JPH0562635A - Ｘ線マイクロアナライザ - Google Patents
Ｘ線マイクロアナライザInfo
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- JPH0562635A JPH0562635A JP3245166A JP24516691A JPH0562635A JP H0562635 A JPH0562635 A JP H0562635A JP 3245166 A JP3245166 A JP 3245166A JP 24516691 A JP24516691 A JP 24516691A JP H0562635 A JPH0562635 A JP H0562635A
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- ray
- crystal
- ray detector
- sample
- dispersive
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 分光器の動向が直観的に分かる様に成す。
【構成】 分光結晶位置算出回路１５は試料５と分光結
晶６の距離から分光結晶６の位置を算出する。Ｘ線検出
器位置算出回路１７は試料５と分光結晶６の距離とロー
ランド円の半径からＸ線分光角度を算出し、該角度と、
分光結晶６とＸ線検出器７の距離からＸ線検出器の位置
を算出する。Ｘ線分光位置算出回路１７は試料５と分光
結晶６の距離，ローランド円の半径及び分光結晶の面間
隔から特性Ｘ線の波長を算出する。分光範囲判定回路１
９は試料５と分光結晶６との距離から、分光位置が分光
範囲を越えていないか否かを判定する。分光結晶表示回
路２０，Ｘ線検出器表示回路２１，Ｘ線名表示回路２
２，及び、判定表示回路２３からの表示情報は、第２表
示装置２５に送られ、表示装置の画面上に、試料，分光
結晶，Ｘ線検出器の各現在位置、及び、特性Ｘ線名及び
分光範囲の判定結果が表示される。
晶６の距離から分光結晶６の位置を算出する。Ｘ線検出
器位置算出回路１７は試料５と分光結晶６の距離とロー
ランド円の半径からＸ線分光角度を算出し、該角度と、
分光結晶６とＸ線検出器７の距離からＸ線検出器の位置
を算出する。Ｘ線分光位置算出回路１７は試料５と分光
結晶６の距離，ローランド円の半径及び分光結晶の面間
隔から特性Ｘ線の波長を算出する。分光範囲判定回路１
９は試料５と分光結晶６との距離から、分光位置が分光
範囲を越えていないか否かを判定する。分光結晶表示回
路２０，Ｘ線検出器表示回路２１，Ｘ線名表示回路２
２，及び、判定表示回路２３からの表示情報は、第２表
示装置２５に送られ、表示装置の画面上に、試料，分光
結晶，Ｘ線検出器の各現在位置、及び、特性Ｘ線名及び
分光範囲の判定結果が表示される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】 本発明は、波長分散型分光器を
備えたＸ線マイクロアナライザに関する。
備えたＸ線マイクロアナライザに関する。
【０００２】
【従来の技術】 Ｘ線マイクロアナライザは、集束した
電子線を試料表面の所定微小箇所に照射し、該微小箇所
から発生する特性Ｘ線を検出する事により、該微小箇所
に含まれている元素の定性又は定量分析するものであ
る。この様なＸ線マイクロアナライザの中に、特性Ｘ線
の検出の際、試料の微小箇所から発生する特性Ｘ線を分
光結晶で分光し、該分光したＸ線のみを検出する分光
器、即ち、波長分散型分光器を備えたＸ線マイクロアナ
ライザがある。
電子線を試料表面の所定微小箇所に照射し、該微小箇所
から発生する特性Ｘ線を検出する事により、該微小箇所
に含まれている元素の定性又は定量分析するものであ
る。この様なＸ線マイクロアナライザの中に、特性Ｘ線
の検出の際、試料の微小箇所から発生する特性Ｘ線を分
