JPH0561069B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0561069B2 JPH0561069B2 JP58096913A JP9691383A JPH0561069B2 JP H0561069 B2 JPH0561069 B2 JP H0561069B2 JP 58096913 A JP58096913 A JP 58096913A JP 9691383 A JP9691383 A JP 9691383A JP H0561069 B2 JPH0561069 B2 JP H0561069B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- polished
- block
- blocks
- abrasive
- Prior art date
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B11/00—Machines or devices designed for grinding spherical surfaces or parts of spherical surfaces on work; Accessories therefor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Pinball Game Machines (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は粒状物を仕上研摩し、あるいはパチン
コ球等の球体の汚れを取り除くための研摩装置に
関する。
コ球等の球体の汚れを取り除くための研摩装置に
関する。
従来、球体の研摩には一般に回転ドラムを用い
るバレル研摩装置が多用されている。しかしなが
ら、この種の研摩装置は被研摩体間の急激な衝突
を避け難く、被研摩球体の内部構造を変化させ、
あるいは球体の変形、破損等を生ずるとともに、
騒音が大きくなるという問題があつた。また研摩
剤を多量に必要とする割には研摩効果が不充分で
あつた。
るバレル研摩装置が多用されている。しかしなが
ら、この種の研摩装置は被研摩体間の急激な衝突
を避け難く、被研摩球体の内部構造を変化させ、
あるいは球体の変形、破損等を生ずるとともに、
騒音が大きくなるという問題があつた。また研摩
剤を多量に必要とする割には研摩効果が不充分で
あつた。
本発明はこの点に鑑みてなされたもので主たる
目的は被研摩球体を一つづつ高速で連続研摩する
ことにより、被研摩体の衝突による変形及び騒音
をなくすとともに、有効研摩面を大きくして研摩
効率を向上させ、且つ遠心力により研摩しながら
被研摩球体を装置外部へ自動的に排出できるよう
に研摩装置を提供することにある。
目的は被研摩球体を一つづつ高速で連続研摩する
ことにより、被研摩体の衝突による変形及び騒音
をなくすとともに、有効研摩面を大きくして研摩
効率を向上させ、且つ遠心力により研摩しながら
被研摩球体を装置外部へ自動的に排出できるよう
に研摩装置を提供することにある。
本発明の他の目的は研摩速度を調節でき且つ研
摩面と被研摩体の接触圧力を制御できるようにし
た研摩装置を提供することにある。
摩面と被研摩体の接触圧力を制御できるようにし
た研摩装置を提供することにある。
本発明の他の目的は研摩面の凹部で被研摩体を
反転させることにより被研摩体の表面をまんべん
なく研摩できるようにした研摩装置を提供するこ
とにある。
反転させることにより被研摩体の表面をまんべん
なく研摩できるようにした研摩装置を提供するこ
とにある。
本発明の更に他の目的は研摩粒子の異なる多種
の研摩を同一装置の一連の研摩工程中に連続的に
行うことができる研摩装置を提供することにあ
る。
の研摩を同一装置の一連の研摩工程中に連続的に
行うことができる研摩装置を提供することにあ
る。
本発明の基本的な特徴は、外側へテーパ状に開
いた環状傾斜面を中心から外周に向けて交互に逆
向きに連続させた研摩面を有する第1の研摩ブロ
