JPH0561359B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0561359B2 JPH0561359B2 JP291884A JP291884A JPH0561359B2 JP H0561359 B2 JPH0561359 B2 JP H0561359B2 JP 291884 A JP291884 A JP 291884A JP 291884 A JP291884 A JP 291884A JP H0561359 B2 JPH0561359 B2 JP H0561359B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plating
- plating liquid
- liquid supply
- outflow
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はめつき装置に関し、特に寸法の大きな
被めつき物全体に渡つてめつき膜厚の均一な分布
が得られるようなめつき装置に関する。
被めつき物全体に渡つてめつき膜厚の均一な分布
が得られるようなめつき装置に関する。
めつき技術は薄膜の形成や電鋳による微小部品
の形成等に既に広く用いられており、エレクトロ
ニクス産業並びに精密加工の分野ではなくてはな
らない重要な技術となつている。
の形成等に既に広く用いられており、エレクトロ
ニクス産業並びに精密加工の分野ではなくてはな
らない重要な技術となつている。
しかしながら、一枚の基板上に個々独立した微
小部品を多数個、歩留まり良く形成しようとする
場合、基板全面渡つてほぼ均一な膜厚が必要であ
りこれを簡単に実現することは難しい。
小部品を多数個、歩留まり良く形成しようとする
場合、基板全面渡つてほぼ均一な膜厚が必要であ
りこれを簡単に実現することは難しい。
すなわち、均一なめつき分布を得るための条件
は種々あるが、その中でも被めつき物に供給する
イオン濃度を一定にすることが重要な条件であ
る。このイオン濃度を一定にするには原理的には
常に新しい液を被めつき面に供給することにより
実現できる。
は種々あるが、その中でも被めつき物に供給する
イオン濃度を一定にすることが重要な条件であ
る。このイオン濃度を一定にするには原理的には
常に新しい液を被めつき面に供給することにより
実現できる。
第１図はかかる従来のめつき装置の一例を示す
断面図である。
断面図である。
すなわち被めつき物２はめつき液ｆを充填した
めつき槽１４内に挿入され、めつき液の循環によ
つて処理が行われるのであるが、被めつき物２は
金属板あるいはガラス、セラミツク等の絶縁体に
蒸着、スパツタ等の方法により金属薄膜を形成
し、さらにフオトレジストを所定のパターンに形
成したものである。
めつき槽１４内に挿入され、めつき液の循環によ
つて処理が行われるのであるが、被めつき物２は
金属板あるいはガラス、セラミツク等の絶縁体に
蒸着、スパツタ等の方法により金属薄膜を形成
し、さらにフオトレジストを所定のパターンに形
成したものである。
この被めつき物２をめつき液ｆ中に浸漬された
絶縁体の本体１及び絶縁体の支持板４から成る基
板ホルダーに装填している。支持板４は被めつき
物２を支持すると同時に後方のめつき液との接触
から被めつき物２を遮断するものである。本体１
は中空の絶縁体で、一方の端に電極３が取り付け
られ、この電極３に被めつき物２の一部を接触さ
せて、被めつき物２に通電ができるようになつて
いる。
絶縁体の本体１及び絶縁体の支持板４から成る基
板ホルダーに装填している。支持板４は被めつき
物２を支持すると同時に後方のめつき液との接触
から被めつき物２を遮断するものである。本体１
は中空の絶縁体で、一方の端に電極３が取り付け
られ、この電極３に被めつき物２の一部を接触さ
せて、被めつき物２に通電ができるようになつて
いる。
電極３の一部は電源接続用端子としてめつき液
ｆの液面上に突出しておりめつき液ｆと接触する
部分は絶縁体４′で遮蔽してある。本体１の他端
は後述するめつき液流入出手段に接続している。
なお本体１の側壁は、外部からのめつき液ｆの流
入及び外部へのめつき液ｆの流出を阻止しており
被めつき物２に対するめつき液ｆの接触は、めつ
き液流入出手段のみによつて行なわれるようにな
つている。
ｆの液面上に突出しておりめつき液ｆと接触する
部分は絶縁体４′で遮蔽してある。本体１の他端
は後述するめつき液流入出手段に接続している。
なお本体１の側壁は、外部からのめつき液ｆの流
入及び外部へのめつき液ｆの流出を阻止しており
被めつき物２に対するめつき液ｆの接触は、めつ
