JPH0562054B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （技術分野） 本発明は、主クレーム前文を従う、成形プラス
チツク組成物の製造方法に関するものである。そ
れに加えて、本発明はその方法実施のための設備
をも含んでいる。

（従来技術） よく知られた熱可塑性薄片の真空成形のための
方法は、すでに「Modern Plastics
Encyclopedia（現代プラスチツク百科事典）1969
−1970、534ページ〜563ページ」に、そしてDE
−OS3 130 584の中に詳細に記述されている。こ
れによるとポジテイブ・プロセス（Positive
Prosess）とネガテイブ・プロセス（Negative
Process）に区別される。これらの方法による
と、182℃を越えないで、極端な温度降下におい
てその薄片は自ら暖められる。しかし、薄片の装
飾面の起こりうる被害に関しては、方法の条件の
影響は言及されていない。

この種のポジテイブ・プロセス（Positive
Process）はDE−PS25 08 982の中にも述べられ
ている。ここでは、前述のアーチ型はないが、こ
の方法で重要なことは、準備温度がちようど深絞
り温度以下になるようにすることである。しか
し、それはまだ充分に低く、その温度では、薄片
がもつている側面のかどでその薄片はずつと長期
にわたつて充分に粘り強く、自重を溶け出すこと
なしに保つことができる。その時の深絞り温度
は、その薄片の性質と厚さに応じて140℃以上で
170℃以下の範囲内である。

このポジテイブ・プロセス（Positive
Process）の欠陥は、深絞り可能な薄片が弾力の
ある塑性の移行範囲において、すなわちおよそ
140℃〜170℃までで成形されるという点にある。
この範囲で薄く広げられるプラスチツク分子は、
再加熱によつて、もとの乱れた状態を取ろうとす
るが、その際にもし妨げられると多大な収縮力を
発生させることになる。

例として、この方法によつて作られた発泡性計
機板は、日光の作用によつて、特に暑い気候の地
方ではひどく変形する。それどころか、しつかり
と紙などで内張り外張りをしてある深絞り可能な
薄片でもわれてしまう。それは収縮する張力が、
プラスチツクの破壊の張力を上回るからである。

ポジテイブ・プロセス（Positive Process）と
並んで、ネガテイブ・プロセス（Negative
Process）もしはしば用いられる。この方法で
は、薄片は真空を用いて凹面の型に吸い込まれ
る。そこでは成形温度は同じく弾力性のある塑性
移動範囲の中にあり、これに関してはポジテイ
ブ・プロセス（Positive Prosess）の場合と同じ
様な損失が発生する。

（発明が解決しようとする問題点） 冒頭に述べた方法を次の様な趣旨にそつて改良
するという任務がこの発明の基礎になつている。
すなわち深絞り可能な薄片の成形が、大事な厚さ
の部分に対して、塑性の逆行することのない温度
の範囲内で起こり、それによりたとえば自動車の
計機板の様なものの極端な気候の条件下での使用
を可能にするということである。

（問題点を解決するための手段） 本発明は、深絞り可能な熱可塑性プラスチツク
材の薄片でできた成形プラスチツク部品、特に発
泡性の自動車内装物、を製造する方法であつて、
張りわくに支えられた前記薄片をプラスチツク材
の熱成形温度まで加熱して、成形工具の大体の輪
郭線に応じてそらして前成形すること、成形工具
をアーチ型に設置した後、成形工具表面に該薄片
の裏側をあてて圧力差を利用して最終成形するこ
と、および、冷却後成形工具から取り出すこと、
を包含する方法であつて、最終成形前に、該薄片
の裏側の厚帯（thickness zone）が高い放射強度
によつてプラスチツク材の塑性温度範囲内で加熱
されることを特徴としてなり、そのことにより上
記目的が達成される。

いつそう有利な工程処理は下に述べたことの結
果として生じる。

深絞り可能な薄片の形造られた装飾面はその熱
に感じやすいざらざらした構造のために170℃以
上に加熱できないということ、そして塑性の逆行
できない温度範囲は180℃から始まるという様な
ことを考慮して、薄片の裏側のできる限り厚い厚
帯（thickness zone）を塑性状態にもたらすため
に、できる限り高い温度に加熱する必要がある。
薄片の裏側の熱負荷容量の限界は、240℃の温度
にあり、プラスチツクの傷害なしにただほんの数
秒だけ耐えられる。

