JPH0560830A - Ｉｃ試験装置用恒温槽 - Google Patents
Ｉｃ試験装置用恒温槽Info
- Publication number
- JPH0560830A JPH0560830A JP3224221A JP22422191A JPH0560830A JP H0560830 A JPH0560830 A JP H0560830A JP 3224221 A JP3224221 A JP 3224221A JP 22422191 A JP22422191 A JP 22422191A JP H0560830 A JPH0560830 A JP H0560830A
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- JP
- Japan
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- case
- hot air
- duct
- unit
- constant temperature
- Prior art date
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 ＩＣ測定部すべてについて高い精度で設定温
度を保持するＩＣ試験装置用恒温槽を提供する。 【構成】 ケース１を具備し、ケース１の上方領域には
ファン・ユニット２およびヒータ・ユニット３を収容
し、その下方領域には多数のＩＣ測定部を構成するコン
タクト・ユニット６を収容し、熱風を案内するダクト４
を具備するＩＣ試験装置用恒温槽において、ダクト４と
ケース１とによりこれらの間に熱風流通路を形成し、熱
風流通路の下端はケース１下方領域下部において開口す
るものとした。
度を保持するＩＣ試験装置用恒温槽を提供する。 【構成】 ケース１を具備し、ケース１の上方領域には
ファン・ユニット２およびヒータ・ユニット３を収容
し、その下方領域には多数のＩＣ測定部を構成するコン
タクト・ユニット６を収容し、熱風を案内するダクト４
を具備するＩＣ試験装置用恒温槽において、ダクト４と
ケース１とによりこれらの間に熱風流通路を形成し、熱
風流通路の下端はケース１下方領域下部において開口す
るものとした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、多数のＩＣ測定部に
おける温度を一様にするＩＣ試験装置用恒温槽に関す
る。
おける温度を一様にするＩＣ試験装置用恒温槽に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣについての評価或いはＩＣ受け入れ
検査は、多数のＩＣを恒温槽に収容して恒温状態におい
て一度に同時に実施される。この様な用途に供されるＩ
Ｃ試験装置用恒温槽の従来例を図１を参照して説明す
る。
検査は、多数のＩＣを恒温槽に収容して恒温状態におい
て一度に同時に実施される。この様な用途に供されるＩ
Ｃ試験装置用恒温槽の従来例を図１を参照して説明す
る。
【０００３】図１において、１はＩＣ試験装置用恒温槽
のケースである。ケース１は、図においてその右上方領
域にファン・ユニット２およびヒータ・ユニット３を収
容し、その下方領域に多数のＩＣを同時に測定する多数
のＩＣ測定部が構成される。４は熱風を案内するダクト
であり、その下端はケース１の右上方領域を形成するケ
ース下面に係合してこれらの間に熱風流通路が形成され
る。５はケース背面基板であり、この背面基板５にはコ
ンタクト・ユニット（レール・ユニット）６が取り付け
られる。
のケースである。ケース１は、図においてその右上方領
域にファン・ユニット２およびヒータ・ユニット３を収
容し、その下方領域に多数のＩＣを同時に測定する多数
のＩＣ測定部が構成される。４は熱風を案内するダクト
であり、その下端はケース１の右上方領域を形成するケ
ース下面に係合してこれらの間に熱風流通路が形成され
る。５はケース背面基板であり、この背面基板５にはコ
ンタクト・ユニット（レール・ユニット）６が取り付け
られる。
【０００４】コンタクト・ユニット６は図２に示される
が如きものである。コンタクト・ユニット６は上述した
通りケースの背面基板５に取り付けられ、測定されるべ
きＩＣ７をＩＣ測定部８に位置決め保持するためのもの
である。ＩＣ７は、共に上下方向に延伸するレール９お
よびルーフ１０とストッパ１１の３者により図示される