光結晶で分光し、該分光したＸ線のみを検出する分光
器、即ち、波長分散型分光器を備えたＸ線マイクロアナ
ライザがある。
【０００３】この様な波長分散型分光器を備えたＸ線マ
イクロアナライザでは、Ｘ線発生点からのＸ線の取出し
角（Ｘ線の取出し方向）を常に一定にした状態でＸ線分
光を行う為、分光結晶を所定のＸ線の取出し方向に沿っ
た軸上を移動させる様に成している。そして、該分光器
の移動に連動して、試料と分光器との距離と、分光器と
Ｘ線検出器との距離が常に等しく、且つ、試料，分光器
及びＸ線検出器がローランド円上にある様にＸ線検出器
を移動させている（この様な機構は、特願昭６０−１８
４３８号や特願昭６１−２６０１８７号等を参照）。
尚、試料は固定されている。又、分光結晶の分光面が、
常にローランド円の接線上に位置する様に分光結晶の軸
上の位置駆動に連動して、該分光結晶が回転駆動されて
いる。
イクロアナライザでは、Ｘ線発生点からのＸ線の取出し
角（Ｘ線の取出し方向）を常に一定にした状態でＸ線分
光を行う為、分光結晶を所定のＸ線の取出し方向に沿っ
た軸上を移動させる様に成している。そして、該分光器
の移動に連動して、試料と分光器との距離と、分光器と
Ｘ線検出器との距離が常に等しく、且つ、試料，分光器
及びＸ線検出器がローランド円上にある様にＸ線検出器
を移動させている（この様な機構は、特願昭６０−１８
４３８号や特願昭６１−２６０１８７号等を参照）。
尚、試料は固定されている。又、分光結晶の分光面が、
常にローランド円の接線上に位置する様に分光結晶の軸
上の位置駆動に連動して、該分光結晶が回転駆動されて
いる。
【０００４】この様な分光結晶及びＸ線検出器の移動制
御において、例えば、図３の（ａ）に示す様に、試料Ｓ
と分光結晶Ｃとの距離（分光結晶ＣとＸ線検出器Ｄとの
距離）が小さい位置関係にある時、即ち、試料Ｓ，分光
結晶Ｃ及びＸ線検出器Ｄがローランド円上の狭い範囲内
に配置された位置関係にある時、Ｘ線強度は強いが、ピ
ークがブロード、即ち、Ｐ／Ｂ比（ピークバックグラン
ド比）が悪い。一方、例えば、図３の（ｂ）に示す様
に、試料Ｓと分光結晶Ｃとの距離（分光結晶ＣとＸ線検
出器Ｄとの距離）が大きい位置関係にある時、即ち、試
料Ｓ，分光結晶Ｃ及びＸ線検出器Ｄがローランド円上の
広い範囲内に配置された位置関係にある時、ピークはシ
ャープ、即ち、Ｐ／Ｂ比（ピークバックグランド比）は
良くなるが、Ｘ線強度が弱くなる。この様に、試料Ｓ，
分光結晶Ｃ及びＸ線検出器Ｄが狭い範囲に配置された場
合や広い範囲に配置された場合、両方とも夫々問題を持
つことから、Ｘ線分析を行う場合には、これら両方の場
合の中間的位置関係で行う事が望ましい。
御において、例えば、図３の（ａ）に示す様に、試料Ｓ
と分光結晶Ｃとの距離（分光結晶ＣとＸ線検出器Ｄとの
距離）が小さい位置関係にある時、即ち、試料Ｓ，分光
結晶Ｃ及びＸ線検出器Ｄがローランド円上の狭い範囲内
に配置された位置関係にある時、Ｘ線強度は強いが、ピ
ークがブロード、即ち、Ｐ／Ｂ比（ピークバックグラン
ド比）が悪い。一方、例えば、図３の（ｂ）に示す様
に、試料Ｓと分光結晶Ｃとの距離（分光結晶ＣとＸ線検
出器Ｄとの距離）が大きい位置関係にある時、即ち、試
料Ｓ，分光結晶Ｃ及びＸ線検出器Ｄがローランド円上の
広い範囲内に配置された位置関係にある時、ピークはシ
ャープ、即ち、Ｐ／Ｂ比（ピークバックグランド比）は
良くなるが、Ｘ線強度が弱くなる。この様に、試料Ｓ，
分光結晶Ｃ及びＸ線検出器Ｄが狭い範囲に配置された場
合や広い範囲に配置された場合、両方とも夫々問題を持
つことから、Ｘ線分析を行う場合には、これら両方の場
合の中間的位置関係で行う事が望ましい。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】 しかし、この様な波
長分散型分光器を備えたＸ線マイクロアナライザでは、
