JPH0563266A - レーザ発振装置 - Google Patents
レーザ発振装置Info
- Publication number
- JPH0563266A JPH0563266A JP22084391A JP22084391A JPH0563266A JP H0563266 A JPH0563266 A JP H0563266A JP 22084391 A JP22084391 A JP 22084391A JP 22084391 A JP22084391 A JP 22084391A JP H0563266 A JPH0563266 A JP H0563266A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- elongation
- cooling
- supporting means
- detecting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 本発明は、複数のミラーから成る共振器を有
し、レーザ媒質を励起することによりレーザ光を発振す
るレーザ発振装置において、前記ミラーの傾きを調整す
る調整機構を備えた少なくとも一対の端板と、この端板
間を一定の距離に保つ複数の支持手段と、この支持手段
の伸びを検出する伸び検出手段と、前記支持手段を冷却
する冷却手段と、前記伸び検出手段の出力に基づいて前
記冷却手段を制御する制御手段とを備えたレーザ発振装
置である。 【効果】 本発明によれば、支持手段の伸びを検出する
伸び検出手段を設けると共に、この伸び検出手段の検出
信号に基づいて各支持手段への冷却媒質を制御する制御
装置を設けたので、共振器構造物への振動、外力、温度
変化が生じても、横モード及び出力が安定したレーザ光
を供給でき、レーザ加工に使用した場合、切断面荒さが
一定で良好な切断や、とけ込み深さが一定で良好な溶接
が可能といった優れた効果を奏する。
し、レーザ媒質を励起することによりレーザ光を発振す
るレーザ発振装置において、前記ミラーの傾きを調整す
る調整機構を備えた少なくとも一対の端板と、この端板
間を一定の距離に保つ複数の支持手段と、この支持手段
の伸びを検出する伸び検出手段と、前記支持手段を冷却
する冷却手段と、前記伸び検出手段の出力に基づいて前
記冷却手段を制御する制御手段とを備えたレーザ発振装
置である。 【効果】 本発明によれば、支持手段の伸びを検出する
伸び検出手段を設けると共に、この伸び検出手段の検出
信号に基づいて各支持手段への冷却媒質を制御する制御
装置を設けたので、共振器構造物への振動、外力、温度
変化が生じても、横モード及び出力が安定したレーザ光
を供給でき、レーザ加工に使用した場合、切断面荒さが
一定で良好な切断や、とけ込み深さが一定で良好な溶接
が可能といった優れた効果を奏する。
Description
［発明の目的］
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ媒質を励起する
ことにより、レーザ光を発振するレーザ発振装置に関す
る。
ことにより、レーザ光を発振するレーザ発振装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来のレーザ発振装置を図面を用いて説
明する。
明する。
【０００３】図２及び図３に示すように、レーザ発振装
置は放電部１のレーザ媒質において発生した光をミラー
２間で反射し増幅させ、その一部を取り出して発振させ
る。ミラー２は、ミラープレート３に取り付けられてお
り、横モードが最適になるように、そして出力が大とな
るよう支点ネジ４を中心として調整ネジ５により傾きを
調整する。これらの調整機構は、一対の端板６上に取り
付けられりており、端板６は一定の距離を支持棒７で保
たれ、共振器８が構成される。
置は放電部１のレーザ媒質において発生した光をミラー
２間で反射し増幅させ、その一部を取り出して発振させ
る。ミラー２は、ミラープレート３に取り付けられてお
り、横モードが最適になるように、そして出力が大とな
るよう支点ネジ４を中心として調整ネジ５により傾きを
調整する。これらの調整機構は、一対の端板６上に取り
付けられりており、端板６は一定の距離を支持棒７で保
たれ、共振器８が構成される。
【０００４】また、図４及び図５に示すように、端板６
間を数パスする共振器構成もある。ここで、支持棒７は
放電部１のレーザ媒質で発生する熱や、外気温度の変化
により伸び縮みしてミラー２の傾きが変化し、横モード
が変化し出力が低下しないよう、線膨脹係数の小さいイ
ンバー（図示せず）を用い、さらに冷却装置９の循環水
を支持棒７内に通して一定の温度となるようにしてい
た。
間を数パスする共振器構成もある。ここで、支持棒７は
放電部１のレーザ媒質で発生する熱や、外気温度の変化
により伸び縮みしてミラー２の傾きが変化し、横モード
が変化し出力が低下しないよう、線膨脹係数の小さいイ
ンバー（図示せず）を用い、さらに冷却装置９の循環水
を支持棒７内に通して一定の温度となるようにしてい
た。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、端板間が長
