JPH0563065A - ウエーハ収納容器のウエーハ押え - Google Patents
ウエーハ収納容器のウエーハ押えInfo
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- JPH0563065A JPH0563065A JP24525391A JP24525391A JPH0563065A JP H0563065 A JPH0563065 A JP H0563065A JP 24525391 A JP24525391 A JP 24525391A JP 24525391 A JP24525391 A JP 24525391A JP H0563065 A JPH0563065 A JP H0563065A
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- Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
［目的］ 全ウエーハの上縁を常に確実に保持してウエ
ーハの係止溝からの脱落を防ぎ、ウエーハの損傷や汚染
を防ぐことができるウエーハ押えを提供すること。 ［構成］ ウエーハ押え３の弾性片６…の係止部に櫛歯
状の係止片８ａ…、９ａ…／又は９ａ…，９ｂ…を設
け、該係止片８ａ…、９ａ…／又は９ａ…，９ｂ…の間
に、ウエーハが嵌合すべき溝１２…を形成するととも
に、隣接する弾性片６，６の係止片８ａ…と９ｂ…／及
び８ｂ…と９ａ…同士を噛み合わせて側面視でこれらが
互いにオーバーラップするよう構成する。ウエーハの弾
性片６，６間への落ち込みは、互いに噛合する係止片８
ａ…と９ｂ…／又は８ｂ…と９ａ…によって阻止される
ため、全ウエーハは溝１２…に嵌まり込んで保持され、
これの破損及び汚染が確実に防がれる。
ーハの係止溝からの脱落を防ぎ、ウエーハの損傷や汚染
を防ぐことができるウエーハ押えを提供すること。 ［構成］ ウエーハ押え３の弾性片６…の係止部に櫛歯
状の係止片８ａ…、９ａ…／又は９ａ…，９ｂ…を設
け、該係止片８ａ…、９ａ…／又は９ａ…，９ｂ…の間
に、ウエーハが嵌合すべき溝１２…を形成するととも
に、隣接する弾性片６，６の係止片８ａ…と９ｂ…／及
び８ｂ…と９ａ…同士を噛み合わせて側面視でこれらが
互いにオーバーラップするよう構成する。ウエーハの弾
性片６，６間への落ち込みは、互いに噛合する係止片８
ａ…と９ｂ…／又は８ｂ…と９ａ…によって阻止される
ため、全ウエーハは溝１２…に嵌まり込んで保持され、
これの破損及び汚染が確実に防がれる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、複数のウエーハを収容
するウエーハ収納容器の上蓋に着脱自在に設けられるウ
エーハ押えに関する。
するウエーハ収納容器の上蓋に着脱自在に設けられるウ
エーハ押えに関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、半導体ウエーハはシリコン等の
単結晶インゴットを軸直角方向に薄くスライスして得ら
れるが、これは薄くて脆く、しかも汚染を極端に嫌うた
め、その搬送には十分な配慮が必要である。
単結晶インゴットを軸直角方向に薄くスライスして得ら
れるが、これは薄くて脆く、しかも汚染を極端に嫌うた
め、その搬送には十分な配慮が必要である。
【０００３】そこで、従来、斯かるウエーハはウエーハ
収納容器に整然と配列、収容されて搬送されており、ウ
エーハ収納容器としては例えば図１２に示すようなもの
が知られている。即ち、図１２はウエーハ収納容器の一