塑性の状態で、薄片はわずかに強度をもつてい
る。加熱過程で薄片のたるみを避けるため、薄片
にわくに張つて、下から支持空気（Supporting
Air）で支える。支持空気はそれ以外に次の様な
機能をもつている。それはすなわり次の様なこと
である。薄片の形造られた装飾面を170℃より低
くなる様に冷やすこと、それによつて、装飾面に
おける温度経過の急勾配を作り出し、ひいては、
薄片の厚帯のより大きな部分を熱して塑造できる
状態にすることである。

この方法にとつてさらに決定的に重要なこと
は、最終成形が５秒よりもつと短い、可能なかぎ
り短い時間に起こることである。より長期にわた
る成形では、薄片の装飾面と裏側の間で温度の均
衡が非常に大きいので、装飾面のざらざら構造が
そこなわれる。

発明の思いつき、または発明に合つた加熱工程
は、上で先に述べたネガテイブ・プロセス
（Negative Process）に応用されていることと、
意味上同じである。

この目的のために、それぞれの吸気わくの型の
代わりに、内側に刻版するネガテイブな道具が配
置されており、薄片の成形と同時に型押しができ
る様に、高真空が設備されている。深絞り可能な
薄片は、このために平らな表面であるが、それの
装飾面はそれでも表面仕上げ用に、つや消しラツ
カーを用いる。

この方法実施のための設備に関しては、主要な
構成要素として、上の開いている型わく、型わく
の開いている範囲に位置を定めることができる取
り付け具、その上に位置を定めることができる熱
源、およびその上に凸面で吸引口をもつている成
形工具があらかじめ備えられている。

型わくは耐圧に仕上げられ、そして、支持空気
（Suppoting Air）発生のための接続口、および
型わくの内側に真空を発生させる接続口を持つて
いる。取りつけ具は、折りたたみ式の張りわくに
よつて構成されている。それは、横の鎖伝動を用
いて扱うことができる。

熱源としては、換気のために、赤外線放射装置
が用いられている。それは同じく横の誘導棒にあ
るクランク駆動によつて動かすことができる。機
能的な形造りのために、よくみがいて仕上げられ
たアルミニウム板でできた赤外線放射装置の回転
遮蔽板がすでに備えつけられている。

全体として見ると、新しい設備は、２つの横の
誘導棒をもつた台わくを含んでいる。これら誘導
棒は横けたのための上の方に保たれている。誘導
棒主要部は誘導棒を組織だてている。それは誘導
棒にそつて動かすことができ、成形工具のための
工具支えとクランク駆動の連結棒と結合する。

クランク駆動は、歯車に思いきつた歯車の軌条
を含んでいる。並びに、歯車の軌条と結合した水
中のシリンダーを含んでいる。

連結棒をもつたクランク駆動は、それぞれの工
具支えの動きがひいては結合している成形工具の
縦の動きが弓なりに生じる様によく訓練されてい
る。これによつて成形工具は、成形場所にゆつく
りとゆるやかに（“やわらかく”）入り込むことが
可能となる。

（実施例） より好ましい工具の形づけは、以下の主張とそ
の設計図から明らかとなる。

次に述べる発明は、図示された特許出願用構造
見本の設計図において、さらに詳しく説明してあ
る。それは次のようなものである。

第１図に従つて示された装置は、いくつかの吸
引口１２と１４を有する成形工具１０を含んでい
る。成形工具１０は、工具支え１６で固定され
る。その工具支えは第３図、第４図に描かれてい
るように、クランク駆動５２の上を垂直に動くこ
とができる。

成形工具１０の受け入れに対する工具支え１６
は、骨組みで補強された、型枠支えとして作られ
ている。そして接続口２０と、曲げることができ
る管の上にある空洞１８は、ここではあまり詳し
くは示さないが、高真空に接続することができ
る。

空洞１８は、電磁弁（図示していない）ととも
にさらに別の接続口２２とつながつている、その
電磁弁は成形経過に応じて圧力調整を周囲の空気
の空気圧ですることを可能にしている。

成形工具１０の下方に、熱源として赤外線放射
装置２４が遮蔽板２６といつしよにある。両方向
の矢印Ｂによつて、赤外線放射装置２４は水平方
向に移動可能に設置されているということを示し
ている。