い、つまり共振器が長くなると端板と支持棒で構成され
る構造物の剛性が小さくなり、振動や共振器を支えるフ
レームの歪みによる外力に対して弱くなる。これによっ
て、横モードやレーザ出力の変化を生じてしまう。構造
物の剛性を高めるために、支持棒に剛性の高い材質のも
の、たとえば鋼などを用いれば良いが、今度は逆に温度
変化に対して伸び縮みが大きくなり、やはり横モードや
レーザ出力が変化してしまい、レーザ加工に用いた場
合、切断加工では切断面が荒くなったり、溶接ではとけ
込み深さが変化してしまうといった問題があった。
い、つまり共振器が長くなると端板と支持棒で構成され
る構造物の剛性が小さくなり、振動や共振器を支えるフ
レームの歪みによる外力に対して弱くなる。これによっ
て、横モードやレーザ出力の変化を生じてしまう。構造
物の剛性を高めるために、支持棒に剛性の高い材質のも
の、たとえば鋼などを用いれば良いが、今度は逆に温度
変化に対して伸び縮みが大きくなり、やはり横モードや
レーザ出力が変化してしまい、レーザ加工に用いた場
合、切断加工では切断面が荒くなったり、溶接ではとけ
込み深さが変化してしまうといった問題があった。
【０００６】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、その目的は、振動や外力さらには温度変化が生じて
も、横モード及びレーザ出力が安定して得られるレーザ
発振装置を提供するにある。 ［発明の構成］
で、その目的は、振動や外力さらには温度変化が生じて
も、横モード及びレーザ出力が安定して得られるレーザ
発振装置を提供するにある。 ［発明の構成］
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のレーザ発振装置
は、上記目的を達成するために、複数のミラーから成る
共振器を有し、レーザ媒質を励起することによりレーザ
光を発振するレーザ発振装置において、前記ミラーの傾
きを調整する調整機構を備えた少なくとも一対の端板
と、この端板間を一定の距離に保つ複数の支持手段と、
この支持手段の伸びを検出する伸び検出手段と、前記支
持手段を冷却する冷却手段と、前記伸び検出手段の出力
に基づいて前記冷却手段を制御する制御手段とを備えた
レーザ発振装置を提供する。
は、上記目的を達成するために、複数のミラーから成る
共振器を有し、レーザ媒質を励起することによりレーザ
光を発振するレーザ発振装置において、前記ミラーの傾
きを調整する調整機構を備えた少なくとも一対の端板
と、この端板間を一定の距離に保つ複数の支持手段と、
この支持手段の伸びを検出する伸び検出手段と、前記支
持手段を冷却する冷却手段と、前記伸び検出手段の出力
に基づいて前記冷却手段を制御する制御手段とを備えた
レーザ発振装置を提供する。
【０００８】
【作用】このように構成された本発明のレーザ発振装置
においては、支持手段に剛性の高い材料を用い、共振器
構造物の剛性を高める。温度変化に対しては支持棒手段
の伸びを検出する伸び検出手段からの信号により、各支
持手段の伸びが同じになるよう、各支持手段の冷却を制
御し、横モード及びレーザ出力を安定化する。
においては、支持手段に剛性の高い材料を用い、共振器
構造物の剛性を高める。温度変化に対しては支持棒手段
の伸びを検出する伸び検出手段からの信号により、各支
持手段の伸びが同じになるよう、各支持手段の冷却を制
御し、横モード及びレーザ出力を安定化する。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照して説
明する。なお、従来例と同様の構成部分に対しては、そ
の説明を省略する。
明する。なお、従来例と同様の構成部分に対しては、そ
の説明を省略する。
【００１０】図１に示すように、支持棒７は、剛性の高
い材質のものを使用する。これによって、共振器構造物
全体の剛性が高くなるため、振動や外力に対して、横モ
ード及びレーザ出力を安定化できる。ただし、支持棒７
を温度に対して伸び縮みの小さいインバー（図示せず）
から違う材質のものにしたため、伸びの制御が必要とな
る。それを次のようにして行う。まず、支持棒７の数箇
所にひずみゲージ１０を貼る。このひずみゲージ１０か
らの信号を、制御装置１１に取り込む。制御装置１１内
で各支持棒７の伸び及びすべての支持棒７の伸び量が同
じになるような冷却水量が計算される。ここで計算され
た水量に基づいてモータ１２により開度を調整できるバ
ルブ１３によって各支持棒７への冷却水量が調整され
る。従って、各支持棒７の伸びが同じであるため、端板
６間の相対的角度が一定に保たれ、横モード及びレーザ
出力を安定化できる。
い材質のものを使用する。これによって、共振器構造物
全体の剛性が高くなるため、振動や外力に対して、横モ
ード及びレーザ出力を安定化できる。ただし、支持棒７
を温度に対して伸び縮みの小さいインバー（図示せず）
から違う材質のものにしたため、伸びの制御が必要とな
る。それを次のようにして行う。まず、支持棒７の数箇
所にひずみゲージ１０を貼る。このひずみゲージ１０か
らの信号を、制御装置１１に取り込む。制御装置１１内
で各支持棒７の伸び及びすべての支持棒７の伸び量が同