ツクと、第1の研摩ブロツクの研摩面と凹凸状に
対応する研摩面を有し且つ軸方向に被研摩体の供
給孔を貫設した第2の研摩ブロツクとを、相対す
る研摩面間に被研摩体の移動空間を構成するよう
に一定間隔を隔てて対向配置するとともに、一対
の研摩ブロツクの少なくとも一方を駆動手段によ
り回転可能に支持させることにある。
いた環状傾斜面を中心から外周に向けて交互に逆
向きに連続させた研摩面を有する第1の研摩ブロ
ツクと、第1の研摩ブロツクの研摩面と凹凸状に
対応する研摩面を有し且つ軸方向に被研摩体の供
給孔を貫設した第2の研摩ブロツクとを、相対す
る研摩面間に被研摩体の移動空間を構成するよう
に一定間隔を隔てて対向配置するとともに、一対
の研摩ブロツクの少なくとも一方を駆動手段によ
り回転可能に支持させることにある。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。
る。
第1図は本発明の一実施例にかかる研摩装置の
縦断面図であつて、研摩装置1は被研摩体2の摺
動が可能な間隔dを隔てて対向配置した一対の研
摩ブロツク3a,3bを有し、これら研摩ブロツ
ク3a,3bは通常、円形に形成されている。
縦断面図であつて、研摩装置1は被研摩体2の摺
動が可能な間隔dを隔てて対向配置した一対の研
摩ブロツク3a,3bを有し、これら研摩ブロツ
ク3a,3bは通常、円形に形成されている。
研摩ブロツク3a,3bの対向面はそれぞれ外
側へテーパー状に開いた環状傾斜面4′を中心部
から外周に向けて交互に逆向きに連続させた凹凸
対応の研摩面4aまたは4bを有している。そし
て各々の環状傾斜面4′の放射線方向の巾は少な
くとも被研摩球体の径よりも広巾に形成する。
側へテーパー状に開いた環状傾斜面4′を中心部
から外周に向けて交互に逆向きに連続させた凹凸
対応の研摩面4aまたは4bを有している。そし
て各々の環状傾斜面4′の放射線方向の巾は少な
くとも被研摩球体の径よりも広巾に形成する。
このように形成した一対の研摩ブロツク3a,
3bを一方の研摩面4aの凸状傾斜面4′が他方
の研摩面4bの凹状傾斜面4′に対向するように
芯合せし、研摩面4a,4bが一定間隔を隔てて
対向するように配置する。
3bを一方の研摩面4aの凸状傾斜面4′が他方
の研摩面4bの凹状傾斜面4′に対向するように
芯合せし、研摩面4a,4bが一定間隔を隔てて
対向するように配置する。
かくして研摩ブロツク3a,3bの研摩面4
a,4b間に被研摩体体2が摺接移動する研摩空
間5を形成するとともに空間5の外周縁は外部に
開口する排出口6を構成している。尚、7は排出
口6から送り出される被研摩体2を受け入れる集
合樋であつて、排出口に沿つて連通状態に設置さ
れている。
a,4b間に被研摩体体2が摺接移動する研摩空
間5を形成するとともに空間5の外周縁は外部に
開口する排出口6を構成している。尚、7は排出
口6から送り出される被研摩体2を受け入れる集
合樋であつて、排出口に沿つて連通状態に設置さ
れている。
一方の研摩ブロツク3a(第1図では下部研摩
ブロツク)は中心部に回転軸8を一体的に有し、
この回転軸8は図示しないモーター等の駆動手段
に連結され、研摩ブロツク3a全体を矢印のよう
に回転するようになつている。
ブロツク)は中心部に回転軸8を一体的に有し、
この回転軸8は図示しないモーター等の駆動手段
に連結され、研摩ブロツク3a全体を矢印のよう
に回転するようになつている。
他方の研摩ブロツク3bは支持軸9を介して支
持ブラケツト10に支持されているとともに支持
軸9の軸芯には研摩ブロツク3a,3b間の空間
5に連通する被研摩体の供給路11が形成され、
供給口12からの被研摩球体2を空間5の中央内
部に導入するようにしてある。
持ブラケツト10に支持されているとともに支持
軸9の軸芯には研摩ブロツク3a,3b間の空間
5に連通する被研摩体の供給路11が形成され、
供給口12からの被研摩球体2を空間5の中央内
部に導入するようにしてある。
尚、第1図の実施例では下部研摩ブロツク3a
を回転可能に取付け、研摩ブロツク3bを支持ブ
ラケツト10に固定してあるが逆にブロツク3a