部を破断した正面図であり、該ウエーハ収納容器は外箱
１０１と内箱１０２とで構成されており、複数枚のウエ
ーハＷ…は、内箱１０２の相対向する側壁１０２ａ，１
０２ａの内側に突設された複数のリブ１０２ｂ…の間に
形成される複数の仕切り溝に嵌め込まれて図１２の紙面
垂直方向に適当な間隔をあけて内箱１０２内に整然と収
容される。又、外箱１０１の上蓋１０１Ｂの内側にはウ
エーハ押え１０３が着脱自在に取り付けられており、内
箱１０２内に収容されたウエーハＷ…は、その上縁をウ
エーハ押え１０３の弾性片１０６…によって弾性的に保
持され、該ウエーハＷ…が搬送中の振動によって破損し
ないよう配慮されている。尚、ウエーハ押え１０３の複
数の弾性片１０６…は、図１２の紙面垂直方向に短冊状
に配列されている。
収納容器に整然と配列、収容されて搬送されており、ウ
エーハ収納容器としては例えば図１２に示すようなもの
が知られている。即ち、図１２はウエーハ収納容器の一
部を破断した正面図であり、該ウエーハ収納容器は外箱
１０１と内箱１０２とで構成されており、複数枚のウエ
ーハＷ…は、内箱１０２の相対向する側壁１０２ａ，１
０２ａの内側に突設された複数のリブ１０２ｂ…の間に
形成される複数の仕切り溝に嵌め込まれて図１２の紙面
垂直方向に適当な間隔をあけて内箱１０２内に整然と収
容される。又、外箱１０１の上蓋１０１Ｂの内側にはウ
エーハ押え１０３が着脱自在に取り付けられており、内
箱１０２内に収容されたウエーハＷ…は、その上縁をウ
エーハ押え１０３の弾性片１０６…によって弾性的に保
持され、該ウエーハＷ…が搬送中の振動によって破損し
ないよう配慮されている。尚、ウエーハ押え１０３の複
数の弾性片１０６…は、図１２の紙面垂直方向に短冊状
に配列されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のウエーハ収納容器において、ウエーハＷ…を収容し
た内箱１０２を外箱１０１の本体１０１Ａ内に収容した
後、上蓋１０１Ｂを本体１０１Ａに被せてこれを閉じる
とき、ウエーハＷ…の全てが常に前記ウエーハ押え１０
３の弾性片１０６…の係止溝に嵌まり込んで保持される
訳ではなく、一部は係止溝から脱落して弾性片６，６間
に挟み込まれて損傷を受けたり、弾性片６…が削られて
発生するパーティクルによって汚染されるという問題が
発生していた。
来のウエーハ収納容器において、ウエーハＷ…を収容し
た内箱１０２を外箱１０１の本体１０１Ａ内に収容した
後、上蓋１０１Ｂを本体１０１Ａに被せてこれを閉じる
とき、ウエーハＷ…の全てが常に前記ウエーハ押え１０
３の弾性片１０６…の係止溝に嵌まり込んで保持される
訳ではなく、一部は係止溝から脱落して弾性片６，６間
に挟み込まれて損傷を受けたり、弾性片６…が削られて
発生するパーティクルによって汚染されるという問題が
発生していた。
【０００５】本発明は上記問題に鑑みてなされたもの
で、その目的とする処は、全ウエーハの上縁を常に確実
に保持してウエーハの係止溝からの脱落を防ぎ、ウエー
ハの損傷や汚染を防ぐことができるウエーハ収納容器の
ウエーハ押えを提供することにある。
で、その目的とする処は、全ウエーハの上縁を常に確実
に保持してウエーハの係止溝からの脱落を防ぎ、ウエー
ハの損傷や汚染を防ぐことができるウエーハ収納容器の
ウエーハ押えを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく本
発明は、ウエーハ収納容器の上蓋の内側に取り付けら
れ、ウエーハ収納容器内に収容された複数のウエーハの