Ｘ線漏洩等の点から波長分散型分光器が設けられている
チャンバーは外部から見る事が出来無い様に密閉されて
いるので、分光器の動向は、実際の所、直観的には分か
らない。その為に、試料，分光結晶及びＸ線検出器が適
切な位置関係にある時にＸ線検出されているかどうか分
からない。又、Ｘ線分析に不適当な分光結晶の位置等も
分からない。
長分散型分光器を備えたＸ線マイクロアナライザでは、
Ｘ線漏洩等の点から波長分散型分光器が設けられている
チャンバーは外部から見る事が出来無い様に密閉されて
いるので、分光器の動向は、実際の所、直観的には分か
らない。その為に、試料，分光結晶及びＸ線検出器が適
切な位置関係にある時にＸ線検出されているかどうか分
からない。又、Ｘ線分析に不適当な分光結晶の位置等も
分からない。
【０００６】本発明はこの様な問題を解決する事を目的
として成されたもので、新規なＸ線マイクロアナライザ
を提供するものである。
として成されたもので、新規なＸ線マイクロアナライザ
を提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】 本発明は、Ｘ線取出し
角を一定に保ちながら、試料と分光結晶の距離と、分光
結晶とＸ線検出器の距離とが常に等しくなる様に該分光
結晶とＸ線検出器をローランド円に沿って移動させる機
構を有する波長分散型分光器を備えたＸ線マイクロアナ
ライザにおいて、分光結晶の位置を表わす信号を発生す
る分光結晶位置信号発生手段、該分光結晶位置に応じた
Ｘ線検出器の位置を表わす信号を発生するＸ線検出器位
置信号発生手段、前記分光結晶位置信号発生手段及び前
記Ｘ線検出器位置信号発生手段各々からの信号に基づい
て分光結晶及びＸ線検出器の試料に対する位置関係をグ
ラフィカルに表示する為のグラフィック手段を備えた。
角を一定に保ちながら、試料と分光結晶の距離と、分光
結晶とＸ線検出器の距離とが常に等しくなる様に該分光
結晶とＸ線検出器をローランド円に沿って移動させる機
構を有する波長分散型分光器を備えたＸ線マイクロアナ
ライザにおいて、分光結晶の位置を表わす信号を発生す
る分光結晶位置信号発生手段、該分光結晶位置に応じた
Ｘ線検出器の位置を表わす信号を発生するＸ線検出器位
置信号発生手段、前記分光結晶位置信号発生手段及び前
記Ｘ線検出器位置信号発生手段各々からの信号に基づい
て分光結晶及びＸ線検出器の試料に対する位置関係をグ
ラフィカルに表示する為のグラフィック手段を備えた。
【０００８】
【実施例】図１は本発明の一実施例として示したＸ線マ
イクロアナライザの概略図である。
イクロアナライザの概略図である。
【０００９】図中１は電子銃、２は集束レンズ、３は対
物レンズ、４は偏向コイル、５は試料である。
物レンズ、４は偏向コイル、５は試料である。
【００１０】又、６は分光結晶、７はＸ線検出器、８は
駆動軸、９はパルスモータ、１０は案内レールで、前記
した様に、試料上のＸ線発生点からのＸ線の取出し角α
（Ｘ線の取出し方向）を常に一定にした状態でＸ線分光
を行う為、分光結晶６を所定のＸ線の取出し方向に沿っ
た前記駆動軸８上を移動させる様に成している。そし
て、該分光器の駆動軸８上の移動に連動して、試料５と
分光器６との距離と、分光器６とＸ線検出器７との距離
が常に等しく、且つ、試料５，分光器６及びＸ線検出器
７がローランド円上にある様に案内レール１０自身が移
動すると同時に、該案内レール１０上をＸ線検出器７が
移動している（この様な機構は、特願昭６０−１８４３
８号や特願昭６１−２６０１８７号等を参照）。尚、試
料は固定されている。又、分光結晶の分光面が、常にロ
ーランド円の接線上に位置する様に分光結晶の駆動軸上
の位置駆動に連動して、該分光結晶が回転駆動されてい
る。
駆動軸、９はパルスモータ、１０は案内レールで、前記
した様に、試料上のＸ線発生点からのＸ線の取出し角α