を固定し、ブロツク3bを回転させてもよい。ま
た、研摩ブロツク3a,3bの双方を同方向に異
なる速度で回転するようにしてもよく、更にはブ
ロツク3a,3bを互いに逆方向に回転させても
よい。
を回転可能に取付け、研摩ブロツク3bを支持ブ
ラケツト10に固定してあるが逆にブロツク3a
を固定し、ブロツク3bを回転させてもよい。ま
た、研摩ブロツク3a,3bの双方を同方向に異
なる速度で回転するようにしてもよく、更にはブ
ロツク3a,3bを互いに逆方向に回転させても
よい。
各研摩ブロツク3a,3bの研摩面4a,4b
には研摩材13が着脱自在に取り付けてある。こ
の研摩材13は研摩面4全体に一様の材料で施こ
してもよいが、例えば中心から排出口6側に向け
て異なる研摩粒子の研摩面に構成することもでき
る。
には研摩材13が着脱自在に取り付けてある。こ
の研摩材13は研摩面4全体に一様の材料で施こ
してもよいが、例えば中心から排出口6側に向け
て異なる研摩粒子の研摩面に構成することもでき
る。
尚、研摩材13の代りに、あるいは研摩材13
の取付けと共に供給口12から研摩剤を投入して
もよい。この場合はブロツク3aに研摩剤排出用
の孔14を穿設する。
の取付けと共に供給口12から研摩剤を投入して
もよい。この場合はブロツク3aに研摩剤排出用
の孔14を穿設する。
研摩効果を良くするためには研摩面と被研摩体
2の摩擦を適宜に保つ必要がある。このためより
好ましい実施例では一方または双方の研摩面(図
の例では研摩面4b)に第2a図、第2b図に示
すような溝または凹部15を形成し、これら溝ま
たは凹凸面5を介して研摩中に被研摩体2の向き
が変わるようにする。
2の摩擦を適宜に保つ必要がある。このためより
好ましい実施例では一方または双方の研摩面(図
の例では研摩面4b)に第2a図、第2b図に示
すような溝または凹部15を形成し、これら溝ま
たは凹凸面5を介して研摩中に被研摩体2の向き
が変わるようにする。
空間5の排出口6付近は図のように傾斜面を緩
やかにするかもしくは平坦にし、必要に応じてブ
ロツク3bの外部からエアー孔16を介してエア
ーを吹き付けるようにする。尚、17はエアー抜
き孔である。
やかにするかもしくは平坦にし、必要に応じてブ
ロツク3bの外部からエアー孔16を介してエア
ーを吹き付けるようにする。尚、17はエアー抜
き孔である。
空間5は必ずしも同じ間隔である必要はなく、
好ましくは排出口6付近の乾燥工程部では研摩材
13を施した部分より若干間隔を大きくして迅速
に乾燥されるようにする。
好ましくは排出口6付近の乾燥工程部では研摩材
13を施した部分より若干間隔を大きくして迅速
に乾燥されるようにする。
より良い研摩効果をあげるには遠心力により空
間5内を通過する被研摩体2と研摩面4a,4b
の間に適度の接触圧力を与える必要がある。この
ため本発明のより好ましい実施例では一対の研摩
ブロツク3a,3b間の空間5の間隔を適宜調整
できるようにする。例えば第1図の実施例では一
方の研摩ブロツク3bをばねその他の弾性材18
を介して支持ブラケツト10に支持させ、ブロツ
ク3a上の被研摩体2を弾力的に押圧するととも
に、着脱自在の錘19などでブロツク3bの押圧
力を変化させて研摩面4a,4bと被研摩体2の
接触圧力を任意に調整できるようにしている。こ
の押圧力は一定でもよいが好ましくはブロツク3
aまたは3bを回転偏心カム装置など(図は省
略)に係合させて強弱振動させながら押圧する。
間5内を通過する被研摩体2と研摩面4a,4b
の間に適度の接触圧力を与える必要がある。この
ため本発明のより好ましい実施例では一対の研摩
ブロツク3a,3b間の空間5の間隔を適宜調整
できるようにする。例えば第1図の実施例では一
方の研摩ブロツク3bをばねその他の弾性材18
を介して支持ブラケツト10に支持させ、ブロツ
ク3a上の被研摩体2を弾力的に押圧するととも
に、着脱自在の錘19などでブロツク3bの押圧
力を変化させて研摩面4a,4bと被研摩体2の
接触圧力を任意に調整できるようにしている。こ
の押圧力は一定でもよいが好ましくはブロツク3