各上縁を短冊状の弾性片で押えて該ウエーハを保持する
ウエーハ収納容器のウエーハ押えにおいて、前記弾性片
のウエーハ係止部に櫛歯状或いは鋸歯状の係止片を設
け、該係止片の間に、ウエーハが嵌合すべき溝を形成す
るとともに、隣接する弾性片の係止片同士を噛み合わせ
て側面視でこれらが互いにオーバーラップするよう構成
したことをその特徴とする。
発明は、ウエーハ収納容器の上蓋の内側に取り付けら
れ、ウエーハ収納容器内に収容された複数のウエーハの
各上縁を短冊状の弾性片で押えて該ウエーハを保持する
ウエーハ収納容器のウエーハ押えにおいて、前記弾性片
のウエーハ係止部に櫛歯状或いは鋸歯状の係止片を設
け、該係止片の間に、ウエーハが嵌合すべき溝を形成す
るとともに、隣接する弾性片の係止片同士を噛み合わせ
て側面視でこれらが互いにオーバーラップするよう構成
したことをその特徴とする。
【０００７】
【作用】本発明に係るウエーハ押えにおいては、隣接す
る弾性片の係止片同士は噛み合って側面視でオーバーラ
ップしているため、ウエーハは弾性片の間に落ち込むこ
とがなく、係止片間の溝に常に確実に嵌まり込んで保持
される。従って、ウエーハが弾性片の間に挟まれて損傷
を受けることがない。又、弾性片がウエーハによって削
られてパーティクルを発生することがなく、パーティク
ルの付着によるウエーハの汚染も防がれる。
る弾性片の係止片同士は噛み合って側面視でオーバーラ
ップしているため、ウエーハは弾性片の間に落ち込むこ
とがなく、係止片間の溝に常に確実に嵌まり込んで保持
される。従って、ウエーハが弾性片の間に挟まれて損傷
を受けることがない。又、弾性片がウエーハによって削
られてパーティクルを発生することがなく、パーティク
ルの付着によるウエーハの汚染も防がれる。
【０００８】
【実施例】以下に本発明の第１実施例を図１乃至図９に
基づいて説明する。
基づいて説明する。
【０００９】先ず、図９の分解斜視図に基づいてウエー
ハ収納容器の概略構成を説明すると、該ウエーハ収納容
器は外箱１と、該外箱１内に収容される内箱２と、本発
明に係るウエーハ押え３を含んで構成される。
ハ収納容器の概略構成を説明すると、該ウエーハ収納容
器は外箱１と、該外箱１内に収容される内箱２と、本発
明に係るウエーハ押え３を含んで構成される。
【００１０】上記外箱１は、本体１Ａと上蓋１Ｂとで構
成され、上蓋１Ｂは本体１Ａに被せられて本体１Ａと接
合一体化されるが、両者の間にはパッキン４が介在する
ため、上蓋１Ｂを閉じた状態では外箱１内は密閉状態に
保たれる。
成され、上蓋１Ｂは本体１Ａに被せられて本体１Ａと接
合一体化されるが、両者の間にはパッキン４が介在する
ため、上蓋１Ｂを閉じた状態では外箱１内は密閉状態に
保たれる。
【００１１】又、前記内箱２は複数枚のウエーハを整然
と収容するものであって、これの上部は開口し、その相
対向する側壁２ａ，２ａの内側には縦方向に長い複数の
リブ２ｂ…がウエーハの配列方向に適当なピッチで突設
されており、これらのリブ２ｂ…の間には仕切り溝が形
成されている。而して、ウエーハは側壁２ａ，２ａにそ
れぞれ形成された相対向する一対の仕切り溝に嵌め込ま
れて収容される。
と収容するものであって、これの上部は開口し、その相
対向する側壁２ａ，２ａの内側には縦方向に長い複数の
リブ２ｂ…がウエーハの配列方向に適当なピッチで突設
されており、これらのリブ２ｂ…の間には仕切り溝が形
成されている。而して、ウエーハは側壁２ａ，２ａにそ
れぞれ形成された相対向する一対の仕切り溝に嵌め込ま
れて収容される。
【００１２】ここで、本発明に係る前記ウエーハ押え３