（Ｘ線の取出し方向）を常に一定にした状態でＸ線分光
を行う為、分光結晶６を所定のＸ線の取出し方向に沿っ
た前記駆動軸８上を移動させる様に成している。そし
て、該分光器の駆動軸８上の移動に連動して、試料５と
分光器６との距離と、分光器６とＸ線検出器７との距離
が常に等しく、且つ、試料５，分光器６及びＸ線検出器
７がローランド円上にある様に案内レール１０自身が移
動すると同時に、該案内レール１０上をＸ線検出器７が
移動している（この様な機構は、特願昭６０−１８４３
８号や特願昭６１−２６０１８７号等を参照）。尚、試
料は固定されている。又、分光結晶の分光面が、常にロ
ーランド円の接線上に位置する様に分光結晶の駆動軸上
の位置駆動に連動して、該分光結晶が回転駆動されてい
る。
【００１１】又、図中１１はＸ線計測回路、１２は制御
回路、１３は陰極線管の如き第１表示装置である。１４
は分光器駆動回路、１５は分光結晶位置算出回路、１６
はＸ線検出器位置算出回路、１７はＸ線分光位置算出回
路、１８はＸ線波長テーブル、１９は分光範囲判定回
路、２０は分光結晶表示回路、２１はＸ線検出器表示回
路、２２はＸ線名表示回路、２３は判定表示回路、２４
は輝度変調回路、２５は例えば、陰極線管の如き第２表
示装置である。前記分光結晶の位置に応じた該分光結晶
の角度を分光結晶位置信号に基づいて算出する分光結晶
角度算出回路２６も設けられている。
回路、１３は陰極線管の如き第１表示装置である。１４
は分光器駆動回路、１５は分光結晶位置算出回路、１６
はＸ線検出器位置算出回路、１７はＸ線分光位置算出回
路、１８はＸ線波長テーブル、１９は分光範囲判定回
路、２０は分光結晶表示回路、２１はＸ線検出器表示回
路、２２はＸ線名表示回路、２３は判定表示回路、２４
は輝度変調回路、２５は例えば、陰極線管の如き第２表
示装置である。前記分光結晶の位置に応じた該分光結晶
の角度を分光結晶位置信号に基づいて算出する分光結晶
角度算出回路２６も設けられている。
【００１２】この様な装置において、電子銃１からの電
子線は集束レンズ２及び対物レンズ３により試料５上に
集束される。この時の集束位置は、偏向コイル（実際に
はＸ，Ｙ方向の偏向コイルが設けられている）へＸ，Ｙ
位置指定信号を供給する事により制御される。この様な
電子線の照射により、該照射箇所から特性Ｘ線が発生す
る。該特性Ｘ線は分光結晶６により分光され、分光され
た特性Ｘ線の内、特定の特性Ｘ線がＸ線検出器７に検出
される。該検出器からの検出信号はＸ線計測回路１１で
計数される。該計測回路１１の出力信号は制御回路１２
に供給され、該制御装置で処理されて表示装置１３に送
られる。従って、検出データに基づいたスペクトルが該
表示装置に表示される。
子線は集束レンズ２及び対物レンズ３により試料５上に
集束される。この時の集束位置は、偏向コイル（実際に
はＸ，Ｙ方向の偏向コイルが設けられている）へＸ，Ｙ
位置指定信号を供給する事により制御される。この様な
電子線の照射により、該照射箇所から特性Ｘ線が発生す
る。該特性Ｘ線は分光結晶６により分光され、分光され
た特性Ｘ線の内、特定の特性Ｘ線がＸ線検出器７に検出
される。該検出器からの検出信号はＸ線計測回路１１で
計数される。該計測回路１１の出力信号は制御回路１２
に供給され、該制御装置で処理されて表示装置１３に送
られる。従って、検出データに基づいたスペクトルが該
表示装置に表示される。
【００１３】さて、この様な装置において、分光結晶駆
動回路１４はパルスモータ９に所定の数の駆動パルスを
送ると、駆動軸８が所定量回転し、分光結晶６は該軸上
を所定の量直線移動する。この時、案内レール１０自身
が該分光結晶の移動に連動して移動すると共に、Ｘ線検
出器７が該案内レール上を該分光結晶の移動に連動して
移動する。該移動は、前記した様に、試料５と分光器６
との距離と、分光器６とＸ線検出器７との距離が常に等