さらに、張り枠はこの装置に属している。そし
てこの張り枠の中に薄片２８が全体に張られてい
る。張り枠３２は上に開いた型枠（吸引枠）３４
の上部にあり、そして残り枠３２もやはりまた、
横に動かすことができる。

上に開いている型枠３４には、支持空気
（Supporting Air）用の接続口３６および３８と
同様により広い接続口４０を有する。この接続口
４０によつて、型枠３４の内部に真空を作り出す
ことができる。張り枠３２の中に、張られた薄片
２８を加熱するために、赤外線放射装置２４はそ
の設備中に描かれている場所に横側から入れられ
る。流れ出る空気の速さは、型枠３４の中に生じ
る超過圧力の計測によつてわかる。そしてその超
過圧力を、薄片２８は加熱過程の間中支えてい
る。

薄片２８は、装飾面が赤外線放射装置２４に対
して保護されるように、張り枠３２の内部に張ら
れている。薄片の裏側もまた、赤外線放射装置２
４で加熱される。所望の成形温度に達する前に、
弁（ここで詳しく描いていないが）の上にある接
続口３６と３８を閉じ、そして同時に接続口４０
を真空に取りつける。こうして薄片２８は前成形
され、そして断線を横切つて、だいたい30という
数字を表示してある目印をつけてある場所を占め
る。

それから、赤外線放射装置２４は、深絞り可能
な設備の外にある横の制御室に動かされる。そし
て工具支え１６は成形工具１０と共に、急激に、
型枠３４内に入り込む。この瞬間に接続口２０の
上の成形工具１０を高真空に取りつけ、その際に
別の接続口２２は閉じたままにしておく。

同時に、接続口４０をも閉じ、そして接続口３
８を開く。その結果、周囲の気圧が型枠３４に入
り、薄片２８は輪郭に忠実に成形工具１０に押し
つけられる。約30秒の冷却時間の後で、接続口２
０を閉じ、そして接続口２２を開く。その結果、
周囲の気圧が成形工具１０に再び入る。そこで、
成形工具１０は、第１図で示している型枠３４の
外部上方へ動いて行き、そして成形が完了した深
絞りされた薄片は、張り枠３２から取りはずすこ
とができる。

そこまで原理的に記載された工程処理や成形を
よりよく理解するために、第２図に赤外線放射装
置２４による加熱工程終了後の薄片の厚さに関す
る概略的な温度経過が示されている。実線は、冷
却する支持空気（Suppoting Air）の作用下での
温度経過を示し、他方、破線は支持空気
（Suppoting Air）なしの温度経過を再現してい
る。

加熱工程についてさらに詳しく説明する。

薄片２８は張り枠３２の総ての側部に固定さ
れ、その裏面（ここでは上側にある）が赤外線放
射装置２４で加熱される。装飾面（ここでは下側
にある）は、薄片２８が裏返しの状態で固定され
ているので、次の２つの機能を有する空気の流れ
を受ける。

１ 180℃を超える塑性領域まで加熱されている
薄片２８が“垂れる”のを防止するために該薄
片２８を支持すること。

２ 装飾面の凸部が平坦になるのを防止するため
に、温度に対してかなり敏感な装飾面を冷却す
ること。ここで、最大許容温度は170℃である。

薄片２８の裏面の最大許容温度は、その塑性材
料がどのような損傷をも生じることなく、ほんの
数秒間耐え得る温度である。その例では、その温
度は約240℃である。

従つて、真空熱成形機による次の成形は、収縮
しない塑性領域内で主に行われる。熱成形を弾
性・塑性転移領域（すなわち、180℃を下まわる
温度）で行うと、材料が再び加熱された場合（例
えば、緩衝パツドが太陽で加熱された場合）に、
後で強い収縮力が発生し、その材料は破壊される
こともある。

第２図において、破線は支持冷却空気をもちい
ることなく、どのようにして加熱工程が行われる
かを示している。この工程において、単純化され
た条件は、装飾面側から薄片２８の下側の空気へ
非常にわずかの熱移動α₁しかないということであ
る。破線をたどるとほぼ90°の角度₂₁が形成され
る。この角度は加えられる熱量、あるいは放出
される熱量の測定単位であり、この場合ではゼロ
に等しい。薄片２８の裏面側では加熱量両が非常
に大きいために、この温度曲線の角度₁₁は装飾
面側よりも非常に小さくなつている。この場合、
所要熱量はQ₁であり、所要加熱時間はτ₁である。