の構成の詳細を図１乃至図６に基づいて説明する。尚、
図１はウエーハ押え３の正断面図、図２は同側面図（図
１の矢視Ａ方向の図）、図３は同底面図（図１の矢視Ｂ
方向の図）、図４は図３のＣ部拡大詳細図、図５は図４
のＤ−Ｄ線断面図、図６は図４のＥ−Ｅ線断面図であ
る。
の構成の詳細を図１乃至図６に基づいて説明する。尚、
図１はウエーハ押え３の正断面図、図２は同側面図（図
１の矢視Ａ方向の図）、図３は同底面図（図１の矢視Ｂ
方向の図）、図４は図３のＣ部拡大詳細図、図５は図４
のＤ−Ｄ線断面図、図６は図４のＥ−Ｅ線断面図であ
る。
【００１３】本発明に係るウエーハ押え３は、摩擦係数
の大きな熱可塑性エラストマー（ポリエステル系）等で
一体成形され、これは矩形の枠体５を有しており、該枠
体５の下面には、内側に向かって側面視くの字状に折曲
された短冊状の複数の弾性片６…がウエーハの配列方向
（図１の紙面垂直方向）に左右２列に高密度に配列され
て吊設されている。又、枠体５の左右一対の弾性片６…
の列の中央部には、ウエーハの配列方向に長いオリフラ
押え７が設けられている。
の大きな熱可塑性エラストマー（ポリエステル系）等で
一体成形され、これは矩形の枠体５を有しており、該枠
体５の下面には、内側に向かって側面視くの字状に折曲
された短冊状の複数の弾性片６…がウエーハの配列方向
（図１の紙面垂直方向）に左右２列に高密度に配列され
て吊設されている。又、枠体５の左右一対の弾性片６…
の列の中央部には、ウエーハの配列方向に長いオリフラ
押え７が設けられている。
【００１４】ところで、前記弾性片６…の自由端（ウエ
ーハとの当接部）の下面には、図４乃至図６に示すよう
に、ウエーハの配列方向（図４の左右方向）に相対向す
る櫛歯状の係止片８ａ…，８ｂ…／又は係止片９ａ…，
９ｂが下方（図６においては上方）に向かって広がるよ
うに突設されている。即ち、図４に示す或る弾性片６Ａ
にはそれぞれ３本の係止片８ａ…，８ｂが形成され、該
弾性片６Ａに隣接する弾性片６Ｂ，６Ｃにはそれぞれ４
本の係止片９ａ…，９ｂ…が形成されている。そして、
図４に示すように、弾性片６Ａの一方の係止片８ａ…と
弾性片６Ｂの係止片９ｂ…及び弾性片６Ａの他方の係止
片８ｂ…と弾性片６Ｃの係止片９ａ…とは互いに噛み合
っており、図６に示すように、これら係止片８ａ…と９
ｂ…及び係止片８ｂ…と９ａ…とは側面視で互いにオー
バーラップしている。
ーハとの当接部）の下面には、図４乃至図６に示すよう
に、ウエーハの配列方向（図４の左右方向）に相対向す
る櫛歯状の係止片８ａ…，８ｂ…／又は係止片９ａ…，
９ｂが下方（図６においては上方）に向かって広がるよ
うに突設されている。即ち、図４に示す或る弾性片６Ａ
にはそれぞれ３本の係止片８ａ…，８ｂが形成され、該
弾性片６Ａに隣接する弾性片６Ｂ，６Ｃにはそれぞれ４
本の係止片９ａ…，９ｂ…が形成されている。そして、
図４に示すように、弾性片６Ａの一方の係止片８ａ…と
弾性片６Ｂの係止片９ｂ…及び弾性片６Ａの他方の係止
片８ｂ…と弾性片６Ｃの係止片９ａ…とは互いに噛み合
っており、図６に示すように、これら係止片８ａ…と９
ｂ…及び係止片８ｂ…と９ａ…とは側面視で互いにオー
バーラップしている。
【００１５】又、図６に示すように、各弾性片６におい
て係止片８ａ…と８ｂ／又は係止片９ａ…，９ｂ…の相
対向する面は斜面を構成しており、これらの係止片８ａ
…と８ｂ／及び係止片９ａ…と９ｂ…の間には、下方
（図６においては上方）に向かって広がる溝（ウエーハ
が嵌合すべき溝）１２…が形成されている。
て係止片８ａ…と８ｂ／又は係止片９ａ…，９ｂ…の相
