JPH0563260A - レーザー装置 - Google Patents
レーザー装置Info
- Publication number
- JPH0563260A JPH0563260A JP25031491A JP25031491A JPH0563260A JP H0563260 A JPH0563260 A JP H0563260A JP 25031491 A JP25031491 A JP 25031491A JP 25031491 A JP25031491 A JP 25031491A JP H0563260 A JPH0563260 A JP H0563260A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reflecting mirror
- laser
- laser beam
- concave reflecting
- concave
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005086 pumping Methods 0.000 abstract description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 3
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 不安定共振器を有するレーザー装置より出力
されるレーザー・ビームの断面におけるエネルギー分布
を改善すること。 【構成】 中央に透孔11を有する凹面反射鏡１と、この
凹面反射鏡１の直径ａよりも小さい直径ｂを有する凸面
反射鏡２とを対向して配置し、さらに、凸面反射鏡２の
後に平面反射鏡３を配置した不安定共振器を使用する。
そして、凹面反射鏡１と凸面反射鏡２との間に形成され
た空間にレーザー媒質４を配置し、このレーザー媒質４
をポンピングして得たレーザー光線５を透孔11より外部
に取り出す。
されるレーザー・ビームの断面におけるエネルギー分布
を改善すること。 【構成】 中央に透孔11を有する凹面反射鏡１と、この
凹面反射鏡１の直径ａよりも小さい直径ｂを有する凸面
反射鏡２とを対向して配置し、さらに、凸面反射鏡２の
後に平面反射鏡３を配置した不安定共振器を使用する。
そして、凹面反射鏡１と凸面反射鏡２との間に形成され
た空間にレーザー媒質４を配置し、このレーザー媒質４
をポンピングして得たレーザー光線５を透孔11より外部
に取り出す。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ガス・レーザーなど
に適用する不安定共振器に関し、特に、損失が少なくて
安定な発振動作を行ない、かつ、出力光の取り出しを容
易ならしめるように構成したものである。
に適用する不安定共振器に関し、特に、損失が少なくて
安定な発振動作を行ない、かつ、出力光の取り出しを容
易ならしめるように構成したものである。
【０００２】
【従来の技術】図２(ａ)に示すように、直径がｄなる凹
面反射鏡１と、この凹面反射鏡１の直径ｄよりも小さい
直径ｅを有する凸面反射鏡２とを対向させた不安定共振
器を使用し、これら凹面反射鏡１と凸面反射鏡２との間
に形成された空間にレーザー媒質４を配置したレーザー
装置が従来より知られている。
面反射鏡１と、この凹面反射鏡１の直径ｄよりも小さい
直径ｅを有する凸面反射鏡２とを対向させた不安定共振
器を使用し、これら凹面反射鏡１と凸面反射鏡２との間
に形成された空間にレーザー媒質４を配置したレーザー
装置が従来より知られている。
【０００３】レーザー媒質４に対してポンピングを行な
うと、レーザー発振を開始して、凹面反射鏡１と凸面反
射鏡２との間で多重反射を繰り返し、凸面反射鏡２の周
囲から平行なレーザー光線６を取り出すことができる。
うと、レーザー発振を開始して、凹面反射鏡１と凸面反
射鏡２との間で多重反射を繰り返し、凸面反射鏡２の周
囲から平行なレーザー光線６を取り出すことができる。
【０００４】出力されるレーザー光線６のビームは、図
２(ｂ)の断面図に示すように、中心部にはレーザー光線
が存在せず、環状にレーザー光線が存在するエネルギー
分布を呈しており、これを集光レンズによって集光する
と、図３にエネルギー強度の分布を示すように、多くの
サイドローブｓが発生して、中心に集光したエネルギー
ｐのみを得ることができず、しかも、サイドローブｓに
よってエネルギーが失われるために、必要な中心部のエ
ネルギーｐが減衰させられる。
２(ｂ)の断面図に示すように、中心部にはレーザー光線
が存在せず、環状にレーザー光線が存在するエネルギー
分布を呈しており、これを集光レンズによって集光する
と、図３にエネルギー強度の分布を示すように、多くの
サイドローブｓが発生して、中心に集光したエネルギー
ｐのみを得ることができず、しかも、サイドローブｓに
よってエネルギーが失われるために、必要な中心部のエ
ネルギーｐが減衰させられる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】そこで、この発明は、
このような不安定共振器を有するレーザー装置より出力
されるレーザー・ビームの断面におけるエネルギー分布
を改善するとともに、低ゲインのレーザー媒質からも十
分な出力を得るために考えられたものである。
このような不安定共振器を有するレーザー装置より出力
されるレーザー・ビームの断面におけるエネルギー分布
を改善するとともに、低ゲインのレーザー媒質からも十
分な出力を得るために考えられたものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】中央に透孔を有する凹面
反射鏡と、この凹面反射鏡の直径よりも小さい直径を有
する凸面反射鏡とを対向して配置し、さらに、凸面反射
鏡の後に平面反射鏡を配置した不安定共振器を具備する
ものである。
反射鏡と、この凹面反射鏡の直径よりも小さい直径を有
する凸面反射鏡とを対向して配置し、さらに、凸面反射
鏡の後に平面反射鏡を配置した不安定共振器を具備する
ものである。
【０００７】
【実施例】図１に示すように、中央に透孔11を有し、直