き液流入出手段のみによつて行なわれるようにな
つている。
めつき液流入出手段は、均一密度で散在させた
複数のめつき液供給口５′を有し絶縁体からなる
めつき液供給用板５と、やはり均一な密度で散在
させめつき液供給用板５に設けためつき液供給口
５′の数の約半数のめつき液流出口６′を有するめ
つき液流出用板６と、めつき液供給用板５とめつ
き液流出用板６の間に位置させた中空の絶縁体７
と、さらにめつき液供給用板５及びめつき液流出
用板６の対応する各開口を連通させる絶縁体の流
出管８とにより構成される。
複数のめつき液供給口５′を有し絶縁体からなる
めつき液供給用板５と、やはり均一な密度で散在
させめつき液供給用板５に設けためつき液供給口
５′の数の約半数のめつき液流出口６′を有するめ
つき液流出用板６と、めつき液供給用板５とめつ
き液流出用板６の間に位置させた中空の絶縁体７
と、さらにめつき液供給用板５及びめつき液流出
用板６の対応する各開口を連通させる絶縁体の流
出管８とにより構成される。
中空の絶縁体７にはめつき槽１４とめつき液流
出入手段との間にめつき液ｆを循環させる循環ポ
ンプ９の配管を接続する。
出入手段との間にめつき液ｆを循環させる循環ポ
ンプ９の配管を接続する。
循環ポンプ９により吸い上げられためつき液ｆ
は、中空の絶縁体７の側壁の一部に設けた主めつ
き液供給口１０から前記入出力手段に供給する。
めつき液ｆはめつき液供給用板５のめつき液供給
口５′から分流し、被めつき物２のほぼ全面に渡
つてその正面から略々均一にめつき液ｆの供給が
行なわれている。さらに使用後のめつき液は、め
つき面から正面に反射し、流出管８を通つて流出
用板６から陽極電極１２に向かつてめつき槽１４
内に流出している。（図中の矢印しはめつき液ｆ
の流れの様子を示す。） 以上のような従来のめつき装置では、被めつき
物として数cmを越える大きな試料にめつきを施す
場合、上下方向に重力によるめつき液ｆの流れの
不均一性の影響が現れ、下方の膜厚が厚くなり均
一性が悪化し、量産性を阻害する欠点があつた。
は、中空の絶縁体７の側壁の一部に設けた主めつ
き液供給口１０から前記入出力手段に供給する。
めつき液ｆはめつき液供給用板５のめつき液供給
口５′から分流し、被めつき物２のほぼ全面に渡
つてその正面から略々均一にめつき液ｆの供給が
行なわれている。さらに使用後のめつき液は、め
つき面から正面に反射し、流出管８を通つて流出
用板６から陽極電極１２に向かつてめつき槽１４
内に流出している。（図中の矢印しはめつき液ｆ
の流れの様子を示す。） 以上のような従来のめつき装置では、被めつき
物として数cmを越える大きな試料にめつきを施す
場合、上下方向に重力によるめつき液ｆの流れの
不均一性の影響が現れ、下方の膜厚が厚くなり均
一性が悪化し、量産性を阻害する欠点があつた。
本発明の目的は上記欠点を改善し、被めつき物
が大きくなつた場合においてもほぼ全域に渡つて
均一な膜厚のめつき形成を行なうことができ、量
産性に適しためつき装置を提供することにある。
が大きくなつた場合においてもほぼ全域に渡つて
均一な膜厚のめつき形成を行なうことができ、量
産性に適しためつき装置を提供することにある。
本発明のめつき装置は、被めつき物のめつき面
に対向して配置された陽極電極と、前記めつき液
を前記被めつき面に向けて補給する循環ポンプ
と、前記陽極電極と前記被めつき物間に所定の電
流を供給する電流源と、均一密度で散在させた複
数のめつき液供給口を有し絶縁体からなるめつき
液供給用板と、やはり均一な密度で散在させ前記
めつき液供給口の数の約半数のめつき液流出口を
有するめつき液流出用板と、めつき液供給用板と
めつき液流出用板の間に位置させた中空の絶縁体
と、さらにめつき液供給用板及びめつき液流出用
板の対応する各開口を連通させる絶縁体の流出管
からなるめつき液流入出手段とを備えためつき装
置において、前記めつき液流出口と前記陽極電極
の間に前記めつき液を上下方向の開口寸法の小さ
いスリツト状の流出口に集めた後前記陽極電極に
向けて流出させる流出手段としてのテーパ絶縁体
を設けたものである。
に対向して配置された陽極電極と、前記めつき液
を前記被めつき面に向けて補給する循環ポンプ
と、前記陽極電極と前記被めつき物間に所定の電
流を供給する電流源と、均一密度で散在させた複
数のめつき液供給口を有し絶縁体からなるめつき
液供給用板と、やはり均一な密度で散在させ前記
めつき液供給口の数の約半数のめつき液流出口を
有するめつき液流出用板と、めつき液供給用板と
めつき液流出用板の間に位置させた中空の絶縁体
と、さらにめつき液供給用板及びめつき液流出用
板の対応する各開口を連通させる絶縁体の流出管