対向する面は斜面を構成しており、これらの係止片８ａ
…と８ｂ／及び係止片９ａ…と９ｂ…の間には、下方
（図６においては上方）に向かって広がる溝（ウエーハ
が嵌合すべき溝）１２…が形成されている。
【００１６】而して、図７に示すように複数枚のウエー
ハＷ…を図の紙面垂直方向に配列して収容する内箱２
は、外箱１の本体１Ａ内に収容され、その後に上蓋１Ｂ
が図８に示すように本体１Ａに被せられて固定される
と、該上蓋１Ｂに取り付けられたウエーハ押え３は、ウ
エーハＷ…の上縁を押えてこれらウエーハＷ…を弾性的
に保持する。即ち、ウエーハ押え３の左右一対の弾性片
６，６はウエーハＷの上縁に当接してその弾性力でウエ
ーハＷを下方へ押圧して該ウエーハＷを弾性的に支持す
る。このとき、ウエーハＷは、その上縁が弾性片６，６
に突設された係止片８ａ…，８ｂ…／又は９ａ…，９ｂ
…の間の溝１２，１２に嵌まり込んで支持されるが、前
述のように係止片８ａ…と係止片９ｂ…及び係止片８ｂ
…と係止片９ａ…とは噛み合って側面視で互いにオーバ
ーラップしており、このオーバーラップする部分は隣接
するウエーハＷ，Ｗの間の中央において山の頂部を形成
するため、ウエーハＷは弾性片６，６の間の隙間に落ち
込むことがなく、上蓋１Ｂを閉じた時点で例えば図６に
鎖線にて示す位置にあったウエーハＷは係止片８ａ…の
斜面に沿って矢印方向に移動し、図６に実線にて示すよ
うに溝１２の中央に自動的に位置せしめられる。この結
果、全てのウエーハＷ…は、弾性片６…の溝１２…に常
に確実に嵌まり込んでその上縁を保持され、弾性片６…
の間に挟まれることがないため、損傷を受けることがな
い。又、弾性片６…が当該ウエーハＷ…によって削られ
てパーティクルを発生することもないため、パーティク
ルによるウエーハＷ…の汚染が確実に防がれる。
ハＷ…を図の紙面垂直方向に配列して収容する内箱２
は、外箱１の本体１Ａ内に収容され、その後に上蓋１Ｂ
が図８に示すように本体１Ａに被せられて固定される
と、該上蓋１Ｂに取り付けられたウエーハ押え３は、ウ
エーハＷ…の上縁を押えてこれらウエーハＷ…を弾性的
に保持する。即ち、ウエーハ押え３の左右一対の弾性片
６，６はウエーハＷの上縁に当接してその弾性力でウエ
ーハＷを下方へ押圧して該ウエーハＷを弾性的に支持す
る。このとき、ウエーハＷは、その上縁が弾性片６，６
に突設された係止片８ａ…，８ｂ…／又は９ａ…，９ｂ
…の間の溝１２，１２に嵌まり込んで支持されるが、前
述のように係止片８ａ…と係止片９ｂ…及び係止片８ｂ
…と係止片９ａ…とは噛み合って側面視で互いにオーバ
ーラップしており、このオーバーラップする部分は隣接
するウエーハＷ，Ｗの間の中央において山の頂部を形成
するため、ウエーハＷは弾性片６，６の間の隙間に落ち
込むことがなく、上蓋１Ｂを閉じた時点で例えば図６に
鎖線にて示す位置にあったウエーハＷは係止片８ａ…の
斜面に沿って矢印方向に移動し、図６に実線にて示すよ
うに溝１２の中央に自動的に位置せしめられる。この結
果、全てのウエーハＷ…は、弾性片６…の溝１２…に常
に確実に嵌まり込んでその上縁を保持され、弾性片６…
の間に挟まれることがないため、損傷を受けることがな
い。又、弾性片６…が当該ウエーハＷ…によって削られ
てパーティクルを発生することもないため、パーティク
ルによるウエーハＷ…の汚染が確実に防がれる。
【００１７】尚、ウエーハ押え３の係止片８ａ…，８ｂ
…、９ａ…，９ｂ…は各弾性片６のウエーハ係止部の短
い範囲に多数配設され、これらは弾性片６の最先自由端
又はこれの近傍に位置するため、ウエーハ収納容器内に