径がｄなる凹面反射鏡１と、この凹面反射鏡１の直径ｄ
よりも小さい直径ｅを有する凸面反射鏡２とを対向さ
せ、この凸面反射鏡２の後に平面反射鏡３を設けて不安
定共振器を形成し、凹面反射鏡１と凸面反射鏡２との間
に形成された空間にレーザー媒質４を配置する。
径がｄなる凹面反射鏡１と、この凹面反射鏡１の直径ｄ
よりも小さい直径ｅを有する凸面反射鏡２とを対向さ
せ、この凸面反射鏡２の後に平面反射鏡３を設けて不安
定共振器を形成し、凹面反射鏡１と凸面反射鏡２との間
に形成された空間にレーザー媒質４を配置する。
【０００８】レーザー媒質４に対してポンピングを行な
うと、レーザー発振を開始して、凹面反射鏡１と凸面反
射鏡２との間で多重反射を繰り返し、凸面反射鏡２の周
囲から平行なレーザー光線６が放射されるが、このレー
ザー光線は平面反射鏡３において反射され、再び凹面反
射鏡１と凸面反射鏡２との間で多重反射を繰り返して、
凹面反射鏡１の中央に設けられた透孔11を経て外部に出
力される。
うと、レーザー発振を開始して、凹面反射鏡１と凸面反
射鏡２との間で多重反射を繰り返し、凸面反射鏡２の周
囲から平行なレーザー光線６が放射されるが、このレー
ザー光線は平面反射鏡３において反射され、再び凹面反
射鏡１と凸面反射鏡２との間で多重反射を繰り返して、
凹面反射鏡１の中央に設けられた透孔11を経て外部に出
力される。
【０００９】この透孔11から出力されるレーザー光線５
は、そのエネルギー密度および断面の形状が透孔11で決
まるので、この透孔11の大きさおよび形状を使用目的に
合わせて設定することができる。
は、そのエネルギー密度および断面の形状が透孔11で決
まるので、この透孔11の大きさおよび形状を使用目的に
合わせて設定することができる。
【００１０】そして、凹面反射鏡１の透孔11から出力さ
れるレーザー光線５の断面におけるエネルギー分布は、
透孔11の断面内に集中するものとなり、集光レンズで集
光することなく、そのままでも使用可能なビームを得る
ことができる。
れるレーザー光線５の断面におけるエネルギー分布は、
透孔11の断面内に集中するものとなり、集光レンズで集
光することなく、そのままでも使用可能なビームを得る
ことができる。
【００１１】さらに、集光レンズによって集光しても、
サイドローブの発生を著しく抑制することができる。
サイドローブの発生を著しく抑制することができる。
【００１２】
【発明の効果】以上の実施例に基づく説明から明らかな
ように、この発明のレーザー装置によると、凹面反射鏡
１と凸面反射鏡２の相対的な大きさの比(ｄ／ｅ)および
両者の焦点距離、並びに凹面反射鏡１の透孔11の形状お
よび大きさを適当に選ぶことにより、取り出すレーザー
光線のエネルギー密度およびビームの断面形状を希望ど
おりに設定することができ、さらに、ビームの断面にお
けるエネルギー分布は、使用目的に適合したものに形成
することができる。
ように、この発明のレーザー装置によると、凹面反射鏡
１と凸面反射鏡２の相対的な大きさの比(ｄ／ｅ)および
両者の焦点距離、並びに凹面反射鏡１の透孔11の形状お
よび大きさを適当に選ぶことにより、取り出すレーザー
光線のエネルギー密度およびビームの断面形状を希望ど
おりに設定することができ、さらに、ビームの断面にお
けるエネルギー分布は、使用目的に適合したものに形成
することができる。
【図１】この発明のレーザー装置の一実施例を示す縦断
面図、
面図、
【図２】従来のレーザー装置の一例を示す縦断面図およ
び出力されるレーザー・ビームの横断面図、
び出力されるレーザー・ビームの横断面図、
【図３】従来のレーザー装置によって得られるレーザー
・ビームを集光レンズによって集光したときのエネルギ
ー強度の分布を示す図である。
・ビームを集光レンズによって集光したときのエネルギ
ー強度の分布を示す図である。
１ 凹面反射鏡 11 透孔 ２ 凸面反射鏡 ３ 平面反射鏡 ４ レーザー媒質 ５ 出力されたレーザー光線
Claims (1)
- 【請求項１】 中央に透孔を有する凹面反射鏡と、該凹
面反射鏡の直径よりも小さい直径を有する凸面反射鏡と
を対向して配置し、さらに、上記凸面反射鏡の後に平面
反射鏡を配置した不安定共振器を具備することを特徴と
するレーザー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25031491A JPH0563260A (ja) | 1991-09-04 | 1991-09-04 | レーザー装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25031491A JPH0563260A (ja) | 1991-09-04 | 1991-09-04 | レーザー装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0563260A true JPH0563260A (ja) | 1993-03-12 |
Family
ID=17206070
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25031491A Pending JPH0563260A (ja) | 1991-09-04 | 1991-09-04 | レーザー装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0563260A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100364781C (zh) * | 2006-01-26 | 2008-01-30 | 戈军 | 用于激光打标的掩模及激光打标装置 |
-
1991
- 1991-09-04 JP JP25031491A patent/JPH0563260A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100364781C (zh) * | 2006-01-26 | 2008-01-30 | 戈军 | 用于激光打标的掩模及激光打标装置 |
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