aまたは3bを回転偏心カム装置など(図は省
略)に係合させて強弱振動させながら押圧する。
尚、研摩ブロツク3a,3bの間隔調整手段は
図の実施例に限らず、例えば一方または双方の支
持軸8,9を支持ブラケツトに螺着時により進退
自在に係着させ、空間5の間隔を変えるようにし
てもよい。
図の実施例に限らず、例えば一方または双方の支
持軸8,9を支持ブラケツトに螺着時により進退
自在に係着させ、空間5の間隔を変えるようにし
てもよい。
研摩ブロツク3bを支持しているブラケツト1
0はその取付基部をフレーム20に軸21を介し
て回動自在に枢着するとともに、フレーム20に
固定したストツパー22で定位置に係止するよう
にする。このように構成することにより、必要に
応じてブロツク3bを上方に開くことができるの
で研摩ブロツク3a,3bの研摩材13の清掃、
取り替えが容易になる。
0はその取付基部をフレーム20に軸21を介し
て回動自在に枢着するとともに、フレーム20に
固定したストツパー22で定位置に係止するよう
にする。このように構成することにより、必要に
応じてブロツク3bを上方に開くことができるの
で研摩ブロツク3a,3bの研摩材13の清掃、
取り替えが容易になる。
第3図は本発明の別の実施例であり、研摩面は
縦方向に配置したものである。被研摩体供給路1
1を設けた研摩ブロツク3bの軸9をベアリング
23を介して軸受24に回転自在に支持し、回転
軸9の一端に一体形成したプーリ25とモータ等
の駆動手段(図示せず)に懸架した無端ベルト2
6で回転するようにしてある。
縦方向に配置したものである。被研摩体供給路1
1を設けた研摩ブロツク3bの軸9をベアリング
23を介して軸受24に回転自在に支持し、回転
軸9の一端に一体形成したプーリ25とモータ等
の駆動手段(図示せず)に懸架した無端ベルト2
6で回転するようにしてある。
他方の研摩ブロツク3aは前記ブロツク3bの
研摩面に対向して縦方向に配置され、ブラケツト
27に進退自在に螺合させた調整ねじ28の先端
を背面の窪み29に当接し、ブラケツト27とブ
ロツク3bの背面間にばね30を介在させて支持
されている。かくして調整ねじ28の回転により
ブロツク3aをブロツク3bに対して接近または
後退させ、空間5を調整するようにしてある。
尚、この調整手段は図のような手動に限らず、空
間5の間隔または被研摩体排出量を検出して所望
の圧力または振動圧力を自動的に与える自動制御
機構によつて操作することもできる。
研摩面に対向して縦方向に配置され、ブラケツト
27に進退自在に螺合させた調整ねじ28の先端
を背面の窪み29に当接し、ブラケツト27とブ
ロツク3bの背面間にばね30を介在させて支持
されている。かくして調整ねじ28の回転により
ブロツク3aをブロツク3bに対して接近または
後退させ、空間5を調整するようにしてある。
尚、この調整手段は図のような手動に限らず、空
間5の間隔または被研摩体排出量を検出して所望
の圧力または振動圧力を自動的に与える自動制御
機構によつて操作することもできる。
ブロツク3a,3bの下方には被研摩体2の集
合受け樋31を設け、受け樋31の一方の上端3
1aを回転研摩ブロツク3bの外周に刻設した一
連の案内溝32に係合させるとともに、受け樋3
1の他方の上端31bをブロツク3aの外周摺動
面33に当接させてある。
合受け樋31を設け、受け樋31の一方の上端3
1aを回転研摩ブロツク3bの外周に刻設した一
連の案内溝32に係合させるとともに、受け樋3
1の他方の上端31bをブロツク3aの外周摺動
面33に当接させてある。
尚、第3図中、34は外部から空間5内に研摩
剤を供給するノズル、35は研摩剤排出孔、16
は乾燥エアー供給孔、17はエアー抜き孔であ
る。
剤を供給するノズル、35は研摩剤排出孔、16
は乾燥エアー供給孔、17はエアー抜き孔であ
る。
次に本発明の作用について説明する。
第1図に示すように、研摩ブロツク3bの供給
口12から投入された被研摩体2は供給路11か
ら研摩ブロツク3a,3b間の研摩空間5内に落
下する。空間5は外側へ開いた環状傾斜面4′を