収容された複数のウエーハＷ…の各上縁を当該係止片８
ａ…，８ｂ…、９ａ…，９ｂ…で下方に押えるときに
は、隣接するウエーハＷ，Ｗの上縁は実質的に同時に押
えられることとなり、これによってもウエーハＷ…の弾
性片６，６の間への脱落が防止される。
…、９ａ…，９ｂ…は各弾性片６のウエーハ係止部の短
い範囲に多数配設され、これらは弾性片６の最先自由端
又はこれの近傍に位置するため、ウエーハ収納容器内に
収容された複数のウエーハＷ…の各上縁を当該係止片８
ａ…，８ｂ…、９ａ…，９ｂ…で下方に押えるときに
は、隣接するウエーハＷ，Ｗの上縁は実質的に同時に押
えられることとなり、これによってもウエーハＷ…の弾
性片６，６の間への脱落が防止される。
【００１８】斯くて、内箱２内に収容された複数枚のウ
エーハＷ…は、ウエーハ押え３によって弾性的に保持さ
れるが、ウエーハ押え３に設けられた前記オリフラ押え
７は、図８に示すように、各ウエーハＷのオリフラ（オ
リエンテーションフラット）部Ｗａに係合して該ウエー
ハＷの回転を阻止するため、内箱２とウエーハＷの間に
滑り発生せず、これによってもウエーハＷのパーティク
ルによる汚染が防止される。尚、図７及び図８に示すよ
うに、各ウエーハＷは、そのオリフラ部Ｗａを上に向け
た状態で内箱２内に収容される。
エーハＷ…は、ウエーハ押え３によって弾性的に保持さ
れるが、ウエーハ押え３に設けられた前記オリフラ押え
７は、図８に示すように、各ウエーハＷのオリフラ（オ
リエンテーションフラット）部Ｗａに係合して該ウエー
ハＷの回転を阻止するため、内箱２とウエーハＷの間に
滑り発生せず、これによってもウエーハＷのパーティク
ルによる汚染が防止される。尚、図７及び図８に示すよ
うに、各ウエーハＷは、そのオリフラ部Ｗａを上に向け
た状態で内箱２内に収容される。
【００１９】次に、本発明の第２実施例を図１０及び図
１１に基づいて説明する。尚、図１０は第２実施例に係
るウエーハ押えの弾性片の係止部の底面図、図１１は図
１０のＦ−Ｆ線断面図である。
１１に基づいて説明する。尚、図１０は第２実施例に係
るウエーハ押えの弾性片の係止部の底面図、図１１は図
１０のＦ−Ｆ線断面図である。
【００２０】本実施例においては、弾性片６…の自由端
の下面に鋸歯状の係止片１０ａ…，１０ｂ…／又は係止
片１１ａ…，１１ｂが形成されており、図１０に示す或
る弾性片６Ａの一方の係止片１０ａ…と隣の弾性片６Ｂ
の係止片１１ｂ…及び弾性片６Ａの他方の係止片１０ｂ
と隣の弾性片６ｃの係止片１１ａ…とは互いに噛合して
おり、図１１に示すように、これら係止片１０ａ…と１
１ｂ…及び係止片８ｂ…と１１ａ…とは側面視で互いに
オーバーラップしている。そして、各弾性片６において
係止片１０ａ…と１０ｂ…／又は係止１１ａ…，１１ｂ
…の相対向する面は斜面を構成しており、これらの係止
片１０ａ…と１０ｂ…／及び係止片１１ａ…と１１ｂ…
の間には、ウエーハＷが嵌まり込む込むべき溝１２…が
形成されている。
の下面に鋸歯状の係止片１０ａ…，１０ｂ…／又は係止
片１１ａ…，１１ｂが形成されており、図１０に示す或
る弾性片６Ａの一方の係止片１０ａ…と隣の弾性片６Ｂ
の係止片１１ｂ…及び弾性片６Ａの他方の係止片１０ｂ
と隣の弾性片６ｃの係止片１１ａ…とは互いに噛合して
おり、図１１に示すように、これら係止片１０ａ…と１
１ｂ…及び係止片８ｂ…と１１ａ…とは側面視で互いに
オーバーラップしている。そして、各弾性片６において
係止片１０ａ…と１０ｂ…／又は係止１１ａ…，１１ｂ
…の相対向する面は斜面を構成しており、これらの係止
片１０ａ…と１０ｂ…／及び係止片１１ａ…と１１ｂ…