しく且つ、試料５，分光器６及びＸ線検出器７がローラ
ンド円上にある様に分光結晶６の移動に連動して案内レ
ール１０とＸ線検出器７が移動する。この時、分光結晶
位置算出回路１５は前記分光結晶駆動回路１４からの駆
動パルス数に基いて分光結晶６の試料５からの距離を読
取る。そして、既知のＸ線取出し角αと該距離に基いて
分光結晶６の位置を算出する。該算出された分光結晶６
の位置データは分光結晶表示回路２０に送られると同時
に、Ｘ線検出器位置算出回路１６，Ｘ線分光位置算出回
路１７及び分光範囲判定回路１９にも送られる。
動回路１４はパルスモータ９に所定の数の駆動パルスを
送ると、駆動軸８が所定量回転し、分光結晶６は該軸上
を所定の量直線移動する。この時、案内レール１０自身
が該分光結晶の移動に連動して移動すると共に、Ｘ線検
出器７が該案内レール上を該分光結晶の移動に連動して
移動する。該移動は、前記した様に、試料５と分光器６
との距離と、分光器６とＸ線検出器７との距離が常に等
しく且つ、試料５，分光器６及びＸ線検出器７がローラ
ンド円上にある様に分光結晶６の移動に連動して案内レ
ール１０とＸ線検出器７が移動する。この時、分光結晶
位置算出回路１５は前記分光結晶駆動回路１４からの駆
動パルス数に基いて分光結晶６の試料５からの距離を読
取る。そして、既知のＸ線取出し角αと該距離に基いて
分光結晶６の位置を算出する。該算出された分光結晶６
の位置データは分光結晶表示回路２０に送られると同時
に、Ｘ線検出器位置算出回路１６，Ｘ線分光位置算出回
路１７及び分光範囲判定回路１９にも送られる。
【００１４】さて、今、試料５と分光結晶６との距離を
Ｌ、分光結晶の面間隔をｄ、ローランド円の半径をＲ、
Ｘ線分光角度をβとすれば、 Ｌ＝２Ｒｓｉｎβ………（１） の関係がある。前記Ｘ線検出器位置算出回路１７は前記
分光結晶位置算出回路１５から送られて来た試料５と分
光結晶６との距離Ｌと既知のローランド円の半径Ｒを該
式に代入してＸ線分光角度βを算出する。そして、分光
結晶６とＸ線検出器７との距離がＬである事から、Ｘ線
分光角度βと分光結晶６とＸ線検出器７との距離Ｌとか
ら該Ｘ線検出器の位置を算出し、該位置データをＸ線検
出器表示回路２１に送る。
Ｌ、分光結晶の面間隔をｄ、ローランド円の半径をＲ、
Ｘ線分光角度をβとすれば、 Ｌ＝２Ｒｓｉｎβ………（１） の関係がある。前記Ｘ線検出器位置算出回路１７は前記
分光結晶位置算出回路１５から送られて来た試料５と分
光結晶６との距離Ｌと既知のローランド円の半径Ｒを該
式に代入してＸ線分光角度βを算出する。そして、分光
結晶６とＸ線検出器７との距離がＬである事から、Ｘ線
分光角度βと分光結晶６とＸ線検出器７との距離Ｌとか
ら該Ｘ線検出器の位置を算出し、該位置データをＸ線検
出器表示回路２１に送る。
【００１５】又、今、Ｘ線検出器７に検出される特性Ｘ
線の波長をλとすれば、 λ＝２ｄｓｉｎβ………（２） の関係がある。該関係式（２）と、前記関係式（１）と
から、 λ＝Ｌｄ／Ｒ…………（３） の関係がある。前記Ｘ線分光位置算出回路１７は、前記
分光結晶位置算出回路１５から送られて来た試料５と分
光結晶６との距離Ｌ，既知のローランド円の半径Ｒ及び
分光結晶の面間隔ｄを該式に代入して、今検出された特
性Ｘ線の波長を算出する。そして、各Ｘ線波長とそれに
対応する特性Ｘ線名を記憶したＸ線波長テーブル１８を
参照して、今検出された特性Ｘ線名のデータをＸ線名表
示回路２２に送る。
線の波長をλとすれば、 λ＝２ｄｓｉｎβ………（２） の関係がある。該関係式（２）と、前記関係式（１）と
から、 λ＝Ｌｄ／Ｒ…………（３） の関係がある。前記Ｘ線分光位置算出回路１７は、前記
分光結晶位置算出回路１５から送られて来た試料５と分
光結晶６との距離Ｌ，既知のローランド円の半径Ｒ及び
分光結晶の面間隔ｄを該式に代入して、今検出された特
性Ｘ線の波長を算出する。そして、各Ｘ線波長とそれに
