射シールド体、J−T配
管系統を冷却する複数の冷却器と、 このパワーリード、輻射シールド体、J−T配
管系統に冷媒を供給する配管系統と、 上記保冷容器外部に配置され、上記冷媒を圧縮
する圧縮機およびこの圧縮機を駆動する電動機と
からなる冷媒冷凍機と、 この冷媒冷凍機とJ−T配管系統の間に配設さ
れた冷媒流入配管に設けられた冷媒の主流量を調
節する流量調節弁と、 上記冷媒冷凍機の入口側および吐出側に接続さ
れたJ−T配管系統に設けられた圧力調節弁と、 上記再凝縮器の温度を計測する温度計測手段
と、 上記放圧配管の圧力を計測する圧力計測手段
と、 上記温度計測手段で計測された温度計測値また
は上記圧力計測手段で計測された圧力計測値と設
定値を入力し、この両者間に偏差が生じたとき、
この偏差を補償するように上記回転数制御手段に
対して周波数設定信号を出力する中央制御装置と
を備え、 前記冷媒冷凍機にこの冷凍能力が経時劣化する
のを補償する機能を付加したことを特徴とする超
電導磁石装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59102024A JPS60245285A (ja) | 1984-05-21 | 1984-05-21 | 超電導磁石装置 |
| US06/632,461 US4543794A (en) | 1983-07-26 | 1984-07-19 | Superconducting magnet device |
| GB08418769A GB2145506B (en) | 1983-07-26 | 1984-07-24 | Superconducting magnet device |
| DE19843427601 DE3427601A1 (de) | 1983-07-26 | 1984-07-26 | Supraleitende magnetvorrichtung |
| KR8404441A KR890003871B1 (en) | 1983-07-26 | 1984-07-26 | Super conducting magnet device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59102024A JPS60245285A (ja) | 1984-05-21 | 1984-05-21 | 超電導磁石装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60245285A JPS60245285A (ja) | 1985-12-05 |
| JPH0560274B2 true JPH0560274B2 (ja) | 1993-09-01 |
Family
ID=14316178
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59102024A Granted JPS60245285A (ja) | 1983-07-26 | 1984-05-21 | 超電導磁石装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60245285A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE69831464T2 (de) * | 1997-10-24 | 2006-01-19 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Verfahren zum Steuern des Betriebs einer supraleitenden Spule |
| JPH11204325A (ja) * | 1997-10-24 | 1999-07-30 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 超電導コイルの運転制御法 |
| JP4821047B2 (ja) * | 2001-02-02 | 2011-11-24 | 住友電気工業株式会社 | 高温超電導コイルの冷却装置 |
| JP7115836B2 (ja) | 2017-11-07 | 2022-08-09 | エム・ブイ・イー・バイオロジカル・ソリューションズ・ユー・エス・リミテッド・ライアビリティ・カンパニー | 極低温冷凍機 |
| JP2023106552A (ja) * | 2022-04-22 | 2023-08-01 | エム・ブイ・イー・バイオロジカル・ソリューションズ・ユー・エス・リミテッド・ライアビリティ・カンパニー | 極低温冷凍機 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57143881A (en) * | 1981-03-02 | 1982-09-06 | Hitachi Ltd | Method and apparatus for controlling superconducting device |
-
1984
- 1984-05-21 JP JP59102024A patent/JPS60245285A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60245285A (ja) | 1985-12-05 |
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