の間には、ウエーハＷが嵌まり込む込むべき溝１２…が
形成されている。
【００２１】而して、本実施例においても、各ウエーハ
Ｗの弾性片６，６間への落ち込みは、互いに噛合する係
止片１０ａ…と１１ｂ…／又は係止片１０ｂ…と１１ａ
…によって阻止されるため、全ウエーハＷ…は溝１２…
に確実に嵌まり込んで保持され、前記第１実施例にて得
られたと同様の効果が得られる。
Ｗの弾性片６，６間への落ち込みは、互いに噛合する係
止片１０ａ…と１１ｂ…／又は係止片１０ｂ…と１１ａ
…によって阻止されるため、全ウエーハＷ…は溝１２…
に確実に嵌まり込んで保持され、前記第１実施例にて得
られたと同様の効果が得られる。
【００２２】
【発明の効果】以上の説明で明らかな如く、本発明によ
れば、ウエーハ収納容器の上蓋の内側に取り付けられ、
ウエーハ収納容器内に収容された複数のウエーハの各上
縁を短冊状の弾性片で押えて該ウエーハを保持するウエ
ーハ収納容器のウエーハ押えにおいて、前記弾性片のウ
エーハ係止部に櫛歯状或いは鋸歯状の係止片を設け、該
係止片の間に、ウエーハが嵌合すべき溝を形成するとと
もに、隣接する弾性片の係止片同士を噛み合わせて側面
視でこれらが互いにオーバーラップするよう構成したた
め、全ウエーハの上縁を常に確実に保持してウエーハの
係止溝からの脱落を防ぎ、ウエーハの損傷や汚染を防ぐ
ことができるという効果が得られる。
れば、ウエーハ収納容器の上蓋の内側に取り付けられ、
ウエーハ収納容器内に収容された複数のウエーハの各上
縁を短冊状の弾性片で押えて該ウエーハを保持するウエ
ーハ収納容器のウエーハ押えにおいて、前記弾性片のウ
エーハ係止部に櫛歯状或いは鋸歯状の係止片を設け、該
係止片の間に、ウエーハが嵌合すべき溝を形成するとと
もに、隣接する弾性片の係止片同士を噛み合わせて側面
視でこれらが互いにオーバーラップするよう構成したた
め、全ウエーハの上縁を常に確実に保持してウエーハの
係止溝からの脱落を防ぎ、ウエーハの損傷や汚染を防ぐ
ことができるという効果が得られる。
【図１】本発明の第１実施例に係るウエーハ押えの正断
面図である。
面図である。
【図２】本発明の第１実施例に係るウエーハ押えの側面
図（図１の矢視Ａ方向の図）である。
図（図１の矢視Ａ方向の図）である。
【図３】本発明の第１実施例に係るウエーハ押えの底面
図（図１の矢視Ｂ方向の図）である。
図（図１の矢視Ｂ方向の図）である。
【図４】図３のＣ部拡大詳細図である。
【図５】図４のＤ−Ｄ線断面図である。
【図６】図４のＥ−Ｅ線断面図である。
【図７】ウエーハ押えの作用説明のためのウエーハ収納
容器の正断面図である。
容器の正断面図である。
【図８】ウエーハ押えの作用説明のためのウエーハ収納
容器の正断面図である。
容器の正断面図である。
【図９】ウエーハ収納容器の分解斜視図である。
【図１０】本発明の第２実施例に係るウエーハ押えの弾
性片の係止部の底面図である。
性片の係止部の底面図である。
【図１１】図１０のＦ−Ｆ線断面図である。
【図１２】従来のウエーハ押えを備えるウエーハ収納容
器の破断正面図である。
器の破断正面図である。
１ 外箱 １Ｂ 上蓋 ３ ウエーハ押え ６ 弾性片 ８ａ，８ｂ 係止片 ９ａ，９ｂ 係止片 １０ａ，１０ｂ 係止片 １１ａ，１１ｂ 係止片 １２ 溝 Ｗ ウエーハ
Claims (2)
- 【請求項１】 ウエーハ収納容器の上蓋の内側に取り付
けられ、ウエーハ収納容器内に収容された複数のウエー
ハの各上縁を短冊状の弾性片で押えて該ウエーハを保持
するウエーハ収納容器のウエーハ押えにおいて、前記弾
性片のウエーハ係止部に櫛歯状或いは鋸歯状の係止片を