じになるような冷却水量が計算される。ここで計算され
た水量に基づいてモータ１２により開度を調整できるバ
ルブ１３によって各支持棒７への冷却水量が調整され
る。従って、各支持棒７の伸びが同じであるため、端板
６間の相対的角度が一定に保たれ、横モード及びレーザ
出力を安定化できる。
【００１１】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のレーザ発振装置によれば、支持手段の伸びを検出する
伸び検出手段を設けると共に、この伸び検出手段の検出
信号に基づいて各支持手段への冷却媒質を制御する制御
装置を設けたので、共振器構造物への振動、外力、温度
変化が生じても、横モード及び出力が安定したレーザ光
を供給でき、レーザ加工に使用した場合、切断面荒さが
一定で良好な切断や、とけ込み深さが一定で良好な溶接
が可能といった優れた効果を奏する。
のレーザ発振装置によれば、支持手段の伸びを検出する
伸び検出手段を設けると共に、この伸び検出手段の検出
信号に基づいて各支持手段への冷却媒質を制御する制御
装置を設けたので、共振器構造物への振動、外力、温度
変化が生じても、横モード及び出力が安定したレーザ光
を供給でき、レーザ加工に使用した場合、切断面荒さが
一定で良好な切断や、とけ込み深さが一定で良好な溶接
が可能といった優れた効果を奏する。
【図１】本発明の一実施例を示す概要構成図。
【図２】従来のレーザ発振装置の一例を示す側面図。
【図３】従来のレーザ発振装置の一例を示す正面図。
【図４】従来のレーザ発振装置の他の例を示す側面図。
【図５】従来のレーザ発振装置の他の例を示す正面図。
１…放電部 ２…ミラー ５…調整ネジ ６…端
板 ７…支持棒 ８…共振器 ９…冷却装置 １０…ひずみゲージ
１１…制御装置 １２…モータ １３…バルブ
板 ７…支持棒 ８…共振器 ９…冷却装置 １０…ひずみゲージ
１１…制御装置 １２…モータ １３…バルブ
Claims (1)
- 【請求項１】 複数のミラーから成る共振器を有し、レ
ーザ媒質を励起することによりレーザ光を発振するレー
ザ発振装置において、前記ミラーの傾きを調整する調整
機構を備えた少なくとも一対の端板と、この端板間を一
定の距離に保つ複数の支持手段と、この支持手段の伸び
を検出する伸び検出手段と、前記支持手段を冷却する冷
却手段と、前記伸び検出手段の出力に基づいて前記冷却
手段を制御する制御手段とを備えたことを特徴とするレ
ーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22084391A JPH0563266A (ja) | 1991-09-02 | 1991-09-02 | レーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22084391A JPH0563266A (ja) | 1991-09-02 | 1991-09-02 | レーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0563266A true JPH0563266A (ja) | 1993-03-12 |
Family
ID=16757418
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22084391A Pending JPH0563266A (ja) | 1991-09-02 | 1991-09-02 | レーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0563266A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5798537A (en) * | 1995-08-31 | 1998-08-25 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Blue light-emitting device |
| JP2010212565A (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-24 | Panasonic Corp | レーザ発振装置とレーザ加工機 |
-
1991
- 1991-09-02 JP JP22084391A patent/JPH0563266A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5798537A (en) * | 1995-08-31 | 1998-08-25 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Blue light-emitting device |
| JP2010212565A (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-24 | Panasonic Corp | レーザ発振装置とレーザ加工機 |
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