上向き、下向きに断面ジグザグ状に連続させた通
路になつており、且つ研摩ブロツク3aはモータ
等の駆動手段で高速回転しているので、空間5内
の被研摩球体2は遠心力、重力成分及び摩擦力の
作用により空間5内をその外周の排出口6に向け
て摩擦を受けながら移動し、その過程で上下研摩
面4a,4bの研摩材13に摺動して研摩が行わ
れる。しかして研摩された被研摩体2は排出口1
6付近においてエアーで乾燥された後外周の排出
口16から樋7へ導かれる。
口12から投入された被研摩体2は供給路11か
ら研摩ブロツク3a,3b間の研摩空間5内に落
下する。空間5は外側へ開いた環状傾斜面4′を
上向き、下向きに断面ジグザグ状に連続させた通
路になつており、且つ研摩ブロツク3aはモータ
等の駆動手段で高速回転しているので、空間5内
の被研摩球体2は遠心力、重力成分及び摩擦力の
作用により空間5内をその外周の排出口6に向け
て摩擦を受けながら移動し、その過程で上下研摩
面4a,4bの研摩材13に摺動して研摩が行わ
れる。しかして研摩された被研摩体2は排出口1
6付近においてエアーで乾燥された後外周の排出
口16から樋7へ導かれる。
以上のように、本発明装置では外側に開いたジ
グザグ状の空間内で回転遠心力を利用して研摩を
行うので研摩と排出を連続的に行うことができる
とともに、研摩ブロツクの回転速度によつて、研
摩速度を調整することができる。また、研摩面の
傾斜角度を急傾斜にすることにより空間5による
有効研摩面を著しく広げることができる。従つて
小型で効率の良い研摩が期待できる。
グザグ状の空間内で回転遠心力を利用して研摩を
行うので研摩と排出を連続的に行うことができる
とともに、研摩ブロツクの回転速度によつて、研
摩速度を調整することができる。また、研摩面の
傾斜角度を急傾斜にすることにより空間5による
有効研摩面を著しく広げることができる。従つて
小型で効率の良い研摩が期待できる。
研摩ブロツク3bを弾性体18及び圧力錘19
などの加圧手段により樋研摩体2の適度の圧力を
与えるように構成した場合はより効果的に研摩さ
れる。特に、摩擦圧力を断続的に付与すると振動
圧力が加わるので一層効率の良い研摩が保証され
る。
などの加圧手段により樋研摩体2の適度の圧力を
与えるように構成した場合はより効果的に研摩さ
れる。特に、摩擦圧力を断続的に付与すると振動
圧力が加わるので一層効率の良い研摩が保証され
る。
また、研摩面4a,4bに溝または凹部15を
形成しておくと被研摩体2の向きが変るので全面
がまんべんなく平均的に研摩される。
形成しておくと被研摩体2の向きが変るので全面
がまんべんなく平均的に研摩される。
さらに、研摩面4a,4bの位置に応じて研摩
粒子あるいは材質の異なる研摩材を取り付けるこ
とにより一連の研摩工程間で種類の異なる多種の
研摩(粗研摩、油分の光沢付与など)を連続的に
行うことができる。
粒子あるいは材質の異なる研摩材を取り付けるこ
とにより一連の研摩工程間で種類の異なる多種の
研摩(粗研摩、油分の光沢付与など)を連続的に
行うことができる。
以上のように本発明は種々の優れた作用効果を
有するのでベアリングなどの球体の仕上げ研摩
機、パチンコ球の研摩装置等に利用して便なるも
のである。
有するのでベアリングなどの球体の仕上げ研摩
機、パチンコ球の研摩装置等に利用して便なるも
のである。
第1図は本発明の一実施例による研摩装置の縦
断面図、第2a図は研摩面の一部切欠平面図、第
2b図は第2a図の−線断面図、第3図は本
発明による別の実施例の縦断面図である。 2……被研摩体、3a,3b……研摩ブロツ
ク、4a,4b……研摩面、4′……環状傾斜面、
5……研摩空間、7……集合樋、8……回転軸、
11……供給路、13……研摩材、15……溝、
16……エア供給孔、19……圧力錘、25……
プーリ、26……無端ベルト、28……調整ね
じ。
断面図、第2a図は研摩面の一部切欠平面図、第
2b図は第2a図の−線断面図、第3図は本
発明による別の実施例の縦断面図である。 2……被研摩体、3a,3b……研摩ブロツ
ク、4a,4b……研摩面、4′……環状傾斜面、