対応する特性Ｘ線名を記憶したＸ線波長テーブル１８を
参照して、今検出された特性Ｘ線名のデータをＸ線名表
示回路２２に送る。
【００１６】更に、前記分光範囲判定回路１９は前記分
光結晶位置算出回路１５から送られて来た試料５と分光
結晶６との距離Ｌから、今、行われた分光位置が予め与
えられている分光範囲を越えていないか否かを判定す
る。すなわち、前記した様に、試料，分光結晶及びＸ線
検出器の位置関係が狭い範囲に配置された場合も広い範
囲に配置された場合も夫々問題を持つことから、Ｘ線分
析を行う場合には、これら両方の場合の中間的の位置関
係で行う事が望しく、その中間的範囲は、使用する分光
結晶の種類によっても多少事なる。そこで、分光範囲判
定回路１９に、予め使用している分光結晶に対して望ま
しい分光範囲をセットしておき、前記分光結晶位置算出
回路１５から送られて来た試料５と分光結晶６との距離
Ｌがこの範囲内にあるか否かを判定してその判定結果を
示すデータを判定表示回路２３に送る。又、この際、前
記分光結晶位置算出回路１５で算出された分光結晶の位
置に応じた該分光結晶の角度が、分光結晶角度検出手段
（図示せず）により検出されている。
光結晶位置算出回路１５から送られて来た試料５と分光
結晶６との距離Ｌから、今、行われた分光位置が予め与
えられている分光範囲を越えていないか否かを判定す
る。すなわち、前記した様に、試料，分光結晶及びＸ線
検出器の位置関係が狭い範囲に配置された場合も広い範
囲に配置された場合も夫々問題を持つことから、Ｘ線分
析を行う場合には、これら両方の場合の中間的の位置関
係で行う事が望しく、その中間的範囲は、使用する分光
結晶の種類によっても多少事なる。そこで、分光範囲判
定回路１９に、予め使用している分光結晶に対して望ま
しい分光範囲をセットしておき、前記分光結晶位置算出
回路１５から送られて来た試料５と分光結晶６との距離
Ｌがこの範囲内にあるか否かを判定してその判定結果を
示すデータを判定表示回路２３に送る。又、この際、前
記分光結晶位置算出回路１５で算出された分光結晶の位
置に応じた該分光結晶の角度が、分光結晶角度検出手段
（図示せず）により検出されている。
【００１７】この様にして、分光結晶６の位置データが
送られて来た分光結晶表示回路２０，Ｘ線検出器の位置
データが送られて来たＸ線検出器表示回路２１，特性Ｘ
線名データが送られて来たＸ線名表示回路２２，判定結
果データが送られて来た判定表示回路２３からの表示情
報、及び、分光結晶角度算出回路２６からの分光結晶角
度データは、夫々、輝度変調回路２４を介して第２表示
装置２５に送られる。尚、この際、位置が固定されてい
る試料や波長分散型分光器が設けられているチャンバー
を表示する為の情報も該表示装置に送られている。従っ
て、該表示装置の画面上には、図２に示す様に、試料１
００，分光結晶２００，Ｘ線検出器３００の各現在位置
が分光器の駆動に応じてリアルタイムでグラフィカルに
表示される。又、同一画面上に、現在検出されたと特性
Ｘ線名４００および分光範囲の判定結果５００も表示さ
れる。尚、６００は波長分散型分光器が設けられている
チャンバーをグラフィカルに表示したものである。
送られて来た分光結晶表示回路２０，Ｘ線検出器の位置
データが送られて来たＸ線検出器表示回路２１，特性Ｘ
線名データが送られて来たＸ線名表示回路２２，判定結
果データが送られて来た判定表示回路２３からの表示情
報、及び、分光結晶角度算出回路２６からの分光結晶角
度データは、夫々、輝度変調回路２４を介して第２表示
装置２５に送られる。尚、この際、位置が固定されてい
る試料や波長分散型分光器が設けられているチャンバー
を表示する為の情報も該表示装置に送られている。従っ
て、該表示装置の画面上には、図２に示す様に、試料１
００，分光結晶２００，Ｘ線検出器３００の各現在位置