実際には、装飾面は高速空気によつてかなり冷
却されている（実線で示した温度曲線）。すなわ
ち、熱移動単位はα₂はα₁よりかなり大きい。この
ことは、さらに温度曲線の角度₂₂が₂₁よりはる
かに小さいことを意味する。

最良の条件（すなわち、薄片２８の裏面温度が
240℃であり、装飾面の温度が170℃）を満足させ
るには、赤外線放射装置の熱エネルギーを温度曲
線の角度₁₁と₁₂に対応するQ₁からQ₂へ減少さ
せることが必要である。

この段階で冷却空気を装飾面へ吹き付けない
と、温度曲線は点線に近づく。温度差△T₂は△
T₁より小さい。このことは、装飾面側の温度が
非常に高くなることを意味している。これを防ぐ
ために、冷却風が装飾面に吹き付けられる。この
ようにして得られる熱移動単位α₂に対応して、上
記の条件が満足されることを意味する角度₂₂を
得る。これに必要な加熱時間τ₂はτ₁よりわずかに
長い。なお、Ｑ＝α・△Ｔ、ここで、Ｑ：熱量、
α：熱移動単位、△Ｔ：温度差とする。

第３図と第４図は、本発明よる工程を実施する
ための設備の原形の詳細な上部構造を示してい
る。その際に簡単のために、第４図の側面図に中
心線Ｃまでのその左側半分だけを図示してある。

この設備は、台枠４２を有し、その上に横の２
つの誘導棒４４が設置されており、この誘導棒４
４は上部の部品において、横ばり４６によつて支
えられている。

縦方向に動くことのできる誘導棒主要部４８
は、この誘導棒４４に属している。その誘導棒主
要部４８は一方では上で成形工具１０に、他方に
おいては連結棒５０に接続している。誘導棒主要
部４８は、２つの機能を満たしている。すなわ
ち、ひとつは工具ささえの縦の動き、そしてもう
ひとつは、連結棒５０への連結軸受けの受け入れ
である。連結棒５０は、クランク駆動５２、歯車
５４、滑車６０によつて支柱で支えられているラ
ツク５６、および水力シリンダー５８の構成要素
を含んでいる。

クランク駆動５２は、水力シリンダーの上で、
歯車５４によつて、ラツク５６を用いて動くこと
ができる。その際に水力シリンダーは絶えず調節
できる油の量で動いている、そしてその油の量
は、水力シリンダーのピストンに一定の速さを与
えている。

このようにして、クランク駆動５２が下死点の
成形状態においては、成形工具１０は弓なりで、
すなわち、「やわらかい」のであるが、これは、
それぞれ型枠３４に浸して取りつけられている、
そしてそれによつて、薄片２８が高すぎる成形速
度のために引き裂かれることを裂けている、とい
うようなことに至つた。

その設備の外のはめこみ場所で深絞り可能な薄
片２８の型は、その設備の外で張り枠３２に張ら
れる。そしてその後、鎖伝動６２を用いて、上に
開いた型わく３４の中に成形状態に運ばれる。同
時に、赤外線放射装置２４のスイツチを入れら
れ、そして横の案内棒をもつているクランク駆動
６４の上の方の、示された成形位置に運ばれる。
第３図には、クランク駆動６４に関しては、ただ
連結だけが描かれている。

赤外線放射装置２４は長方形のくぼんだ断面で
構成されている。それは、柔軟性のある通気管の
上にある換気機を用いることによつて、矢印６６
の方向に送風されている。空気６６は赤外線放射
装置２４の赤外線放射構成要素の上部にある圧縮
室６８を通過し、直径約1.5mmの穴を通つて圧縮
室の床を流れ通る。その穴は、赤外線放射構成要
素の間に一列に配列されている。その後で、空気
６６は赤外線放射装置２４の個々の赤外線放射構
成要素の間隔を通つて、遮蔽板２６と外にある張
り枠との間に入る。