設け、該係止片の間に、ウエーハが嵌合すべき溝を形成
するとともに、隣接する弾性片の係止片同士を噛み合わ
せて側面視でこれらが互いにオーバーラップするよう構
成したことを特徴とするウエーハ収納容器のウエーハ押
え。 - 【請求項２】 前記各弾性片の最先自由端又は略最先自
由端に高密度に配列された櫛歯状或いは鋸歯状の係止片
を設けたことを特徴とする請求項１記載のウエーハ収納
容器のウエーハ押え。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24525391A JPH0563065A (ja) | 1991-08-30 | 1991-08-30 | ウエーハ収納容器のウエーハ押え |
| US07/937,218 US5228568A (en) | 1991-08-30 | 1992-08-28 | Semiconductor wafer basket |
| DE69219535T DE69219535T2 (de) | 1991-08-30 | 1992-09-01 | Behälter für Halbleiter-Wafer |
| EP92307928A EP0530054B1 (en) | 1991-08-30 | 1992-09-01 | A semiconductor wafer basket |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24525391A JPH0563065A (ja) | 1991-08-30 | 1991-08-30 | ウエーハ収納容器のウエーハ押え |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0563065A true JPH0563065A (ja) | 1993-03-12 |
Family
ID=17130932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24525391A Pending JPH0563065A (ja) | 1991-08-30 | 1991-08-30 | ウエーハ収納容器のウエーハ押え |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0563065A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111486193A (zh) * | 2020-05-12 | 2020-08-04 | 邱伊萍 | 一种柔性连接结构 |
| JP2022540712A (ja) * | 2019-07-19 | 2022-09-16 | インテグリス・インコーポレーテッド | ウェハクッション、ウェハキャリアおよびウェハを支持する方法 |
-
1991
- 1991-08-30 JP JP24525391A patent/JPH0563065A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022540712A (ja) * | 2019-07-19 | 2022-09-16 | インテグリス・インコーポレーテッド | ウェハクッション、ウェハキャリアおよびウェハを支持する方法 |
| CN111486193A (zh) * | 2020-05-12 | 2020-08-04 | 邱伊萍 | 一种柔性连接结构 |
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