が分光器の駆動に応じてリアルタイムでグラフィカルに
表示される。又、同一画面上に、現在検出されたと特性
Ｘ線名４００および分光範囲の判定結果５００も表示さ
れる。尚、６００は波長分散型分光器が設けられている
チャンバーをグラフィカルに表示したものである。
【００１８】尚、前記実施例では、分光結晶の角度も直
視出来る様に表示する事により、観察者により幅広い観
察を可能にした。しかし、そこまでの表示が必要でない
場合には、分光結晶の位置丈分る様に、例えば、分光結
晶を点や円等で表示させる様にしても良い。
視出来る様に表示する事により、観察者により幅広い観
察を可能にした。しかし、そこまでの表示が必要でない
場合には、分光結晶の位置丈分る様に、例えば、分光結
晶を点や円等で表示させる様にしても良い。
【００１９】
【発明の効果】 本発明は、波長分散型分光器を備えた
Ｘ線マイクロアナライザにおいて、試料，分光結晶及び
Ｘ線検出器の位置関係をグラフィカルに表示する様に成
したので、試料，分光結晶及びＸ線検出器の位置関係
が、即ち、分光器の動向が直観的には分かる。その為、
試料，分光結晶及びＸ線検出器が適切な位置関係にある
時にＸ線検出されているかどうか分かる。又、分光器の
動向が直観的には分かる為に、Ｘ線分析に不適当な分光
結晶の位置等が分かる。
Ｘ線マイクロアナライザにおいて、試料，分光結晶及び
Ｘ線検出器の位置関係をグラフィカルに表示する様に成
したので、試料，分光結晶及びＸ線検出器の位置関係
が、即ち、分光器の動向が直観的には分かる。その為、
試料，分光結晶及びＸ線検出器が適切な位置関係にある
時にＸ線検出されているかどうか分かる。又、分光器の
動向が直観的には分かる為に、Ｘ線分析に不適当な分光
結晶の位置等が分かる。
【図１】 本発明の一実施例を示したものである。
【図２】 本発明によるグラフィカル表示の一例を示し
たものである。
たものである。
【図３】 試料、分光結晶及びＸ線検出器の位置関係を
示したものである。
示したものである。
１：電子銃 ２：集束レンズ ３：対物レンズ
４：偏向コイル ５：試料 ６：分光結晶 ７：
Ｘ線検出器 ８：駆動軸 ９：パルスモータ １０：案内レール １１：Ｘ線
計測回路 １２：制御回路 １３：第１表示装置
１４：分光器駆動回路 １５：分光結晶位置算出回
路 １６：Ｘ線検出器位置算出回路 １７：Ｘ線分
光位置算出回路 １８：Ｘ線波長テーブル １９：分光範囲判定回路 ２０：分光結晶表示回路
２１：Ｘ線検出器表示回路 ２２：Ｘ線名表示回路
２３：判定表示回路 ２４：輝度変調回路 ２５：第２表示装置 ２６：分光結晶角度算出回路
４：偏向コイル ５：試料 ６：分光結晶 ７：
Ｘ線検出器 ８：駆動軸 ９：パルスモータ １０：案内レール １１：Ｘ線
計測回路 １２：制御回路 １３：第１表示装置
１４：分光器駆動回路 １５：分光結晶位置算出回
路 １６：Ｘ線検出器位置算出回路 １７：Ｘ線分
光位置算出回路 １８：Ｘ線波長テーブル １９：分光範囲判定回路 ２０：分光結晶表示回路
２１：Ｘ線検出器表示回路 ２２：Ｘ線名表示回路
２３：判定表示回路 ２４：輝度変調回路 ２５：第２表示装置 ２６：分光結晶角度算出回路
Claims (4)
- 【請求項１】 Ｘ線取出し角を一定に保ちながら、試料
と分光結晶の距離と、分光結晶とＸ線検出器の距離とが
常に等しくなる様に該分光結晶とＸ線検出器をローラン
ド円に沿って移動させる機構を有する波長分散型分光器
を備えたＸ線マイクロアナライザにおいて、分光結晶の
位置を表わす信号を発生する分光結晶位置信号発生手
段、該分光結晶位置に応じたＸ線検出器の位置を表わす
信号を発生するＸ線検出器位置信号発生手段、前記分光
結晶位置信号発生手段及び前記Ｘ線検出器位置信号発生
手段各々からの信号に基づいて分光結晶及びＸ線検出器
の試料に対する位置関係をグラフィカルに表示する為の