からなるめつき液流入出手段とを備えためつき装
置において、前記めつき液流出口と前記陽極電極
の間に前記めつき液を上下方向の開口寸法の小さ
いスリツト状の流出口に集めた後前記陽極電極に
向けて流出させる流出手段としてのテーパ絶縁体
を設けたものである。
以下、本発明の実施例について図面を参照して
説明する。
説明する。
第２図に本発明の一実施例の断面図を示す。
本実施例は、第１図に示した従来例のめつき装
置において、めつき液流出用板６と陽極電極１２
の間に、めつき液流出用板６のめつき液流出口
６′より流出されためつき液ｆを上下方向の開口
寸法の小さいスリツト状の流出口１３′に集めた
後陽極電極１２に向つて流出させる流出手段とし
てのテーパ絶縁体１３をめつき液流出用板６に装
着したことから構成される。なお同図で参照数字
１〜１２は第１図と同じであり、１４′はめつき
槽である。
置において、めつき液流出用板６と陽極電極１２
の間に、めつき液流出用板６のめつき液流出口
６′より流出されためつき液ｆを上下方向の開口
寸法の小さいスリツト状の流出口１３′に集めた
後陽極電極１２に向つて流出させる流出手段とし
てのテーパ絶縁体１３をめつき液流出用板６に装
着したことから構成される。なお同図で参照数字
１〜１２は第１図と同じであり、１４′はめつき
槽である。
次に本実施例の動作について説明する。上記か
ら明らかなように、めつき液ｆのめつき液流出用
板６のめつき液流出口６′からの流出までは、既
に説明した第１図の場合と同じである。
ら明らかなように、めつき液ｆのめつき液流出用
板６のめつき液流出口６′からの流出までは、既
に説明した第１図の場合と同じである。
本実施例においては、めつき液流出口６′から
流出しためつき液ｆは、上下方向の開口寸法の小
さいスリツト状の流出口１３′を有するテーパ絶
縁体１３により、第２図中の矢印しで示すよう
に、小さく絞つた流出口１３′から陽極電極１２
に向つて流出する。
流出しためつき液ｆは、上下方向の開口寸法の小
さいスリツト状の流出口１３′を有するテーパ絶
縁体１３により、第２図中の矢印しで示すよう
に、小さく絞つた流出口１３′から陽極電極１２
に向つて流出する。
この結果、本実施例によると、めつき液ｆの流
れの上部と下部の重力による影響による水圧の差
がなくなり、従来のように被めつき物２が数cm以
上になると顕著に生じていためつき液ｆの流量の
差が現われないので、めつき膜厚の均一なめつき
を行なうことができる。
れの上部と下部の重力による影響による水圧の差
がなくなり、従来のように被めつき物２が数cm以
上になると顕著に生じていためつき液ｆの流量の
差が現われないので、めつき膜厚の均一なめつき
を行なうことができる。
本実施例のめつき装置を用いてスルフアミンニ
ツケルめつき液でニツケルめつきを行なつた場
合、例えば電流密度30mA／cm2、液温50℃、開口
密度10mmピツチ、口径３mmのとき、成長速度は約
0.5μ／分で被めつき物が数cmを越える大きな物で
も、めつき膜厚のばらつきを５％以下に押えるこ
とができる。なお、電流密度をさらに上げた場合
は個別部品内の膜厚分布が悪化するため上記
30mA／cm2以下でめつきを行なうことが好まし
い。
ツケルめつき液でニツケルめつきを行なつた場
合、例えば電流密度30mA／cm2、液温50℃、開口
密度10mmピツチ、口径３mmのとき、成長速度は約
0.5μ／分で被めつき物が数cmを越える大きな物で
も、めつき膜厚のばらつきを５％以下に押えるこ
とができる。なお、電流密度をさらに上げた場合
は個別部品内の膜厚分布が悪化するため上記
30mA／cm2以下でめつきを行なうことが好まし
い。
以上詳細に説明したとおり、本発明のめつき装
置は、めつき液流出口から流出されるめつき液を
開口部の小さいスリツト状の流出口に集めた後陽
極電極に向つて流出させる流出手段としてのテー
パ絶縁体を有しているので、被めつき物が大きな
場合においても被めつき面に均等なめつき膜を形
成することができるという効果を有している。従
つて本発明によれば特に微小部品の底面図コスト
量産化に適しためつき装置が得られその効果は大
である。
置は、めつき液流出口から流出されるめつき液を
開口部の小さいスリツト状の流出口に集めた後陽
極電極に向つて流出させる流出手段としてのテー
パ絶縁体を有しているので、被めつき物が大きな
場合においても被めつき面に均等なめつき膜を形
成することができるという効果を有している。従
つて本発明によれば特に微小部品の底面図コスト
量産化に適しためつき装置が得られその効果は大
である。
第１図は従来のめつき装置の一例の断面図、第