が如くに位置決めされるのであるが、その詳細について
は説明を省略する。なお、多数のＩＣ測定部８における
温度が一様であるか否かを判断するには測定部８におけ
る温度を測定する必要があることは言うまでもないこと
であるが、そのためには例えばＰｔセンサをＩＣ測定部
８に位置決め保持されたＩＣ７の近傍に配置する。
が如きものである。コンタクト・ユニット６は上述した
通りケースの背面基板５に取り付けられ、測定されるべ
きＩＣ７をＩＣ測定部８に位置決め保持するためのもの
である。ＩＣ７は、共に上下方向に延伸するレール９お
よびルーフ１０とストッパ１１の３者により図示される
が如くに位置決めされるのであるが、その詳細について
は説明を省略する。なお、多数のＩＣ測定部８における
温度が一様であるか否かを判断するには測定部８におけ
る温度を測定する必要があることは言うまでもないこと
であるが、そのためには例えばＰｔセンサをＩＣ測定部
８に位置決め保持されたＩＣ７の近傍に配置する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述されたＩＣ試験装
置用恒温槽の従来例において、ファン・ユニット２によ
り生ぜしめられた高速空気の流れはヒータ・ユニット３
に到達し、ここにおいて熱交換されながらダクト４によ
り案内されて図１の矢印により示されるが如くに流通す
る。即ち、加熱された熱風の流れはダクト４により偏向
されて上から下向きに吹き出され、流通、循環せしめら
れる。この従来例の場合、ＩＣ測定部８は合計３２箇所
構成されるのであるが、何分にもコンタクト・ユニット
６は図２に示されるが如く大変に複雑な形状構造を有す
るものであることから、３２箇所のＩＣ測定部８に加熱
された高速空気を一様に流通、循環せしめることは容易
なことではないのである。現実に、恒温槽内温度を一様
に１００℃としたい場合、恒温槽内上部を１００℃に保
持したものとすると、下部は９０℃程度にしかならな
い。実際は、ＩＣ測定部８すべてについて設定温度±３
℃程度の精度におさめたく、種々の対策を講じてきたた
のであるが、今の所この精度を実現することはできてい
ない。
置用恒温槽の従来例において、ファン・ユニット２によ
り生ぜしめられた高速空気の流れはヒータ・ユニット３
に到達し、ここにおいて熱交換されながらダクト４によ
り案内されて図１の矢印により示されるが如くに流通す
る。即ち、加熱された熱風の流れはダクト４により偏向
されて上から下向きに吹き出され、流通、循環せしめら
れる。この従来例の場合、ＩＣ測定部８は合計３２箇所
構成されるのであるが、何分にもコンタクト・ユニット
６は図２に示されるが如く大変に複雑な形状構造を有す
るものであることから、３２箇所のＩＣ測定部８に加熱
された高速空気を一様に流通、循環せしめることは容易
なことではないのである。現実に、恒温槽内温度を一様
に１００℃としたい場合、恒温槽内上部を１００℃に保
持したものとすると、下部は９０℃程度にしかならな
い。実際は、ＩＣ測定部８すべてについて設定温度±３
℃程度の精度におさめたく、種々の対策を講じてきたた
のであるが、今の所この精度を実現することはできてい
ない。
【０００６】この発明は、上述の通りの問題を解消しよ
うとするものである。
うとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】ケース１を具備し、ケー
ス１の上方領域にはファン・ユニット２およびヒータ・
ユニット３を収容し、その下方領域には多数のＩＣ測定
部８を構成するコンタクト・ユニット６を収容し、熱風
を案内するダクト４を具備するＩＣ試験装置用恒温槽に
おいて、ダクト４とケース１とによりこれらの間に熱風
流通路を形成し、熱風流通路の下端はケース下方領域下
部において開口するものとした。
ス１の上方領域にはファン・ユニット２およびヒータ・
ユニット３を収容し、その下方領域には多数のＩＣ測定
部８を構成するコンタクト・ユニット６を収容し、熱風
を案内するダクト４を具備するＩＣ試験装置用恒温槽に
おいて、ダクト４とケース１とによりこれらの間に熱風
流通路を形成し、熱風流通路の下端はケース下方領域下
部において開口するものとした。
【０００８】
【実施例】この発明の実施例を図３を参照して説明す
る。図３について、図１における参照数字と共通する参
照数字は互いに同一の部材を示すものとする。図３に示