5……研摩空間、7……集合樋、8……回転軸、
11……供給路、13……研摩材、15……溝、
16……エア供給孔、19……圧力錘、25……
プーリ、26……無端ベルト、28……調整ね
じ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 外側へテーパ状に開いたシグザグ状の環状斜
面図4′を中心から外周に向けて交互に逆向きに
連続させた研摩面4aを有する第1の研摩ブロツ
ク3aと、第1の研摩ブロツク3aの研摩面4a
と凹凸状に対応する研摩面4bを有し且つ軸方向
に被研摩体2の供給孔11を貫設した第2の研摩
ブロツク3bとを、相対する研摩面4a,4b間
に被研摩体2の摺動空間5を構成するように一定
間隔を隔てて対向配置するとともに、対向する研
摩ブロツク3a,3bのいずれか一方を軸方向に
弾力的に進退自在に支持させ、研摩空間5の研摩
圧を調整できるようにし、これら一対の研摩ブロ
ツク3a,3bの少なくとも一方を駆動手段によ
り回転可能に支持させたことを特徴とする研摩装
置。 2 研摩面4a,4bの少なくとも一方に溝また
は凹面15を形成したことを特徴とする特許請求
の範囲第1項乃至第2項記載のいずれかの研摩装
置。 3 研摩面4a,4bの被研摩体の移動方向に沿
つて研摩粒子または材質の異なる複数種の研摩材
13を施したことを特徴とする特許請求の範囲第
1項乃至第3項記載のいずれかの研摩装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9691383A JPS59224251A (ja) | 1983-06-02 | 1983-06-02 | 研摩装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9691383A JPS59224251A (ja) | 1983-06-02 | 1983-06-02 | 研摩装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59224251A JPS59224251A (ja) | 1984-12-17 |
| JPH0561069B2 true JPH0561069B2 (ja) | 1993-09-03 |
Family
ID=14177597
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9691383A Granted JPS59224251A (ja) | 1983-06-02 | 1983-06-02 | 研摩装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59224251A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8878175B2 (en) | 2008-12-25 | 2014-11-04 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110842764A (zh) * | 2019-11-18 | 2020-02-28 | 张俊杰 | 一种用于超硬陶瓷球体部件研制的研磨盘装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS524730Y2 (ja) * | 1972-04-28 | 1977-01-31 |
-
1983
- 1983-06-02 JP JP9691383A patent/JPS59224251A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8878175B2 (en) | 2008-12-25 | 2014-11-04 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59224251A (ja) | 1984-12-17 |
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