２図は本発明の一実施例の断面図である。 １……本体、２……被めつき物、３……電極、
４……支持板、４′……絶縁体、５……めつき液
供給用板、５′……めつき液供給口、６……めつ
き液流出用板、６′……めつき液流出口、７……
中空の絶縁体、８……流出管、９……循環ポン
プ、１０……主めつき液供給口、１１……電流
源、１２……陽極電極、１３……テーパ絶縁体、
１３′……流出口、１４，１４′……めつき槽、ｆ
……めつき液。
２図は本発明の一実施例の断面図である。 １……本体、２……被めつき物、３……電極、
４……支持板、４′……絶縁体、５……めつき液
供給用板、５′……めつき液供給口、６……めつ
き液流出用板、６′……めつき液流出口、７……
中空の絶縁体、８……流出管、９……循環ポン
プ、１０……主めつき液供給口、１１……電流
源、１２……陽極電極、１３……テーパ絶縁体、
１３′……流出口、１４，１４′……めつき槽、ｆ
……めつき液。
Claims (1)
- １ 被めつき物のめつき面に対向して配置された
陽極電極と、前記めつき液を前記被めつき面に向
けて補給する循環ポンプと、前記陽極電極と前記
被めつき物間に所定の電流を供給する電流源と、
均一密度で散在させた複数のめつき液供給口を有
し絶縁体からなるめつき液供給用板と、やはり均
一な密度で散在させ前記めつき液供給口の数の約
半数のめつき液流出口を有するめつき液流出用板
と、めつき液供給用板とめつき液流出用板の間に
位置させた中空の絶縁体と、さらにめつき液供給
用板及びめつき液流出用板の対応する各開口を連
通させる絶縁体の流出管からなるめつき液流入出
手段とを備えためつき装置において、前記めつき
液流出口と前記陽極電極の間に前記めつき液を上
下方向の開口寸法の小さいスリツト状の流出口に
集めた後前記陽極電極に向けて流出させる流出手
段としてのテーパ絶縁体を設けたことを特徴とす
るめつき装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP291884A JPS60149798A (ja) | 1984-01-11 | 1984-01-11 | めつき装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP291884A JPS60149798A (ja) | 1984-01-11 | 1984-01-11 | めつき装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60149798A JPS60149798A (ja) | 1985-08-07 |
| JPH0561359B2 true JPH0561359B2 (ja) | 1993-09-06 |
Family
ID=11542726
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP291884A Granted JPS60149798A (ja) | 1984-01-11 | 1984-01-11 | めつき装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60149798A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH068630U (ja) * | 1992-07-06 | 1994-02-04 | 新明和工業株式会社 | 機械式駐車装置の安全装置 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02185999A (ja) * | 1989-01-11 | 1990-07-20 | Nec Corp | 電気メッキ槽 |
| CN112513341A (zh) * | 2018-07-30 | 2021-03-16 | 雷纳技术有限责任公司 | 流发生器、淀积装置和用于淀积材料的方法 |
-
1984
- 1984-01-11 JP JP291884A patent/JPS60149798A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH068630U (ja) * | 1992-07-06 | 1994-02-04 | 新明和工業株式会社 | 機械式駐車装置の安全装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60149798A (ja) | 1985-08-07 |
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