赤外線放射装置２４の赤外線放射構成要素から
薄片２８の軟化剤の煙がのぼつてくることを防
ぎ、また放射強度を弱めないように、空気量を調
節する。

前記の遮幣板２６は、よく磨かれたアルミニウ
ム板から成る。この板は、薄片２８の端まで十分
に加熱するために、薄片２８の上にある赤外線放
射装置２４から横に放射されたものを反射する働
きをもつ。成形に必要な温度を測定するために赤
外温度計７０が備えられてる。赤外温度計７０で
測定して成形温度に達すると、型枠３４の接続口
３６，３８を閉じる。そして、接続口４０から吸
引して真空にする。その強さは薄片２８を工具の
高さのだいたい1/3〜1/2に前成形する程度であ
る。

赤外線放射装置２４のスイツチを切つてから、
設備の外の制御室のクランク駆動６４を使用して
動かす。クランク駆動の下死点つまり成形位置に
成形工具１０を素早く動かすために、事実上同時
にクランク駆動５２を操作する。

成形後、前記したように、型枠３４の前面の接
続口７２から冷却空気をできる限り速く吹き込
む。急速に冷却するために噴出ノズルから冷却空
気を含んだ水を加えることができる。取りつけて
ある巻き管から水によつて直接成形工具を冷やし
て温度を急激に低下できる。

薄片の厚さに応じて15〜30秒くらい冷却した
後、空気力シリンダー７４とクランク７６を使用
して動かすことができる蓋７８を90°の角度で開
ける。クランク駆動６２を操作して、張り枠３２
にかかつている成形が完了した薄片部品を矢印Ａ
の方向に最寄りの仕事室へ運搬する。

簡略化して設備の半分だけを示した図を第４図
に示す。第４図に示されていない右半分は、ラツ
ク５６とそれに付属した部品以外は対称形になつ
ている。そのため、一部を除けば中心線Ｃは対称
線と考えてよい。

（発明の概要） 発泡性の自動車内装物のような、深絞り可能な
熱可塑性プラスチツク薄片製の成形プラスチツク
部品、を製造するための深絞り方法を説明する。
張り枠にある薄片は、熱成形温度まで加熱され、
成功工具に応じた大体の輪郭線に湾曲される。そ
の後で成形工具は前成形した薄片のアーチ型に入
れられ、薄片と成形工具の表面の間の圧力差をつ
くることによつて最終成形される。そして冷却
後、成形工具から取り出される。その際、薄片の
裏側の厚帯は、最終成形される前に、高い放射強
度によりプラスチツクの塑性温度域に加熱される
必要がある。

以後この方法実施のための設備を説明する。そ
の設備は上が開いた型枠、型枠の開いているとこ
ろに入れる張り枠、および張り枠の上にあり横に
移動できる熱源を有する。さらに設備の構成要素
として、上に備えられた成形工具をもち、これは
クランク駆動を使用して成形位置でなめらかに操
作できる。