されるこの発明のＩＣ試験装置用恒温槽は図１に示され
る従来のＩＣ試験装置用恒温槽におけるダクト４の先端
部にケース１底面近傍に達する垂直延長部４’を付加し
たものに相当する。この垂直延長部４’は、ダクト４の
先端部からケース１底面近傍に迄達する前面板１２と、
前面板１２の左右両端部において屈曲してケースの背面
基板５に達すると共に下端はケース１底面に達する左右
の側面板１３とにより構成される。結局、この垂直延長
部４’とケースの背面基板５との間にも熱風流通路が形
成され、そしてこの熱風流通路の下端はケース下方領域
下部、即ちケース１底面近傍において開口するものであ
る。従って、ダクト４とケース１の右上方領域を形成す
るケース下面との間に形成される熱風流通路とダクトの
垂直延長部４’とケースの背面基板５との間に形成され
る熱風流通路とは互いに連通しており、ヒータ・ユニッ
ト３から送り出される熱風はこれら連通する熱風流通路
を流れ下り、図３において矢印で示される如くに恒温槽
下部から上向きに吹き出され、流通、循環せしめられ
る。
る。図３について、図１における参照数字と共通する参
照数字は互いに同一の部材を示すものとする。図３に示
されるこの発明のＩＣ試験装置用恒温槽は図１に示され
る従来のＩＣ試験装置用恒温槽におけるダクト４の先端
部にケース１底面近傍に達する垂直延長部４’を付加し
たものに相当する。この垂直延長部４’は、ダクト４の
先端部からケース１底面近傍に迄達する前面板１２と、
前面板１２の左右両端部において屈曲してケースの背面
基板５に達すると共に下端はケース１底面に達する左右
の側面板１３とにより構成される。結局、この垂直延長
部４’とケースの背面基板５との間にも熱風流通路が形
成され、そしてこの熱風流通路の下端はケース下方領域
下部、即ちケース１底面近傍において開口するものであ
る。従って、ダクト４とケース１の右上方領域を形成す
るケース下面との間に形成される熱風流通路とダクトの
垂直延長部４’とケースの背面基板５との間に形成され
る熱風流通路とは互いに連通しており、ヒータ・ユニッ
ト３から送り出される熱風はこれら連通する熱風流通路
を流れ下り、図３において矢印で示される如くに恒温槽
下部から上向きに吹き出され、流通、循環せしめられ
る。
【０００９】
【発明の効果】熱風の流れが恒温槽内に上から下向きに
吹き出され、流通、循環せしめられるＩＣ試験装置用恒
温槽について、ＩＣ測定部８すべてについて設定温度±
３℃程度の精度におさめるべく種々の対策を講じてもこ
の精度を実現することができなかったのであるが、この
発明によってダクト４の先端部にケース１底面近傍に達
する垂直延長部４’を付加するという一見極く簡単な構
成を採用して熱風流通路を形成し、熱風を図３において
矢印で示されるが如くに恒温槽下部から上向きに吹き出
し、流通循環せしめたところ、ＩＣ測定部８すべてにつ
いて設定温度±３℃の精度は充分に保たれていることを
実測することができた。ＩＣ試験装置用恒温槽について
この程度の精度を保つことにより、ＩＣについての評価
或いはＩＣ受け入れ検査の信頼性は充分に担保されるに
到った。
吹き出され、流通、循環せしめられるＩＣ試験装置用恒
温槽について、ＩＣ測定部８すべてについて設定温度±
３℃程度の精度におさめるべく種々の対策を講じてもこ
の精度を実現することができなかったのであるが、この
発明によってダクト４の先端部にケース１底面近傍に達
する垂直延長部４’を付加するという一見極く簡単な構
成を採用して熱風流通路を形成し、熱風を図３において
矢印で示されるが如くに恒温槽下部から上向きに吹き出
し、流通循環せしめたところ、ＩＣ測定部８すべてにつ
いて設定温度±３℃の精度は充分に保たれていることを
実測することができた。ＩＣ試験装置用恒温槽について
この程度の精度を保つことにより、ＩＣについての評価
或いはＩＣ受け入れ検査の信頼性は充分に担保されるに
到った。
【図１】ＩＣ試験装置用恒温槽の従来例を示す図。
【図２】ＩＣ試験装置に使用されるコンタクト・ユニッ
トを示す図。
トを示す図。
【図３】この発明のＩＣ試験装置用恒温槽を示す図。
１ ケース ２ ファン・ユニット ３ ヒータ・ユニット ４ ダクト ６ コンタクト・ユニット
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年８月２１日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】ケース１を具備し、ケー