グラフィック手段を備えたＸ線マイクロアナライザ。 - 【請求項２】 前記分光結晶の試料からの距離を求める
手段で求めた距離に基いて前記Ｘ線検出器で検出された
Ｘ線の種類名を求める手段を設け、グラフィック手段
に、分光結晶及びＸ線検出器の試料に対する位置関係を
グラフィカルに表示すると共に、前記Ｘ線検出器で検出
されたＸ線の種類名も表示する様に成した請求項１記載
のＸ線マイクロアナライザ。 - 【請求項３】 前記分光結晶の試料からの距離を求める
手段で求めた距離に基いて分光範囲が所定の範囲にある
か否かを判定する手段を設け、グラフィック手段に、分
光結晶及びＸ線検出器の試料に対する位置関係をグラフ
ィカルに表示すると共に、その判定結果も表示する様に
成した請求項１記載のＸ線マイクロアナライザ。 - 【請求項４】 前記分光結晶位置に応じた分光結晶の角
度を表わす信号を発生する角度信号発生手段を設け、該
角度信号発生手段、前記分光結晶位置信号発生手段、及
び前記Ｘ線検出器位置信号発生手段各々からの信号に基
づいて分光結晶及びＸ線検出器の試料に対する位置関係
をグラフィカルに表示する様に成した請求項１記載のＸ
線マイクロアナライザ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3245166A JP3014184B2 (ja) | 1991-08-30 | 1991-08-30 | Ｘ線マイクロアナライザ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3245166A JP3014184B2 (ja) | 1991-08-30 | 1991-08-30 | Ｘ線マイクロアナライザ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0562635A true JPH0562635A (ja) | 1993-03-12 |
| JP3014184B2 JP3014184B2 (ja) | 2000-02-28 |
Family
ID=17129593
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3245166A Expired - Fee Related JP3014184B2 (ja) | 1991-08-30 | 1991-08-30 | Ｘ線マイクロアナライザ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3014184B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0720069A (ja) * | 1993-06-30 | 1995-01-24 | Shimadzu Corp | Ｘ線分光器 |
| CN114609160A (zh) * | 2022-03-10 | 2022-06-10 | 江苏天瑞仪器股份有限公司 | 高精度x射线光路可视化装配调整方法 |
-
1991
- 1991-08-30 JP JP3245166A patent/JP3014184B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0720069A (ja) * | 1993-06-30 | 1995-01-24 | Shimadzu Corp | Ｘ線分光器 |
| CN114609160A (zh) * | 2022-03-10 | 2022-06-10 | 江苏天瑞仪器股份有限公司 | 高精度x射线光路可视化装配调整方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3014184B2 (ja) | 2000-02-28 |
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