このように、本発明によれば、得られた成形品
は加熱によつて変形することがなくなる。装飾面
を有する薄片を成形する場合においても、その装
飾面が損なわれない。

【図面の簡単な説明】

第１図は、成形プラスチツク組成物を製造する
ための設備の概略の横断面図である。第２図は、
冷却する支持空気（Supporting Air）の作用下
で（実線）、そして支持空気なしで（破線）、加熱
工程終了後、描いた薄片の厚さに関する概略の温
度経過を示す図である。第３図は、工具の原形の
さらに詳しい正面図である。第４図は、第３図に
対応した側面図であつて、これには設計図の左半
分だけが描かれている。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 深絞り可能な熱可塑性プラスチツク材の薄片
   でできた成形プラスチツク部品、特に発泡性の自
   動車内装物、を製造する方法であつて、 張りわくに支えられた前記薄片をプラスチツク
   材の熱成形温度まで加熱して、成形工具の大体の
   輪郭線に応じてそらして前成形すること、 アーチ型の成形工具表面に該薄片の裏側をあて
   て圧力差を利用して最終成形すること、および、 冷却後成形工具から取り出すこと、を包含する
   方法であつて、 上記前成形における加熱が、該薄片の裏側の厚
   帯（thickness zone）が高い放射強度によつてプ
   ラスチツク材の塑性温度範囲内で加熱されること
   であり、 上記前成形における該薄片の裏側の加熱の際、
   該薄片の装飾された表側を170℃以下に支持空気
   を用いて冷却することを特徴とする、成形プラス
   チツク部品の製造方法。 ２ 該塑性領域の厚さが該薄片の少なくとも30％
   となることを特徴とする特許請求の範囲第１項に
   記載の方法。 ３ 該薄片にポリ塩化ビニルを使用した場合、該
   薄片の裏側が薄片の厚さに依存して、５〜45秒
   間、240℃まで加熱されることを特徴とする特許
   請求の範囲第１項に記載の方法。 ４ 該薄片の表側と裏側の温度を維持するため
   に、最終成形が５秒以内で起こることを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項から第３項のいずれかに
   記載の方法。 ５ 接続口３６；３８；４０；７２を有し、かつ
   深絞り可能な熱可塑性プラスチツク材の薄片２８
   の取り付け装置３２を入れることができるように
   上に開いている型わく３４、該取り付け装置３２
   の上部にあり移動可能な熱源２４、および熱源の
   上にあり該薄片２８の方向に移動可能で吸引口１
   ２，１４を有する凸面の成形工具１０、をもち、 支持空気が、該第１の接続口１６を通して型わ
   く３４にあたり、該別の接続口３８を通つて出て
   いくことを特徴とする成形プラスチツク部品の製
   造設備。 ６ 該第１の接続口３６と該別の接続口３８を閉
   じると該接続口４０の吸引によつて該型枠わく３
   ４内が真空状態にできるように該型わく３４が設
   計されていることを特徴とする特許請求の範囲第
   ５項に記載の設備。 ７ 該型わく３４が冷却空気供給用の接続口７２
   をもつことを特徴とする特許請求の範囲第５項ま
   たは第６項に記載の設備。 ８ 該型わく３４は、横にふた７８をもち、装置
   ７４，７６を使つてふたを開閉でき、それによつ
   て完成した成形薄片部品を型わく３４の横に動か
   すことが可能であることを特徴とする特許請求の
   範囲第５項から第７項のいずれかに記載の設備。 ９ 該薄片２８を受け入れるため、張りわく３２
   を横に動かすことができる取り付け装置をもつこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第５項に記載の設
   備。 １０ 該張りわく３２の移動のために、鎖伝導６
   ２をもつことを特徴とする特許請求の範囲第９項
   に記載の設備。 １１ 赤外線放射装置２４として設計された該熱
   源のフレームが空どうであり、赤外線放射装置２
   ４の上部に圧力室６８をそなえ、圧力室の底には
   一列の穴があることを特徴とする特許請求の範囲
   第５項に記載の設備。 １２ よくみがかれたアルミニウムの遮弊板２６
   を該赤外線照射装置２４のわきに備えていること
   を特徴とする特許請求の範囲第１１項に記載の設
   備。 １３ クランク駆動６４を使用して該赤外線放射
   装置２４を横に動かすことを特徴とする特許請求
   の範囲第１１項あるいは第１２項に記載の設備。 １４ 横けた４６を貫いている２つの誘導棒４４
   を横にもつ台わく４２を備えていることを特徴と
   する特許請求の範囲第５項に記載の設備。 １５ 該誘導棒４４にそつて垂直方向に動かせる
   誘導棒主要部４８を備え、成形工具１０を支持し
   ている工具支え１６と誘導棒主要部４８が結合し
   ていることを特徴とする特許請求の範囲第１４項
   に記載の設備。 １６ 該工具支え１６にクランク駆動５２を備
   え、かつ誘導棒主要部４８と結合しているクラン
   ク駆動連結棒５０をもつことを特徴とする特許請
   求の範囲第１４項または第１５項に記載の設備。 １７ 該クランク駆動５２が、支持小輪６０と歯
   車５４ならびに水力シリンダー５８をもつラツク
   ５６をもつことを特徴とする特許請求の範囲第１
   ６項に記載の設備。 １８ 該クランク駆動５２によて弓なりの動きが
   生じることにより成形工具１０が成形場所にゆつ
   くり入り込むことを特徴とする特許請求の範囲第
   １５項から第１７項のいずれかに記載の設備。 １９ 該成形工具１０が、該吸引口１２，１４と
   空どう部分１８を介して高真空接続口２０とつな
   がることを特徴とする特許請求の範囲第５項に記
   載の設備。 ２０ 接続口２２を介して真空状態から周辺気圧
   に圧力平衡が働くことを特徴とする特許請求の範
   囲第１９項に記載の設備。