ス１の上方領域にはファン・ユニット２およびヒータ・
ユニット３を収容し、その下方領域には多数のＩＣ測定
部８を構成するコンタクト・ユニット６を収容し、熱風
および冷風を案内するダクト４を具備するＩＣ試験装置
用恒温槽において、ダクト４とケース１とによりこれら
の間に熱風流通路を形成し、熱風流通路の下端はケース
下方領域下部において開口するものとした。
ス１の上方領域にはファン・ユニット２およびヒータ・
ユニット３を収容し、その下方領域には多数のＩＣ測定
部８を構成するコンタクト・ユニット６を収容し、熱風
および冷風を案内するダクト４を具備するＩＣ試験装置
用恒温槽において、ダクト４とケース１とによりこれら
の間に熱風流通路を形成し、熱風流通路の下端はケース
下方領域下部において開口するものとした。
Claims (1)
- 【請求項１】 ケースを具備し、ケースの上方領域には
ファン・ユニットおよびヒータ・ユニットを収容し、そ
の下方領域には多数のＩＣ測定部を構成するコンタクト
・ユニットを収容し、熱風を案内するダクトを具備する
ＩＣ試験装置用恒温槽において、ダクトとケースとによ
りこれらの間に熱風流通路を形成し、熱風流通路の下端
はケース下方領域下部において開口するものであること
を特徴とするＩＣ試験装置用恒温槽。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03224221A JP3075542B2 (ja) | 1991-09-04 | 1991-09-04 | Ｉｃ試験装置用恒温槽 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03224221A JP3075542B2 (ja) | 1991-09-04 | 1991-09-04 | Ｉｃ試験装置用恒温槽 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0560830A true JPH0560830A (ja) | 1993-03-12 |
| JP3075542B2 JP3075542B2 (ja) | 2000-08-14 |
Family
ID=16810409
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03224221A Expired - Lifetime JP3075542B2 (ja) | 1991-09-04 | 1991-09-04 | Ｉｃ試験装置用恒温槽 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3075542B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100811418B1 (ko) * | 2007-06-08 | 2008-03-07 | 김기영 | 골판 판재 |
| EP2048283B1 (en) | 2007-08-30 | 2015-08-19 | INDUSTRIE CARTARIE TRONCHETTI SpA | Apparatus for pasting two or more plies for manufacturing tissue products |
-
1991
- 1991-09-04 JP JP03224221A patent/JP3075542B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100811418B1 (ko) * | 2007-06-08 | 2008-03-07 | 김기영 | 골판 판재 |
| EP2048283B1 (en) | 2007-08-30 | 2015-08-19 | INDUSTRIE CARTARIE TRONCHETTI SpA | Apparatus for pasting two or more plies for manufacturing tissue products |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3075542B2 (ja) | 2000-08-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000509 |